具有多樣寬度的指的指叉式電容器的制造方法
【專利摘要】揭示的是具有多樣寬度的指的指叉式電容器。電容器的一具體態(tài)樣(100)包括第一復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指(110)和以連鎖方式與第一復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指(110)而定位的第二復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指(110)，以致形成指叉式結(jié)構(gòu)。第一復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指(110)和第二復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指(110)合起來形成一指組，其中該指組(110)的第一指的寬度相對(duì)于該指組的第二指是非均勻的。
【專利說明】具有多樣寬度的指的指叉式電容器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明的具體態(tài)樣一般關(guān)于集成電路，尤其關(guān)于用于集成電路科技的指叉式電容器。
【背景技術(shù)】
[0002]例如電容器的被動(dòng)電子構(gòu)件常常用于集成電路(integrated circuit, IC)用途。一種特殊類型的電容器是指叉式電容器。傳統(tǒng)的指叉式電容器包括復(fù)數(shù)個(gè)指叉層，其中每對(duì)指叉層是由氧化層(或氧化區(qū)域)所分開。每個(gè)指叉層包括二根桿條(bar)或交互連接(interconnect),其定位成彼此實(shí)質(zhì)平行。從每根桿條延伸的是復(fù)數(shù)個(gè)「指」(digit,亦即長(zhǎng)的導(dǎo)體)。指沿著桿條而隔開，致使指合起來形成連鎖式或指叉式結(jié)構(gòu)。
[0003]傳統(tǒng)的指叉式電容器有一些缺點(diǎn)。舉例來說，指的長(zhǎng)度愈長(zhǎng)，則指傾向于導(dǎo)致愈多電流漏失。如此，則指的長(zhǎng)度典型乃加以選擇以使此種漏失減到最少。舉例來說，具有較短長(zhǎng)度的指的多重指叉層典型乃跨越電容器的區(qū)域。雖然這有效的使漏失減到最少，但是電容器的電容密度也因而降低。因此，每個(gè)指叉層將需要二個(gè)電極以便提供必要的電容密度。這些電極位在指叉式結(jié)構(gòu)外面，并且耗去桿條和氧化層區(qū)域的空間。因此，電容器面積并不是以效能最大化的方式來利用。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]揭示的是具有多樣寬度的指的指叉式電容器。電容器的一具體態(tài)樣可以包括第一復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指和與第一復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指以連鎖方式而定位的第二復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指，以致形成指叉式結(jié)構(gòu)。第一復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指和第二復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指合起來形成一指組，其中該指組的第一指的寬度相對(duì)于該指組的第二指是非均勻的。
[0005]于某些具體態(tài)樣，該指組中定位最接近指叉式結(jié)構(gòu)末端的第一次組可以具有寬于該指組中定位最接近指叉式結(jié)構(gòu)中央的第二次組的寬度。
[0006]于某些具體態(tài)樣，該指組中定位最接近指叉式結(jié)構(gòu)末端的第一次組的寬度可以比該指組中定位最接近指叉式結(jié)構(gòu)中央的第二次組寬三到五倍。
[0007]于某些具體態(tài)樣，該指組中定位最接近指叉式結(jié)構(gòu)末端的限定數(shù)目的第一次組可以具有第一寬度，并且該指組中的剩余指可以具有窄于第一寬度的第二寬度。
[0008]于某些具體態(tài)樣，該指組中的每一指的寬度可以從定位在指叉式結(jié)構(gòu)末端的指的最寬寬度逐漸變細(xì)到定位在指叉式結(jié)構(gòu)中央的指的最窄寬度。
[0009]于某些具體態(tài)樣，該指組中的指的相對(duì)寬度可以依據(jù)指叉式結(jié)構(gòu)的磁場(chǎng)H分布所決定。
