專利名稱：化學(xué)藥液分配裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，具體涉及一種化學(xué)藥液分配裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體硅片濕法清洗工藝中會用到各種化學(xué)藥液，這些化學(xué)藥液或呈酸性、堿性或者具有強烈的腐蝕性，又或者粘度較高、易揮發(fā)，某些化學(xué)藥液可能因為造價高等問題還要求在使用壽命內(nèi)循環(huán)使用。若某化學(xué)藥液粘度較高并易揮發(fā)而且還可循環(huán)使用，則該化學(xué)藥液會因為粘度高在管路中流動困難，難以達(dá)到工藝所需的壓力和流量；因為易揮發(fā)會影響其組分的配比且會增加其粘度，而且因為可以循環(huán)使用，所以在工藝過后需流回化學(xué)藥液存儲裝置，這更加劇了該化學(xué)藥液的揮發(fā)，從而進(jìn)一步增加其粘度，嚴(yán)重影響了工藝效果。
目前，相關(guān)的半導(dǎo)體工藝設(shè)備解決上述問題是采用如圖I中所示的裝置。由于該化學(xué)藥液可循環(huán)利用，在進(jìn)入工藝腔室完成工藝后還需進(jìn)行回收，因此需要一個專門的儲存容器1，儲存容器I可以存儲一定量的化學(xué)藥液，既可以完成工藝開始前的準(zhǔn)備工作，工藝完成后還可以繼續(xù)存儲回收的化學(xué)藥液。工藝開始時，首先打開第四氣動閥6向儲存容器中注入一定量的化學(xué)藥液，關(guān)閉第四氣動閥6 ;第一氣動閥3打開,化學(xué)藥液在循環(huán)泵2 的作用進(jìn)入工藝管路，由于該化學(xué)藥液粘度較高，該裝置在工藝管路上安裝了在線加熱器 10，在滿足工藝需求的情況下將化學(xué)藥液加熱到某一溫度，溫度升高以后，化學(xué)藥液的粘度降低，可以更好的在工藝管路中流動，達(dá)到工藝所需的流量和壓力，之后經(jīng)由氣動三通閥8 以及第三氣動閥5進(jìn)入儲液容器I。另外，該化學(xué)藥液易揮發(fā)，工藝單元9完成工藝后還需將化學(xué)藥液經(jīng)由第二氣動閥4回收，這更加劇了化學(xué)藥液的揮發(fā)，該裝置采用的方法是，通過定時控制第五氣動閥7的開合，向儲存容器I中注入一定量的純水，對化學(xué)藥液進(jìn)行稀釋。
由于既需要控制在線加熱器10的加熱溫度，同時又需要控制純水的注入，操作不便；同時，由于第五氣動閥7以及在線加熱器10的設(shè)置，使得該裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜。發(fā)明內(nèi)容
(一)要解決的技術(shù)問題
本發(fā)明的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，控制點少的化學(xué)藥液分配裝置。
(二)技術(shù)方案
本發(fā)明技術(shù)方案如下
一種化學(xué)藥液分配裝置，包括
儲存容器，其內(nèi)部儲存化學(xué)藥液，其頂部設(shè)置有注液入口和回液入口，其底部設(shè)置有與循環(huán)泵的輸入端連接的出液口；
采樣閥，其為三通閥，其輸入端連接循環(huán)泵的輸出端，采樣端連接熱水注入通道， 輸出端連接氣動三通閥的輸入端；
氣動三通閥，其第一輸出端連接儲存容器的回液入口，第二輸出端連接工藝單元的輸入端，所述工藝單元的輸出端連接所述儲存容器的回液入口。
優(yōu)選的，所述工藝單元為多個，所述氣動三通閥與所述工藝單元的數(shù)量相同，各個氣動三通閥的第二輸出端分別與對應(yīng)的工藝單元的輸入端連接，每個工藝單元的輸出端分別與所述儲存容器的回液入口連接。
優(yōu)選的，所述熱水注入通道上設(shè)置有流量控制元件。
優(yōu)選的，所述儲存容器上設(shè)置有液位傳感器。
優(yōu)選的，所述循環(huán)泵為磁力泵。
