技術(shù)編號：6787735
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。在此論述的實施方式涉及一種傳送系統(tǒng)。背景技術(shù)傳統(tǒng)公知傳送機器人，該機器人傳送例如半導(dǎo)體晶片或液晶面板之類的薄板狀工件。此外，還公知將這種傳送機器人安裝在本地清潔室(在下文中稱作“傳送室”)中的技術(shù)，所述本地清潔室設(shè)置在用于開閉半導(dǎo)體晶片儲存容器的開閉裝置與半導(dǎo)體晶片的加工室之間。要注意的是，傳送室不限于僅安裝在儲存容器與開閉裝置之間。上述開閉裝置稱為例如裝卸口，該開閉裝置在傳送室中開閉設(shè)置在儲存容器上的可拆卸蓋子。開閉機構(gòu)的一部分保持蓋子，并與蓋子一起作為...
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