吸附臺的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種吸附臺。吸附臺用于保持顯示面板，其包括：支承臺，其具有開設(shè)有負(fù)壓開口的吸附面；多個升降條，其配置為橫穿吸附面；多個凹部，該多個凹部彼此并行地設(shè)置在吸附面上，以便將升降條收容在支承臺內(nèi)而使升降條不會自吸附面突出；支承機(jī)構(gòu)，其在支承臺的側(cè)部中的、多個凹部敞開的部位以能夠使升降條升降的方式支承升降條；升降裝置，其與支承機(jī)構(gòu)相關(guān)聯(lián)地設(shè)置，以便使升降條在自凹部突出的上升位置與收容在凹部中的下降位置之間升降。支承機(jī)構(gòu)包括在升降條的兩端支承該升降條的支柱、被該支柱支承的導(dǎo)向銷、以及用于容許該導(dǎo)向銷貫穿的設(shè)于升降條的槽。
【專利說明】吸附臺
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種適合于對液晶顯示面板、有機(jī)發(fā)光面板那樣的顯示板進(jìn)行保持的吸附臺。
【背景技術(shù)】
[0002]例如在玻璃基板上形成有電路的液晶顯示面板那樣的顯示板的制造工序中，使用探測儀(日文口一〃)對該顯示板進(jìn)行電氣檢查。在該試驗(yàn)中，通常利用負(fù)壓將作為被檢查體的液晶顯示面板保持在被組裝于探針測儀中的吸附臺上。
[0003]為了將接受了檢查的被檢查體自吸附臺安全且迅速地卸下，在吸附臺上以能自該吸附臺的吸附面突出的方式設(shè)置有用于使被檢查體自該吸附面浮起的多個升降銷(例如參照專利文獻(xiàn)I)。
[0004]當(dāng)位于突出位置的升降銷在吸附面的上方自輸送機(jī)器人接受被檢查體時，該升降銷下降到吸附面下。在利用該升降銷的下降使被檢查體移動到上述吸附面上時，利用組裝于吸附臺的負(fù)壓機(jī)構(gòu)使負(fù)壓作用于上述吸附面。在上述被檢查體接受檢查的期間內(nèi)，利用上述負(fù)壓將該被檢查體可靠地保持于上述吸附面。檢查后，隨著升降銷的上升，自吸附面抬起被檢查體。由上述升降銷自吸附面抬起的上述被檢查體不會受到作用于吸附面與被檢查體之間的靜電的強(qiáng)烈影響，能夠由輸送機(jī)器人自吸附臺去除。
[0005]但是，由于上述的升降銷與被檢查體的接觸面積較小，所以隨著因被檢查體的大型化而發(fā)生的重量增加，被檢查體在與升降銷相接觸的接觸部受到的局部應(yīng)力增大。包括該玻璃基板在內(nèi)的被檢查體的局部應(yīng)力的集中會對被檢查體施加較大的應(yīng)力，所以不希望產(chǎn)生該局部應(yīng)力的集中。
[0006]因此，提出了如下這種技術(shù):利用彼此空開間隔地平行配置的許多個固定保持構(gòu)件、和能在各固定保持構(gòu)件之間相對于該固定保持構(gòu)件升降地配置的許多個帶狀的升降構(gòu)件構(gòu)成吸附面，在向該吸附面交接被檢查體時，使上述升降構(gòu)件相對于上述固定保持構(gòu)件下降(例如參照專利文獻(xiàn)2)。
[0007]采用專利文獻(xiàn)2所述的裝置，上述升降構(gòu)件在其上升位置與上述固定保持構(gòu)件一同構(gòu)成平坦的吸附面。當(dāng)在吸附面與機(jī)器人手臂之間交接被檢查體時，能夠?qū)C(jī)器人手臂插入到由于許多個帶狀的上述升降構(gòu)件下降而形成的空間內(nèi)，所以機(jī)器人手臂與吸附面不會干渉，而且彼此平行配置的多個固定保持構(gòu)件以較寬的帶狀面積支承被檢查體，所以不會使較強(qiáng)的局部應(yīng)力作用于被檢查體就能夠適當(dāng)?shù)靥幚肀粰z查體。
[0008]但是，在專利文獻(xiàn)2所述的裝置中，使用于吸附保持被檢查體的負(fù)壓發(fā)揮作用的吸附面由許多個固定保持構(gòu)件和能夠分別在該固定保持構(gòu)件之間升降的升降構(gòu)件構(gòu)成。因此，形成吸附面的支承臺的結(jié)構(gòu)復(fù)雜化，并且需要在支承臺的內(nèi)部設(shè)置用于使許多個升降構(gòu)件同時升降的機(jī)構(gòu)，由于支承臺的結(jié)構(gòu)復(fù)雜化，所以存在吸附裝置的結(jié)構(gòu)復(fù)雜化而高價這樣的缺點(diǎn)。