(三)有益效果
本發(fā)明的一種化學(xué)藥液分配裝置通過在工藝管路上設(shè)置熱水注入通道，代替了現(xiàn)有技術(shù)中的在線加熱機構(gòu)以及純水注入機構(gòu)，將加熱與純水注入合二為一，簡化了化學(xué)藥液分配裝置的結(jié)構(gòu)，方便了操作，同時減少了控制點。


圖I是現(xiàn)有技術(shù)中化學(xué)藥液分配裝置的示意圖2是本發(fā)明的一種化學(xué)藥液分配裝置的示意圖。
圖中，I :儲存容器；2 :循環(huán)泵；3 :第一氣動閥；4 :第二氣動閥；5 :第三氣動閥；6 第四氣動閥；7 :第五氣動閥；8 :氣動三通閥；9 :工藝單元；10 :在線加熱器；11 :熱水注入通道；12:采樣閥。
具體實施方式
下面結(jié)合附圖和實施例，對發(fā)明的具體實施方式
做進(jìn)一步描述。以下實施例僅用于說明本發(fā)明，但不用來限制本發(fā)明的范圍。
本發(fā)明與圖I中所示的現(xiàn)有技術(shù)的不同之處主要在于不再向儲存容器I中定時補水，同時去掉在線加熱器10，采用向工藝管路中注入一定量特定溫度熱水的方法來達(dá)到降低化學(xué)藥液粘度的目的，同時也改善了其易揮發(fā)的不足。具體實施過程如下所述
如圖2所示的一種化學(xué)藥液分配裝置，包括儲存容器1，其內(nèi)部儲存化學(xué)藥液，其頂部設(shè)置有注液入口和回液入口，注液入口用于通過第四氣動閥6注入化學(xué)藥液，回液入口用于供化學(xué)藥液回流；儲存容器I上設(shè)置有液位傳感器，便于從外部觀察注入化學(xué)藥液的總量；儲存容器I的輸出端與循環(huán)泵2的輸入端連接，用于驅(qū)動化學(xué)藥液的循環(huán)流動；循環(huán)泵2為磁力泵，磁力泵具有使用壽命長且無需保養(yǎng)等特點；采樣閥12為三通閥，循環(huán)泵 2的輸出端與采樣閥12的輸入端連接；采樣閥12的采樣端與熱水注入通道11連接，用于向工藝管路中注入熱水；熱水注入通道11上設(shè)置有流量控制元件，用于控制注入的熱水的量；采樣閥12的輸出端與氣動三通閥8的輸入端連接；氣動三通閥8的第一輸出端通過管道與儲存容器I的回液入口連接，管道上設(shè)置有第三氣動閥5，當(dāng)化學(xué)藥液總量比較大需要回流時，打開第三氣動閥5使化學(xué)藥液回流；第二輸出端與工藝單元9的輸入端連接；工藝單元9的輸出端通過管道與儲存容器I的回液入口連接，管道上設(shè)置有第二氣動閥4，在工藝過程中打開第二氣動閥4供工藝完成后的化學(xué)藥液的回收。
工藝單元9和氣動三通閥8都是兩個，每個氣動三通閥8的第二輸出端分別與對應(yīng)的工藝單元9的輸入端連接，每個工藝單元9的輸出端分別與儲存容器I的回液入口連接；兩個工藝單元9可以同時工作，也可以只有其中之一工作。
實際操作步驟如下
注入化學(xué)藥液打開第四氣動閥6，向儲存容器I中注入一定量的化學(xué)藥液，化學(xué)藥液的量可由儲存容器I上安裝的液位傳感器監(jiān)控；待儲存容器I內(nèi)的化學(xué)藥液液位達(dá)到預(yù)設(shè)要求時，關(guān)閉第四氣動閥6。
工藝前的準(zhǔn)備工作打開第一氣動閥3，啟動磁力泵2，打開第三氣動閥5，化學(xué)藥液從儲存容器I流出，依次經(jīng)過每個工藝單元9上的氣動三通閥8，最后經(jīng)由第三氣動閥5 流回儲存容器I。在此階段，注入的熱水的量及溫度可以精確控制?？刂品绞娇梢允嵌〞r打開采樣閥12的采樣端，讓特定溫度的熱水注入工藝管路，降低化學(xué)藥液的粘度；也可以是采用較細(xì)的熱水管路，同時在管路中接入針閥等流量控制元件，保持采樣閥12的采樣端一直為打開狀態(tài)，通過流量控制元件控制熱水的注入。
工藝過程關(guān)閉第三氣動閥5，同時切換每個氣動三通閥8，兩個工藝單元9可以同時工作，也可以只有其中之一工作，此時，化學(xué)藥液會通過工藝單元的回收管路經(jīng)過第二氣動閥4流回儲存容器I。
