專利名稱:半導(dǎo)體器件銅線焊接銅球保護裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件銅線焊接銅球保護裝置。
背景技術(shù):
半導(dǎo)體器件的芯片和管腳的連接,以往基本采用金線方式,但隨國際金價飆升,金線所占半導(dǎo)體器件的成本比重也隨之增加很多,導(dǎo)致器件制造成本居高不下,影響企業(yè)競爭力。擺在企業(yè)面前的問題是怎樣用其它廉價線材生產(chǎn)出性能更好,成本更低的半導(dǎo)體器件就變的非常重要,銅線因其導(dǎo)電性能好,和鋁可形成共鍵焊接,成為ー種很好的替代金線選擇,但銅線在高壓打火成型過程中會氧化,隨之硬度變高,球形不良,會對芯片焊墊結(jié)構(gòu)造成損傷。怎么使球不氧化,球形良好成為ー個很重要的必需克服問題。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體器件銅線焊接銅球保護裝置,該保護裝置不僅克服了半導(dǎo)體器件采用銅線會被氧化的技術(shù)難題,使半導(dǎo)體器件采用銅線焊接成為ー種可能,而且結(jié)構(gòu)簡單,有利于銅線更好的焊接,使用效果好。本發(fā)明的技術(shù)方案在于一種半導(dǎo)體器件銅線焊接銅球保護裝置,其特征在于該保護裝置包括氫氮混合配氣裝置,所述氫氮混合配氣裝置的混合氣輸出端經(jīng)連接氣管與設(shè)置在焊線機打火裝置旁側(cè)的毛細管相連接,所述毛細管經(jīng)固定座與焊線機打火裝置固連。上述連接氣管上還設(shè)置有流量計。上述氫氮混合氣各組分的體積比為N2 :H2=9(T95 :5 10。作為ー種優(yōu)選方案,所述氫氮混合氣各組分的體積比為=N2 H2=95 :5。另外,本實用新型還公開了一種半導(dǎo)體器件銅線焊接銅球保護方法,其特征在于在焊線機打火裝置旁側(cè)安裝毛細管,并使毛細管對準打火燒球位置,當高壓對銅線放電,銅線尖端因高壓融化成球,同時毛細管吹出氫氮混合氣,以使銅球與空氣隔開,避免被氧化。上述氫氮混合氣各組分的體積比為N2 :H2=9(T95 :5 10。作為ー種優(yōu)選方案,所述氫氮混合氣各組分的體積比為=N2 H2=95 :5。本發(fā)明的優(yōu)點在干該保護裝置解決了半導(dǎo)體器件僅采用金線焊接的技術(shù)瓶頸,克服了半導(dǎo)體器件采用銅線會被氧化的技術(shù)難題,使半導(dǎo)體器件采用銅線焊接成為ー種可能,降低了半導(dǎo)體器件的制造成本,提高企業(yè)的經(jīng)濟效益,具有極高的市場價值;該保護裝置結(jié)構(gòu)簡單,有利于銅線更好的焊接,使用效果好。
圖I是本發(fā)明實施例I的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1氫氮混合配氣裝置2連接氣管3焊線機打火裝置4毛細管5固定座6流量計。
具體實施方式
為讓本發(fā)明的上述特征和優(yōu)點能更明顯易懂,下文特舉實施例,并配合附圖,作詳細說明如下。參看附圖1,本發(fā)明的半導(dǎo)體器件銅線焊接銅球保護裝置,該保護裝置包括氫氮混合配氣裝置1,所述氫氮混合配氣裝置I的混合氣輸出端經(jīng)連接氣管2與設(shè)置在焊線機打火裝置3旁側(cè)的毛細管4相連接,所述毛細管4經(jīng)固定座5與焊線機打火裝置3固連。這里所述的固定座5為固定安裝架。上述連接氣管2上還設(shè)置有流量計6。上述氫氮混合氣各組分的體積比為N2 :H2=9(T95 :5 10。作為ー種優(yōu)選方案,所述氫氮混合氣各組分的體積比為=N2 H2=95 :5。本發(fā)明的半導(dǎo)體器件銅線焊接銅球保護方法,在焊線機打火裝置旁側(cè)安裝毛細管,并使毛細管對準打火燒球位置,當高壓對銅線放電,銅線尖端因高壓融化成球,同時毛細管吹出氫氮混合氣,以使銅球與空氣隔開,避免被氧化。上述氫氮混合氣各組分的體積比為N2 :H2=9(T95 :5 10。作為ー種優(yōu)選方案,所述氫氮混合氣各組分的體積比為=N2 H2=95 :5。本發(fā)明不局限上述最佳實施方式,凡依本發(fā)明申請專利范圍所做的均等變化與修飾,皆應(yīng)屬本發(fā)明的涵蓋范圍。
權(quán)利要求1.一種半導(dǎo)體器件銅線焊接銅球保護裝置,其特征在于該保護裝置包括氫氮混合配氣裝置,所述氫氮混合配氣裝置的混合氣輸出端經(jīng)連接氣管與設(shè)置在焊線機打火裝置旁側(cè)的毛細管相連接,所述毛細管經(jīng)固定座與焊線機打火裝置固連。
2.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體器件銅線焊接銅球保護裝置,其特征在于所述連接氣管上還設(shè)置有流量計。
專利摘要一種半導(dǎo)體器件銅線焊接銅球保護裝置,該保護裝置包括氫氮混合配氣裝置,所述氫氮混合配氣裝置的混合氣輸出端經(jīng)連接氣管與設(shè)置在焊線機打火裝置旁側(cè)的毛細管相連接,所述毛細管經(jīng)固定座與焊線機打火裝置固連。該保護裝置不僅克服了半導(dǎo)體器件采用銅線會被氧化的技術(shù)難題,使半導(dǎo)體器件采用銅線焊接成為一種可能,而且結(jié)構(gòu)簡單,有利于銅線更好的焊接,使用效果好。
文檔編號H01L21/60GK202498315SQ20122002288
公開日2012年10月24日 申請日期2012年1月18日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月18日
發(fā)明者劉友志 申請人:福建福順半導(dǎo)體制造有限公司