專利名稱：傳送系統(tǒng)的制作方法
技術領域：
在此論述的實施方式涉及一種傳送系統(tǒng)。
背景技術：
傳統(tǒng)公知傳送機器人，該機器人傳送例如半導體晶片或液晶面板之類的薄板狀工件。此外，還公知將這種傳送機器人安裝在本地清潔室(在下文中稱作“傳送室”)中的技術，所述本地清潔室設置在用于開閉半導體晶片儲存容器的開閉裝置與半導體晶片的加工室之間。要注意的是，傳送室不限于僅安裝在儲存容器與開閉裝置之間。上述開閉裝置稱為例如裝卸口，該開閉裝置在傳送室中開閉設置在儲存容器上的可拆卸蓋子。開閉機構的一部分保持蓋子，并與蓋子一起作為一個單元下移，以便向下滑動，由此打開儲存容器的蓋子。蓋子在傳送室中打開，這樣灰塵等不會附著在薄板狀工件或儲存容器中的其它部件上。蓋子打開會使得傳送機器人能將薄板狀工件運進與運出。因此，傳送室中需要有用于開閉裝置的區(qū)域(在下文中，稱作“專用區(qū)”)，以執(zhí)行將蓋子附裝至儲存容器的主體與從儲存容器的主體拆卸下來的操作。在半導體設備與材料國際(SEMI)標準中對專用區(qū)有規(guī)定。因此，提出了在布置傳送機器人時，減小傳送室所需的覆蓋區(qū)(區(qū)域)的技術，這樣傳送機器人的最小旋回區(qū)不會與專用區(qū)重疊(例如，參見日本專利申請?zhí)亻_2008-28134號公報)。然而，當布置傳送機器人以使傳送機器人的最小旋回區(qū)與專用區(qū)不重疊時，從頂部觀察到的傳送室的面積往往較大，因此從減小傳送室尺寸的角度來看，存在改進空間。鑒于以上的描述，在此公開的技術其目的是提供一種能有助于減小傳送室尺寸的傳送系統(tǒng)。

發(fā)明內容
根據(jù)實施方式的一個方面的傳送系統(tǒng)包括傳送室、機器人、軌跡生成器、確定單兀以及輸出單元。傳送 室具有以預定距離限定的專用區(qū)。機器人具有裝配有傳送薄板狀工件的機器人手并沿水平方向操作的臂單元。機器人安裝在傳送室中，使得臂單元的最小旋回區(qū)與專用區(qū)的一部分重疊。傳送系統(tǒng)生成機器人手的軌跡，然后基于所生成的軌跡確定臂單元的一部分是否包括在專用區(qū)中，并輸出預定信號。根據(jù)本實施方式的一個方面,能有助于減小傳送室的尺寸。


通過參照附圖閱讀以下對本實施方式的詳細描述，將容易更全面地理解本實施方式及與其相關聯(lián)的優(yōu)點。圖1是根據(jù)本實施方式的傳送室的俯視圖；圖2是根據(jù)本實施方式的傳送機器人的示意立體圖；圖3是根據(jù)本實施方式的傳送系統(tǒng)的框圖4是侵入確定處理的第一說明圖；圖5是侵入確定處理的第二說明圖；圖6是傳送機器人的待機姿態(tài)的說明圖；圖7A是根據(jù)本實施方式的傳送室的第一側視圖；圖7B是根據(jù)本實施方式的傳送室的第二側視圖；圖8是示出侵入確定處理的處理過程的流程圖；圖9是示出執(zhí)行通知發(fā)送處理的處理過程的流程圖；以及圖10是根據(jù)本實施方式的變型例的傳送室的俯視圖。
具體實施例方式以下將參照附圖詳細描述在此公開的傳送系統(tǒng)的實施方式。要注意的是，本實施方式不受以下所示的實施方式限制。首先，將利用圖1描述根據(jù)本實施方式的傳送系統(tǒng)。圖1是根據(jù)本實施方式的傳送室2的俯視圖。要注意的是，圖1中的形狀的一部分是為了便于描述而以簡化的方式示出的。如圖1中所示，傳送室2在其壁表面上設置有并排布置的開閉裝置5(分別由附圖標記5a、5b以及5c表不),并且傳送室2在其內部布置有根據(jù)本實施方式的傳送機器人10。傳送室2是指被稱作設備前端模塊(EFEM)的本地清潔室。傳送室2在其上部設置有用于清潔氣體的過濾器(未示出)， 由過濾器清潔過并向下流動的氣體流清潔殼體的內部。為此，傳送室2圍繞其側面由壁表面覆蓋，并且形成為維持在比傳送室2的外部氣壓高的高氣壓下，使得傳送室2外部的灰塵等不會流至其內部中。這里，傳送室2在短方向上的長度由附圖標記a表示，而其在長方向上的長度由附圖標記b表示。