[0009]專利文獻(xiàn)1:日本特開2002 - 246450號公報[0010]專利文獻(xiàn)2:日本特開2011 - 29565號公報
【發(fā)明內(nèi)容】

[0011]因此，本發(fā)明的目的在于提供一種吸附臺，該吸附臺能夠在交接作為被檢查體的顯示面板時使該顯示面板在吸附面上升降，而不會導(dǎo)致結(jié)構(gòu)復(fù)雜化，不會使較強(qiáng)的應(yīng)力局部作用于該顯示面板。
[0012]本發(fā)明的吸附臺用于保持顯示面板，該吸附臺包括:支承臺，其具有開設(shè)有負(fù)壓開口的吸附面；多個升降條，其以橫穿上述吸附面的方式配置；多個凹部，該多個凹部彼此并行地設(shè)置在上述吸附面上，以便將上述升降條收容在上述支承臺內(nèi)而使上述升降條不會自上述吸附面突出；支承機(jī)構(gòu)，其在上述支承臺的側(cè)部中的、上述多個凹部敞開的部位以能夠使上述升降條升降的方式支承上述升降條；升降裝置，其與上述支承機(jī)構(gòu)相關(guān)聯(lián)地設(shè)置，以便使上述升降條在自上述凹部突出的上升位置與收容在上述凹部中的下降位置之間升降，上述支承機(jī)構(gòu)包括:一對支柱，其用于在上述升降條的兩端部支承該升降條；導(dǎo)向銷，其支承于該支柱和上述升降條中的任意一方；槽，其設(shè)于上述支柱和上述升降條中的另一方，用于容許該導(dǎo)向銷貫穿。
[0013]在本發(fā)明的上述吸附臺中，用于將上述升降條收容于上述支承臺的上述凹部形成為橫穿上述支承臺的上述吸附面。利用設(shè)置在上述支承臺的側(cè)部的上述支承機(jī)構(gòu)，使能收容在上述凹部內(nèi)的上述升降條在被收容在上述凹部內(nèi)的下降位置與自上述吸附面突出的上升位置之間升降。因而，不必如以往那樣將上述支承臺形成為許多個固定構(gòu)件和可動構(gòu)件的集合體，而且為了向上述吸附臺交接上述顯示面板，能夠利用多個上述升降條使該顯示面板在上述吸附面上升降，所以不會導(dǎo)致上述吸附臺的結(jié)構(gòu)復(fù)雜化，即使是大型的顯示面板，也能防止較強(qiáng)的應(yīng)力局部地作用于該顯示面板。
[0014]可以將分別設(shè)于上述一對支柱或上述升降條的兩端部的一對槽中的至少一個槽形成為沿上述升降條的長度方向延伸的細(xì)長的槽。利用該細(xì)長的槽容許上述升降條的沿長度方向的傾斜，所以能夠補(bǔ)償在該升降條的兩端部的的升降動作的偏差。
[0015]可以將上述槽設(shè)于上述升降條，上述槽可以沿上述升降條的厚度方向貫穿該升降條，且沿該升降條的長度方向延伸。
[0016]可以在上述支承機(jī)構(gòu)上與上述導(dǎo)向銷相關(guān)聯(lián)地設(shè)置有彈簧構(gòu)件，該彈簧構(gòu)件用于對所對應(yīng)的上述升降條施加朝向該升降條的長度方向外側(cè)的張力?？梢岳迷搹椈蓸?gòu)件的張力來抑制上述升降條的撓曲。
[0017]在上述升降條上，可以在位于比該升降條的設(shè)有上述槽的位置靠內(nèi)側(cè)的位置的端部附近設(shè)置與上述導(dǎo)向銷平行的相對應(yīng)的卡定銷，作為上述彈簧構(gòu)件，可以使用拉伸螺旋彈簧，該拉伸螺旋彈簧的兩端卡定于上述導(dǎo)向銷和與該導(dǎo)向銷對應(yīng)的上述卡定銷。
[0018]可以在上述支承機(jī)構(gòu)上設(shè)置用于使作用于上述升降條的沖擊緩和的沖擊緩和機(jī)構(gòu)。利用該沖擊緩和機(jī)構(gòu)，在例如與機(jī)器人手臂之間交接上述顯示面板時，不必為了避免沖擊作用于該顯示面板而如以往那樣使機(jī)器人手臂的工作明顯減速。因此，能夠不必使機(jī)器人手臂進(jìn)行緩慢的動作，所以能夠謀求減少生產(chǎn)節(jié)拍時間。
[0019]上述沖擊緩和機(jī)構(gòu)可以由如下部分構(gòu)成:支柱，其被上述支承臺支承，在且頂部形成有引導(dǎo)槽，該引導(dǎo)槽能以夠沿上下方向引導(dǎo)上述升降條的方式接收該升降條；壓縮螺旋彈簧，其配置在上述引導(dǎo)槽的底部與上述升降條之間。
