專利名稱:太陽能硅片制造工藝用傳輸載板的制作方法
技術領域:
本實用新型涉及太陽能硅片制造工藝用的等離子設備技術領域,尤其是一種太陽能硅片制造工藝用傳輸載板。
背景技術:
太陽能電池硅片在電池制造工藝中有一系列生產工序,其中有等離子干法刻蝕,等離子成膜(PECVD)等。為了增加單位時間內硅片的處理量,一般用大面積處理工藝來完成。也就是說,很多娃片(125x125mm或156x156mm)可以同時放置在一塊載板上。處理這種硅片的設備通常用平板式電極產生等離子體。載板可以靜態(tài)放置在其中的一個電極上, 直到工藝完成后再取出來(跳躍式),載板也可以連續(xù)傳輸經過離子源工藝區(qū)(鏈式)。為了獲得均勻處理的硅片(刻蝕或鍍膜),通常需要均勻的氣體分布,它包括氣體均勻進入(showering)和均勻抽出。氣體均勻的進入可以設計在平行電極板的另一板上,該電極板帶有均勻分布的小孔,氣體均勻進入每一個小孔即可實現。氣體抽出通常是在載板的四周,因為氣體必須從中間走到邊緣,那么一定存在一個濃度梯度。隨著載板變大(一次處理硅片的能力增加),這種濃度梯度就增加,處理硅片的均勻性就變差。
實用新型內容為了克服現有的技術的不足,本實用新型提供了一種太陽能硅片制造工藝用傳輸載板。本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是一種太陽能硅片制造工藝用傳輸載板,包括輸送載板和娃片,娃片陣列排放在輸送載板上,所述的輸送載板外周設有一圈輸送導向結構,輸送載板表面設置有娃片放置槽陣列,所述的娃片放置槽陣列由橫向筋和縱向筋分隔而成,橫向筋或縱向筋上開有抽氣夾縫,每個娃片放置槽內均設有4個氣壓平衡孔;所述的輸送載板之間采用互補式連接。根據本實用新型的另一個實施例,進一步包括,所述的輸送載板之間的連接方式為前一塊輸送載板的下凸臺與后一塊輸送載板的上凸臺疊合。本實用新型的有益效果是,本實用新型通過夾縫,使氣體可以從硅片周圍抽出,不需要從載板邊緣抽出,這樣使得抽氣在每一塊硅片之間是均勻的,另外互補式連接保證了載板能夠均衡、平穩(wěn)地運行。
以下結合附圖
和實施例對本實用新型進一步說明。圖I是本實用新型硅片在輸送載板上的分布圖;圖2是本實用新型輸送載板上表面硅片放置槽結構圖;圖3是本實用新型硅片抽空狹縫的結構圖;圖4是本實用新型的載板之間的互補連接結構圖;[0013]圖中I、輸送載板,2、娃片,3、娃片放置槽陣列,4、娃片放置槽,5、抽氣夾縫,6、氣壓平衡孔,7、輸送導向結構,9、橫向筋,10、縱向筋,11、下凸臺,12、上凸臺。
具體實施方式
如圖I、圖2、圖3所示,一種太陽能硅片制造工藝用傳輸載板,包括輸送載板I和娃片2,娃片2陣列排放在輸送載板I上,所述的輸送載板2外周設有一圈輸送導向結構7,輸送載板I表面設置有硅片放置槽陣列3,所述的硅片放置槽陣列3由橫向筋9和縱向筋10分隔而成,橫向筋9或縱向筋10上開有抽氣夾縫5,每個娃片放置槽4內均設有4個氣壓平衡孔6 ;所述的輸送載板I之間采用互補式連接。所述的載板主體,采用鋁合金材料、石墨材料,或陶瓷材料進行精密機械加工,表面采取噴細砂和深度鈍化處理。放置的硅片2,規(guī)格可以是125xl25_或156x156mm。所述的輸送載板I外周設有一圈輸送導向結構7,它的目的是讓載板能夠連續(xù)被傳動,載板輸送導向結構7能保證載板能夠均衡、平穩(wěn)運行。