每個開閉裝置5是用于開閉設置在儲存容器3 (分別由3a、3b以及3c表示)上的可拆卸蓋子的裝置，并安裝于在傳送室2的側壁上形成的開口處。每個開閉裝置5是例如稱作裝卸口或FOUP開啟器的裝置，并且開閉裝置5總體上符合半導體設備與材料國際(SEMI)標準。開閉裝置5設置有稱作前開式接口機械標準(FMS)門的可移動體，該可移動體附裝并拆卸儲存容器3的蓋子。預先在傳送室2中指定用于這種可移動體的附裝/拆卸操作的區(qū)域(在下文中稱作“專用區(qū)7”)。具體來說，專用區(qū)7是以預定距離8從傳送室2的供安裝開閉裝置5的壁表面延伸的區(qū)域。距離8由SEMI標準預先規(guī)定。儲存容器3是盒狀容器，該盒狀容器可在高度方向上以多層儲存多個諸如半導體晶片或液晶面板之類的薄板狀工件(在下文中稱作“晶片4”)，并且在其側面上具有上述可拆卸蓋子。儲存容器3是例如SEMI標準中規(guī)定的被稱作前開式標準盒(FOUP)的裝置。儲存容器3安裝在開閉裝置5上，使得儲存容器3的蓋子面向傳送室2。設置在開閉裝置5上的可移動體一邊保持蓋子一邊下移，從而在傳送室2中向下滑動，由此打開蓋子。稍后將利用圖7A與圖7B描述蓋子附裝/拆卸操作的細節(jié)。傳送機器人10是可保持作為傳送對象的晶片4的機器人，并且相對靠近傳送室2的以下壁表面安裝，該壁表面是與傳送室2的供安裝開閉裝置5的壁表面對置的壁表面。在這里，將利用圖2描述根據(jù)本實施方式的傳送機器人10的細節(jié)。圖2是根據(jù)本實施方式的傳送機器人10的示意立體圖。如圖2中所示，傳送機器人10是水平多關節(jié)機器人，該機器人設置有兩個臂，每個臂繞垂直軸線沿水平方向擺動。具體地說，傳送機器人10設置有主體11與臂單元20，并且主體11設置有升降機構。臂單元20設置有第一臂21、第二臂22以及機器人手(在下文中稱作“手23”)，該手可保持作為傳送對象的晶片4。臂單元20被支撐為在設置有升降機構的主體11的頂端上沿水平方向可旋轉。具體地說，第一臂21的基端可旋轉地連接至主體11的上部，并且第二臂22的基端可旋轉地連接至第一臂21的前端的上部。手23可旋轉地連接至第二臂22的前端。這些部件可相對于彼此旋轉，并且均通過利用由馬達、減速齒輪及其它部件組成的轉動機構旋轉。包括減速齒輪、馬達等的轉動機構可設置在主體11的內部，或可容納于臂單元20中。在根據(jù)本實施方式的傳送機器人10的情況下，將描述單臂機器人，該單臂機器人具有由第一臂21、第二臂22以及手23組成的單個臂單元20。然而，傳送機器人10不限于此種構造，其可以是具有兩個臂20的雙臂機器人，或可以構造成設有三個或更多個臂20。就雙臂機器人而言，能以下面的方式同時并行執(zhí)行兩種操作；其中一個臂20用于從預定的傳送位置取出一個晶片4，同時另一個臂20用于將一個新的晶片4送至該預定的傳送位置中。傳送機器人10也可構造成使得單個第二臂22設置有兩個或多個手23。在這種情況下，兩個或多個手23設置為彼此共軸，并且可相對于彼此旋轉。如果使用雙臂機器人，那么雙臂機器人也設置有用于使雙臂機器人的兩個臂20整體轉動的轉動機構。第一臂21的基端支撐在主體11的上部，并且第二臂22的基端支撐在第一臂21的前端的上部，它們均以可旋轉的方式被支撐，并且通過利用由馬達、減速齒輪以及其它部件組成的轉動機構而旋轉。
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用于保持晶片4的手23可旋轉地連接至第二臂22的前端。傳送機器人10通過旋轉第一臂21、第二臂22以及手23而將手23移至目標位置。傳送機器人10也可通過同步地操作第一臂21與第二臂22而線性地移動手23。升降機構構造成包括線性運動引導裝置、滾珠絲桿以及馬達，由此通過將馬達的旋轉運動轉換為直線運動而使臂單元20沿垂直方向升降。升降機構可使用沿垂直方向設置的帶使臂單元20升降，以代替使用如上所述的滾珠絲桿使臂單元20升降。通過這種構造，傳送機器人10可在使臂單元20提升、降落以及旋轉的同時，將晶片4從儲存容器3取出，放置在手23上，傳送至預定的一個加工室(未示出)，并將晶片4傳送至目標位置。