柔性顯示裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)柔性顯示裝置的制造方法。公開(kāi)的柔性顯示裝置的制造方法包括如下步驟：準(zhǔn)備柔性基板形成于載體基板的基板組裝體；將準(zhǔn)備的多個(gè)基板組裝體分為多層裝載至加熱爐內(nèi)；對(duì)于在加熱爐內(nèi)層疊為所述多層的各個(gè)基板組裝體，沿水平方向噴吹熱風(fēng)而進(jìn)行熱處理；在經(jīng)熱處理的基板組裝體的柔性基板上形成顯示單元；分離柔性基板和載體基板。根據(jù)這種制造方式，在分離載體基板和柔性基板之后也能夠抑制柔性基板發(fā)生彎曲的現(xiàn)象，因此可以使后續(xù)工序順暢地進(jìn)行，據(jù)此可提高生產(chǎn)率，還可以降低在處理過(guò)程中可能發(fā)生的產(chǎn)品被損傷的危險(xiǎn)。
【專利說(shuō)明】柔性顯示裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及柔性顯示裝置的制造方法，尤其涉及能夠防止基板的彎曲變形的柔性顯示裝置的制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]如同有機(jī)發(fā)光顯示裝置的顯示裝置在驅(qū)動(dòng)特性上能夠?qū)崿F(xiàn)薄型化以及柔性化，因此對(duì)這種顯示裝置進(jìn)行著諸多研究。
[0003]最近，顯示單元形成于柔軟的柔性基板上的柔性顯示裝置逐漸受到關(guān)注。
[0004]在制造這種柔性顯示裝置時(shí)，通常通過(guò)如下方式進(jìn)行制造：在堅(jiān)硬的載體基板上涂布諸如聚酰亞胺的柔性材料而形成柔性基板，并在該柔性基板上形成顯示單元之后，最后分離載體基板和柔性基板。
[0005]然而，如此地分離出載體基板和柔性基板時(shí)，薄的柔性基板受到壓縮應(yīng)力而不能平坦地舒展，因此導(dǎo)致頻繁地發(fā)生柔性基板彎曲的情況。這樣一來(lái)，在后續(xù)工序中將會(huì)難以取放產(chǎn)品，因此要求提供對(duì)此的解決方案。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的實(shí)施例提供一種被改善為分離載體基板和柔性基板之后也能夠抑制柔性基板發(fā)生彎曲的現(xiàn)象的柔性顯示裝置的制造方法。
[0007]本發(fā)明的實(shí)施例提供的柔性顯示裝置的制造方法包括如下步驟：準(zhǔn)備柔性基板形成于載體基板的基板組裝體；將準(zhǔn)備的多個(gè)所述基板組裝體分為多層裝載至加熱爐內(nèi)；對(duì)于在所述加熱爐內(nèi)層疊為所述多層的各個(gè)基板組裝體，沿水平方向噴吹熱風(fēng)而進(jìn)行熱處理；在經(jīng)熱處理的所述基板組裝體的所述柔性基板上形成顯示單元；分離所述柔性基板和所述載體基板。
[0008]在進(jìn)行所述熱處理的步驟中，所述熱風(fēng)可沿著層疊于各層的所述基板組裝體的柔性基板的板面形成層流而經(jīng)過(guò)。
[0009]在進(jìn)行所述熱處理的步驟中，可分階段地提高所述熱風(fēng)的溫度。
[0010]所述熱風(fēng)的溫度可按照小于150°C的第一階段和150°C以上且小于300°C的第二階段以及300°C以上的第三階段來(lái)分階段地上升。
[0011]所述柔性基板可包括聚酰亞胺材料，所述載體基板可包括玻璃材料。
[0012]還可包括在分離柔性基板和載體基板之后，對(duì)所述柔性基板進(jìn)行再加熱的后處理步驟。
[0013]所述后處理步驟可包括將熱源直接接觸到所述柔性基板的直接加熱步驟和將所述柔性基板在高溫氛圍下放置預(yù)定時(shí)間的間接加熱步驟中的任意一個(gè)。
[0014]在所述直接加熱步驟中，可以將柔性基板放置到被加熱至50?150°C的熱板上且放置I?10分鐘。
[0015]在所述間接加熱步驟中，可以將所述柔性基板放置于溫度維持在50?150°C的烤箱內(nèi)且放置I?5分鐘。
