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顯示裝置及其制造方法

文檔序號(hào):7105936閱讀:155來源:國知局
專利名稱:顯示裝置及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種顯示裝置及其制造方法,尤其涉及一種采用雙連接(dual-link)結(jié)構(gòu)用以實(shí)現(xiàn)窄邊框的顯示裝置及其制造方法。
背景技術(shù)
隨著信息技術(shù)的進(jìn)步,作為連系用戶和信息的媒介的顯示裝置的市場(chǎng)不斷擴(kuò)張。因此,諸如液晶顯示器(IXD)、有機(jī)發(fā)光顯示器(OLED)以及等離子顯示面板(PDP)等這樣的顯示裝置的應(yīng)用不斷增長。這種顯示裝置出于各種目的被應(yīng)用于電視機(jī)、錄像機(jī)、電腦、移動(dòng)電話等等。下文中,將參照附圖詳細(xì)描述現(xiàn)有技術(shù)的普通顯示裝置。圖I是示意性圖解現(xiàn)有 技術(shù)的普通顯示裝置的平面圖。圖2是圖I所示的顯示裝置的“E”部分的放大平面圖。參照?qǐng)DI和圖2,如上所述,諸如IXD或者OLED這樣的顯示裝置10包括顯示單元20、非顯示單元和驅(qū)動(dòng)單元,顯示單元20中以矩陣形式布置有多個(gè)子像素(未示出),非顯示單元包圍顯示單元20,驅(qū)動(dòng)單元用于驅(qū)動(dòng)子像素。驅(qū)動(dòng)單元包括時(shí)序驅(qū)動(dòng)單元(未示出)、數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)單元30等等。數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)單元30形成在顯示裝置10的面板上,而時(shí)序驅(qū)動(dòng)單元形成在與所述面板連接的柔性電路板(未示出)上。如上所述構(gòu)造的普通顯示裝置10需要連接配線26,連接配線26的數(shù)量對(duì)應(yīng)于所述多個(gè)子像素的柵極線的數(shù)量,以將柵極信號(hào)施加至各條柵極線。因此,在普通顯示裝置10中,根據(jù)用于提高分辨率所需的柵極線的數(shù)量而增加連接配線26的數(shù)量,于是,顯示裝置10的邊框的寬度(W)也增加。因此,應(yīng)該尋求改善該問題的方案。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一個(gè)方面是提供一種通過應(yīng)用雙連接結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)窄邊框(narrowbazel)的顯示裝置,以及所述顯示裝置的制造方法。本發(fā)明的另一個(gè)方面是提供一種通過應(yīng)用雙連接結(jié)構(gòu)能夠減少相鄰連接配線之間的電阻差的顯示裝置,以及所述顯示裝置的制造方法。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面,提供一種顯示裝置,包括第一基板,所述第一基板包括顯示單元和包圍所述顯示單元的非顯示單元;驅(qū)動(dòng)單元;其中所述第一基板進(jìn)一步包括多個(gè)薄膜晶體管,所述多個(gè)薄膜晶體管形成在所述顯示單元中;以及多條第一連接配線和多條第二連接配線,所述多條第一連接配線和所述多條第二連接配線交替地形成在所述非顯示單元中,用于將來自所述驅(qū)動(dòng)單元的柵極信號(hào)施加給所述顯示單元中的各條柵極線;以及第二基板,所述第二基板與所述第一基板貼合,其中所述第一連接配線與所述第二連接配線相鄰,并且所述第一連接配線形成在第一層上,所述第二連接配線形成在與所述第一層不同的第二層上。柵極線形成在所述第一層上,數(shù)據(jù)線形成在所述第二層上。所述第一層可以是陣列基板。當(dāng)所述緩沖層形成在所述陣列基板上時(shí),所述第一層可以是所述緩沖層。所述第二層可以是柵極絕緣層。所述的顯示裝置可以進(jìn)一步包括第一連接電極,所述第一連接電極將所述第一連接配線與所述柵極線電連接;以及第二連接電極,所述第二連接電極將所述第二連接配線與所述柵極線電連接。所述第一連接電極和所述第二連接電極可以由相同的材料制成。所述第一連接配線可以進(jìn)一步包括第一輔助連接配線,所述第二連接配線可以進(jìn)一步包括第二輔助連接配線。
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所述第一輔助連接配線可以與所述第一連接配線平行并且形成在所述第一連接配線上方,所述第二輔助連接配線可以與所述第二連接配線平行并且形成在所述第二連接配線上方。所述第一輔助連接配線可以形成在所述第一連接配線的正上方,第二輔助連接配線可以形成在第二連接配線的正上方。所述第一輔助連接配線和所述第二輔助連接配線可以形成在相同的層上。例如,所述第一輔助連接配線和所述第二輔助連接配線形成在覆蓋所述數(shù)據(jù)線的鈍化層上。所述第一輔助連接配線的寬度可以窄于所述第一連接配線的寬度,所述第二輔助連接配線的寬度可以窄于所述第二連接配線的寬度。所述第一輔助連接配線和所述第二輔助連接配線可以由透明導(dǎo)電材料形成。所述第一輔助連接配線和所述第二輔助連接配線可以與像素電極形成在相同的層上。所述第一輔助連接配線和所述第二輔助連接配線可以與所述第一連接電極和所述第二連接電極形成在相同的層上。