加工室是并排安裝在傳送室2上的室，并且該加工室裝配有對晶片4施加諸如化學氣相沉淀(CVD)、曝光、蝕刻、灰化之類的預定加工的裝置。返回來參照圖1，下面繼續(xù)描述傳送室2。圖1中所示的臂單元20處于第二臂22與手23疊加在第一臂21上的狀態(tài)，由此整個臂單元20折疊成最短。當?shù)谝槐?1在這種狀態(tài)下擺動時，第一臂21的前端沿圓弧9運動。由圓弧9的弧心側所占據(jù)的區(qū)域表示傳送機器人10的最小旋回區(qū)。在這里，根據(jù)傳統(tǒng)技術，傳送機器人被布置成使得傳送機器人的最小旋回區(qū)不與專用區(qū)7重疊。在這種情況下，傳統(tǒng)的傳送系統(tǒng)需要具有比沿圖1中所示的傳送室2的短方向的長度長的長度。為此，傳統(tǒng)的傳送系統(tǒng)導致從頂端觀察到的傳送室的面積大。因此，在根據(jù)本實施方式的傳送系統(tǒng)中，傳送機器人10布置成使得傳送機器人10的最小旋回區(qū)與專用區(qū)7重疊，并且當臂單元20的一部分將要侵入專用區(qū)7時，限制儲存容器3的蓋子的附裝/拆卸操作。為每個用于開閉儲存容器3的蓋子的開閉裝置5提供專用區(qū)7。傳送系統(tǒng)關于每個專用區(qū)7a、7b以及7c確定臂單元20的一部分是否將要侵入專用區(qū)7。接著，當臂單元20的一部分將要侵入預定的專用區(qū)7時，傳送系統(tǒng)限制與該預定的專用區(qū)7對應的儲存容器3的蓋子的附裝/拆卸操作。針對專用區(qū)7的預期侵入的情況，傳送系統(tǒng)可基于臂單元20的位置確定臂單元20是否立即要侵入專用區(qū)7。傳送系統(tǒng)也可基于預先受教的示教數(shù)據(jù)預測臂單元20將侵入的時刻。具體地說，當臂單元20的一部分將要侵入專用區(qū)7時，傳送系統(tǒng)通知上級服務器禁止儲存容器3的蓋子的附裝/拆卸操作。接到禁止儲存容器3的蓋子的附裝/拆卸操作的通知后，上級服務器向開閉裝置5發(fā)出不執(zhí)行蓋子的附裝/拆卸操作的指令。要注意的是，上級服務器是控制包括開閉裝置5a、5b以及5c在內的整個傳送系統(tǒng)的裝置。當任一開閉裝置5a、5b以及5c (例如開閉裝置5c)執(zhí)行蓋子的附裝/拆卸操作時，上級服務器就此通知就此對傳送機器人10進行控制的機器人控制器。在接到開閉裝置5c正在執(zhí)行蓋子的附裝/拆卸操作的通知后，機器人控制器限制臂單元20侵入專用區(qū)7c。在此情況下，通過允許臂單元20侵入其它專用區(qū)7a與7b，機器人控制器可操作臂單元20使其將晶片4運入與運 出儲存容器3a與3b。如果與作為臂單元20的下一運動目的地的儲存容器3對應的一個開閉裝置5正在執(zhí)行附裝/拆卸操作，那么機器人控制器命令傳送機器人10采取待機姿態(tài)，直至蓋子的附裝/拆卸操作終止。如果開閉裝置5a、5b、5c都在執(zhí)行附裝/拆卸操作，那么機器人控制器也會命令傳送機器人10采取待機姿態(tài)，直至任一蓋子的附裝/拆卸操作終止。待機姿態(tài)指的是當臂單元20撤退至臂單元20不侵入專用區(qū)7的位置時，傳送機器人10的姿態(tài)。稍后將利用圖6描述待機姿態(tài)的細節(jié)。以此方式，傳送機器人10可被布置成使得傳送機器人10的最小旋回區(qū)與專用區(qū)7重疊，由此可使沿傳送室2的短方向的長度a減小。因此，根據(jù)本實施方式的傳送系統(tǒng)可有助于減小傳送室2的尺寸。圖1中所示的傳送室2呈矩形。然而，傳送室2不限于此形狀，其可呈例如多邊形或圓形。在根據(jù)本實施方式的傳送系統(tǒng)中，傳送機器人10也可被布置成使得傳送機器人10的最小旋回區(qū)與傳送室2的如下壁表面(在下文中，稱作“對置壁表面”)重疊，該壁表面是與傳送室2的供安裝開閉裝置5的壁表面相對的壁表面。此外，根據(jù)本實施方式的傳送系統(tǒng)在每個預定的時間點確定臂單元20的一部分是否會碰觸對置壁表面，并由此避免臂單元20觸及對置壁表面。