[0020]可以在上述升降條上設(shè)置用于與上述壓縮螺旋彈簧的端部抵接而調(diào)整該螺旋彈簧的壓縮量的調(diào)整螺釘。通過利用該調(diào)整螺釘調(diào)整壓縮量，能夠適當(dāng)?shù)卣{(diào)整該壓縮螺旋彈簧的彈簧力，以便根據(jù)所處理的上述顯示面板的大小即重量的變化而使上述壓縮螺旋彈簧的位移量大致恒定。
[0021]可以在各支柱上設(shè)置能夠調(diào)整該支柱的長度方向位置的高度調(diào)整機(jī)構(gòu)。設(shè)置于各支柱的各高度調(diào)整機(jī)構(gòu)能夠針對每個上述升降條調(diào)整該升降條的傾斜和高度位置。
[0022]可以在上述支承機(jī)構(gòu)上設(shè)置在上述支承臺的兩側(cè)沿該支承臺配置的一對梁構(gòu)件。該一對梁構(gòu)件以能沿上下方向移動的方式支承于上述支承臺，能夠利用上述升降裝置的工作使該一對梁構(gòu)件沿上下方向移動。在該情況下，可以借助上述支柱將所對應(yīng)的上述升降條的端部支承于各梁構(gòu)件。
[0023]另外，在上述梁構(gòu)件與各支柱之間設(shè)置有用于調(diào)整該支柱的高度位置的上述高度調(diào)整機(jī)構(gòu)。
[0024]可以在各升降條上形成用于與該升降條上的上述顯示面板的緣抵接而防止該顯示面板脫落的肩部。利用該肩部的止擋功能，能夠可靠地防止上述顯示面板不慎自上述升降條脫落。
[0025]另外，可以與上述肩部相關(guān)聯(lián)地在上述升降條的上表面以與上述肩部接近的方式設(shè)置退讓槽，該退讓槽用于防止因上述升降條上的上述被檢查體傾斜而使該被檢查體的緣與上述上表面干渉。由此，在將上述被檢查體配置在上述升降條上、或者從該升降條上去除上述被檢查體時，即使上述被檢查體相對于上述升降條傾斜，也能防止該被檢查體的緣與上述升降條的上表面抵接，所以能夠防止因該抵接導(dǎo)致被檢查體的損傷。
[0026]采用本發(fā)明，不必如以往那樣將支承臺形成為許多個固定構(gòu)件和可動構(gòu)件的集合體，能夠?qū)⑸鲜鲋С信_形成為具有用于收容上述升降條的上述凹部的一體結(jié)構(gòu)，而且能夠利用設(shè)置于上述支承臺的側(cè)部的上述升降裝置使上述升降條升降。因而，能夠比較便宜地提供一種吸附臺，即使是大型的顯示面板也能夠處理，而不會使上述吸附臺的結(jié)構(gòu)復(fù)雜化，不會使較強(qiáng)的應(yīng)力局部地作用于該顯示面板。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0027]圖1是將本發(fā)明的吸附臺與輸送機(jī)器人一并表示的立體圖。
[0028]圖2是圖1所示的吸附臺的俯視圖。
[0029]圖3是圖1所示的吸附臺的側(cè)視圖。
[0030]圖4是沿圖3所示的線IV -1V獲得的剖視圖。
[0031]圖5是沿圖3所示的線V - V獲得的剖視圖。
[0032]圖6是沿圖3所示的線V1- VI獲得的剖視圖。
[0033]圖7是放大表不由圖3中用附圖標(biāo)記A表不的圓形記號圍繞的部分的圖。
[0034]圖8是沿圖6中表示的附圖標(biāo)記B所示的箭頭方向看去的支柱的高度調(diào)整機(jī)構(gòu)的主視圖。
[0035]圖9是圖1所示的吸附臺的主視圖，圖9的(a)表示升降條位于上升位置的狀態(tài)，圖9的(b)表示升降條位于下降位置的狀態(tài)。[0036]圖10是以局部剖切的方式表示本發(fā)明的另一實(shí)施方式的立體圖。
[0037]圖11是表示本發(fā)明的又一實(shí)施方式的立體圖。
【具體實(shí)施方式】
[0038]如圖1所示，將本發(fā)明的吸附臺10組裝于用于檢查液晶面板、有機(jī)發(fā)光面板那樣的顯示板12的探測儀(未圖示)而進(jìn)行使用。在圖1中表示在吸附臺10與輸送機(jī)器人14之間交接被檢查體12的例子。