[0016]在分離出所述載體基板和所述柔性基板之后確認(rèn)到所述柔性基板的彎曲時(shí)，選擇進(jìn)行所述后處理步驟。
[0017]如上所述，根據(jù)本發(fā)明的柔性顯示裝置的制造方法，在分離載體基板和柔性基板之后也能夠抑制柔性基板發(fā)生彎曲的現(xiàn)象，因此可以使后續(xù)工序順暢地進(jìn)行，據(jù)此可提高生產(chǎn)率，還可以降低在處理過(guò)程中可能發(fā)生的產(chǎn)品被損傷的危險(xiǎn)。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0018]圖I為示出利用本發(fā)明的實(shí)施例提供的制造方法制造的柔性顯示裝置的剖面圖。
[0019]圖2a至圖2g為示出圖I所示的柔性顯示裝置的制造過(guò)程的圖。
【具體實(shí)施方式】
[0020]以下，參照附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。
[0021]圖I示出利用本發(fā)明的一實(shí)施例提供的制造方法制造的柔性顯示裝置。
[0022]如圖所示，本實(shí)施例的柔性顯示裝置由依次層疊有聚酰亞胺材料的柔性基板11和呈現(xiàn)圖像的顯示單元20以及密封所述顯示單元20的包封基板30的結(jié)構(gòu)構(gòu)成。即，實(shí)現(xiàn)了使用極薄的聚酰亞胺材料的柔性基板11和由薄膜構(gòu)成的包封基板30來(lái)代替以往的又厚又硬的玻璃基板而密封顯示單元20的柔性結(jié)構(gòu)。
[0023]因此，與用厚的玻璃基板來(lái)上下包圍顯示單元20的以往的典型的結(jié)構(gòu)相比，柔軟性得到了極大的提高，而且在屏幕被彎曲的狀態(tài)下也能夠進(jìn)行顯示。
[0024]但是，這種柔性基板11由于其柔軟的特性，不容易操控，因此在制造過(guò)程中與玻璃材料的堅(jiān)硬的載體基板12形成基板組裝體10而一同被移送，最終形成至包封基板30之后才使其相互分離。
[0025]所述顯示單元20為包括薄膜晶體管(未圖示）和發(fā)光層(未圖示）等而呈現(xiàn)圖像的單元，在此簡(jiǎn)單地表示為顯示單元20。
[0026]而且，所述包封基板30為具有防止水分從外部滲透的防水性的層，例如可以由Sio/SiN的多層膜和透明聚酰亞胺層疊的薄膜層構(gòu)成，而且由于是薄膜層，因此其厚度不過(guò)才I?10 μ m。
[0027]如上所述的結(jié)構(gòu)的柔性顯示裝置可通過(guò)如下工藝制造。
[0028]首先，準(zhǔn)備玻璃材料的玻璃基板12，并在其上表面涂布聚酰亞胺，以形成柔性基板
11。這樣一來(lái)，如圖2a所示，形成柔性基板11粘貼于載體基板12之上的基板組裝體10。
[0029]然后，將如此地形成的多個(gè)基板組裝體10在如圖2b所示的加熱爐100內(nèi)層疊為多個(gè)層。在該加熱爐100內(nèi)，被熱風(fēng)機(jī)110加熱的熱風(fēng)H形成循環(huán)。即，從熱風(fēng)機(jī)110排出的熱風(fēng)H—邊通過(guò)熱風(fēng)噴射管120和熱風(fēng)流入管130噴射而流入，一邊循環(huán)，此時(shí)，熱風(fēng)H在層疊于各個(gè)層的基板組裝體10的平面上形成層流的同時(shí)流過(guò)該平面。因此，位于各個(gè)層的單個(gè)基板組裝體10的各個(gè)部位也可以形成均勻的熱處理，且各個(gè)層可以進(jìn)行均勻的熱處理。如果不是形成這種層流，而是變成形成對(duì)流的狀態(tài)，則單個(gè)基板組裝體10的各個(gè)部位也有可能無(wú)法較好地形成均勻的熱處理，而且每個(gè)層被加熱的程度會(huì)發(fā)生較大的偏差。但是，如同本方式那樣，對(duì)位于各層的每個(gè)基板組裝體10使熱風(fēng)H形成層流而加熱時(shí)，如上所述，在單個(gè)基板組裝體10上各個(gè)部位也能夠形成均勻的熱處理，且各個(gè)層也能夠進(jìn)行均勻的熱處理。