所述預定的時間點可正好在機器人控制器發(fā)出操作指令以使傳送機器人10操作之前，或者在傳送機器人10的操作過程中以預定的時間周期出現(xiàn)。以此方式，根據(jù)本實施方式的傳送系統(tǒng)可安全地操作傳送機器人10，此外可使傳送室2的短方向上的長度a減小。接著，將利用圖3描述根據(jù)本實施方式的傳送系統(tǒng)I的構造。圖3是根據(jù)本實施方式的傳送系統(tǒng)I的框圖。如圖3中所示，傳送系統(tǒng)I包括傳送機器人10、機器人控制器30、上級服務器40以及開閉裝置5。機器人控制器30是控制傳送機器人10的操作的控制器。上級服務器40是對傳送系統(tǒng)I執(zhí)行全面控制的服務器。傳送機器人10遵循來自機器人控制器30等的傳送指令，在提升、降落以及旋轉臂單元20的同時，從儲存容器3取出晶片4，放置在手23上，并且將晶片4傳送至目標位置。機器人控制器30設置有通信接口(I/F)31、控制單元33以及存儲器32。此外，控制單元33設置有軌跡生成器33a、確定單元33b、輸出單元33c、獲取單元33d以及指令單元33e，存儲器32儲存專用區(qū)信息32a。通信I/F31由通信裝置組成，該通信裝置在機器人控制器30與上級服務器40之間收發(fā)通信數(shù)據(jù)。例如，當臂單元20的一部分將要侵入專用區(qū)7時，通信I/F31向上級服務器40發(fā)送指令以禁止蓋子的附裝/拆卸操作。存儲器32是由例如隨機存取存儲器(RAM)以及非易失存儲器之類的存儲裝置構成的存儲單元。存儲器32儲存專用區(qū)信息32a。專用區(qū)信息32a是關于傳送室2中的專用區(qū)7的信息，并且包括例如距傳送室2的供安裝開閉裝置5的壁表面的預定距離8?？刂茊卧?3是對機器人控制器30執(zhí)行全面控制的控制單元。例如，控制單元33向傳送機器人10發(fā)出傳送指令以控制傳送機器人10。具體地說，控制單元33根據(jù)預先受教的示教數(shù)據(jù)控制傳送機器人10，從而將臂單元20提升或降落至預定高度，或者旋轉臂單元20。當收到關于傳送機器人10的預定操作的命令時，軌跡生成器33a執(zhí)行處理，生成手23的與預定操作對應的軌跡。例如，當收到從點A移動至點B的命令時，軌跡生成器33a生成手23從點A移動至點B的軌跡。接著，軌跡生成器33a還執(zhí)行處理，將生成的手23的軌跡發(fā)送至確定單元33b。基于從軌跡生成器33a接收到的手23的軌跡，確定單元33b確定臂單元20的一部分是否將要侵入專用區(qū)7，并執(zhí)行處理，向輸出單元33c發(fā)送確定結果。此外，基于從軌跡生成器33a接收到的手23的軌跡，確定單元33b在每個預定的時間點確定臂單元20的一部分是否會碰撞對置壁表面，并執(zhí)行處理，避免臂單元20碰觸對
置壁表面。在這里，將利用圖4與圖5描述由確定單元33b執(zhí)行的侵入確定處理的細節(jié)，該處理確定臂單元20的一部分是否將要侵入專用區(qū)7。圖4和圖5是侵入確定處理的說明圖。要注意的是，以簡化的方式示出了圖4和圖5中的一部分形狀以便于描述。確定單元33b在臂單元20的第一臂21、第二臂22以及手23彼此可旋轉地連接的關節(jié)處以及在臂的中心處設置假想圖形51至55。如圖4中所 示，確定單元33b設置圓作為假想圖形51至55，每個圓設置成包含每個臂的臂寬。例如，確定單元33b將假想圖形51、53以及55設置成如下的圓，這些圓的中心分別位于平分第一臂21、第二臂22、以及手23的臂長的位置，并且這些圓的直徑等于第一臂21、第二臂22以及手23的臂寬。此外，確定單元33b將假想圖形52與54設置為分別定位在第一臂21的前端與第二臂22的前端的圓，并且這些圓的直徑分別與臂21和22的臂寬相等。于是，當手23沿從軌跡生成器33a接收到的軌跡操作時，確定單元33b確定每個假想圖形51至55是否將侵入專用區(qū)7。