本發(fā)明的優(yōu)點
本發(fā)明的化學(xué)藥液分配裝置不需要向儲存容器中定時定量的補水，而直接向工藝管路中注入恒定溫度的熱水，在降低了化學(xué)藥液粘度的同時也補充了由于揮發(fā)而失去的水分，同時本方案相比現(xiàn)有技術(shù)節(jié)省了在線加熱器，熱水的溫度可以精確控制，簡化了化學(xué)藥液分配裝置的結(jié)構(gòu)，方便了操作，同時減少了控制點。
以上實施方式僅用于說明本發(fā)明，而并非對本發(fā)明的限制，有關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，還可以做出各種變化和變型，因此所有等同的技術(shù)方案也屬于本發(fā)明的保護(hù)范疇。
權(quán)利要求
1.一種化學(xué)藥液分配裝置，其特征在于，包括儲存容器(I )，其內(nèi)部儲存化學(xué)藥液，其頂部設(shè)置有注液入口和回液入口，其底部設(shè)置有與循環(huán)泵(2)的輸入端連接的出液口 ；采樣閥(12)，其為三通閥，其輸入端連接循環(huán)泵(2)的輸出端，采樣端連接熱水注入通道(11)，輸出端連接氣動三通閥(8)的輸入端；氣動三通閥(8 )，其第一輸出端連接儲存容器(I)的回液入口，第二輸出端連接工藝單元(9)的輸入端，所述工藝單元(9)的輸出端連接所述儲存容器(I)的回液入口。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種化學(xué)藥液分配裝置，其特征在于，所述工藝單元(9)為多個，所述氣動三通閥(8)與所述工藝單元(9)的數(shù)量相同，各個氣動三通閥(8)的第二輸出端分別與對應(yīng)的工藝單元(9)的輸入端連接，每個工藝單元(9)的輸出端分別與所述儲存容器(I)的回液入口連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種化學(xué)藥液分配裝置，其特征在于，所述熱水注入通道(11)上設(shè)置有流量控制元件。
4.根據(jù)權(quán)利要求I至3任意一項所述的一種化學(xué)藥液分配裝置，其特征在于，所述儲存容器(I)上設(shè)置有液位傳感器。
5.根據(jù)權(quán)利要求I至3任意一項所述的一種化學(xué)藥液分配裝置，其特征在于，所述循環(huán)泵(2)為磁力泵。
全文摘要
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，具體涉及一種化學(xué)藥液分配裝置。該裝置包括儲存容器，其內(nèi)部儲存化學(xué)藥液，其頂部設(shè)置有注液入口和回液入口，其底部設(shè)置有與循環(huán)泵的輸入端連接的出液口；采樣閥，其為三通閥，其輸入端連接循環(huán)泵的輸出端，采樣端連接熱水注入通道，輸出端連接氣動三通閥的輸入端；氣動三通閥，其第一輸出端連接儲存容器的回液入口，第二輸出端連接工藝單元的輸入端，工藝單元的輸出端連接儲存容器的回液入口。本發(fā)明的一種化學(xué)藥液分配裝置通過在工藝管路上設(shè)置熱水注入通道，代替了現(xiàn)有技術(shù)中的在線加熱機構(gòu)以及純水注入機構(gòu)，將加熱與純水注入合二為一，簡化了化學(xué)藥液分配裝置的結(jié)構(gòu)，方便了操作，同時減少了控制點。
文檔編號H01L21/67GK102938385SQ201210459209
公開日2013年2月20日 申請日期2012年11月14日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月14日
發(fā)明者王營營, 何金群, 初國超, 裴立坤, 賈星杰 申請人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司