[0010]于某些具體態(tài)樣，該指組的特定者的寬度可以正比于該指組的特定者所承載的電流量。
[0011 ] 于某些具體態(tài)樣，該指組中的指之間的間隙可以是實(shí)質(zhì)均勻的尺寸。
[0012]于某些具體態(tài)樣，第一復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指和第二復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指可以由以下至少一者所形成:銅、摻雜的多晶硅、鋁或氮化鈦。
[0013]于某些具體態(tài)樣，第一復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指可以由第一材料所形成，并且第二復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指可以由不同于第一材料的第二材料所形成。
[0014]于某些具體態(tài)樣，電容器可以進(jìn)一步包括至少一桿條，其耦合于指叉式結(jié)構(gòu)，其中至少一桿條可以具有至少一饋入點(diǎn)。
[0015]于某些具體態(tài)樣，該指組中定位最接近饋入點(diǎn)的第一次組可以具有寬于該指組的其余者的寬度。
[0016]形成電容器的方法的具體態(tài)樣可以包括:形成第一復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指，以及形成第二復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指，其與第一復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指以連鎖方式而定位，以致形成指叉式結(jié)構(gòu)。第一復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指和第二復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指可以合起來形成一指組，其中該指組的第一指的寬度可以相對(duì)于該指組的第二指是非均勻的。
[0017]于某些具體態(tài)樣，該指組中定位最接近桿條的饋入點(diǎn)(其耦合于指叉式結(jié)構(gòu))的第一次組可以具有寬于該指組中定位最遠(yuǎn)離桿條的饋入點(diǎn)的第二次組的寬度。
[0018]于某些具體態(tài)樣，該指組中定位最接近桿條的饋入點(diǎn)(其耦合于指叉式結(jié)構(gòu))的第一次組的寬度可以比該指組中定位最遠(yuǎn)離桿條的饋入點(diǎn)的第二次組寬三到五倍。
[0019]于某些具體態(tài)樣，該指組中定位最接近桿條的饋入點(diǎn)(其耦合于指叉式結(jié)構(gòu))的限定數(shù)目的第一次組可以具有第一寬度，并且該指組中的剩余指可以具有窄于第一寬度的第二寬度。
[0020]于某些具體態(tài)樣，該指組中的每一指的寬度可以從定位靠近桿條饋入點(diǎn)(其耦合于指叉式結(jié)構(gòu))的指的最寬寬度逐漸變細(xì)到定位最遠(yuǎn)離桿條饋入點(diǎn)的指的最窄寬度。
[0021]于某些具體態(tài)樣，該指組中的指的相對(duì)寬度可以依據(jù)指叉式結(jié)構(gòu)的磁場(chǎng)H分布所決定，并且其中該指組的特定者的寬度可以正比于該指組的特定者所承載的電流量。
[0022]于某些具體態(tài)樣，具有饋入點(diǎn)的至少一桿條可以耦合于指叉式結(jié)構(gòu)，并且其中該指組中定位最接近饋入點(diǎn)的第一次組可以具有寬于該指組的其余者的寬度。
[0023]電容器的另一具體態(tài)樣可以包括單一指叉層，其中單一指叉層可以包括第一復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指和第二復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指，其以連鎖方式而定位。可以定位第一復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指和第二復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指，以致形成指叉式結(jié)構(gòu)。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0024]附圖顯示依據(jù)本揭示一或更多方面的范例性具體態(tài)樣；然而，附圖不應(yīng)該用來將本揭示限制于所示的具體態(tài)樣，而是僅用于解釋和理解。