所述第一連接配線與所述第一輔助連接配線可以彼此電連接,所述第二連接配線與所述第二輔助連接配線可以彼此電連接。所述第一連接配線可以包括形成在所述第一層上的第一下子連接配線和形成在所述第二層上的第一上子連接配線,所述第二連接配線包括形成在所述第一層上的第二下子連接配線和形成在所述第二層上的第二上子連接配線。所述第一下子連接配線與所述第一上子連接配線可以通過第三連接電極相連,所述第二下子連接配線與所述第二上子連接配線可以通過第四連接電極相連。所述第一下子連接配線與所述第二上子連接配線可以彼此相鄰并且交替地形成,所述第一上子連接配線與所述第二下子連接配線可以彼此相鄰并且交替地形成。所述第一下子連接配線與所述第二下子連接配線可以形成在相同的層上,例如緩沖層或者陣列基板上。并且第一上子連接配線與所述第二上子連接配線可以形成在相同的層上,例如柵極絕緣層上。根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方面,提供一種制造顯示裝置的方法,包括提供第一基板,所述第一基板包括顯示單元和包圍所述顯示單元的非顯示單元;在所述顯示單元中形成柵極線,在所述非顯示單元中形成多條第一連接配線;形成覆蓋所述柵極線和所述第一連接配線的柵極絕緣層;形成薄膜晶體管的有源層;在所述顯示單元中形成數(shù)據(jù)線、源極和漏極,在所述非顯示單元中形成多條第二連接配線;形成覆蓋所述數(shù)據(jù)線、所述源極、所述漏極和所述第二連接配線的鈍化層;形成暴露所述柵極線、所述第一連接配線、所述第二連接配線和所述漏極的接觸孔;形成與所述漏極連接的像素電極;提供第二基板;以及將所述第一基板與所述第二基板貼合。所述第一連接配線與所述第二連接配線可以在所述非顯示單元中交替地形成,并且所述第一連接配線與所述第二連接配線相鄰。所述形成與所述漏極連接的像素電極的步驟進(jìn)一步包括分別形成將所述第一連接配線與所述柵極線連接的連接電極、以及將所述第二連接配線與所述柵極線連接的連接電極。所述形成與所述漏極連接的像素電極的步驟進(jìn)一步包括分別在所述第一連接配線與所述第二連接配線上方形成輔助連接配線。 所述輔助連接配線由形成像素電極的透明導(dǎo)電材料形成。 根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方面,提供一種制造顯示裝置的方法,包括提供第一基板和第二基板,其中所述第一基板包括顯示單元和包圍所述顯示單元的非顯示單元;提供驅(qū)動(dòng)單元;在所述顯示單元中形成柵極線,在所述非顯示單元中形成多條第一下子連接配線和多條第二下子連接配線;形成覆蓋所述柵極線、所述第一下子連接配線和所述第二下子連接配線的柵極絕緣層;形成薄膜晶體管的有源層;在所述顯示單元中形成數(shù)據(jù)線、源極和漏極,在所述非顯示單元中形成多條第一上子連接配線和多條第二上子連接配線;形成覆蓋所述數(shù)據(jù)線、所述源極、所述漏極、所述第一上子連接配線和所述第二上子連接配線的鈍化層;形成暴露所述柵極線、所述第一下子連接配線、所述第二下子連接配線、所述第一上子連接配線和所述第二上子連接配線的接觸孔;形成與所述漏極連接的像素電極,并且形成連接電極,所述連接電極將相應(yīng)的柵極線分別與所述第一上子連接配線連接、將相應(yīng)的所述柵極線分別與所述第二下連接配線連接、將所述第一下子連接配線分別與所述第一上子連接配線連接、將所述第二下子連接配線分別與所述第二上子連接配線連接;以及將所述第一基板與所述第二基板貼合。所述第一下子連接配線與所述第二下子連接配線可以在相同的層上彼此隔開。所述第一上子連接配線與所述第二上子連接配線可以在相同的層上彼此隔開。所述第一下子連接配線與所述第二上子連接配線可以彼此相鄰并且交替地形成,所述第一上子連接配線與所述第二下子連接配線可以彼此相鄰并且交替地形成。當(dāng)結(jié)合附圖通過下面對(duì)本發(fā)明的詳細(xì)描述,本發(fā)明的前述及其它目標(biāo)、特征、方面和優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得更加清晰。


圖I是示意性地示出普通顯示裝置的平面圖。圖2是示出圖I所示的顯示裝置的一部分的放大平面圖。圖3是示意性地示出根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的顯示裝置的平面圖。圖4是示出圖3所示的根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的顯示裝置的一部分的放大平面圖。圖5A、圖5B和圖5C是分別示意性地示出圖4所示的根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的顯示裝置中沿A-A’、B-B’、C-C’線所取的連接單元的剖面示圖。
