負(fù)壓無塵型對位機(jī)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】一種負(fù)壓無塵型對位機(jī)構(gòu)，包含有：一固定平臺、四XYθ裝置、一移動(dòng)平臺、一止漏體、一壓力偵測器以及一控制器，由此所述真空泵對容置空間進(jìn)行抽氣使所述XYθ裝置時(shí)產(chǎn)生的粉塵或油氣一并抽出，使容置空間保持清潔，且所述固定平臺與移動(dòng)平臺之間藉由圍體及止漏體封閉其容置空間更確保粉塵及油氣不會(huì)外泄，并且壓力偵測器隨時(shí)監(jiān)測容置空間的壓力值，是否達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)，若未達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)則自動(dòng)開啟真空泵進(jìn)行抽氣。
【專利說明】負(fù)壓無塵型對位機(jī)構(gòu)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明關(guān)于一種負(fù)壓無塵型對位機(jī)構(gòu)，特別是指對位機(jī)構(gòu)環(huán)設(shè)有一圍體及止漏體，并通過真空泵對其抽氣達(dá)到負(fù)壓真空狀態(tài)，由此，所述對位機(jī)構(gòu)在移動(dòng)時(shí)不會(huì)有粉塵產(chǎn)生污染無塵室，且保持負(fù)壓真空狀態(tài)下，使移動(dòng)平臺與XY Θ裝置保持良好的緊密性。
【背景技術(shù)】
[0002]無塵室被廣泛地應(yīng)用在對環(huán)境污染特別敏感的行業(yè)，例如半導(dǎo)體生產(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密機(jī)械、制藥、醫(yī)院等行業(yè)等，其特征在于以半導(dǎo)體業(yè)其對室內(nèi)的溫濕度、潔凈度要求尤其嚴(yán)格、故其必需控制在某一個(gè)需求范圍內(nèi)，才不會(huì)對制作過程產(chǎn)生影響。
[0003]而，于各種液晶面板制造、檢查設(shè)備、半導(dǎo)體制造、檢查設(shè)置、網(wǎng)印設(shè)備或印刷電路板制造、檢查設(shè)備中，必須使用對位平臺進(jìn)行對位移動(dòng)等程序；然而現(xiàn)有市售同性質(zhì)產(chǎn)品中，由于對位機(jī)構(gòu)其周緣皆為開放式設(shè)計(jì)，因此在驅(qū)動(dòng)裝置移動(dòng)時(shí)，會(huì)產(chǎn)生粉塵或油污，相當(dāng)不利于無塵室。雖然有人提出利用對位機(jī)構(gòu)以磁浮系統(tǒng)應(yīng)用方式來解決上述的問題，然而其控制作過程序繁雜,成本過高的問題。
[0004]換言之，如何使對位機(jī)構(gòu)在移動(dòng)時(shí)產(chǎn)生粉塵及油污不會(huì)外泄污染環(huán)境，以使用于無塵室中，是業(yè)界重要的討論課題。
[0005]本發(fā)明人鑒于上述現(xiàn)有對位機(jī)構(gòu)無法應(yīng)用于無塵室的各項(xiàng)缺點(diǎn)，于是亟思加以改良創(chuàng)新，并經(jīng)多年苦心孤詣潛心研究后，終于成功研發(fā)完成本件負(fù)壓無塵型對位機(jī)構(gòu)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的即在于提供一種負(fù)壓無塵型對位機(jī)構(gòu)，所述對位機(jī)構(gòu)的周緣環(huán)設(shè)有一圍體及一止漏體，以封閉所述固定平臺與移動(dòng)平臺所形成的容置空間，并且由真空泵對所述容置空間抽氣形成負(fù)壓真空狀態(tài)，避免粉塵或油污污染無塵室。
[0007]可達(dá)成上述發(fā)明目的的負(fù)壓無塵型對位機(jī)構(gòu)，包括有:
[0008]一固定平臺，其頂緣平面向上環(huán)設(shè)有一圍體于固定平臺周緣；
[0009]四ΧΥΘ裝置，設(shè)置于固定平臺四個(gè)象限角上，各所述XY Θ裝置受驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)；
