裸片安裝系統(tǒng)的晶片圖管理裝置以及裸片安裝方法
【專利摘要】參照晶片圖而從晶片依次拾取合格裸片并安裝在基板上,并且將晶片圖中的已拾取的裸片位置的狀態(tài)從“合格裸片”改寫成“已拾取”,另一方面,將發(fā)生了圖像處理錯誤或拾取錯誤的裸片位置的狀態(tài)改寫成“圖像處理錯誤”或“拾取錯誤”。在裸片拾取裝置上搭載晶片圖修正功能,作業(yè)者在裸片拾取裝置的顯示裝置的畫面上將晶片圖中的被改寫成“圖像處理錯誤”或“拾取錯誤”的裸片位置的狀態(tài)修正為“合格裸片”,參照修正后的晶片圖,再次執(zhí)行因圖像處理錯誤或拾取錯誤而剩下的裸片的拾取。
【專利說明】裸片安裝系統(tǒng)的晶片圖管理裝置以及裸片安裝方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及使用晶片圖而從晶片依次拾取合格裸片并安裝在基板上的裸片安裝系統(tǒng)的晶片圖管理裝置及裸片安裝方法。
【背景技術(shù)】
[0002]—般而言,晶片粘貼在切割片上而被切割,被分割為多個裸片(半導(dǎo)體芯片)。在一張晶片中含有不合格裸片,所以在裸片檢查工序中對每個裸片檢查是否合格,利用墨水對不合格裸片附加不良標(biāo)記,在裸片安裝工序中,由相機(jī)對每個裸片進(jìn)行拍攝而通過圖像來識別有無不良標(biāo)記,從晶片依次僅拾取合格裸片(合格芯片)并安裝在基板上。
[0003]但是,在該方法中,對于晶片的全部裸片,必須由相機(jī)對每個裸片進(jìn)行拍攝而通過圖像來識別有無不良標(biāo)記,存在生產(chǎn)效率差這樣的缺點。
[0004]因此,近年來,如下方法成為主流:如專利文獻(xiàn)I (日本特開2001-250834號公報)所記載的那樣,在裸片檢查工序中,生成表示切割后的晶片的各位置的裸片是否合格的晶片圖,在裸片安裝工序中,參照晶片圖,由吸嘴從晶片依次僅拾取合格裸片(合格芯片)并安裝在基板上。在該方法中,由相機(jī)僅拍攝合格裸片并通過圖像僅識別合格裸片的位置即可,對于不合格裸片能夠省略圖像識別,所以具有能夠縮短圖像識別所需的時間的優(yōu)點。
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本特開2001-250834號公報
【發(fā)明內(nèi)容】
[0006]但是,在裸片安裝工序中,每當(dāng)參照晶片圖而從晶片拾取合格裸片時,將晶片圖中的已拾取的裸片位置的狀態(tài)從“合格裸片”改寫成“已拾取”,但是有時因某些原因而導(dǎo)致合格裸片的圖像處理失敗(圖像處理錯誤)或裸片的拾取失敗(拾取錯誤)。在這種情況下,將發(fā)生了圖像處理錯誤或拾取錯誤的裸片位置的狀態(tài)從“合格裸片”改寫成“圖像處理錯誤”或“拾取錯誤”,能夠與“已拾取”、“合格裸片”的狀態(tài)進(jìn)行區(qū)別。
[0007]因圖像處理錯誤、拾取錯誤而剩下的裸片本來并非“不合格裸片”,在檢查中已確認(rèn)是“合格裸片”,所以即使安裝在基板上也沒有任何問題。另外,在裸片中,高價位的裸片也較多,所以也想要不剩余地將因圖像處理錯誤、拾取錯誤而剩下的裸片作為“合格裸片”而用盡的用戶側(cè)的要求也較多。