圖6是示意性地示出根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施方式的顯示裝置的平面圖。圖7是示出圖6所示的根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施方式的顯示裝置的一部分的放大平面圖。圖8A和圖SB是分別示意性地示出圖7所示的根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施方式的顯示裝置中沿D-D’和E-E’線所取的陣列基板的剖面示圖。圖9A到9E是順序示出制造圖7所示的根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施方式的顯示裝置的工藝的剖面圖,其中以制造LCD陣列基板的工藝以非顯示單元的連接單元(圖9A到圖9E中的上圖)以及顯示單元的TFT區(qū)域(圖9A到圖9E中的下圖)為例。圖10是示意性地示出根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施方式的顯示裝置的平面圖。圖11是示出圖10所示的根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施方式的顯示裝置的一部分的放大平面圖。圖12是示意性地示出圖11所示的根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施方式的顯示裝置中沿F-F’線所取的陣列基板的剖面示圖。圖13A到圖13E是順續(xù)示出制造圖11所示的根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施方式的顯示裝置的工藝的剖面圖,其中制造LCD陣列基板的工藝以非顯示單元內(nèi)的連接單元(圖13A到圖13E中的上圖)以及顯示單元的TFT區(qū)域(圖13A到圖13E中的下圖)為例。圖14是示意性地示出根據(jù)本發(fā)明的第四實(shí)施方式的顯示裝置的平面圖。圖15是示出圖14所示的根據(jù)本發(fā)明的第四實(shí)施方式的顯示裝置的一部分的放大平面圖。
具體實(shí)施方式
將參照附圖詳細(xì)描述根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式的顯示裝置以及所述裝置的制造方法。圖3是示意性地示出根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的顯示裝置的平面圖。此外,圖4是示出圖3所示的根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的顯示裝置的一部分的放大平面圖,其中連接單元的“E”部分被放大以進(jìn)行圖解。圖5A、圖5B和圖5C是分別示意性地示出圖4所示的根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的顯示裝置中沿A-A’、B-B’、C-C’線所取的連接單元的剖面示圖。參照?qǐng)D3到圖5A、圖5B和圖5C,根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施方式的顯示裝置100包括顯示單元120、非顯示單元和驅(qū)動(dòng)單元,在顯示單元120中以矩陣形式布置有多個(gè)子像素(未示出),非顯示單元包圍顯示單元120,驅(qū)動(dòng)單元用于驅(qū)動(dòng)子像素。這里,驅(qū)動(dòng)單元包括時(shí)序驅(qū)動(dòng)單元(未示出)、數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)單元130等。這里,數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)單元130形成在顯示裝置100的面板上,時(shí)序驅(qū)動(dòng)單元可以形成在柔性電路板(未示出)上。然而,本發(fā)明并不局限于此。這里,顯示裝置100可以包括液晶顯示器(IXD)或者有機(jī)發(fā)光顯示器。當(dāng)以IXD作為顯示裝置100的實(shí)例時(shí),盡管在附圖中未示出,但顯示裝置100的面板可以由作為第一基板的濾色器基板、作為第二基板的陣列基板110以及在所述濾色器基板與陣列基板110之間形成的液晶層構(gòu)成。這里,濾色器基板包括濾色器、黑矩陣以及覆層(overcoat),所述濾色器由紅色、綠色和藍(lán)色子濾色器組成,所述黑矩陣分隔(demarcate)所述子濾色器并且阻擋透過液晶層的光,所述覆層形成在濾色器和黑矩陣的上部上。限定單位像素區(qū)域的柵極線和數(shù)據(jù)線被形成為垂直地和水平地布置在陣列基板110上,而作為開關(guān)元件的薄膜晶體管可以形成在每個(gè)單位像素區(qū)域處,例如在柵極線和數(shù)據(jù)線彼此交叉的薄膜晶體管(TFT)區(qū)域處。這里,TFT包括與柵極線連接的柵極、與數(shù)據(jù)線連接的源極以及與像素電極連接的漏極。此外,TFT包括柵極絕緣層115a和有源層,柵極絕緣層115a用于將柵極與源極/漏極絕緣,有源層在源極與漏極之間形成導(dǎo)電溝道。在這里以及下文中,“源極/漏極”是指“源極和漏極”。此外,TFT還包括用于將源極/漏極電極與像素電極絕緣的保護(hù)層115b。根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施方式的顯示裝置100要求許多與柵極線相對(duì)應(yīng)的連接配線126a和126b,以將柵極信號(hào)施加給各條柵極線。 這里,根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施方式的顯示裝置100采用雙連接結(jié)構(gòu),即其中多條連接配線126a和126b分別交替地形成在不同層上,故能夠在連接單元中布置與現(xiàn)有技術(shù)相同數(shù)量的連接配線126a和126b而總寬度比現(xiàn)有技術(shù)的連接單元更小,從而減小顯示單元100的邊框“W”。