[0010]一移動(dòng)平臺，共同設(shè)置于各象限角的各所述XY Θ裝置上，通過ΧΥΘ裝置能夠在X方向、Y方向以及Θ方向移動(dòng)；
[0011]一止漏體，設(shè)置于圍體與移動(dòng)平臺之間，封閉所述固定平臺與移動(dòng)平臺所形成的容置空間，且所述止漏體由能夠彈性回復(fù)的材料所構(gòu)成，當(dāng)受力解除后會(huì)自行回復(fù)原先造型；
[0012]一真空泵，設(shè)置于圍體外側(cè)，該真空泵的抽氣端接合于容置空間并對容置空間抽氣使容置空間呈負(fù)壓真空狀態(tài)，且所述真空泵受一控制器所控制；
[0013]一壓力偵測器，設(shè)置于圍體外側(cè)，該壓力偵測器具有一感測端接于容置空間內(nèi)用于感測容置空間內(nèi)的壓力上值及下值，并且將壓力值轉(zhuǎn)換成電信號傳輸?shù)皆摽刂破鳎?br> [0014]該控制器，用于操控所述ΧΥΘ裝置驅(qū)動(dòng)移動(dòng)平臺朝X方向、Y方向以及Θ方向移動(dòng)、提供設(shè)定壓力值使真空泵對容置空間進(jìn)行抽氣以及判定壓力偵測器測得的壓力值是否達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)，當(dāng)壓力到達(dá)設(shè)定上值則停止真空泵，若未達(dá)到設(shè)定下值則自動(dòng)開啟真空泵進(jìn)行抽氣。
[0015]所述的負(fù)壓無塵型對位機(jī)構(gòu)，其中，所述圍體與固定平臺之間的間隙選用有機(jī)硅塑料或填補(bǔ)劑。
[0016]所述的負(fù)壓無塵型對位機(jī)構(gòu)，其中，所述真空泵選用干式真空泵，使受真空泵抽氣的容置空間中不含油、水氣。
[0017]本發(fā)明的有益效果是:所述對位機(jī)構(gòu)的周緣環(huán)設(shè)有一圍體及一止漏體，以封閉所述固定平臺與移動(dòng)平臺所形成的容置空間，并且由真空泵對所述容置空間抽氣形成負(fù)壓真空狀態(tài)，避免粉塵或油污污染無塵室。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0018]圖1為本發(fā)明負(fù)壓無塵型對位機(jī)構(gòu)的立體視圖；
[0019]圖2為所述負(fù)壓無塵型對位機(jī)構(gòu)的側(cè)視圖；
[0020]圖3為所述負(fù)壓無塵型對位機(jī)構(gòu)的立體內(nèi)部視圖；
[0021]圖4為所述負(fù)壓無塵型對位機(jī)構(gòu)的頂視圖；
[0022]圖5為所述負(fù)壓無塵型對位機(jī)構(gòu)的移動(dòng)平臺順時(shí)針旋轉(zhuǎn)示意圖；
[0023]圖6為所述負(fù)壓無塵型對位機(jī)構(gòu)的移動(dòng)平臺逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)示意圖；
[0024]圖7為所述負(fù)壓無塵型對位機(jī)構(gòu)的移動(dòng)平臺X軸移動(dòng)示意圖；
[0025]圖8為所述負(fù)壓無塵型對位機(jī)構(gòu)的移動(dòng)平臺Y軸移動(dòng)示意圖；以及
[0026]圖9為所述負(fù)壓無塵型對位機(jī)構(gòu)的方塊圖。
[0027]附圖標(biāo)記說明:1-固定平臺；11-圍體；2-第一 XY Θ裝置；21-第一移動(dòng)單元；22-第一轉(zhuǎn)動(dòng)單元；23_第一驅(qū)動(dòng)裝置；3_第二 XY Θ裝置；31_第二移動(dòng)單元；32_第二轉(zhuǎn)動(dòng)單兀；33_第二驅(qū)動(dòng)裝置；4_第二 XY Θ裝置；41_第二移動(dòng)單兀；42_第二轉(zhuǎn)動(dòng)單兀；43_第三驅(qū)動(dòng)裝置；5-第四XY Θ裝置；51-第四移動(dòng)單元；52-第四轉(zhuǎn)動(dòng)單元；6-移動(dòng)平臺；61_止漏體；7_真空泵；71_抽氣端；8_壓力偵測器；
[0028]81-感測端；9-控制器。
【具體實(shí)施方式】
[0029]請參閱圖1至圖4，本發(fā)明所提供的負(fù)壓無塵型對位機(jī)構(gòu)，主要包括有:一固定平臺1、四ΧΥΘ裝置(2、3、4、5)、一移動(dòng)平臺6、一止漏體61、一真空泵7、一壓力偵測器8以及一控制器9所構(gòu)成。