[0008]在使用晶片圖的裸片安裝系統(tǒng)中,無法對狀態(tài)成為“圖像處理錯誤”、“拾取錯誤”的裸片進(jìn)行拾取,所以在要拾取因圖像處理錯誤、拾取錯誤而剩下的裸片的情況下,由設(shè)備外(生產(chǎn)線外)的晶片圖生成裝置生成將因圖像處理錯誤、拾取錯誤而剩下的裸片位置的狀態(tài)設(shè)為“合格裸片”而成的新的晶片圖,利用該新的晶片圖來更新裸片安裝系統(tǒng)的服務(wù)器的晶片圖數(shù)據(jù)。
[0009]但是,由設(shè)備外的晶片圖生成裝置生成新的晶片圖的作業(yè)麻煩,成為使生產(chǎn)效率降低的原因。
[0010]因此,本發(fā)明所要解決的課題在于,在使用晶片圖的裸片安裝系統(tǒng)中,能夠簡單地再次使用因圖像處理錯誤或拾取錯誤而剩下的裸片作為“合格裸片”。
[0011]為了解決上述課題,本發(fā)明提供一種裸片安裝系統(tǒng)的晶片圖管理裝置,在上述裸片安裝系統(tǒng)的存儲機(jī)構(gòu)中存儲表示以分割為多個裸片的方式被切割的晶片的各位置的裸片是否合格的晶片圖,在裸片安裝工序中參照上述晶片圖,從上述晶片依次拾取合格裸片并安裝在基板上,并且每當(dāng)拾取合格裸片時,將上述晶片圖中的已拾取的裸片位置的狀態(tài)從“合格裸片”改寫成“已拾取”,另一方面,將發(fā)生了圖像處理錯誤或拾取錯誤的裸片位置的狀態(tài)從“合格裸片”改寫成“圖像處理錯誤”或“拾取錯誤”,其中,在上述裸片安裝系統(tǒng)中設(shè)有晶片圖修正機(jī)構(gòu),該晶片圖修正機(jī)構(gòu)將上述晶片圖中的被改寫成“圖像處理錯誤”或“拾取錯誤”的裸片位置的狀態(tài)修正為“合格裸片”。
[0012]這樣一來,作業(yè)者能夠?qū)υO(shè)于裸片安裝系統(tǒng)的晶片圖修正機(jī)構(gòu)進(jìn)行操作而將晶片圖中的被改寫成“圖像處理錯誤”或“拾取錯誤”的裸片位置的狀態(tài)修正為“合格裸片”,在該裸片安裝系統(tǒng)中參照修正后的晶片圖,再次執(zhí)行因圖像處理錯誤或拾取錯誤而剩下的裸片的拾取。由此,能夠?qū)⒁驁D像處理錯誤或拾取錯誤而剩下的裸片簡單地修正為“合格裸片”并再次使用。
[0013]在這種情況下,可以在裸片安裝系統(tǒng)中設(shè)有顯示晶片圖的各裸片位置的狀態(tài)的顯示裝置,構(gòu)成為,作業(yè)者能夠在該顯示裝置的畫面上通過目視來確認(rèn)晶片圖的各裸片位置的狀態(tài)的同時對晶片圖修正機(jī)構(gòu)進(jìn)行操作,而將“圖像處理錯誤”或“拾取錯誤”的狀態(tài)修正為“合格裸片”。這樣一來,能夠預(yù)先防止在將“圖像處理錯誤”或“拾取錯誤”的狀態(tài)修正為“合格裸片”時將錯誤的裸片位置的狀態(tài)修正為“合格裸片”,并且在能夠在顯示裝置的畫面上通過目視來確認(rèn)因圖像處理錯誤、拾取錯誤而剩下的裸片由于某些原因而實際上無法使用的情況下,能夠中止將該裸片的狀態(tài)修正為“合格裸片”,而不生產(chǎn)不合格基板。
[0014]在這種情況下,晶片圖修正機(jī)構(gòu)可以對被改寫成“圖像處理錯誤”或“拾取錯誤”的每個裸片位置將狀態(tài)逐個修正為“合格裸片”,也可以具有將多個裸片位置狀態(tài)一并修正為“合格裸片”的一并修正功能。具有能夠通過一并修正功能來提高操作性的優(yōu)點。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0015]圖1是本發(fā)明的一實施例的裸片拾取裝置的外觀立體圖。