如果例如手23是抽吸式手，那么晶片4在由手23保持的情況下被保持在由虛線所示的從手23伸出的位置。因此，當晶片4由手23保持時，以下面的方式執(zhí)行侵入確定處理。在這種情況下，如圖5中所示，確定單元33b除假想圖形51至55外還包括假想圖形56，該假想圖形56位于晶片4被保持的位置，并且其尺寸與晶片4的外形相同，確定單元33b確定每個假想圖形51至56是否將要侵入專用區(qū)7。通過這種構造，即便晶片4由手23保持，確定單元33b也能精確確定臂單元20的一部分是否將要侵入專用區(qū)7。此外，當確定單元33b確定臂單元20是否將要碰撞對置壁表面時，確定單元33b基于上述假想圖形51至56確定碰撞是否將要發(fā)生。返回來參照圖3，下面繼續(xù)描述傳送系統(tǒng)I的構造。當從確定單元33b接收到臂單元20的一部分是否將要侵入或已經(jīng)侵入專用區(qū)7的確定結果時，輸出單元33c執(zhí)行處理，通過通信I/F31向上級服務器40發(fā)送禁止通知，禁止由開閉裝置5執(zhí)行的蓋子的附裝/拆卸操作。然后，在接收到來自輸出單元33c的禁止通知后，上級服務器40指示開閉裝置5不執(zhí)行蓋子的附裝/拆卸操作。獲取單元33d執(zhí)行處 理，通過上級服務器40獲得開閉裝置5的操作狀況，并將獲得的操作狀況發(fā)送至指令單元33e。具體地說，如果并排安裝在傳送室2上的任一開閉裝置5a、5b以及5c將要執(zhí)行或正在執(zhí)行附裝/拆卸操作，那么獲取單元33d獲得附裝/拆卸操作的執(zhí)行通知。在這里，開閉裝置5將要執(zhí)行附裝/拆卸操作的時刻定義為比執(zhí)行附裝/拆卸操作早預定時間的時間點，所述預定時間是事先規(guī)定的時間。當獲取單元33d收到附裝/拆卸操作的執(zhí)行通知時，指令單元33e執(zhí)行處理，命令傳送機器人10將臂單元20置于待機姿態(tài)。在這里，將利用圖6描述待機姿態(tài)的細節(jié)。圖6是傳送機器人10的待機姿態(tài)的說明圖。如圖6所示，傳送機器人10根據(jù)來自指令單元33e的命令將臂單元20置于待機姿態(tài)。具體地說，將待機姿態(tài)定義為這樣的狀態(tài)，在該狀態(tài)下，第二臂22與手23疊加在第一臂21上，因此整個臂單元20被折疊成最短。還將待機姿態(tài)定義為通過將臂單元20從第一臂21與傳送室2的短方向平行的狀態(tài)轉動為第一臂21的前端未侵入專用區(qū)7的狀態(tài)而獲得的狀態(tài)。以此方式，通過使臂單元20置于待機狀態(tài)，傳送機器人10可在開閉裝置5終止附裝/拆卸操作后迅速將手23移動至期望位置。返回來參照圖3，下面繼續(xù)描述傳送系統(tǒng)I的構造。在接到來自機器人控制器30的禁止通知以禁止由任一開閉裝置5a、5b以及5c執(zhí)行的蓋子的附裝/拆卸操作后，上級服務器40執(zhí)行控制以便禁止由已經(jīng)接到禁止通知的此開閉裝置5a、5b或5c執(zhí)行的附裝/拆卸操作。在使開閉裝置5執(zhí)行附裝/拆卸操作之前，上級服務器40向機器人控制器30發(fā)送附裝/拆卸操作的執(zhí)行通知。盡管在這里機器人控制器30與上級服務器40是單獨的裝置，但是它們也可由同一裝置構成。以此方式，在根據(jù)本實施方式的傳送系統(tǒng)I中，當臂單元20的一部分將要侵入任一專用區(qū)7a、7b以及7c時，機器人控制器30向上級服務器40發(fā)送禁止通知，以便禁止與儲存容器3相應的蓋子的附裝/拆卸操作。在接到禁止通知以禁止蓋子的附裝/拆卸操作后，上級服務器40禁止執(zhí)行蓋子的附裝/拆卸操作。如果并排安裝在傳送室2上的任一開閉裝置5a、5b以及5c將要執(zhí)行或正在執(zhí)行附裝/拆卸操作，那么上級服務器40向控制傳送機器人10的機器人控制器30發(fā)送執(zhí)行通知。在收到附裝/拆卸操作的執(zhí)行通知后，機器人控制器30限制臂單元20，使其不侵入與儲存容器3相應的專用區(qū)7，直至相應的儲存容器3的蓋子的附裝/拆卸操作結束。