如此地在加熱爐100內(nèi)執(zhí)行熱處理時(shí)，各個(gè)基板組裝體10的柔性基盤11的熱膨脹系數(shù)也會(huì)在各個(gè)部位上變得均勻，且位于各層的若干柔性基板之間的熱膨脹系數(shù)的偏差也會(huì)被縮小。據(jù)此，通過(guò)均勻的熱處理，使得內(nèi)部應(yīng)力減小，于是最后分離出載體基板12之后，柔性基板11被彎曲的現(xiàn)象也會(huì)減少，而且，使得整體上所有的基板組裝體10的柔性基板11具備幾乎近似的熱膨脹系數(shù)，因此也將有利于設(shè)定分離作業(yè)的條件，以避免最后容易發(fā)生彎曲。
[0030]此時(shí)，如果突然噴射非常高的溫度的熱風(fēng)，則聚酰亞胺材料的柔性基板11有可能產(chǎn)生氣泡，因此優(yōu)選為分階段地提高熱風(fēng)的溫度。例如優(yōu)選為以如下方式調(diào)節(jié)熱風(fēng)溫度:首先噴吹溫度小于150°c的熱風(fēng)，以使涂布聚酰亞胺時(shí)被包含進(jìn)去的溶媒蒸發(fā)(第一階段加熱)，然后噴吹溫度為150°C以上且小于300°C的熱風(fēng)，使聚酰亞胺完全干燥(第二階段加熱)，最后噴吹溫度為300°C以上的熱風(fēng)，使聚酰亞胺形成熱穩(wěn)定，且具備均勻的熱膨脹系數(shù)(第三階段加熱)。其中，優(yōu)選地，第一階段加熱(小于150°C)執(zhí)行100?150分鐘，第二階段加熱(1500C以上且小于300°C )執(zhí)行100?150分鐘，第三階段加熱(300°C以上)執(zhí)行90?120分鐘，但本發(fā)明并不局限于此。
[0031]如此地完成熱處理之后，如圖2c所示，在柔性基板11上形成顯示單元20。
[0032]然后，如圖2d所示，繼續(xù)在顯示單元20上形成包封基板30而密封顯示單元20。
[0033]接著，如圖2e所示，分離載體基板12和柔性基板11，此時(shí)例如從載體基板12側(cè)向整個(gè)面照射紫外線激光時(shí)，在玻璃材料的載體基板12和聚酰亞胺材料的柔性基板11之間的臨界面將會(huì)根據(jù)兩個(gè)層之間的熱分解而發(fā)生分離。據(jù)此，如圖所示，載體基板12被分離，柔性基板11保留為基底基板。此時(shí)，柔性基板11變成為內(nèi)部應(yīng)力根據(jù)前述的熱處理而被消除的狀態(tài)，且變成各個(gè)部位以及各個(gè)單體的熱膨脹系數(shù)變得均勻的狀態(tài)，因此，將大幅減少分離出載體基板12之后柔性基板11因應(yīng)力而變彎曲的現(xiàn)象。而且，由于經(jīng)熱處理的所有的基板組裝體10的狀態(tài)變得均勻，因此也容易設(shè)定紫外線激光的照射條件，以使分離作業(yè)進(jìn)行得順暢。
[0034]但是，即便進(jìn)行過(guò)如此的熱風(fēng)熱處理，在分離出載體基板12之后也有可能發(fā)生輕微的彎曲。如果該彎曲的程度屬于在之后的工序中對(duì)于操控基板11并不會(huì)成為問(wèn)題的程度，則無(wú)關(guān)緊要，但是如果超過(guò)該程度，則進(jìn)行追加的后處理步驟。
[0035]所述后處理步驟可在將熱源直接接觸到柔性基板11的直接加熱步驟和將柔性基板11在高溫氛圍下放置預(yù)定時(shí)間的間接加熱步驟中選擇任意一個(gè)步驟而進(jìn)行。
[0036]所述直接加熱步驟為如圖2f所示地將柔性基板放置到被加熱的熱板200上進(jìn)行加熱以消除應(yīng)力的步驟，將熱板200加熱至約50?150°C之后將柔性基板11放置在該熱板上，且放置I?10分鐘。這樣，彎曲的柔性基板11的內(nèi)部應(yīng)力被消除的同時(shí)柔性基板11也能夠舒展為平坦的狀態(tài)。
[0037]所述間接加熱步驟為如圖2g所示地將柔性基板11放置于溫度維持在約50?150°C的烤箱300內(nèi)且放置I?5分鐘的步驟，同樣地，據(jù)此，彎曲的柔性基板11的內(nèi)部應(yīng)力被消除的同時(shí)柔性基板11也能夠舒展為平坦的狀態(tài)。