[0025]圖1是示范指叉式電容器的第一具體態(tài)樣的平面圖；
[0026]圖2是示范傳統(tǒng)指叉式電容器的磁場(chǎng)H分布的圖形；
[0027]圖3是示范指叉式電容器的第四具體態(tài)樣的平面圖；
[0028]圖4是示范形成電容器的方法的一具體態(tài)樣的流程圖；
[0029]圖5是示范指叉式電容器的第二具體態(tài)樣的平面圖；以及
[0030]圖6是示范指叉式電容器的第三具體態(tài)樣的平面圖。
【具體實(shí)施方式】[0031]揭示的是具有多樣寬度的指的指叉式電容器。如上面討論的，指叉式電容器是一種特別的電容器，其使用長(zhǎng)的導(dǎo)體或「指」來產(chǎn)生像是電容器的高通特征。指叉式電容器的一具體態(tài)樣包括復(fù)數(shù)個(gè)指，其中位置比較靠近指叉式結(jié)構(gòu)末端的指乃寬于位置比較靠近指叉式結(jié)構(gòu)中央的指。于進(jìn)一步具體態(tài)樣，指的寬度從在指叉式結(jié)構(gòu)末端的最寬點(diǎn)逐漸變細(xì)到在指叉式結(jié)構(gòu)中央的最窄點(diǎn)。如下面更詳細(xì)的討論，此安排允許指被加長(zhǎng)，如此則指叉式電容器結(jié)構(gòu)可以應(yīng)用于桿條和氧化層，同時(shí)增加指叉式電容器的電容密度。
[0032]圖1是示范指叉式電容器的第一具體態(tài)樣100的平面圖。特定而言，圖1示范指叉式電容器100于X和Z維度。注意圖1未必按照比例繪制，并且指叉式電容器100未必受限于所示范的尺寸或數(shù)量(其主要是為了便于讀者理解)。
[0033]如所示范，電容器100包括第一桿條106和第二桿條108，其定位成彼此實(shí)質(zhì)平行。從第一桿條106和第二桿條108各者延伸的是復(fù)數(shù)個(gè)指IlO1?IlOn (下文合起來稱為「指110」)。合起來看,指110形成連鎖式或指叉式結(jié)構(gòu)104。電流經(jīng)由位在第一桿條106和第二桿條108上的至少一「饋入點(diǎn)」(feed point)或電極IU1?1122(下文合起來稱為「電極112」)而提供至指叉式結(jié)構(gòu)104。于一具體態(tài)樣，第一桿條106和第二桿條108都包括電極(廣泛而言即饋入點(diǎn))112以提供電流。應(yīng)該注意位在桿條106和108上的饋入點(diǎn)可以配置在桿條上的任何位置，譬如在桿條的最末端、桿條的中央、桿條的最末端和中央之間的任何其他位置。
[0034]于一具體態(tài)樣，指110是由導(dǎo)電材料所形成，在可能的材料當(dāng)中尤其例如銅、摻雜的多晶硅、鋁或氮化鈦。延伸自第一桿條106的指110的組成可以異于延伸自第二桿條108的指的組成。指110和桿條106、108之間的間隙一般包括介電材料，例如二氧化硅。
[0035]如所示范，指110的寬度于各指之間是非均勻的(譬如至少二或更多根指具有不同的寬度)。舉例而言，于一具體態(tài)樣，位置比較靠近指叉式結(jié)構(gòu)104末端的指110(譬如指IlO1UlO2Ul(V1UlOn)乃寬于位置比較靠近指叉式結(jié)構(gòu)104中央的指110 (譬如指IlOnK和IlOnJ。尤其于一具體態(tài)樣，位置比較靠近指叉式結(jié)構(gòu)104末端的指110比位置比較靠近指叉式結(jié)構(gòu)104中央的指110寬三到五倍。
[0036]于另一具體態(tài)樣，位置比較靠近指叉式結(jié)構(gòu)104末端的特定數(shù)目的指110乃寬于指叉式結(jié)構(gòu)104中的剩余指110。舉例而言，從指叉式結(jié)構(gòu)104的末端移動(dòng)到指叉式結(jié)構(gòu)104的中央，第一指110具有第一寬度，而其余指110具有窄于第一寬度的第二寬度。
[0037]于又一具體態(tài)樣，指110的寬度從在指叉式結(jié)構(gòu)末端104的最寬寬度W1逐漸變細(xì)到在指叉式結(jié)構(gòu)中央104的最窄寬度W2，致使位在指叉式結(jié)構(gòu)104的中間點(diǎn)(亦即在末端和中央之間)的指110的寬度為在W1和W2之間某處的寬度。
[0038]于又一具體態(tài)樣，指110的相對(duì)寬度是依據(jù)指叉式結(jié)構(gòu)104的磁場(chǎng)H分布所決定。舉例而言，圖2是示范傳統(tǒng)指叉式電容器的磁場(chǎng)H分布的圖形。特定而言，圖2是以電流密度(每公尺的千安培)大小與離指叉式結(jié)構(gòu)的饋入位置(亦即注入電流的點(diǎn))的距離(微米)來作圖。如所示范，電流密度隨著從指叉式結(jié)構(gòu)的末端移動(dòng)到指叉式結(jié)構(gòu)的中央而減少。相對(duì)而言，跨越指叉式結(jié)構(gòu)的電場(chǎng)分布則比較均勻。
