專利名稱：緩沖式藥液添加系統(tǒng)的制作方法
技術領域：
緩沖式藥液添加系統(tǒng)
技術領域：
本實用新型涉及ー種用于太陽能硅電池濕法刻蝕機及制絨機的緩沖式藥液添加系統(tǒng)，該系統(tǒng)主要應用于防止腐蝕性藥液添加時快速不安全性，解決了該設備中添加的精確度和安全性。
背景技木目前，國內國產的太陽能硅電池濕法刻蝕及制絨設備中，由于藥液添加的特殊エ藝要求，添加速度過快，導致添加盒液位波動較大，當液位波動較大時影響添加藥液的精度同時，對液位監(jiān)測傳感器帶來干擾。

實用新型內容為了保證藥液添加系統(tǒng)的精確度和傳感器的準確輸出，本實用新型提供了ー種緩沖式藥液添加系統(tǒng)，通過這套緩沖系統(tǒng)，解決了傳統(tǒng)的添加導致精確度低，傳感器誤反饋的難題。充分提高了藥液的濃度比例，使エ藝達到理想的要求。本實用新型的上述目的通過以下的技術方案來實現(xiàn)一種緩沖式藥液添加系統(tǒng)，包括緩沖盒、進液管和添加液管，其特征在干所述緩沖盒內設有高精度液位計，并且液位計設有保護裝置使液位上升是在浮力作用下完成，避免了連續(xù)添加液面浮動所帶來的誤差，提聞液位顯不精度。所述液位計保護管上方開有透氣孔，避免內壓差使液位不準確。本實用新型的有益效果是藥液快速添加時能精確控制添加藥液體積，明顯提高藥液配比濃度同時達到理想的エ藝要求。

圖I為本實用新型的結構示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型進ー步詳述如圖I所示，一種緩沖式藥液添加系統(tǒng)，包括緩沖盒I、進液管2和添加液管3，其特征在于所述緩沖盒I內設有高精度液位計4，所述高精度液位計4上設有液位計保護管5。藥液通過進液管2進入緩沖盒I內，由于高精度液位計4有液位計保護管5的保護，當進液管2快速進液時，對高精度液位計4產生較小的干擾保證液位計準確反饋液位高度。為了盡可能在結構上降低液面波動，在液位計保護管5上方開有透氣孔(圖中未示出)，保證液位計4因壓カ差帶來的誤顯示的情況，致使藥液添加精度降低。由于藥液添加通常在幾次連續(xù)添加過程中完成，緩沖式藥液添加系統(tǒng)通過液位保護管，在浮力的作用下使液位緩慢上升，液面波動微小可以消除連續(xù)添加中帶來的誤差提高添加精度。 則本技術方案實施完畢。
權利要求1.一種緩沖式藥液添加系統(tǒng)，包括緩沖盒、進液管和添加液管，其特征在于所述緩沖盒內設有高精度液位計，所述高精度液位計上設有液位計保護管。
2.根據權利要求I所述的ー種緩沖式藥液添加系統(tǒng)，其特征在于所述液位計保護管上方開有透氣孔。
專利摘要本實用新型公開了一種緩沖式藥液添加系統(tǒng)，包括緩沖盒、進液管和添加液管，其特征在于所述緩沖盒內設有高精度液位計，所述高精度液位計上設有液位計保護管。本實用新型的有益效果是藥液快速添加時能精確控制添加藥液體積，明顯提高藥液配比濃度同時達到理想的工藝要求。
文檔編號H01L31/18GK202601696SQ201220104208
公開日2012年12月12日 申請日期2012年3月19日 優(yōu)先權日2012年3月19日
發(fā)明者施利君, 錢誠 申請人:蘇州晶洲裝備科技有限公司