[0030]所述固定平臺1，用以提供XY Θ裝置設(shè)置或固定，且由固定平臺I的頂緣平面向上環(huán)設(shè)有一圍體11于固定平臺I周緣；其特征在于，所述圍體11與固定平臺I之間的間隙可選用有機(jī)硅塑料(也稱硅利康，英文Silicone)或填補(bǔ)劑，以增加氣密度。
[0031]所述四XY Θ裝置，設(shè)置于固定平臺I四個(gè)象限角上，各所述XY Θ裝置并受驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)；進(jìn)一步說明所述XY Θ裝置的特點(diǎn)；所述第一 XY Θ裝置2及第三XY Θ裝置4具有第一、三移動(dòng)單元21、41及第一、三轉(zhuǎn)動(dòng)單元22、42，所述第一、三移動(dòng)單元21、41，設(shè)置于固定平臺I上，提供受第一、三驅(qū)動(dòng)裝置23、43驅(qū)動(dòng)后具有沿Y方向移動(dòng)、以及沿一與Y垂直的X移動(dòng)的裝置；所述第一、三轉(zhuǎn)動(dòng)單元22、42，設(shè)置于第一、三移動(dòng)單元21、41上，提供受驅(qū)動(dòng)后以一朝Θ方向的弧線相對滑動(dòng)；所述第二 XY Θ裝置3具有一第二移動(dòng)單元31及一第二轉(zhuǎn)動(dòng)單元32，所述第二移動(dòng)單元31，設(shè)置于固定平臺I上，提供受第二驅(qū)動(dòng)裝置33驅(qū)動(dòng)后具有沿X方向移動(dòng)、以及沿一與X垂直的Y移動(dòng)的裝置；所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)單元32，設(shè)置于第二移動(dòng)單元31上，為提供受驅(qū)動(dòng)后以一朝Θ方向的弧線相對滑動(dòng)；第四XY Θ裝置5位于第二 XY Θ裝置3的不相鄰的相對角處，具有一第四移動(dòng)單元51及一第四轉(zhuǎn)動(dòng)單元52，所述第四移動(dòng)單元51，設(shè)置于固定平臺I上，提供受驅(qū)動(dòng)后具有沿X方向移動(dòng)、以及沿一與X垂直的Y移動(dòng)的裝置；所述第四轉(zhuǎn)動(dòng)單元52，設(shè)置于第四移動(dòng)單元51上，為提供受驅(qū)動(dòng)后以一朝Θ方向的弧線相對滑動(dòng)。通過第一、二、三驅(qū)動(dòng)裝置23、33、43帶動(dòng)下，使測量平臺移動(dòng)到指定位置上。
[0032]所述移動(dòng)平臺6，共同設(shè)置于各象限角的各所述XY Θ裝置上，通過XY Θ裝置可在X方向、Y方向以及θ方向移動(dòng)。
[0033]所述止漏體61，設(shè)置于圍體11與移動(dòng)平臺6之間，進(jìn)而封閉所述固定平臺I與移動(dòng)平臺6所形成的容置空間，且所述止漏體61為一具彈性回復(fù)材料所構(gòu)成，當(dāng)受力解除后會(huì)自行回復(fù)原先造型；所述止漏體61材料可選用天然橡膠(NR)、苯乙烯丁二基橡膠(SBR)、氯磺化橡膠(CSM)、氯丁基橡膠(CR)、丁基橡膠(IIR)或耐油膠(NBR)等，如圖2所示，所述止漏體61的截面概成「亞」字型，當(dāng)對容置空間抽氣時(shí)止漏體61會(huì)偏向容置空間，而解除抽氣通過前述的材料特性，當(dāng)受力解除后會(huì)自行回復(fù)原先造型；再者，當(dāng)止漏體61使用久了難免會(huì)有磨損的情況，利用「亞」字型的截面設(shè)計(jì)，使主要磨損處為靠容置空間一側(cè)，而相對一側(cè)則持續(xù)提供止漏的功效。
[0034]所述真空泵7，設(shè)置于圍體11外側(cè)，其抽氣端71接合于容置空間并對容置空間抽氣使容置空間呈負(fù)壓真空狀態(tài)，且所述真空泵7受所述控制器9所控制；進(jìn)一步說明所述真空泵7的特點(diǎn)，為因應(yīng)高科技業(yè)界對環(huán)保及不受油氣污染制作過程的迫切需求，所述真空泵7選用干式真空泵7，使受真空泵7抽氣的容置空間中不含油、水氣，以得到干凈制作過程。