以此方式，可將傳送機器人10布置成使得傳送機器人10的最小旋回區(qū)與專用區(qū)7重疊，因此可使沿傳送室2的短方向的長度a減小。接著，將利用圖7A與圖7B描述由開閉裝置5執(zhí)行的蓋子的附裝/拆卸操作的細節(jié)。圖7A與圖7B是根據(jù)本實施方式的傳送室2的側視圖。如圖7A所示，開閉裝置5安裝在傳送室2的側壁上形成的開口處，該開閉裝置5具有可上下滑動的可移動體5d。在高度方向多層儲存晶片4的儲存容器3安置在開閉裝置5上，使得設置在儲存容器3上的蓋子3d面向可移動體5d。在打開儲存容器3的蓋子3d時，開閉裝置5利用可移動體5d —邊保持儲存容器3的蓋子3d —邊使蓋子3d向傳送室2的內部移動(沿圖7A中的箭頭方向)。

然后，如圖7B所示，可移動體5d使蓋子3d垂直向下滑動(沿圖7B中的箭頭方向)以打開蓋子3d，并使蓋子3d撤退到蓋子3d不碰觸運送晶片4的傳送機器人10的位置。當關閉儲存容器3的蓋子3d時，可移動體5d依照與上述步驟相反的步驟執(zhí)行操作，以關閉儲存容器3的蓋子3d。以此方式，在專用區(qū)7中完成蓋子3d的附裝/拆卸操作。因此，為避免與傳送機器人10接觸，當臂單元20的一部分將要侵入專用區(qū)7時，根據(jù)本實施方式的傳送系統(tǒng)I禁止每個開閉裝置5執(zhí)行蓋子3d的附裝/拆卸操作。此外，當任一開閉裝置5將要執(zhí)行或正在執(zhí)行附裝/拆卸操作時，根據(jù)本實施方式的傳送系統(tǒng)I限制臂單元20，使其不侵入與儲存容器3相應的專用區(qū)7，直至相應的儲存容器3的蓋子3d的附裝/拆卸操作終止。接著，將利用圖8描述由機器人控制器30執(zhí)行的侵入確定處理的細節(jié)。圖8是示出侵入確定處理的處理過程的流程圖。應注意的是，機器人控制器30按照以預定時間間隔重復的方式執(zhí)行圖8中所示的侵入確定處理。如圖8所示，軌跡生成器33a生成手23的軌跡(步驟SlOl)，并向確定單元33b發(fā)送生成的軌跡。然后，基于由軌跡生成器33a生成的軌跡以及所述假想圖形，確定單元33b確定臂單元20的一部分是否將要侵入專用區(qū)7的任一部分(步驟S102)。如果臂單元20的一部分將要侵入專用區(qū)7的任一部分(在步驟S102為“是”)，那么輸出單元33c向上級服務器40發(fā)送禁止通知，以禁止與專用區(qū)7的該部分相應的蓋子3d的附裝/拆卸操作(步驟S103)，這一系列處理終止。
與之相比，如果確定臂單元20的哪一部分都不會侵入專用區(qū)7 (在步驟S102為“否”)，那么確定單元33b確定手23是否正在保持晶片4 (步驟S104)。如果手23未保持晶片4(在步驟S104為“否”)，那么機器人控制器30終止一系列處理。如果手23正在保持晶片4(在步驟S104為“是”)，那么確定單元33b基于將晶片4考慮在內的假想圖形確定臂單元20的一部分是否將要侵入專用區(qū)7的任一部分(步驟S105)。如果臂單元20的一部分將要侵入專用區(qū)7的任一部分(在步驟S105為“是”)，那么輸出單元33c向上級服務器40發(fā)送禁止通知，以禁止與專用區(qū)7的該部分相應的蓋子3d的附裝/拆卸操作(步驟S106)，這一系列處理終止。如果確定單元33b確定臂單元20的哪一部分都不會侵入專用區(qū)7 (在步驟S105為“否”)，那么機器人控制器30終止這一系列處理。盡管未示出，但在接到來自輸出單元33c的禁止通知后，上級服務器40命令開閉裝置5不執(zhí)行蓋子3d的附裝/拆卸操作。接著，將利用圖9描述由上級服務器40執(zhí)行的執(zhí)行通知發(fā)送處理的細節(jié)。圖9是示出執(zhí)行通知發(fā)送處理的處理過程的流程圖。上級服務器400按照以預定時間間隔重復的方式執(zhí)行圖9中所示的執(zhí)行通知發(fā)送處理。如圖9所示，上級服務器40確定并排安裝在傳送室2上的任一開閉裝置5是否執(zhí)行蓋子3d的附裝/拆卸操作(步驟S201)。