[0016]圖2是頂起單元及其周邊部分的外觀立體圖。
[0017]圖3是晶片托盤的外觀立體圖。
[0018]圖4是表示在頂起動作時使頂起筒上升至吸附位置后的狀態(tài)的局部剖視放大圖。
[0019]圖5是表示在頂起動作時使頂起銷從頂起筒突出后的狀態(tài)的局部剖視放大圖。
[0020]圖6是表示裸片拾取裝置的控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的框圖。
[0021]圖7是表示顯示在顯示裝置的畫面上的晶片圖的一例的圖。
[0022]圖8(a)是表示將發(fā)生了圖像處理錯誤或拾取錯誤的裸片位置的狀態(tài)從“合格裸片”被改寫成“圖像處理錯誤”或“拾取錯誤”后的狀態(tài)顯示在顯示裝置的畫面上的一例的圖,圖8(b)是表示將被改寫成“圖像處理錯誤”或“拾取錯誤”的裸片位置的狀態(tài)修正為“合格裸片”后的狀態(tài)顯示在顯示裝置的畫面上的一例的圖。
【具體實施方式】
[0023]以下,說明將用于實施本發(fā)明的方式具體化后的一實施例。
[0024]首先,使用圖1概略說明裸片拾取裝置11的結(jié)構(gòu)。
[0025]裸片拾取裝置11具備料倉保持部22 (盤塔)、托盤拉出臺23、XY移動機(jī)構(gòu)25、頂起單元28(參照圖2)等,設(shè)置成將托盤拉出臺23插入于元件安裝機(jī)(未圖示)的狀態(tài)。雖然未圖示,但是元件安裝系統(tǒng)(裸片安裝系統(tǒng))沿電路基板的搬送路徑配置有一臺或多臺元件安裝機(jī),在至少一臺元件安裝機(jī)上設(shè)置有裸片拾取裝置11。
[0026]在能夠上下移動地收納于裸片拾取裝置11的料倉保持部22內(nèi)的料倉(未圖示)中,安裝有晶片30的晶片托盤32裝載多層,生產(chǎn)中從料倉將晶片托盤32拉出到托盤拉出臺23上。如圖3所示,晶片張設(shè)體30將粘貼有對晶片以棋盤格狀進(jìn)行切割而形成的裸片31的能夠伸縮的切割片34以展開的狀態(tài)安裝于具有圓形的開口部的晶片安裝板33(切割框架),該晶片安裝板33通過螺紋緊固等而安裝在托盤主體35上。
[0027]頂起單元28(參照圖2)以能夠在晶片托盤32的切割片34下方的空間區(qū)域中沿XY方向移動的方式構(gòu)成。并且,通過利用頂起筒37的頂起銷39(參照圖4、圖5)將切割片34中的要拾取(吸附)的裸片31的粘貼部分從其下方局部地頂起,使該裸片31的粘貼部分從切割片34局部地剝離,使裸片31浮起成容易拾取的狀態(tài)。
[0028]該頂起單元28以伺服馬達(dá)(未圖示)作為驅(qū)動源而以頂起單元28整體上下移動的方式構(gòu)成。在裸片拾取動作時,當(dāng)頂起單元28上升而使頂起筒37的上表面上升至與晶片托盤32的切割片34大致接觸的預(yù)定的片吸附位置時,通過止動機(jī)構(gòu)(未圖示)使頂起單元28的上升停止,當(dāng)進(jìn)一步持續(xù)進(jìn)行上升動作時,頂起銷39 (參照圖4、圖5)從頂起筒37的上表面向上方突出,頂起切割片34中的要拾取的裸片31的粘貼部分。在這種情況下,通過調(diào)整作為動力源的伺服馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)量,能夠調(diào)整頂起銷39的頂起高度位置(頂起量)。
