技術(shù)特征：
1.一種加熱塊，用于襯底處理設(shè)備，所述加熱塊在其一側(cè)上具有加熱燈以將熱傳遞到經(jīng)受熱處理的目標(biāo)，其中所述加熱燈在所述一側(cè)上在多個區(qū)域中具有不同布置式樣，其中所述多個區(qū)域劃分成中央?yún)^(qū)域和外圍區(qū)域，所述中央?yún)^(qū)域在所述加熱塊的所述一側(cè)的最內(nèi)部部分處，而所述外圍區(qū)域在所述中央?yún)^(qū)域外部，且其中所述加熱燈包括圓形加熱燈和T狀加熱燈，所述圓形加熱燈設(shè)置在所述中央?yún)^(qū)域上，而所述T狀加熱燈設(shè)置在所述外圍區(qū)域上，其中所述加熱燈在所述多個區(qū)域中的最內(nèi)部部分處的所述中央?yún)^(qū)域中具有蜂窩狀布置，其中所述外圍區(qū)域是沿著相對于中心點的距離而劃分為多個區(qū)域，其中在所劃分的所述區(qū)域中，設(shè)置在所述外圍區(qū)域上的所述加熱燈具有同心布置、棋盤狀布置和線性布置中的至少兩種布置的組合布置。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加熱塊，其中所述中央?yún)^(qū)域的邊界安置在所述一側(cè)的最外部邊界的一半以內(nèi)的點處。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加熱塊，其中安置在所述中央?yún)^(qū)域中的所述加熱燈的數(shù)目小于或等于安置在所述外圍區(qū)域中的所述加熱燈的數(shù)目，從而在所述中央?yún)^(qū)域中產(chǎn)生密集布置。4.一種襯底處理設(shè)備，包括：處理室，具有對襯底進(jìn)行熱處理的空間；加熱塊，具有產(chǎn)生熱能的加熱燈，其中所述加熱燈在所述加熱塊的一側(cè)上在多個區(qū)域中具有不同布置式樣；以及石英窗口，維持所述處理室與加熱外殼之間的密封，且使所述加熱外殼所反射的熱能穿過，以使所述熱能傳遞到所述襯底，其中所述多個區(qū)域劃分成中央?yún)^(qū)域和外圍區(qū)域，所述中央?yún)^(qū)域在所述加熱塊的所述一側(cè)的最內(nèi)部部分處，而所述外圍區(qū)域在所述中央?yún)^(qū)域外部，且其中所述加熱燈包括圓形加熱燈和T狀加熱燈，所述圓形加熱燈設(shè)置在所述中央?yún)^(qū)域上，而所述T狀加熱燈設(shè)置在所述外圍區(qū)域上，其中所述加熱燈在所述多個區(qū)域中的最內(nèi)部部分處的所述中央?yún)^(qū) 域中具有蜂窩狀布置，其中所述外圍區(qū)域是沿著相對于中心點的距離而劃分為多個區(qū)域，其中在所劃分的所述區(qū)域中，設(shè)置在所述外圍區(qū)域上的所述加熱燈具有同心布置、棋盤狀布置和線性布置中的至少兩種布置的組合布置。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的襯底處理設(shè)備，其中所述中央?yún)^(qū)域的邊界安置在所述一側(cè)的最外部邊界的一半以內(nèi)的點處。