如果任一開閉裝置5正在執(zhí)行附裝/拆卸操作(在步驟S201為“是”)，那么上級服務器40向機器人控制器30發(fā)送附裝/拆卸操作的執(zhí)行通知(步驟S203)，這一系列處理結束。要注意的是，執(zhí)行通知涉及表明開閉裝置5將要執(zhí)行或正在執(zhí)行蓋子3d的附裝/拆卸操作的信號。如果任一開閉裝置5都不在執(zhí)行附裝/拆卸操作(在步驟S201為“否”)，那么上級服務器40確定任一開閉裝置5是否將要執(zhí)行附裝/拆卸操作(步驟S202)。如果任一開閉裝置5將要執(zhí)行附裝/拆卸操作(在步`驟S202為“是”)，那么上級服務器40將處理轉至步驟S203，以向機器人控制器30發(fā)送附裝/拆卸操作的執(zhí)行通知(步驟S203)，這一系列處理結束。如果沒有開閉裝置5將要執(zhí)行附裝/拆卸操作(在步驟S202為“否”)，那么上級服務器40終止這一系列處理。在接到來自上級服務器40的附裝/拆卸操作的執(zhí)行通知后，機器人控制器30限制臂單元20，使得臂單元20不侵入專用區(qū)7的與開閉裝置5相應的部分，直至開閉裝置5終止附裝/拆卸操作。在根據(jù)本實施方式的傳送系統(tǒng)I中，取決于于是否所有的開閉裝置5都在執(zhí)行附裝/拆卸操作，將臂單元20置于預定的待機姿態(tài)。然而，當任一開閉裝置5執(zhí)行附裝/拆卸操作時，傳送系統(tǒng)I也可將臂單元20置于預定的待機姿態(tài)。例如，當開閉裝置5a正在執(zhí)行附裝/拆卸操作并且臂單元20移至開閉裝置5a時，傳送系統(tǒng)I可在開閉裝置5a附近的位置將臂單元20置于待機姿態(tài)。通過這種配置，在開閉裝置5終止附裝/拆卸操作后，傳送機器人10可迅速將手23移至期望的位置。在根據(jù)本實施方式的傳送系統(tǒng)I中，將傳送機器人10布置為:使得臂單元20在最小旋回區(qū)中的旋回中心定位成相對來說靠近與傳送室2的供安裝開閉裝置5的臂表面相對的對置表面。然而，不限于這種布置，例如，如圖10所示，可將傳送機器人10布置為:使得代表臂單元20的最小旋回區(qū)的圓9的旋回中心Θ定位成相對來說靠近傳送室2的供安裝開閉裝置5的壁表面。具體地說，將傳送機器人10布置為:使得代表臂單元20的最小旋回區(qū)的圓9的旋回中心Θ位于短方向c上的邊的平分線d與專用區(qū)7之間。以此方式，可將傳送機器人10布置為使得傳送機器人10的最小旋回區(qū)與專用區(qū)7重疊，由此，可使傳送室2的短方向c上的長度減小。如上所述，當設置在傳送機器人中的臂的一部分將侵入或已經(jīng)侵入傳送室中的專用區(qū)時，根據(jù)本實施方式的傳送系統(tǒng)通知上級服務器，以禁止開閉裝置以及儲存容器的蓋子的附裝/拆卸操作。在接到禁止蓋子的附裝/拆卸操作的通知后，上級服務器命令開閉裝置不執(zhí)行附裝/拆卸操作。如果任一開閉裝置正在執(zhí)行蓋子的附裝/拆卸操作，那么上級服務器通知機器人控制器附裝/拆卸操作正在執(zhí)行。在接到開閉裝置正在執(zhí)行蓋子的附裝/拆卸操作后，機器人控制器命令傳送機器人采取待機姿態(tài)，直至蓋子的附裝/拆卸操作結束。以此方式，可將傳送機器人布置為，使得傳送機器人的最小旋回區(qū)與專用區(qū)重疊，由此可使傳送室2的短方向上的長度減小。因此，根據(jù)本實施方式的傳送系統(tǒng)I可有助于減小傳送室 的尺寸。
權利要求
1.一種傳送系統(tǒng),該傳送系統(tǒng)包括: 傳送室，該傳送室包括專用區(qū)，該專用區(qū)以從供安裝開閉裝置的壁表面向內預定距離而限定，所述開閉裝置用于開閉用于薄板狀工件的儲存容器； 機器人，該機器人包括臂單元，該臂單元在其末端裝配有用于傳送所述薄板狀工件的機器人手并沿水平方向操作，所述機器人安裝在所述傳送室中，使得所述臂單元的最小旋回區(qū)與所述專用區(qū)的一部分重疊； 軌跡生成器，該軌跡生成器生成所述機器人手的軌跡； 確定單元，該確定單元基于由所述軌跡生成器生成的軌跡確定所述臂單元的一部分是否包含在所述專用區(qū)中；以及 輸出單元，該輸出單元基于由所述確定單元確定的結果輸出預定信號。