[0039]如以往公知的那樣，輸送機(jī)器人14包括:可動臺18，其能夠在基座16上向吸附臺10移動以及沿離開該吸附臺10的方向移動；軸構(gòu)件22，其與設(shè)置在該可動臺上的支柱20同軸地被該支柱20支承，該軸構(gòu)件22繞軸線進(jìn)行旋轉(zhuǎn)動作，而且沿上述軸線相對于支柱20進(jìn)行伸縮動作。如以往公知的那樣，在能夠進(jìn)行該旋轉(zhuǎn)動作及伸縮動作的軸構(gòu)件22上固定有用于載置被檢查體12的叉狀的機(jī)器人手臂24。
[0040]當(dāng)輸送機(jī)器人14例如從未圖示的盒中將收容在該盒內(nèi)的顯示板、即被檢查體12接收到機(jī)器人手臂24上時，為了在使軸構(gòu)件22伸長了的狀態(tài)下使機(jī)器人手臂24朝向吸附臺10上移動，使可動臺18工作。然后，使軸構(gòu)件22進(jìn)行收縮動作，當(dāng)將被檢查體12轉(zhuǎn)移到吸附臺10時，在軸構(gòu)件22的該收縮狀態(tài)下使可動臺18工作，以便使機(jī)器人手臂24離開吸附臺10。
[0041]另外，當(dāng)對吸附臺10上的被檢查體12的電氣性檢查或視覺檢查結(jié)束時，輸送機(jī)器人14使可動臺18工作而向吸附臺10移動，以便在軸構(gòu)件22收縮的狀態(tài)下將機(jī)器人手臂24插入到吸附臺10上的被檢查體12之下。然后，當(dāng)通過使軸構(gòu)件22進(jìn)行伸長動作而將吸附臺10上的被檢查體12轉(zhuǎn)移到機(jī)器人手臂24上時，輸送機(jī)器人14使可動臺18工作，以便在該伸長狀態(tài)下使機(jī)器人手臂24離開吸附臺10。利用該輸送機(jī)器人14的動作，將被檢查體12自吸附臺10經(jīng)由輸送機(jī)器人14轉(zhuǎn)移到上述盒內(nèi)。
[0042]在與輸送機(jī)器人14之間交接被檢查體12的吸附臺10具有支承臺26，該支承臺26具有吸附面26a。在圖1所示的例子中，吸附臺10的支承臺26載置在以往公知的XYZ Θ臺28上。因而，支承臺26與以往同樣地能夠繞作為鉛垂軸線的Z軸旋轉(zhuǎn)，而且能夠在與Z軸成直角的XY面上分別沿X軸和Y軸移動。
[0043]吸附臺10利用其支承臺26的吸附面26a保持來自輸送機(jī)器人14的被檢查體12。在圖1和圖2所示的例子中，該吸附面26a在XY面上具有矩形形狀，該矩形形狀具有長邊和短邊。另外，如圖2中清楚地所示，在吸附面26a上形成有多條以往公知的細(xì)槽30a，上述細(xì)槽30a沿吸附面26a的長邊延伸，且兩端在支承臺26的兩側(cè)敞開，另外，在吸附面26a上形成有描畫出矩形的負(fù)壓槽30b。
[0044]如以往公知的那樣，在將被檢查體12保持于吸附面26a時，自負(fù)壓源(未圖示)將用于吸附該被檢查體的負(fù)壓導(dǎo)入到負(fù)壓槽30b。細(xì)槽30a是用于防止帶電的槽。在使被檢查體12離開吸附面26a時，如以往公知的那樣，細(xì)槽30a將空氣引導(dǎo)到被檢查體12與吸附面26a之間，從而減弱在被檢查體12與吸附面26a這兩者之間產(chǎn)生的空氣流，由此抑制因該空氣流而導(dǎo)入到被檢查體12的靜電的產(chǎn)生。
[0045]此外，如圖2所示，在吸附面26a上形成有沿該吸附面26a的長邊呈直線狀延伸的多個凹部32。如圖3中清楚所示，各凹部32到達(dá)支承臺26的兩側(cè)，且在該兩側(cè)敞開。另夕卜，以與各凹部32相對應(yīng)地設(shè)置有沿吸附面26a的長邊方向橫穿該吸附面26a的升降條34。凹部32具有用于將所對應(yīng)的升降條34收容起來的充分的寬度尺寸，而且具有使收容后的升降條34的上表面與吸附面26a平齊的深度尺寸。
[0046]如圖2和圖3所示，在支承臺26的兩側(cè)分別配置有升降條34的支承機(jī)構(gòu)36和升降裝置38。如圖2和圖3所示，支承機(jī)構(gòu)36包括:梁構(gòu)件40，其在支承臺26的側(cè)部沿該支承臺大致水平配置；多個引導(dǎo)裝置42 (參照圖3)，它們沿Z軸在鉛垂方向上引導(dǎo)該梁構(gòu)件。
[0047]如圖4中清楚地所示，各引導(dǎo)裝置42包括:安裝板44，其以自支承臺26向下方延伸的方式固定于該支承臺；導(dǎo)軌46，其安裝于該安裝板，且沿鉛垂方向延伸；滑動構(gòu)件48，其固定于梁構(gòu)件40，被導(dǎo)軌46沿鉛垂方向引導(dǎo)。在導(dǎo)軌46的兩端設(shè)置有用于與滑動構(gòu)件48抵接而限制滑動構(gòu)件48的移動范圍的止擋部46a、46a。