[0029]如圖1所示,在XY移動機(jī)構(gòu)25上組裝有吸附頭41和相機(jī)42,通過該XY移動機(jī)構(gòu)25使吸附頭41和相機(jī)42 —體地沿XY方向移動。在吸附頭41上,以上下移動的方式設(shè)有吸附切割片34上的裸片31的吸嘴43 (參照圖4、圖5)。相機(jī)42從上方拍攝切割片34上的裸片31并對其攝像圖像進(jìn)行圖像處理,從而能夠識別要由吸嘴43吸附的裸片31的位置。
[0030]裸片拾取裝置11的控制裝置51 (參照圖6)對由相機(jī)42拍攝切割片34上的裸片31中的要吸附的裸片31而得到的圖像進(jìn)行處理并識別該裸片31的位置,確定該裸片31的頂起位置和吸附位置,如圖5所示,利用頂起筒37的頂起銷39將切割片34中的要拾取(吸附)的裸片31的粘貼部分從其下方局部地頂起,從而使該裸片31的粘貼部分從切割片34局部地剝離,使裸片31浮起成容易拾取的狀態(tài),并由吸嘴43吸附拾取該裸片31。
[0031]一般而言,在一張晶片中含有不合格裸片,所以在晶片制造公司中,基于裸片檢查結(jié)果,生成表示切割后的晶片的各位置的裸片31是否合格的晶片圖(參照圖7),將該晶片圖與晶片一起賣給裸片安裝基板制造公司。在裸片安裝基板制造公司中,在裸片拾取裝置11的控制裝置51的存儲裝置52 (存儲機(jī)構(gòu))中存儲晶片圖,參照該晶片圖,通過相機(jī)42的拍攝圖像而從晶片識別合格裸片(合格芯片)的位置,依次僅拾取合格裸片并安裝在基板上。
[0032] 這時,每當(dāng)從晶片拾取合格裸片時,將晶片圖中的已拾取的裸片位置的狀態(tài)從“合格裸片”改寫成“已拾取”,但是有時因某些原因而導(dǎo)致合格裸片的圖像處理失敗(圖像處理錯誤)或裸片31的拾取失敗(拾取錯誤)。在這種情況下,如圖8(a)所示,將發(fā)生了圖像處理錯誤或拾取錯誤的裸片位置的狀態(tài)從“合格裸片”改寫成“圖像處理錯誤”或“拾取錯誤”,能夠與“已拾取”、“合格裸片”的狀態(tài)進(jìn)行區(qū)別。
[0033]因圖像處理錯誤、拾取錯誤而剩下的裸片本來并非“不合格裸片”,在檢查中已確認(rèn)是“合格裸片”,所以即使安裝在基板上也沒有任何問題,但是在裸片拾取裝置11中,無法對狀態(tài)成為“圖像處理錯誤”、“拾取錯誤”的裸片進(jìn)行拾取。
[0034]因此,在本實施例中,在裸片拾取裝置11的控制裝置51中搭載作業(yè)者對鼠標(biāo)、鍵盤、觸摸板等輸入裝置53 (晶片圖修正機(jī)構(gòu))進(jìn)行操作而將晶片圖中的被改寫成“圖像處理錯誤”或“拾取錯誤”的裸片位置的狀態(tài)修正為“合格裸片”的晶片圖修正功能,并且如圖8所示,在顯示裝置54的畫面上顯示晶片圖的各裸片位置的狀態(tài),作業(yè)者能夠在該顯示裝置54的畫面上通過目視來確認(rèn)晶片圖的各裸片位置的狀態(tài)并操作輸入裝置53,而將“圖像處理錯誤”或“拾取錯誤”的狀態(tài)修正為“合格裸片”。
[0035]在這種情況下,晶片圖修正功能可以對被改寫成“圖像處理錯誤”或“拾取錯誤”的每個裸片位置將狀態(tài)逐個修正為“合格裸片”,也可以具有將多個裸片位置狀態(tài)一并修正為“合格裸片”的一并修正功能。具有能夠通過一并修正功能來提高操作性的優(yōu)點。