[0038]通過(guò)如此的制造方式，可以實(shí)現(xiàn)被柔軟的柔性基板11和包封基板30包圍的柔性
顯示裝置。[0039]并且，如上所示，通過(guò)利用了加熱爐100和熱板200以及烤箱300的熱處理而消除了柔性基板11的內(nèi)部應(yīng)力，從而可以解決在分離出載體基板12之后柔性基板11發(fā)生彎曲等問(wèn)題，據(jù)此使得在操控柔性基板11的過(guò)程中發(fā)生產(chǎn)品不良的可能性也大幅減少。
[0040]因此，如果利用以上說(shuō)明的制造方法，在分離載體基板和柔性基板之后，也可以抑制柔性基板發(fā)生彎曲的現(xiàn)象，因此可以使后續(xù)工序順暢地進(jìn)行。據(jù)此可提高生產(chǎn)率，還可以降低在操控過(guò)程中可能發(fā)生的產(chǎn)品被損傷的危險(xiǎn)。
[0041]本發(fā)明將附圖中圖示的一實(shí)施例作為參考進(jìn)行了說(shuō)明，但這僅僅是示例，對(duì)于本領(lǐng)域中具有通常的知識(shí)的技術(shù)人員而言，應(yīng)當(dāng)知道由此可以得出各種變形和等同的其他實(shí)施例。因此，本發(fā)明的真正的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)根據(jù)權(quán)利要求書來(lái)確定。
【權(quán)利要求】
1.一種柔性顯示裝置的制造方法，包括如下步驟: 準(zhǔn)備柔性基板形成于載體基板的基板組裝體； 將準(zhǔn)備的多個(gè)所述基板組裝體分為多層裝載至加熱爐內(nèi)； 對(duì)于在所述加熱爐內(nèi)層疊為所述多層的各個(gè)基板組裝體，沿水平方向噴吹熱風(fēng)而進(jìn)行熱處理； 在經(jīng)熱處理的所述基板組裝體的所述柔性基板上形成顯示單元； 分離所述柔性基板和所述載體基板。
2.如權(quán)利要求1所述的柔性顯示裝置的制造方法，其中，在進(jìn)行所述熱處理的步驟中，所述熱風(fēng)沿著層疊于各層的所述基板組裝體的柔性基板的板面形成層流而經(jīng)過(guò)。
3.如權(quán)利要求1所述的柔性顯示裝置的制造方法，其中，在進(jìn)行所述熱處理的步驟中，分階段地提高所述熱風(fēng)的溫度。
4.如權(quán)利要求3所述的柔性顯示裝置的制造方法，其中，所述熱風(fēng)的溫度按照小于150°C的第一階段和150°C以上且小于300°C的第二階段以及300°C以上的第三階段來(lái)分階段地上升。
5.如權(quán)利要求1所述的柔性顯示裝置的制造方法，其中，所述柔性基板包括聚酰亞胺材料，所述載體基板包括玻璃材料。
6.如權(quán)利要求1所述的柔性顯示裝置的制造方法，其中，還包括在分離柔性基板和載體基板之后，對(duì)所述柔性基板進(jìn)行再加熱的后處理步驟。
7.如權(quán)利要求6所述的柔性顯示裝置的制造方法，其中，所述后處理步驟包括將熱源直接接觸到所述柔性基板的直接加熱步驟和將所述柔性基板在高溫氛圍下放置預(yù)定時(shí)間的間接加熱步驟中的任意一個(gè)。
8.如權(quán)利要求7所述的柔性顯示裝置的制造方法，其中，在所述直接加熱步驟中，將柔性基板放置到被加熱至50?150°C的熱板上且放置I?10分鐘。
9.如權(quán)利要求7所述的柔性顯示裝置的制造方法，其中，在所述間接加熱步驟中，將所述柔性基板放置于溫度維持在50?150°C的烤箱內(nèi)且放置I?5分鐘。
10.如權(quán)利要求6所述的柔性顯示裝置的制造方法，其中，在分離出所述載體基板和所述柔性基板之后確認(rèn)到所述柔性基板的彎曲時(shí)，選擇進(jìn)行所述后處理步驟。
【文檔編號(hào)】H01L21/77GK103715136SQ201310143226
【公開(kāi)日】2014年4月9日 申請(qǐng)日期:2013年4月23日 優(yōu)先權(quán)日:2012年10月4日
【發(fā)明者】崔廷豪, 吳相憲, 康東旭 申請(qǐng)人:三星顯示有限公司