[0048]因而，將配置在支承臺26的兩側(cè)的一對梁構(gòu)件40以能夠借助各引導(dǎo)裝置42而在支承臺26的兩側(cè)在兩個止擋部46a、46a間沿鉛垂方向移動的方式保持于支承臺26。
[0049]為了使一對梁構(gòu)件40在兩個止擋部46a、46a間升降，在支承臺26的兩側(cè)設(shè)置有升降裝置38。在圖3和圖5所示的例子中，升降裝置38由流體缸裝置38構(gòu)成，該流體壓缸裝置38包括借助安裝板50固定于支承臺26的缸主體38a、和自該缸主體突出的活塞桿38b。利用空氣壓或液壓使缸裝置38工作。沿鉛垂方向配置缸裝置38的軸線，活塞桿38b的頂端固定于結(jié)合構(gòu)件52，該結(jié)合構(gòu)件52固定于梁構(gòu)件40。
[0050]因而，通過使配置在支承臺26的兩側(cè)的一對流體缸裝置38同步工作，能夠使沿支承臺26配置的一對梁構(gòu)件40在該支承臺的兩側(cè)同步升降。
[0051]此外，如圖3所示，上述支承機(jī)構(gòu)36還具有使各升降條34與所對應(yīng)的梁構(gòu)件40相結(jié)合的支柱54。如圖6和圖7所示，在各支柱54的上端部設(shè)置有沖擊緩和機(jī)構(gòu)56，各升降條34的端部借助各沖擊緩和機(jī)構(gòu)56與所對應(yīng)的支柱54的上端部彈性結(jié)合。
[0052]各沖擊緩和機(jī)構(gòu)56包括:凹部58，其開設(shè)在支柱54的上端而以具有游隙的方式接收所對應(yīng)的升降條34的端部；槽60，其形成為橫穿升降條34，且大致沿水平方向貫穿該升降條34的端部；導(dǎo)向銷62，其貫穿在該槽內(nèi)，該導(dǎo)向銷62的兩端支承于凹部58的鉛垂壁58a ;以及壓縮螺旋彈簧64，其配置在升降條34的端部與凹部58的底壁58b之間。
[0053]壓縮螺旋彈簧64的下端由設(shè)于凹部58的底壁58b的孔66接收，壓縮螺旋彈簧64的上端與帶切槽的定位螺釘構(gòu)件68抵接。定位螺釘構(gòu)件68在升降條34的端部自該升降條的上方與升降條34螺紋配合，使定位螺釘構(gòu)件68的下端自升降條34的下表面突出。壓縮螺旋彈簧64通過與該帶切槽的定位螺釘構(gòu)件68的下端抵接，被定位在升降條34與底壁58b之間。另外，槽60沿上下(Z軸)方向延伸，以便容許升降條34隨著壓縮螺旋彈簧64的壓縮變形而發(fā)生的沿上下方向的移動。因而，在壓縮螺旋彈簧64的彈簧力的作用下，升降條34的各端部對于重力方向作用的外力呈現(xiàn)彈性地支承于支柱54。
[0054]利用槽60與由該槽接收的導(dǎo)向銷62間的干涉來限制升降條34與凹部58的底壁58b之間的距離，所以能夠通過自定位螺釘構(gòu)件68的上端對定位螺釘構(gòu)件68進(jìn)行旋轉(zhuǎn)操作而壓縮壓縮螺旋彈簧64，由此能夠調(diào)整壓縮螺旋彈簧64的彈簧力。結(jié)果，定位螺釘構(gòu)件68作為對壓縮螺旋彈簧64的壓縮量進(jìn)行調(diào)整的調(diào)整螺釘而發(fā)揮功能。
[0055]另外，如圖6所示，在各升降條34的端部形成有肩部34b，當(dāng)將被檢查體12載置在升降條34的上表面34a上時，該肩部34b與該被檢查體的緣抵接而防止被檢查體12超出升降條34的端部。此外，在升降條34的上表面34a的接近肩部34b的區(qū)域形成有凹狀的退讓槽70，該退讓槽70用于防止因被檢查體12在升降條34上傾斜而使被檢查體12的緣部與升降條34的上表面34a抵接的情況。
[0056]各支柱54借助于設(shè)置在其下部的高度調(diào)整機(jī)構(gòu)72而支承于所對應(yīng)的梁構(gòu)件40。如圖6和圖8所示，各高度調(diào)整機(jī)構(gòu)72包括:錨固構(gòu)件76，其利用固定螺釘74固定于各支柱54的下部；固定連接用具78，其用于以能夠解除結(jié)合的方式將該支承臺與所對應(yīng)的梁構(gòu)件40結(jié)合；帶切槽的定位螺釘80，其用于在松開了固定連接用具78的狀態(tài)下調(diào)整錨固構(gòu)件76相對于梁構(gòu)件40的高度位置。