即,在本發(fā)明的第一實(shí)施方式中,與連接配線形成在同一層上的現(xiàn)有技術(shù)相比,第一連接配線126a和第二連接配線126b形成在不同的層上,具體地說,分別形成在上面形成有柵極線的第一層上和上面形成有數(shù)據(jù)線的第二層上,從而減少了連接配線126a與126b之間的空間,故能夠在連接單元中布置與現(xiàn)有技術(shù)相同數(shù)量的連接配線126a和126b而總寬度比現(xiàn)有技術(shù)的連接單元更小。所述第一層可以是上面形成有柵極線的基板,所述第二層可以是上面形成有數(shù)據(jù)線的柵極絕緣層。如果柵極配線層被定義為其中形成有柵極線的空間而數(shù)據(jù)配線層被定義為其中形成有數(shù)據(jù)線的空間,則第一連接配線126a可構(gòu)成包括柵極線的柵極配線層的一部分,第二連接配線126b可構(gòu)成包括數(shù)據(jù)線的數(shù)據(jù)配線層的一部分。也就是說,柵極配線層是上面形成有柵極線的第一基板與覆蓋柵極線的柵極絕緣層之間的空間,數(shù)據(jù)配線層是上面形成有數(shù)據(jù)線的柵極絕緣層與覆蓋數(shù)據(jù)線的鈍化層之間的空間。此外,盡管當(dāng)執(zhí)行工藝時(shí)會(huì)稍微發(fā)生疊加移位(overlay shift),但是在所述第一層和第二層上分別形成的第一連接配線126a和第二連接配線126b之間的間隔能夠被最大限度的減小,而不會(huì)引起第一連接配線126a與第二連接配線126b之間的短路。由于根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的顯示裝置100采用雙連接結(jié)構(gòu),所以需要接觸孔140b和140c用以將第二連接配線126b與連接單元116中的柵極線連接(這里,連接單元116中的柵極線是指從顯示單元延伸到非顯示單元的柵極線)。即,形成在柵極絕緣層上的第二連接配線126b通過第二接觸孔140b與形成在覆蓋數(shù)據(jù)線的鈍化層上的第二連接電極145b電連接,第二連接電極145b還通過第三接觸孔140c與連接單元116中的柵極線電連接,因此形成在柵極絕緣層上的第二連接配線126b與連接單元116中的相對(duì)應(yīng)的柵極線連接。這里,形成在基板上的第一連接配線126a(當(dāng)緩沖層形成在基板上時(shí),第一連接配線126a形成在緩沖層上)也以相同的方式通過第一接觸孔140a與第一連接電極145a電連接,所述第一連接電極145a也形成在上面形成有第二連接電極145b的鈍化層上,而且由于第一連接電極145a通過第三接觸孔140c與連接單元116中的柵極線電連接,所以第一連接配線126a也與連接單元116中相對(duì)應(yīng)的柵極線連接。根據(jù)連接單元116中柵極線的順序交替地形成第一連接配線126a和第二連接配線126b,并且在該情形下,例如,連接單元116中的奇數(shù)序號(hào)柵極線可以與第一連接配線126a連接,連接單元116中的偶數(shù)序號(hào)柵極線可以與第二連接配線126b連接。然而,本發(fā)明并不局限于此。第一和第二連接電極145a和145b可以由諸如氧化銦錫(IT0)或者氧化銦鋅(IZO)這樣的透明導(dǎo)電材料制成??梢孕纬傻谝唤佑|孔140a、第二接觸孔140b以及第三接觸孔140c,以分別穿過(penetrate)第一連接配線126a、第二連接配線126b以及連接單元116中的柵極線。
同時(shí),在根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的雙連接結(jié)構(gòu)中,第一層上的第一連接配線126a和第二層上的第二連接配線126b并非同時(shí)蝕刻,故在第一連接配線126a的臨界尺寸I (⑶I)與第二連接配線126b的臨界尺寸I’(⑶I’)之間會(huì)有差異(I關(guān)I’)。這里,臨界尺寸是指配線的寬度。由各配線的⑶差引起的電阻差可能造成模糊型缺陷(dim typedefect),該缺陷波紋狀(dimply)水平地出現(xiàn)在顯示裝置100的屏幕上。特別地,全球移動(dòng)顯示裝置市場(chǎng)正朝著具有高分辨率、窄邊框發(fā)展,因此,邊框的寬度減少,而要在所述邊框中構(gòu)圖的連接配線的數(shù)量增加。由于應(yīng)該在有限的邊框?qū)挾戎袑⒃O(shè)置比現(xiàn)有技術(shù)數(shù)量更多的連接配線,所以電路應(yīng)該必需地被設(shè)計(jì)成具有細(xì)小間距(fine pitches),使得減少連接配線的⑶,也減少連接配線之間的間隔。由于連接配線之間的電阻差,所以在細(xì)小間距的設(shè)計(jì)中不可避免的CD的減少會(huì)導(dǎo)致圖像的變形。此外,在雙連接結(jié)構(gòu)中,后沉積的數(shù)據(jù)配線層中的連接配線的CD根據(jù)先沉積的柵極配線層中的連接配線的⑶而改變。因此,在根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施方式的顯示裝置中,在第一連接配線和第二連接配線上方分別并聯(lián)地形成額外的配線,以減少電阻差。將參照附圖對(duì)此進(jìn)行詳細(xì)說明。圖6是示意性地示出根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施方式的顯示裝置的平面圖此外,圖7是示出圖6所示的根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施方式的顯示裝置的一部分的放大平面圖,其中連接單元的“E”部分被放大以進(jìn)行圖解。