2.根據(jù)權利要求1所述的傳送系統(tǒng)，其中，所述確定單元假設出在所述臂單元的臂的預定位置的假想圖形，并根據(jù)任一所述假想圖形是否包含在所述專用區(qū)中，在任一所述假想圖形包含在所述專用區(qū)中時確定所述臂單元的一部分包含在所述專用區(qū)中。
3.根據(jù)權利要求1所述的傳送系統(tǒng)，其中，所述臂的被假設所述假想圖形所在的所述預定位置是位于所述臂的旋轉軸線上的位置以及位于這些臂的旋轉軸線之間的中央的位置。
4.根據(jù)權利要求1所述的傳送系統(tǒng)，其中，每個所述假想圖形是具有能預先調整的直徑的圓，并且所述能預先調整的直徑被設定成至少包含每個所述臂的外形。
5.根據(jù)權利要求1所述的傳送系統(tǒng)，其中，根據(jù)表明所述機器人手是否正在保持其中一個所述薄板狀工件的信息，如果所述機器人手正在保持所述薄板狀工件，那么所述確定單元確定通過將所述薄板狀工件的外形添加至所述臂單元的一部分而獲得的區(qū)域是否包含在所述專用區(qū)中。
6.根據(jù)權利要求1所述的傳送系統(tǒng)，其中，如果所述確定單元確定所述臂單元的一部分包含在所述專用區(qū)中，那么所述輸出單元輸出一信號，該信號用于禁止所述開閉裝置在所述專用區(qū)中執(zhí)行所述儲存容器的蓋子的附裝/拆卸操作。
7.根據(jù)權利要求1所述的傳送系統(tǒng),其中， 最晚在所述臂單元執(zhí)行預定的傳送命令之前，所述確定單元確定如果執(zhí)行所述預定的傳送命令，所述臂單元是否將會侵入所述專用區(qū)；并且 如果所述臂單元將會侵入，那么所述輸出單元輸出表明所述臂單元將會侵入或已經(jīng)侵入所述專用區(qū)的信號，并因此限制所述開閉裝置在所述專用區(qū)中的操作。
8.根據(jù)權利要求1所述的傳送系統(tǒng)，其中，所述臂單元具有折疊姿態(tài)，在該折疊姿態(tài)中，將每個所述臂的基端的旋轉軸線與前端的旋轉軸線彼此連接的直線相互重疊，并且在該折疊姿態(tài)中，連接所述機器人手的旋轉軸線與所述薄板狀工件的放置中心的直線與所述臂的所述直線重疊；并且所述機器人具有待機姿態(tài)，在該待機姿態(tài)中，所述折疊姿態(tài)與對置壁表面形成一定角度，從而不會與所述對置壁表面或所述專用區(qū)發(fā)生干涉，所述對置壁表面是與供安裝所述開閉裝置的壁表面相對的壁表面。
9.根據(jù)權利要求1所述的傳送系統(tǒng)，其中，所述臂單元被安裝成:使得在所述最小旋回區(qū)中的其旋回中心被定 位成相對來說靠近供安裝所述開閉裝置的壁表面，或者相對來說靠近與供安裝所述開閉裝置的壁表面相對的對置壁表面。
10.根據(jù)權利要求1所述的傳送系統(tǒng),其中， 與供安裝所述開閉裝置的壁表面相對的對置壁表面被置于所述臂單元的所述最小旋回區(qū)中；并且 所述確定單元在每 個預定的時間點確定所述臂單元的一部分是否將碰撞所述對置表面。
全文摘要
本發(fā)明提供一種傳送系統(tǒng)。根據(jù)一個實施方式的傳送系統(tǒng)包括傳送室、機器人、軌跡生成器、確定單元以及輸出單元。所述傳送室具有以預定距離限定的專用區(qū)。所述機器人具有臂單元，該臂單元裝備有傳送薄板狀工件的機器人手并且在水平方向上操作。所述機器人安裝在所述傳送室中，使得所述臂單元的最小旋回區(qū)與所述專用區(qū)的一部分重疊。所述傳送系統(tǒng)生成所述機器人手的軌跡，然后基于所生成的軌跡確定所述臂單元的一部分是否包括在所述專用區(qū)中，并輸出預定信號。
文檔編號H01L21/677GK103227133SQ20131002074
公開日2013年7月31日 申請日期2013年1月21日 優(yōu)先權日2012年1月31日
發(fā)明者進大介, 木村吉希 申請人:株式會社安川電機