技術(shù)編號：7112550
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及太陽能硅片制造工藝用的等離子設(shè)備，尤其是一種太陽能硅片制造工藝用傳輸載板。背景技術(shù)太陽能電池硅片在電池制造工藝中有一系列生產(chǎn)工序，其中有等離子干法刻蝕，等離子成膜(PECVD)等。為了增加單位時間內(nèi)硅片的處理量，一般用大面積處理工藝來完成。也就是說，很多娃片(125x125mm或156x156mm)可以同時放置在一塊載板上。處理這種硅片的設(shè)備通常用平板式電極產(chǎn)生等離子體。載板可以靜態(tài)放置在其中的一個電極上， 直到工藝完成后再取出來(跳躍式)，...
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