[0057]在錨固構(gòu)件76上形成有一對槽82，這一對槽82朝向梁構(gòu)件40貫穿錨固構(gòu)件76，以便容許固定連接用具78貫穿。如圖6中清楚地所示，槽82在錨固構(gòu)件76中沿上下方向延伸，以便沿上下方向以具有游隙的方式接收所對應(yīng)的固定連接用具78。貫穿在各槽82中的固定連接用具78由頂端與形成于梁構(gòu)件40的螺紋孔84螺紋配合的螺栓構(gòu)件構(gòu)成。因而，在松開了螺栓構(gòu)件78的狀態(tài)下，能夠在槽82的上下方向的長度尺寸的范圍內(nèi)調(diào)整錨固構(gòu)件76和下端被固定在該支承臺上的支柱54的高度位置。
[0058]為了易于調(diào)整該錨固構(gòu)件76的高度位置、即支柱54的高度位置，定位螺釘80以其上端能自固定于梁構(gòu)件40的螺紋座86的螺紋孔86a突出的方式與螺紋孔86a螺紋配合。螺紋孔86a沿上下方向貫穿螺紋座86，定位螺釘80的自該螺紋孔突出的上端與錨固構(gòu)件76的底面抵接。
[0059]因而，如上所述，通過在松開了螺栓78的狀態(tài)下對定位螺釘80進(jìn)行旋轉(zhuǎn)操作，能夠利用該定位螺釘?shù)纳隙死珥斊疱^固構(gòu)件76，由此能夠在槽82的上述長度尺寸的范圍內(nèi)調(diào)整支柱54的高度位置。在利用該定位螺釘80調(diào)整了支柱54的高度位置后，利用螺栓78將錨固構(gòu)件76緊固于梁構(gòu)件40，從而結(jié)束各支柱54的高度調(diào)整作業(yè)。
[0060]通過調(diào)整該支柱54的高度位置，能夠?qū)Χ瞬恐С杏诟髦е?4的升降條34的傾斜、高度位置的偏差進(jìn)行修正，從而能使升降條34的上表面34a與平行于支承臺26的吸附面26a的假想平面齊平。
[0061]能夠?qū)⑸鲜龅腻^固構(gòu)件76與支柱54形成為一體。另外，能夠不需要高度調(diào)整機(jī)構(gòu)72。
[0062]一對流體缸裝置38 (參照圖5)同步工作，以便使所有的升降條34在上升位置與下降位置之間同步工作，如圖9的(a)所示，在升降條34位于上升位置時，所有的升降條34自支承臺26的吸附面26a的凹部32突出而位于吸附面26a的上方，如圖9的(b)所示，在升降條34位于下降位置時，升降條34被收容在凹部32內(nèi)而使升降條34的上表面34a處于吸附面26a以下。
[0063]在圖9的(a)所示的上升位置，如上所述，輸送機(jī)器人14的機(jī)器人手臂24上的被檢查體12被轉(zhuǎn)移到升降條34上。此時，伴隨著由輸送機(jī)器人14的軸構(gòu)件22的收縮動作引起的機(jī)器人手臂24的下降動作，與被檢查體12的重量相對應(yīng)的沖擊作用于升降條34。但是，當(dāng)被檢查體12被轉(zhuǎn)移到升降條34上時，由于設(shè)置在各升降條34與支柱54之間的沖擊緩和機(jī)構(gòu)56的彈性支承作用，被檢查體12不會受到?jīng)_擊。
[0064]另外，由于設(shè)有沖擊緩和機(jī)構(gòu)56，所以不必像以往那樣使上述的機(jī)器人手臂24的下降動作減速，就能防止作用于被檢查體12的沖擊，所以不必使機(jī)器人手臂24進(jìn)行緩慢的動作，能夠謀求縮短生產(chǎn)節(jié)拍時間。
[0065]如上所述，通過沖擊緩和機(jī)構(gòu)56與所處理的被檢查體12的重量的增減相應(yīng)地進(jìn)行定位螺釘構(gòu)件68的旋轉(zhuǎn)操作，無論被檢查體12的重量如何增減，沖擊緩和機(jī)構(gòu)56也能將壓縮螺旋彈簧64的因被檢查體12的重量導(dǎo)致的變形量保持得大致恒定。因而，通過與被檢查體12的重量相應(yīng)地進(jìn)行定位螺釘構(gòu)件68的旋轉(zhuǎn)操作，能夠利用沖擊緩和機(jī)構(gòu)56有效地吸收沖擊。