硅片放置槽4保證了硅片在生產工序中不相互疊合??v向筋10或橫向筋9也可以選擇性地 開有抽氣夾縫,可以在放置槽四邊筋上都開口,也可以限制在對位的兩根筋上,通過夾縫,氣體可以從硅片周圍抽出,不需要從載板邊緣抽出。這樣使抽氣在每一塊硅片之間是均勻的。硅片裝載/卸載的氣壓平衡孔6,確保了硅片快速裝載/卸載時不因產生負壓而破碎。本輸送載板的另一個設計實用新型點是在載板之間的互補式連接,可避免影響氣流的均勻性,保證了載板能夠均衡、平穩(wěn)地運行。如圖4所示,所述的輸送載板I之間的連接方式為前一塊輸送載板I的下凸臺11與后一塊輸送載板I的上凸臺12疊合,使氣體不能從他們之間抽出。防止了前后載板之間產生的不均勻氣流使硅片制成的絨面不均勻。另外,載板在等離子干法制絨腔體時前后緊密相接也能增加產能。以下為本實用新型的一個具體應用實例在比太科技的干法制絨體系里(產品型號”太梭”),載板是IMX IM的鋁板制成。其上開有36個硅片放置槽陣列,每個硅片槽是157x157mm,槽深度是0. 5mm.這樣的槽位使硅片在里面不會移位。硅片和硅片之間的筋1mm。在筋上開設Imm寬的夾縫。夾縫的長度是150臟,接近硅片的長度。可在四邊筋上都開口,也可限制在對位的兩根筋上。載板下面是腔體真空抽氣空。這樣,氣流就通過載板上的夾縫進入腔體抽氣空。雖然載板很大,但是抽氣仍然可以均勻地通過載板。通過以上設計,硅片和硅片自己刻蝕的均勻性可以達到3%。不用這樣的實用新型,氣流從載板邊緣抽走,硅片之間的刻蝕均勻性是10%。以上內容是結合具體的優(yōu)選實施方式對本實用新型所作的進一步詳細說明,不能認定本實用新型的具體實施只局限于這些說明。對于本實用新型所屬技術領域的普通技術人員來說,在不脫離本實用新型構思的前提下,其架構形式能夠靈活多變,可以派生系列產品。只是做出若干簡單推演或替換,都應當視為屬于本實用新型由所提交的權利要求書確定的專利保護范圍。
權利要求1.一種太陽能硅片制造工藝用傳輸載板,包括輸送載板(I)和硅片(2),硅片(2)陣列排放在輸送載板(I)上,其特征是,所述的輸送載板(I)外周設有一圈輸送導向結構(7),輸送載板(I)表面設置有硅片放置槽陣列(3),所述的硅片放置槽陣列(3)由橫向筋(9)和縱向筋(10)分隔而成,橫向筋(9)或縱向筋(10)上開有抽氣夾縫(5),每個娃片放置槽(4)內均設有4個氣壓平衡孔(6);所述的輸送載板(I)之間采用互補式連接。
2.根據權利要求I所述的太陽能硅片制造工藝用傳輸載板,其特征是,所述的輸送載板(I)之間的連接方式為前一塊輸送載板(I)的下凸臺(11)與后一塊輸送載板(I)的上凸臺(12)疊合。
專利摘要本實用新型涉及太陽能硅片制造工藝用的等離子設備技術領域,尤其是一種太陽能硅片制造工藝用傳輸載板,包括輸送載板和硅片,硅片陣列排放在輸送載板上,所述的輸送載板外周設有一圈輸送導向結構,輸送載板表面設置有硅片放置槽陣列,所述的硅片放置槽陣列由橫向筋和縱向筋分隔而成,橫向筋或縱向筋上開有抽氣夾縫,每個硅片放置槽內均設有4個氣壓平衡孔,所述的輸送載板之間采用互補式連接,前一塊輸送載板的下凸臺與后一塊輸送載板的上凸臺疊合。本實用新型通過夾縫,使氣體可以從硅片周圍抽出,不需要從載板邊緣抽出,這樣使得抽氣在每一塊硅片之間是均勻的,另外互補式連接保證了載板能夠均衡、平穩(wěn)地運行。
文檔編號H01L21/677GK202549900SQ20122012501
公開日2012年11月21日 申請日期2012年3月29日 優(yōu)先權日2012年3月29日
發(fā)明者上官泉元, 劉勇, 黃培思 申請人:常州比太科技有限公司