技術編號：7145304
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及半導體制造領域，具體涉及一種化學藥液分配裝置。背景技術在半導體硅片濕法清洗工藝中會用到各種化學藥液，這些化學藥液或呈酸性、堿性或者具有強烈的腐蝕性，又或者粘度較高、易揮發(fā)，某些化學藥液可能因為造價高等問題還要求在使用壽命內循環(huán)使用。若某化學藥液粘度較高并易揮發(fā)而且還可循環(huán)使用，則該化學藥液會因為粘度高在管路中流動困難，難以達到工藝所需的壓力和流量；因為易揮發(fā)會影響其組分的配比且會增加其粘度，而且因為可以循環(huán)使用，所以在工藝過后需流回化學藥液存儲裝...
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