[0066]當(dāng)被檢查體12自機(jī)器人手臂24轉(zhuǎn)移到各升降條34時，即使該被檢查體沿升降條34的長度方向發(fā)生傾斜，由于在各升降條34的兩端部以接近肩部34b的方式形成有退讓槽70，所以被檢查體12的向下方傾斜的緣也不會與升降條34的上表面34a抵接。由此，被檢查體12不會受到因其與升降條34抵接而造成的損傷就轉(zhuǎn)移到該升降條上，利用升降條34的肩部34b能夠可靠地防止被轉(zhuǎn)移到升降條34上的被檢查體12自升降條34脫落。
[0067]在被檢查體12被移動到升降條34上且機(jī)器人手臂24自支承臺26上后退后，一對流體缸構(gòu)件38同步地進(jìn)行收縮動作，由此，將升降條34保持在圖9的(b)所示的下降位置。
[0068]在升降條34移動到下降位置后，如上所述，利用作用于負(fù)壓槽30b的負(fù)壓將被檢查體12可靠地保持在支承臺26上，并對被檢查體12進(jìn)行規(guī)定的檢查。
[0069]在完成被檢查體12的上述檢查后，通過一對流體缸構(gòu)件38進(jìn)行動作來使升降條34朝向圖9的(a)所示的上升位置移動。在支承臺26上的被檢查體12隨著該流體缸構(gòu)件38而欲借助升降條34自支承臺26的吸附面26a浮起時，由于細(xì)槽30a如上述那樣發(fā)揮空氣引導(dǎo)作用，從而能夠防止在被檢查體12上產(chǎn)生靜電。
[0070]通過在將輸送機(jī)器人14的機(jī)器人手臂24插入到升降條34之間的狀態(tài)下使軸構(gòu)件22進(jìn)行伸長動作，將位于上升位置的升降條34上的檢查完成后的被檢查體12轉(zhuǎn)移到機(jī)器人手臂24上，然后，利用輸送機(jī)器人14使該被檢查體12返回到上述盒中。
[0071]采用本發(fā)明的吸附臺10，能夠在支承臺26上形成用于收容升降條34的凹部32并利用設(shè)于支承臺26的側(cè)方的升降裝置38來使升降條34升降。因而，不會造成吸附臺10的結(jié)構(gòu)的復(fù)雜化而能夠較廉價地提供一種吸附臺10，該吸附臺10對于大型的顯示面板12也能夠不會使較強(qiáng)的應(yīng)力局部地作用于該顯示面板地處理該顯示面板。
[0072]以上示出了與吸附面26a的長邊平行地形成了凹部32的例子，但也能夠替代這種形成方法，而以凹部32與吸附面26a的長邊夾著角度地延伸的方式并列地形成多個凹部32。
[0073]另外，能夠使該凹部32的深度尺寸大于升降條34的高度尺寸而在升降條34的下降位置將該升降條的上表面設(shè)定在吸附面26a下。
[0074]對于升降裝置38，能夠替代上述的流體缸裝置，而適當(dāng)?shù)厥褂秒妱玉R達(dá)和齒輪齒條或者線性馬達(dá)等各種升降裝置。
[0075]如圖10所示，為了接收被支柱54支承的具有圓形橫截面的導(dǎo)向銷62，可以將設(shè)置在用于接收被檢查體12的升降條34的兩端部的槽60形成為沿升降條的長度(X軸)方向延伸的橫向細(xì)長的槽。在該情況下，沖擊緩和機(jī)構(gòu)56的壓縮螺旋彈簧64不發(fā)揮功能，所以未設(shè)置。橫向延伸的細(xì)長的槽60容許升降條34的傾斜，從而對設(shè)置在升降條34的兩端側(cè)的一對升降裝置38間的同步的偏差進(jìn)行補(bǔ)償。[0076]可以不將設(shè)置在升降條34的兩端部的一對槽60形成為沿橫向延伸的上述的橫向細(xì)長的槽，而替代為將一對槽60中的一個槽形成為上述的橫向細(xì)長的槽，且將另一個槽形成為具有能接收導(dǎo)向銷62的圓形橫截面的槽。由此，升降條34能夠傾斜，所以能補(bǔ)償一對升降裝置38間的同步的偏差。
[0077]如圖11所示，能夠使導(dǎo)向銷62的兩端突出到支柱54的外側(cè)。另外，能夠在升降條34的兩側(cè)的、各升降條34的比上述的沿長度方向延伸的槽60的位置靠升降條34內(nèi)側(cè)的位置設(shè)置與附近的導(dǎo)向銷62平行的卡定銷88，并在升降條34的兩側(cè)配置在所對應(yīng)的導(dǎo)向銷62與卡定銷88之間施加拉伸力的一對彈簧構(gòu)件90。在圖11所示的例子中，各彈簧構(gòu)件90由拉伸螺旋彈簧構(gòu)成。
[0078]兩端卡定于所對應(yīng)的導(dǎo)向銷62和卡定銷88的一對拉伸螺旋彈簧90對升降條34施加朝向升降條的長度方向外側(cè)的張力。利用該張力抑制升降條34的撓曲變形。因而，在為了實(shí)現(xiàn)輕型化而利用剛性比較低的鋁的扁方棒形成升降條34的情況下，能夠利用拉伸螺旋彈簧90的張力抑制升降條34的撓曲，能夠有效地防止被檢查體在該升降條上撓曲。在利用高剛性的CFRP材料形成升降條34的情況下，能夠不需要拉伸螺旋彈簧90。