圖8A和圖SB是分別示意性地示出圖7所示的根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施方式的顯示裝置中沿D-D’和E-E’線所取的陣列基板的剖面示圖。參照?qǐng)D6到圖8A和圖8B,根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施方式的顯示裝置200包括顯示單元220、非顯示單元和驅(qū)動(dòng)單元,其中在顯示單元220中以矩陣形式布置有多個(gè)子像素(未示出),非顯示單元包圍顯示單元220,驅(qū)動(dòng)單元用于驅(qū)動(dòng)子像素。驅(qū)動(dòng)單元包括時(shí)序驅(qū)動(dòng)單元(未示出)、數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)單元230、電平移位器(未示出)等。這里,數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)單元230形成在顯示裝置200的面板上,時(shí)序驅(qū)動(dòng)單元可以形成在與面板連接的柔性電路板(未示出)上,或者可以形成在與所述柔性電路板連接的外部系統(tǒng)基板上,等等。然而,本發(fā)明并不局限于此,而且時(shí)序驅(qū)動(dòng)單元可以與數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)單元230 —起形成。驅(qū)動(dòng)單元以集成電路(IC)的形式安裝在面板上,并且柔性電路板貼合于所述面板。這里,面板和柔性電路板可以通過各向異性導(dǎo)電膜(ACF)貼合。
這里,顯示裝置200包括,例如,諸如IXD裝置或者OLED顯示裝置這樣的平板顯示
>J-U裝直。當(dāng)以IXD作為顯示裝置200的實(shí)例時(shí),盡管未詳細(xì)示出,但顯示裝置200的面板可以包括作為第一基板的濾色器基板、作為第二基板的陣列基板210以及在所述濾色器基板與陣列基板210之間形成的液晶層。這里,濾色器基板可以包括濾色器、黑矩陣以及覆層,所述濾色器包括紅色、綠色和藍(lán)色子濾色器,所述黑矩陣分隔所述子濾色器并且阻擋透過液晶層的光,所述覆層形成在濾色器和黑矩陣的上部上。
垂直地和水平地布置以限定像素區(qū)域的柵極線和數(shù)據(jù)線形成在陣列基板210上,作為開關(guān)元件的薄膜晶體管形成在柵極線和數(shù)據(jù)線的交叉區(qū)域處,即TFT區(qū)域處。這里,薄膜晶體管包括與柵極線連接的柵極、與數(shù)據(jù)線連接的源極以及與像素電極連接的漏極。此外,TFT包括柵極絕緣層215a和有源層,其中柵極絕緣層215a用于將柵極與源極/漏極絕緣,通過供給柵極的柵極電壓,所述有源層用于在源極與漏極之間形成導(dǎo)電溝道。此外,TFT包括用于將源極/漏極與像素電極絕緣的保護(hù)層215b。根據(jù)上述構(gòu)造的本發(fā)明的第二實(shí)施方式的顯示裝置200需要許多與柵極線相對(duì)應(yīng)的連接配線226a和226b,以將柵極信號(hào)施加給多個(gè)子像素的各條柵極線。這里,根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施方式的顯示裝置200采用雙連接結(jié)構(gòu),在所述雙連接結(jié)構(gòu)中以與上述本發(fā)明第一實(shí)施方式相同的方式形成多條連接配線226a和226b。特別地,在本發(fā)明的第二實(shí)施方式中,在第一連接配線226a和第二連接配線226b上方分別形成額外的配線,即第一輔助連接配線226a’和第二輔助連接配線226b’,并且所述第一輔助連接配線226a’和第二輔助連接配線226b’分別與第一連接配線226a和第二連接配線226b并聯(lián),以減少電阻差,從而防止由于柵極配線層中的第一連接配線226a與數(shù)據(jù)配線層中的第二連接配線226b之間的電阻差導(dǎo)致的缺陷圖像。優(yōu)選地,第一輔助連接配線形成在第一連接配線的正上方,并且第二輔助連接配線形成在第二連接配線的正上方。這里,第一輔助連接配線226a’和第二輔助連接配線226b’可以由諸如氧化銦錫(ITO)或者氧化銦鋅(IZO)這樣的透明導(dǎo)電材料制成。第一輔助連接配線226a’和第二輔助連接配線226b’可以形成在覆蓋數(shù)據(jù)線的鈍化層上。與本發(fā)明的第一實(shí)施方式相似,根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施方式的顯示裝置200需要接觸孔240b和240c,用以將第二連接配線226b與連接單元216中的柵極線相連(這里,連接單元216中的柵極線是指向非顯示單元延伸的顯示單元的柵極線)。即,第二連接配線226b通過第二接觸孔240b與形成在第二連接配線226b上方的第二輔助連接配線226b’電連接,第二輔助連接配線226b’通過第三接觸孔240c與連接單元216中的柵極線電連接,因此第二連接配線226b與連接單元216中的相對(duì)應(yīng)的柵極線連接。在該情形下,以相同的方式,在第一層上的第一連接配線226a還通過第一接觸孔240a與第一輔助連接配線226a’電連接,而第一輔助連接配線226a’通過第三接觸孔240c與連接單元216中的柵極線電連接,因此第一連接配線226a與連接單元216中的相對(duì)應(yīng)柵極線連接。 同時(shí),在數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)單元230中,第一連接配線226a和第二連接配線226b通過第四接觸孔(未示出)分別與第一輔助連接配線226a’和第二輔助連接配線226b’電連接。