[0036]根據(jù)以上說明的本實施例,由于在裸片拾取裝置11的控制裝置51中搭載了將晶片圖中的被改寫成“圖像處理錯誤”或“拾取錯誤”的裸片位置狀態(tài)修正為“合格裸片”的晶片圖修正功能,所以作業(yè)者能夠?qū)β闫叭⊙b置11的輸入裝置53進(jìn)行操作而將晶片圖中的被改寫成“圖像處理錯誤”或“拾取錯誤”的裸片位置的狀態(tài)修正為“合格裸片”,在該裸片拾取裝置11中,參照修正后的晶片圖,再次執(zhí)行因圖像處理錯誤或拾取錯誤而剩下的裸片的拾取。因此,不需要如以往那樣在將因圖像處理錯誤或拾取錯誤而剩下的裸片的狀態(tài)變更為“合格裸片”時使用設(shè)備外的晶片圖生成裝置來進(jìn)行生成新的晶片圖的作業(yè),能夠通過對裸片拾取裝置11的輸入裝置53進(jìn)行操作而將裸片的狀態(tài)從“圖像處理錯誤”或“拾取錯誤”簡單地修正為“合格裸片”并再次使用,能夠提高生產(chǎn)率和成本性(裸片的成品率)。
[0037]并且,在本實施例中,能夠在顯示裝置54的畫面上顯示晶片圖的各裸片位置的狀態(tài),作業(yè)者在該顯示裝置54的畫面上通過目視來確認(rèn)晶片圖的各裸片位置的狀態(tài)并對輸入裝置53進(jìn)行操作,而將“圖像處理錯誤”或“拾取錯誤”的狀態(tài)修正為“合格裸片”,所以能夠預(yù)先防止在將“圖像處理錯誤”或“拾取錯誤”的狀態(tài)修正為“合格裸片”時將錯誤的裸片位置的狀態(tài)修正為“合格裸片”,并且在能夠在顯示裝置53(應(yīng)為:顯示裝置54)的畫面上通過目視來確認(rèn)因圖像處理錯誤、拾取錯誤而剩下的裸片由于某些原因而實際上無法使用的情況下,能夠中止將該裸片的狀態(tài)修正為“合格裸片”,具有不生產(chǎn)不合格基板的優(yōu)點。
[0038]另外,在本實施例中,在裸片拾取裝置11的控制裝置51中搭載了晶片圖修正功能,但是可以在設(shè)置有裸片拾取裝置11的元件安裝機(jī)的控制裝置中搭載晶片圖修正功能,或者也可以在對包含裸片拾取裝置11的元件安裝系統(tǒng)(元件安裝線)整體進(jìn)行管理的生產(chǎn)線管理用計算機(jī)中搭載晶片圖修正功能。
[0039]另外,本實施例的裸片拾取裝置11以通過YX移動機(jī)構(gòu)25使吸附頭41和相機(jī)42一體地沿XY方向移動的方式構(gòu)成,但是也可以以如下方式構(gòu)成:吸附頭41和相機(jī)42僅沿X方向移動,且晶片托盤32在托盤拉出臺23上沿Y方向移動,從而作為拍攝對象/吸附對象的裸片31的位置沿XY方向移動。
[0040]此外,本發(fā)明也可以對裸片拾取裝置11的結(jié)構(gòu)、晶片托盤32的結(jié)構(gòu)進(jìn)行適當(dāng)變更等,當(dāng)然能夠在不脫離主旨的范圍內(nèi)進(jìn)行各種變更而加以實施。
[0041]附圖標(biāo)記說明
[0042]11裸片拾取裝置
[0043]22料倉保持部
[0044]23托盤拉出臺
[0045]25XY移動機(jī)構(gòu)
[0046]28頂起單元
[0047]30晶片張設(shè)體
[0048]31裸片
[0049]32晶片托盤
[0050]33晶片安裝板
[0051]34切割片