[0039]因此，于一具體態(tài)樣，比較靠近指叉式結(jié)構(gòu)104中央的指110(亦即承載最少電流的指110)做得最窄(譬如窄到指叉式電容器100將允許的機(jī)械公差)。當(dāng)從指叉式結(jié)構(gòu)104的中央往外移動(dòng)，指110隨著承載較多的電流而做得比較寬，其中最寬的指110是位置最接近指叉式結(jié)構(gòu)104末端的指110。此安排將增加指叉式電容器100的電容密度。
[0040]于另一具體態(tài)樣，最寬的指110的位置最接近電極112。舉例而言，于圖1所示范的范例性具體態(tài)樣，最寬的指IlO1和IlOn也是最接近電極112的指，其分別定位在第一桿條106和第二桿條108的相對(duì)末端；最窄的指是最遠(yuǎn)離電極112的指(譬如指IlOn^和IlOnJ。因此，最寬的指1101和IlOn也分別定位在第一桿條106和第二桿條108的相對(duì)末端。
[0041]以進(jìn)一步的范例來看，圖5是示范指叉式電容器的第二具體態(tài)樣500的平面圖；圖6是示范指叉式電容器的第三具體態(tài)樣600的平面圖。于圖5，電極512i~5122 (下文合起來稱為「電極512」)分別位在第一桿條506和第二桿條508的同一末端上(亦即于圖的左手側(cè))。再次的，最寬的指SlO1和5102也是最接近電極512的指；最窄的指是最遠(yuǎn)離電極512的指(譬如指510n)。因此，最寬的 指SlO1和5102也分別定位在第一桿條506和第二桿條508的同一末端上(亦即致使指SlO1和5102彼此相鄰)。
[0042]于圖6,電極61^~6122 (下文合起來稱為「電極612」)差不多分別位在第一桿條606和第二桿條608的中央。再次的，最寬的指610i也是最接近電極612的指(于此情形為延伸于電極612之間的單一指610i);最窄的指是最遠(yuǎn)離電極612的指(譬如指61(^和61 On)。
[0043]于上述任一情形，指110之間的間隙G保持實(shí)質(zhì)均勻的。也就是說，雖然指110的寬度將有所變化，但是指之間的間隙G的尺寸將無實(shí)質(zhì)變化。
[0044]如圖1所示范，指叉式電容器100可以是由多層所形成。指叉式電容器100包括多樣寬度的指HO的組態(tài)則允許指110加長(zhǎng)，以使電容器100中的電極所耗去的空間(譬如于第一桿條106和第二桿條108的區(qū)域)減到最少，同時(shí)增加指叉式電容器的電容密度。由于承載最多電流的指110 (亦即比較靠近指叉式結(jié)構(gòu)104末端的指)的寬度增加了，故這些較寬的指110將不會(huì)見到漏失增加。再者，由于比較靠近指叉式結(jié)構(gòu)104中央的指110不承載或承載極少的電流，故指110的長(zhǎng)度增加將不會(huì)造成漏失有顯著的增加。因此，可以維持電容器100的質(zhì)量因素或「Q因素」(Q factor，亦即電容器的電容電抗除以電容器的等效串聯(lián)電阻)。
[0045]圖3是示范指叉式電容器的第四具體態(tài)樣300的平面圖。特定而言，圖3示范指叉式電容器300于X和z維度。注意圖3未必按照比例繪制，并且指叉式電容器300未必受限于所示范的尺寸或數(shù)量(其主要是為了便于讀者理解)。
[0046]如所示范，電容器300包括第一桿條306和第二桿條308，其定位成彼此實(shí)質(zhì)平行。從第一桿條306和第二桿條308各者延伸的是復(fù)數(shù)個(gè)指3IO1~3IOn (下文合起來稱為「指310」)。合起來看，指310形成連鎖式或指叉式結(jié)構(gòu)304。
[0047]于一具體態(tài)樣，指310是由導(dǎo)電材料所形成，在可能的材料當(dāng)中尤其例如銅、摻雜的多晶硅、鋁或氮化鈦。延伸自第一桿條306的指310的組成可以異于延伸自第二桿條308的指310的組成。指310和桿條306、308之間的間隙一般包括介電材料，例如二氧化硅。
[0048]如所示范，指310的寬度于各指之間是非均勻的(譬如至少二或更多根指具有不同的寬度)。于一具體態(tài)樣，指310的寬度可以采上面討論的任何方式來變化。此外，指310的長(zhǎng)度于各指之間也是非均勻的(譬如至少二或更多根指具有不同的長(zhǎng)度)。舉例來說，指310的長(zhǎng)度可以從最長(zhǎng)長(zhǎng)度L1變化到最短長(zhǎng)度L2。于一具體態(tài)樣，指310的長(zhǎng)度乃基于上面討論的變化指310寬度的任何準(zhǔn)則而變化。