[0079]而且,在圖10和圖11中表不將導(dǎo)向銷62設(shè)置于支柱54、且將接收導(dǎo)向銷62的橫向細(xì)長的槽60設(shè)置于升降條34的例子，但也能夠替代此結(jié)構(gòu)而將導(dǎo)向銷62設(shè)置于升降條34并且將橫向細(xì)長的槽60設(shè)置于支柱54。
[0080]產(chǎn)業(yè)h的可利用件
[0081]本發(fā)明不限定于上述實(shí)施例，能夠在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)進(jìn)行各種變更。
[0082]附圖標(biāo)記說明
[0083]10、吸附臺；12、被檢查體(顯示面板)；26、支承臺；26a、吸附面；32、凹部；34、升降條；36、支承機(jī)構(gòu)；38、升降裝置；40、梁構(gòu)件；54、支柱；56、沖擊緩和機(jī)構(gòu)；58、支柱的凹部；58b、凹部的底壁；60、槽；62、導(dǎo)向銷；64、壓縮螺旋彈簧；68、定位螺釘構(gòu)件(調(diào)整螺釘)；70、退讓槽；72、高度調(diào)整機(jī)構(gòu)；88、卡定銷；90、彈簧構(gòu)件(拉伸螺旋彈簧)。
【權(quán)利要求】
1.一種吸附臺，其用于保持顯示面板，其中， 該吸附臺包括: 支承臺，其具有開設(shè)有負(fù)壓開口的吸附面； 多個升降條，其以橫穿上述吸附面的方式配置； 多個凹部，該多個凹部彼此并行地設(shè)置在上述吸附面上，以便將上述升降條收容在上述支承臺內(nèi)而使上述升降條不會自上述吸附面突出； 支承機(jī)構(gòu)，其在上述支承臺的側(cè)部中的、上述多個凹部敞開的部位以能夠使上述升降條升降的方式支承上述升降條； 升降裝置，其與上述支承機(jī)構(gòu)相關(guān)聯(lián)地設(shè)置，以便使上述升降條在自上述凹部突出的上升位置與收容在上述凹部中的下降位置之間升降， 上述支承機(jī)構(gòu)包括: 一對支柱，其用于在上述升降條的兩端部支承該升降條； 導(dǎo)向銷，其支承于該支柱和上述升降條中的任意一方； 槽，其設(shè)于上述支柱和上述升降條中的另一方，用于容許該導(dǎo)向銷貫穿。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的吸附臺，其中， 分別設(shè)于上述一對支柱或上述升降條的兩端部的一對槽中的至少一個槽是沿上述升降條的長度方向延伸的細(xì)長的槽。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的吸附臺，其中， 上述槽設(shè)于上述升降條，該槽沿該升降條的厚度方向貫穿該升降條，且沿該升降條的長度方向延伸。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的吸附臺，其中， 在上述支承機(jī)構(gòu)上與上述導(dǎo)向銷相關(guān)聯(lián)地設(shè)置有彈簧構(gòu)件，該彈簧構(gòu)件用于對所對應(yīng)的上述升降條施加朝向該升降條的長度方向外側(cè)的張力。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的吸附臺，其中， 在上述升降條上，在位于比該升降條的設(shè)有上述槽的位置靠內(nèi)側(cè)的位置的端部附近設(shè)置有與上述導(dǎo)向銷平行的相對應(yīng)的卡定銷，上述彈簧構(gòu)件由拉伸螺旋彈簧構(gòu)成，該拉伸螺旋彈簧的兩端卡定于上述導(dǎo)向銷和與該導(dǎo)向銷對應(yīng)的上述卡定銷。
【文檔編號】H01L21/683GK103681436SQ201310395196
【公開日】2014年3月26日 申請日期:2013年9月3日 優(yōu)先權(quán)日:2012年9月4日
【發(fā)明者】白戶順, 工藤隆善 申請人:日本麥可羅尼克斯股份有限公司