[0052]37頂起筒
[0053]39頂起銷
[0054]41吸附頭
[0055]42相機(jī)
[0056]43吸嘴
[0057]51控制裝置
[0058]52存儲裝置(存儲機(jī)構(gòu))
[0059]53輸入裝置(晶片圖修正機(jī)構(gòu))
[0060]54顯示裝置
【權(quán)利要求】
1.一種裸片安裝系統(tǒng)的晶片圖管理裝置,在所述裸片安裝系統(tǒng)的存儲機(jī)構(gòu)中存儲表示以分割為多個裸片的方式被切割的晶片的各位置的裸片是否合格的晶片圖,在裸片安裝工序中參照所述晶片圖,從所述晶片依次拾取合格裸片并安裝在基板上,并且,每當(dāng)拾取合格裸片時,將所述晶片圖中的已拾取的裸片位置的狀態(tài)從“合格裸片”改寫成“已拾取”,另一方面,將發(fā)生了圖像處理錯誤或拾取錯誤的裸片位置的狀態(tài)從“合格裸片”改寫成“圖像處理錯誤”或“拾取錯誤”, 所述裸片安裝系統(tǒng)的晶片圖管理裝置的特征在于, 在所述裸片安裝系統(tǒng)中設(shè)有晶片圖修正機(jī)構(gòu),該晶片圖修正機(jī)構(gòu)將所述晶片圖中的被改寫成“圖像處理錯誤”或“拾取錯誤”的裸片位置的狀態(tài)修正為“合格裸片”。
2.如權(quán)利要求1所述的裸片安裝系統(tǒng)的晶片圖管理裝置,其特征在于, 在所述裸片安裝系統(tǒng)中設(shè)有顯示所述晶片圖的各裸片位置的狀態(tài)的顯示裝置, 構(gòu)成為,作業(yè)者能夠在所述顯示裝置的畫面上通過目視來確認(rèn)所述晶片圖的各裸片位置的狀態(tài)的同時對所述晶片圖修正機(jī)構(gòu)進(jìn)行操作,而將“圖像處理錯誤”或“拾取錯誤”的狀態(tài)修正為“合格裸片”。
3.如權(quán)利要求1或2所述的裸片安裝系統(tǒng)的晶片圖管理裝置,其特征在于, 所述晶片圖修正機(jī)構(gòu)具備將被改寫成“圖像處理錯誤”或“拾取錯誤”的多個裸片位置狀態(tài)一并修正為“合格裸片”的一并修正功能。
4.一種裸片安裝方法,在裸片安裝系統(tǒng)的存儲機(jī)構(gòu)中存儲表示以分割為多個裸片的方式被切割的晶片的各位置的裸片是否合格的晶片圖,在裸片安裝工序中參照所述晶片圖,從所述晶片依次拾取合格裸片并安裝在基板上,并且,每當(dāng)拾取合格裸片時,將所述晶片圖中的已拾取的裸片位置的狀態(tài)從“合格裸片”改寫成“已拾取”,另一方面,將發(fā)生了圖像處理錯誤或拾取錯誤的裸片位置的狀態(tài)從“合格裸片”改寫成“圖像處理錯誤”或“拾取錯誤”, 所述裸片安裝方法的特征在于, 作業(yè)者對設(shè)于所述裸片安裝系統(tǒng)的晶片圖修正機(jī)構(gòu)進(jìn)行操作,將所述晶片圖中的被改寫成“圖像處理錯誤”或“拾取錯誤”的裸片位置的狀態(tài)修正為“合格裸片”,在所述裸片安裝系統(tǒng)中參照修正后的晶片圖,再次執(zhí)行因圖像處理錯誤或拾取錯誤而剩下的裸片的拾取。
【文檔編號】H01L21/02GK104205289SQ201280071970
【公開日】2014年12月10日 申請日期:2012年4月27日 優(yōu)先權(quán)日:2012年4月27日
【發(fā)明者】保坂英希, 巖瀨友則, 柘植邦明, 小見山延久 申請人:富士機(jī)械制造株式會社