[0049]圖4是示范形成電容器的方法400的一具體態(tài)樣的流程圖。舉例而言，可以實(shí)施方法400以便形成電容器，例如圖1和3所示范的電容器。
[0050]方法400開始于步驟402。于步驟404，形成第一復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指，其中指的寬度于各指之間變化?？蛇x用而言，指的長(zhǎng)度也可以于各指之間變化。于一具體態(tài)樣，指的寬度(以及可選用的長(zhǎng)度)根據(jù)上面討論的任何準(zhǔn)則來變化。第一復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指是由第一桿條所連接，而第一導(dǎo)電指以隔開方式從此處延伸。于一具體態(tài)樣，第一復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指是由導(dǎo)電材料所形成，在可能的材料當(dāng)中尤其例如銅、摻雜的多晶硅、鋁或氮化鈦。第一復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指的指間間隙一般包括介電材料，例如二氧化硅。
[0051]于步驟406，形成第二復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指，其中指的寬度于各指之間變化?？蛇x用而言，指的長(zhǎng)度也可以于各指之間變化。于一具體態(tài)樣，指的寬度(以及可選用的長(zhǎng)度)根據(jù)上面討論的任何準(zhǔn)則來變化。第二復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指是由第二桿條所連接，而第二導(dǎo)電指以隔開方式從此處延伸。于一具體態(tài)樣，第二復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指是由導(dǎo)電材料所形成，在可能的材料當(dāng)中尤其例如銅、摻雜的多晶硅、鋁或氮化鈦。第二復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指不須非要由與第一復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指相同的導(dǎo)電材料而形成。第二復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指的指間間隙一般包括介電材料，例如二氧化硅。
[0052]于步驟408，定位第一復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指和第二復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指以形成指叉式結(jié)構(gòu)。此指叉式結(jié)構(gòu)形成指叉式電容器的主要結(jié)構(gòu)，如上所討論。熟于此技藝者將體會(huì)最終的指叉式電容器可以包括額外的構(gòu)件，例如電極。
[0053]方法400然后結(jié)束于步驟410。
[0054]雖然前面描述了依據(jù)本揭示一或更多方面的范例性具體態(tài)樣，不過可以設(shè)計(jì)出依據(jù)本揭示一或更多方面的其他和進(jìn)一步具體態(tài)樣而不偏離其范圍，該范圍是由以下的申請(qǐng)專利范圍及其等效者所決定。列出步驟的申請(qǐng)專利范圍并不暗示步驟的任何順序。商標(biāo)是其個(gè)別擁有者的財(cái)產(chǎn)。
【權(quán)利要求】
1.一種電容器，其包括: 第一復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指；以及 第二復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指，其與該第一復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指以連鎖方式而定位，以致形成指叉式結(jié)構(gòu)， 其中該第一復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指和該第二復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指合起來形成一指組，并且其中該指組的第一指的寬度相對(duì)于該指組的第二指是非均勻的。