通過這種方式,由 于第一輔助連接配線226a’和第二輔助連接配線226b’分別與第一連接配線226a和第二連接配線226b并聯(lián),所以降低了總電阻,并且能夠減小第一連接配線226a與第二連接配線226b之間的電阻差。第一連接配線226a和第二連接配線226b根據(jù)連接單元216中柵極線的順序交替地形成,在該情形下,例如可以將連接單元216中的奇數(shù)序號(hào)柵極線與第一連接配線226a連接,而將連接單元216中的偶數(shù)序號(hào)柵極線與第二連接配線226b連接。然而,本發(fā)明并不局限于此。將參照附圖詳細(xì)描述制造上述構(gòu)造的顯示裝置的方法。圖9A到9E是順序示出制造圖7所示的根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施方式的顯示裝置的工藝的剖面圖,其中制造LCD陣列基板的工藝以非顯示單元的連接單元(圖9A到圖9E中的上圖)以及顯示單元的TFT區(qū)域(圖9A到圖9E中的下圖)為例。如圖9A中所示,在由諸如玻璃這樣的透明絕緣材料制成的陣列基板210的顯示單元中形成柵極221和柵極線(未示出),在陣列基板210的非顯示單元中形成第一連接配線226a0這里,通過在陣列基板210的整個(gè)表面上沉積第一導(dǎo)電膜形成柵極221、柵極線以及第一連接配線226a,然后通過光刻工藝(第一掩模工藝)選擇性地構(gòu)圖(pattern)第一導(dǎo)電膜。這里,第一導(dǎo)電膜可以由諸如鋁(Al)、鋁合金、鎢(W)、銅(Cu)、鉻(Cr)、鑰(Mo)、鑰合金、或類似這樣的低電阻不透明導(dǎo)電材料制成。此外,第一導(dǎo)電膜也可以具有多層結(jié)構(gòu),在所述多層結(jié)構(gòu)中兩種或更多種低電阻導(dǎo)電材料疊置(stack)。接著,如圖9B中所示,在上面已經(jīng)形成有柵極221、柵極線以及第一連接配線226a的陣列基板210的整個(gè)表面上順序形成柵極絕緣層215a、非晶硅薄膜以及n+非晶硅薄膜。然后,通過光刻工藝(第二掩模工藝)選擇性地去除非晶硅薄膜和n+非晶硅薄膜。從而,由非晶硅薄膜形成的有源層224在陣列基板210的TFT區(qū)域中形成,而n+非晶硅薄膜圖案225在有源層224上形成,所述n+非晶硅薄膜圖案225被構(gòu)圖成具有與有源層224基本上相同的形狀。之后,如圖9C中所示,在上面已經(jīng)形成有有源層224和n+非晶硅薄膜圖案225的陣列基板210的整個(gè)表面上形成第二導(dǎo)電膜。這里,第二導(dǎo)電膜可以由諸如鋁(Al)、鋁合金、鎢(W)、銅(Cu)、鉻(Cr)、鑰(Mo)、鑰合金或類似這樣的低電阻不透明導(dǎo)電材料制成。此夕卜,第二導(dǎo)電膜也可以具有多層結(jié)構(gòu),在所述多層結(jié)構(gòu)中兩種或者更多種低電阻導(dǎo)電材料疊置。之后,通過光刻(第三掩模工藝)選擇性地去除n+非晶硅薄膜和第二導(dǎo)電膜,以形成由位于有源層224上部的第二導(dǎo)電膜形成的源極222和漏極223。同時(shí),由第二導(dǎo)電膜形成的數(shù)據(jù)線(未示出)在陣列基板210的數(shù)據(jù)線區(qū)域中形成,同時(shí),通過第三掩模工藝在陣列基板210的非顯示單元中形成由第二導(dǎo)電膜形成的第二連接配線226b。根據(jù)柵極線的順序交替地形成第一連接配線226a和第二連接配線226b,在該情形下,可以將奇數(shù)序號(hào)柵極線與第一連配線226a連接,而將偶數(shù)序號(hào)柵極線與第二連接配線226b連接。
在該情形下,有源層224上形成歐姆接觸層225n,所述歐姆接觸層225n由n+非晶硅薄膜形成并允許有源層224的源極/漏極區(qū)域與源極222/漏極223進(jìn)行歐姆接觸。然后,如圖9D中所示,在上面已經(jīng)形成有源極222/漏極223、數(shù)據(jù)線以及第二連接配線226b的陣列基板210的整個(gè)表面上形成保護(hù)層215b。通過光刻工藝(第四掩模工藝),選擇性地去除保護(hù)層215b和柵極絕緣層215a,以形成第一接觸孔240a(見圖7)、第二接觸孔240b、第三接觸孔240c和第四接觸孔(未示出),其中第一、二、三接觸孔240a、240b、240c在陣列基板210的跳線區(qū)域(jumping region)中分別暴露部分第一連接配線226a、部分第二連接配線226b和部分柵極線,而第四接觸孔在陣列基板210的數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)單元中暴露部分第一連接配線225a和部分第二連接配線225b。此外,通過第四掩模工藝,在陣列基板210的顯示單元中形成第五接觸孔240e,以暴露部分漏極223。 這里,第一接觸孔至第五接觸孔可以這樣形成使得下部的第一導(dǎo)電膜或第二導(dǎo)電膜被暴露,或者下部的第一導(dǎo)電膜或第二導(dǎo)電膜可被去除以暴露該第一導(dǎo)電膜和第二導(dǎo)電膜的側(cè)面(lateral sides)。