[0035]所述壓力偵測器8，設(shè)置于圍體11外側(cè)，其具有一感測端81接于容置空間內(nèi)用于感測容置空間內(nèi)的壓力上值及下值，并且將壓力值轉(zhuǎn)換成電信號傳輸?shù)娇刂破?。
[0036]所述控制器9，用于操控所述ΧΥΘ裝置驅(qū)動(dòng)移動(dòng)平臺6朝X方向、Y方向以及Θ方向移動(dòng)、提供設(shè)定壓力值使真空泵7對容置空間進(jìn)行抽氣以及判定壓力偵測器8測得的壓力值是否達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)，當(dāng)壓力到達(dá)設(shè)定上值則停止真空泵7，若未達(dá)到設(shè)定下值則自動(dòng)開啟真空泵7進(jìn)行抽氣。
[0037]是以，上述即為本發(fā)明所提供的一種負(fù)壓無塵型對位機(jī)構(gòu)的主要構(gòu)件及其組裝方式的介紹，接著再將其使用特點(diǎn)介紹如下:
[0038]首先，將欲檢查的元件放置于移動(dòng)平臺6上，并加以固定，并開啟控制器9，設(shè)定壓力值使真空泵7對容置空間進(jìn)行抽氣。
[0039]接著，如圖5當(dāng)欲使所述移動(dòng)平臺6沿順時(shí)針方向轉(zhuǎn)動(dòng)一預(yù)定角度時(shí)，則由所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)單元32的第二驅(qū)動(dòng)裝置33往X軸正向端運(yùn)動(dòng)，以帶動(dòng)所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)單元32的第二移動(dòng)單元31同時(shí)產(chǎn)生運(yùn)動(dòng)，如此一來所述移動(dòng)平臺6便會(huì)被帶動(dòng)而進(jìn)行順時(shí)針的轉(zhuǎn)動(dòng)，且所述第一 XY Θ裝置2、第三XY Θ裝置4及第四XY Θ裝置5亦同時(shí)沿著所述預(yù)定弧度的滑移，使由所述第二驅(qū)動(dòng)裝置33作為旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí)的單一驅(qū)動(dòng)源，而能不受干涉地進(jìn)行精確的驅(qū)動(dòng)。
[0040]再者，如圖6所示，當(dāng)欲使所述移動(dòng)平臺6沿逆時(shí)針方向轉(zhuǎn)動(dòng)一預(yù)定角度時(shí)，則由所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)單元32的第二驅(qū)動(dòng)裝置33往X軸負(fù)向端運(yùn)動(dòng)，以帶動(dòng)所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)單元32的第二移動(dòng)單元31同時(shí)產(chǎn)生運(yùn)動(dòng)，如此一來所述移動(dòng)平臺6便會(huì)被帶動(dòng)而進(jìn)行逆時(shí)針的轉(zhuǎn)動(dòng)，且所述第一 ΧΥΘ裝置2、第三ΧΥΘ裝置4及第四ΧΥΘ裝置5亦同時(shí)沿著預(yù)定弧度的滑移，使由所述第二驅(qū)動(dòng)裝置33作為旋轉(zhuǎn)動(dòng)運(yùn)動(dòng)時(shí)的單一驅(qū)動(dòng)源，而能不受干涉地進(jìn)行精確的驅(qū)動(dòng)。
[0041]接著，如圖7所示，當(dāng)欲使所述移動(dòng)平臺6進(jìn)行X軸向移動(dòng)，則由所述第二 XY Θ裝置3的第二驅(qū)動(dòng)裝置33往X軸向運(yùn)動(dòng)，以帶動(dòng)所述第二 XY Θ裝置3的第二移動(dòng)單元31產(chǎn)生運(yùn)動(dòng)，如此一來所述移動(dòng)平臺6便會(huì)被帶動(dòng)而進(jìn)行X軸的移動(dòng)，且所述第一 XY Θ裝置2、第三ΧΥΘ裝置4及所述第四XY Θ裝置5亦同時(shí)被帶動(dòng)進(jìn)行X軸向的移動(dòng)，使由所述第二驅(qū)動(dòng)裝置33作為X軸向運(yùn)動(dòng)時(shí)的單一驅(qū)動(dòng)源，而能不受干涉地進(jìn)行精確的驅(qū)動(dòng)。