2.如權(quán)利要求1的電容器，其中該指組中定位最接近該指叉式結(jié)構(gòu)末端的第一次組具有寬于該指組中定位最接近該指叉式結(jié)構(gòu)中央的第二次組的寬度。
3.如權(quán)利要求1的電容器，其中該指組中定位最接近該指叉式結(jié)構(gòu)末端的第一次組所具有的寬度比該指組中定位最接近該指叉式結(jié)構(gòu)中央的第二次組寬三到五倍。
4.如權(quán)利要求1的電容器，其中該指組中定位最接近該指叉式結(jié)構(gòu)末端的限定數(shù)目的第一次組具有第一寬度，并且該指組中的剩余指具有窄于該第一寬度的第二寬度。
5.如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)的電容器，其中該指組中的每一指的寬度從定位在該指叉式結(jié)構(gòu)末端的指的最寬寬度逐漸變細(xì)到定位在該指叉式結(jié)構(gòu)中央的指的最窄寬度。
6.如權(quán)利要求1的電容器，其中該指組中的指的相對(duì)寬度是依據(jù)該指叉式結(jié)構(gòu)的磁場(chǎng)H分布所決定。
7.如權(quán)利要求6的電容器，其中該指組的特定者的寬度正比于該指組的該特定者所承載的電流量。
8.如權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)的電容器，其中該第一復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指和該第二復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指是由以下至少一者所形成:銅、摻雜的多晶硅、鋁或氮化鈦。
9.如權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)的電容器，其中該第一復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指是由第一材料所形成，并且該第二復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指是由不同于該第一材料的第二材料所形成。
10.如權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)的電容器，其進(jìn)一步包括: 至少一桿條，其耦合于該指叉式結(jié)構(gòu)，其中該至少一桿條具有至少一饋入點(diǎn)。
11.如權(quán)利要求10的電容器，其中該指組中定位最接近該至少一饋入點(diǎn)的第一次組具有寬于該指組的其余者的寬度。
12.—種形成電容器的方法,該方法包括: 形成第一復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指；以及 形成第二復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指，其與該第一復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指以連鎖方式而定位，以致形成指叉式結(jié)構(gòu)， 其中該第一復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指和該第二復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)電指合起來形成一指組，并且其中該指組的第一指的寬度相對(duì)于該指組的第二指是非均勻的。
13.如權(quán)利要求12的方法，其中該指組中定位最接近耦合于該指叉式結(jié)構(gòu)的桿條的饋入點(diǎn)的第一次組具有寬于該指組中定位最遠(yuǎn)離該桿條的該饋入點(diǎn)的第二次組的寬度。
14.如權(quán)利要求12的方法，其中該指組中的每一指的寬度從定位靠近耦合于該指叉式結(jié)構(gòu)的桿條的饋入點(diǎn)的指的最寬寬度逐漸變細(xì)到定位最遠(yuǎn)離該桿條的該饋入點(diǎn)的指的最窄寬度。
15.如權(quán)利要求12的方法，其中該指組中的指的相對(duì)寬度是依據(jù)該指叉式結(jié)構(gòu)的磁場(chǎng)H分布所決定，并且其中該指組的特定者的寬度正比于該指組的該特定者所承載的電流量。
【文檔編號(hào)】H01L49/02GK103988328SQ201280043625
【公開日】2014年8月13日 申請(qǐng)日期:2012年5月29日 優(yōu)先權(quán)日:2011年9月9日
【發(fā)明者】昭穎·D·吳, 帕瑞格·尤帕德海亞, 姜學(xué)文 申請(qǐng)人:吉林克斯公司