然后,如圖9E中所示,在上面形成有保護(hù)層215b的陣列基板210的整個(gè)表面上形成由透明導(dǎo)電材料制成的第三導(dǎo)電膜,然后通過使用光刻工藝(第五掩模工藝)進(jìn)行選擇性地構(gòu)圖,以形成像素電極228,在陣列基板210的像素區(qū)域中所述像素電極228通過第五接觸孔240e與漏極223電連接。同時(shí),通過使用第五掩模工藝選擇性地構(gòu)圖第三導(dǎo)電膜,以形成第一輔助連接配線226a’。這里,第一輔助連接配線226a’形成在第一連接配線226a上方,并且通過第一接觸孔240a和第三接觸孔240c分別與第一連接配線226a和柵極線電連接,并且第一輔助連接配線226a’通過第四接觸孔與驅(qū)動(dòng)電路單元的第一連接配線226a電連接。此外,通過使用第五掩模工藝,選擇性地構(gòu)圖第三導(dǎo)電膜以形成第二輔助連接配線226b’。這里,第二輔助連接配線226b’形成在第二連接配線226b的上方,并且通過第二接觸孔240b和第三接觸孔240c分別與第二連接配線226b和柵極線電連接,并且第二輔助連接配線226b’通過第四接觸孔與驅(qū)動(dòng)電路單元的第二連接配線226b電連接。同時(shí),根據(jù)第三和第四實(shí)施方式的顯示裝置可以這樣制造使得通過跳線結(jié)構(gòu)分別形成柵極配線層中的連接配線和數(shù)據(jù)配線層中的連接配線,從而包括不同層的連接配線,由此減小相鄰連接配線之間的電阻差。將參照附圖對(duì)此進(jìn)行詳細(xì)描述。圖10是示意性地示出根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施方式的顯示裝置的平面圖。圖11是示出圖10所示的根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施方式的顯示裝置的一部分的放大平面圖。圖12是示意性地示出圖11所示的根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施方式的顯示裝置中沿F-F’線所取的陣列基板的剖面示圖。參照?qǐng)D10到圖12,根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施方式的顯示裝置300包括顯示單元320、非顯示單元和驅(qū)動(dòng)單元,在顯示單元320中以矩陣形式布置有多個(gè)子像素(未示出),非顯示單元包圍顯示單元320,驅(qū)動(dòng)單元用于驅(qū)動(dòng)子像素。驅(qū)動(dòng)單元包括時(shí)序驅(qū)動(dòng)單元(未示出)、數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)單元330、電平移位器(未示出)等。這里,數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)單元330形成在顯示裝置300的面板上,時(shí)序驅(qū)動(dòng)單元可以形成在與面板連接的柔性電路板(未示出)上,或者形成在與所述柔性電路板連接的外部系統(tǒng)基板上,等等。然而,本發(fā)明并不局限于此,而且時(shí)序驅(qū)動(dòng)單元可以與數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)單元330 —起形成。驅(qū)動(dòng)單元以集成電路(IC)的形式安裝在面板上,柔性電路板貼合于面板。這里,面板和柔性電路板可以通過各向異性導(dǎo)電膜(ACF)貼合。這里,顯示裝置300包括,例如,諸如IXD裝置或者OL ED顯示裝置這樣的平板顯示
>J-U裝直。當(dāng)以IXD裝置作為顯示裝置300的實(shí)例時(shí),盡管未詳細(xì)示出,但顯示裝置300的面板可以包括作為第一基板的濾色器基板、作為第二基板的陣列基板310以及在所述濾色器基板與陣列基板310之間形成的液晶層。這里,濾色器基板可以包括濾色器、黑矩陣以及覆層,所述濾色器包括紅色、綠色和藍(lán)色子濾色器,所述黑矩陣分隔所述子濾色器并且阻止透過液晶層的光,所述覆層形成在濾色器和黑矩陣的上部上。垂直地和水平地布置以限定像素區(qū)域的柵極線和數(shù)據(jù)線形成在陣列基板310上,作為開關(guān)元件的薄膜晶體管形成在柵極線和數(shù)據(jù)線的交叉區(qū)域處,即TFT區(qū)域處。這里,薄膜晶體管包括與柵極線連接的柵極、與數(shù)據(jù)線連接的源極以及與像素電極連接的漏極。此外,TFT包括柵極絕緣層315a和有源層,所述柵極絕緣層315a用于將柵極與源極/漏極絕緣,通過供給柵極的柵極電壓,所述有源層用于在源極與漏極之間形成導(dǎo)電溝道。此外,TFT包括用于將源極/漏極與像素電極絕緣的保護(hù)層315b。根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施方式的如上所述構(gòu)造的顯示裝置300需要許多與柵極線相對(duì)應(yīng)的連接配線組326a和326a,(326a與326a’作為一組)、326b和326b,(326b與326b,作為一組),以將柵極信號(hào)施加給多個(gè)子像素的各條柵極線。這里,根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施方式的顯示裝置300采用雙連接結(jié)構(gòu),在所述雙連接結(jié)構(gòu)中以與如上述本發(fā)明第一實(shí)施方式相似的方式通過使用數(shù)據(jù)配線層和柵極配線層形成多組連接配線326a、326a’和多組連接配線326b和326b’。