[0042]其次，如圖8所示，當(dāng)欲使所述移動(dòng)平臺6進(jìn)行Y軸向移動(dòng)，則由所述由第一 XY Θ裝置2的第一驅(qū)動(dòng)裝置33及所述第三XY Θ裝置4的第三驅(qū)動(dòng)裝置43同時(shí)往Y軸向運(yùn)動(dòng)，如此一來所述移動(dòng)平臺6便會(huì)被帶動(dòng)而進(jìn)行Y軸的移動(dòng)，且所述第二 XY Θ裝置3及第四XY Θ裝置5亦同時(shí)被帶動(dòng)進(jìn)行Y軸向的移動(dòng)，使由所述第一、三驅(qū)動(dòng)裝置作為Y軸向運(yùn)動(dòng)時(shí)的驅(qū)動(dòng)源，而能以最少驅(qū)動(dòng)源進(jìn)行精確的驅(qū)動(dòng)。
[0043]如圖9所示，由于在運(yùn)作程序中，所述真空泵7對容置空間進(jìn)行抽氣使所述XY Θ裝置時(shí)產(chǎn)生的粉塵或油氣一并抽出，使容置空間保持清潔，且所述固定平臺I與移動(dòng)平臺6之間通過圍體11及止漏體61封閉其容置空間更確保粉塵及油氣不會(huì)外泄，并且壓力偵測器8隨時(shí)監(jiān)測容置空間的壓力值，是否達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)，當(dāng)壓力到達(dá)設(shè)定上值則停止真空泵7，若未達(dá)到設(shè)定下值則自動(dòng)開啟真空泵7進(jìn)行抽氣。
[0044]以上所述實(shí)施例的揭示系用以說明本發(fā)明，并非用以限制本發(fā)明，故舉凡數(shù)值的變化與等效元件的置換，仍應(yīng)隸屬本發(fā)明的范疇。
【權(quán)利要求】
1.一種負(fù)壓無塵型對位機(jī)構(gòu)，包含有: 一固定平臺，其頂緣平面向上環(huán)設(shè)有一圍體于固定平臺周緣； 四ΧΥΘ裝置，設(shè)置于固定平臺四個(gè)象限角上，各所述XY Θ裝置受驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)； 一移動(dòng)平臺，共同設(shè)置于各象限角的各所述ΧΥΘ裝置上，通過ΧΥΘ裝置能夠在X方向、Y方向以及θ方向移動(dòng)； 一止漏體，設(shè)置于圍體與移動(dòng)平臺之間，封閉所述固定平臺與移動(dòng)平臺所形成的容置空間，且所述止漏體由能夠彈性回復(fù)的材料所構(gòu)成，當(dāng)受力解除后會(huì)自行回復(fù)原先造型； 一真空泵，設(shè)置于圍體外側(cè)，該真空泵的抽氣端接合于容置空間并對容置空間抽氣使容置空間呈負(fù)壓真空狀態(tài)，且所述真空泵受一控制器所控制； 一壓力偵測器，設(shè)置于圍體外側(cè)，該壓力偵測器具有一感測端接于容置空間內(nèi)用于感測容置空間內(nèi)的壓力上值及下值，并且將壓力值轉(zhuǎn)換成電信號傳輸?shù)皆摽刂破鳎? 該控制器，用于操控所述ΧΥΘ裝置驅(qū)動(dòng)移動(dòng)平臺朝X方向、Y方向以及Θ方向移動(dòng)、提供設(shè)定壓力值使真空泵對容置空間進(jìn)行抽氣以及判定壓力偵測器測得的壓力值是否達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)，當(dāng)壓力到達(dá)設(shè)定上值則停止真空泵，若未達(dá)到設(shè)定下值則自動(dòng)開啟真空泵進(jìn)行抽氣。
2.如權(quán)利要求1所述的負(fù)壓無塵型對位機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述圍體與固定平臺之間的間隙選用有機(jī)硅塑料或填補(bǔ)劑。
3.如權(quán)利要求1所述的負(fù)壓無塵型對位機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述真空泵選用干式真空泵，使受真空泵抽氣的容置空間中不含油、水氣。
【文檔編號】H01L21/68GK104008989SQ201310058678
【公開日】2014年8月27日 申請日期:2013年2月25日 優(yōu)先權(quán)日:2013年2月25日
【發(fā)明者】邱毓英, 李浩瑋, 宋柏葦, 林柄宏, 邱信杰 申請人:全研科技有限公司