也就是說,在本發(fā)明第三實(shí)施方式的情形下,第一連接配線組326a、326a’和第二連接配線組326b和326b’交替地形成在柵極配線層和數(shù)據(jù)配線層內(nèi),使得各組彼此相鄰,因而能夠減小相鄰的連接配線組326a、326a’與連接配線組326b和326b’之間的間隔,并因此能夠在連接單元中布置與現(xiàn)有技術(shù)相同數(shù)量的連接配線組326a、326a’和連接配線組326b、326b’,而總寬度比現(xiàn)有技術(shù)的連接單元更小。然而,在本發(fā)明的第三實(shí)施方式中,通過跳線結(jié)構(gòu)分別形成第一連接配線組326a和326a’和第二連接配線組326b和326b’,以包括與連接配線326a和326b形成在不同的層的連接配線326a’和326b’,從而防止由于相鄰連接配線組326a、326a’與326b、326b’之間的電阻差所導(dǎo)致的缺陷圖像。即,第一連接配線組326a、326a’可以包括柵極配線層中的第一連接配線326a (即第一下子連接配線)和數(shù)據(jù)配線層中的第一連接配線326a’(即第一上子連接配線),而第二連接配線組326b、326b’可以包括數(shù)據(jù)配線層中的第二連接配線326b (即第二上子連接配線)和柵極配線層中的第二連接配線326b’(即第二下子連接配線)。這里,由于根據(jù)第三實(shí)施方式的顯示裝置300采用雙連接結(jié)構(gòu),所以需要接觸孔340b和340c,以將第一上子連接配線326a’與連接單元316中的柵極線連接(這里,連接單元316中的柵極線是指向非顯示單元延伸的顯示單元的柵極線)。即,第一上子連接配線326a’通過第二接觸孔340b與上部的第二連接電極345b電連接,而第二連接電極345b通過第三接觸孔340c與連接單元316中的下部的柵極線電連接,由此,第一上子連接配線326a’與連接單元316中的相對(duì)應(yīng)的柵極線連接。并且,第一上子連接配線326a’通過第四連接電極345d與在不同層中的第一下子連接配線326a電連接。在該情形下,以相同的方式,第二下子連接配線326b’也通過第一接觸孔340a與上部的第一連接電極345a電連接,而第一連接電極345a通過第三接觸孔340c與連接單元316中的下部的柵極線電連接,由此,第二下子連接配線326b’與連接單元316中的相對(duì)應(yīng)的柵極線連接。并且,第二下子連接配線326b’通過第三 連接電極345c與在不同層中的第二上子連接配線326b電連接。這種跳線結(jié)構(gòu)形成在第一下和上子連接配線組326a和326a’的至少一個(gè)點(diǎn)處以及第二上和下子連接配線組326b和326b’的至少一個(gè)點(diǎn)處。即,第一下和上子連接配線組326a和326a’以及第二上和下子連接配線組326b和326b’可以在適當(dāng)?shù)狞c(diǎn)跳線至少一次,以便調(diào)整它們的電阻。例如,具有大⑶的線可以跳線至具有?、堑木€一次,具有?、堑木€可以跳線至具有大⑶的線一次,從而允許將電阻校正成中間值。因此,連接配線組326a、326a’和連接配線組326b和326b’之間的電阻偏差得以補(bǔ)償,從而改善屏幕上各行的顏色不同的水平模糊現(xiàn)象。第一下和上子連接配線組326a、326a’以及第二上和下子連接配線組326b、326b’根據(jù)連接單元316中的柵極線的順序交替地形成,在該情形下,例如,連接單元316中的奇數(shù)序號(hào)柵極線可以與第一下和上子連接配線326a和326a’連接,連接單元316中的偶數(shù)序號(hào)柵極線可以與第二上和下子連接配線326b和326b’連接。然而,本發(fā)明并不局限于這種連接方案。第一、第二、第三和第四連接電極345a、345b、345c、345d可以由諸如氧化銦錫(ITO)或者氧化銦鋅(IZ0)這樣的透明導(dǎo)電材料制成。將參照附圖詳細(xì)描述制造上述構(gòu)造的顯示裝置的方法。圖13A到圖13E是順序示出制造圖11所示的根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施方式的顯示裝置的工藝的剖面圖,其中制造LCD陣列基板的工藝以非顯示單元的連接單元(圖13A到圖13E中的上圖)以及顯示單元的TFT區(qū)域(圖13A到圖13E中的下圖)為例。如圖13A中所示,在由諸如玻璃這樣的透明絕緣材料制成的陣列基板310的顯示單元中形成柵極321、柵極線(未示出),在陣列基板310的非顯示單元中形成連接單元316中的柵極線316。這里,通過在陣列基板310的整個(gè)表面上沉積第一導(dǎo)電膜形成柵極321、柵極線、第一下子連接配線326a、第二下子連接配線以及連接單元柵極線316,然后通過光刻工藝(第一掩模工藝)選擇性地構(gòu)圖第一導(dǎo)電膜。這里,第一導(dǎo)電膜可以由諸如鋁(Al)、鋁合金、鎢(W)、銅(Cu)、鉻(Cr)、鑰(Mo)、鑰合金或類似這樣的低電阻不透明導(dǎo)電材料制成。此外,第一導(dǎo)電膜可以具有多層結(jié)構(gòu),在所述多層結(jié)構(gòu)中兩種或更多種低電阻導(dǎo)電材料疊置。接著,如圖13B中所示,在上面已經(jīng)形成有柵極321、柵極線、第一下子連接配線326a、第二下子連接配線和連接單元316的柵極線的陣列基板310的整個(gè)表面上順序形成柵極絕緣層315a、非晶硅薄膜以及n+非晶硅薄膜。然后,通過光刻工藝(第二掩模工藝)選擇性地去除非晶硅薄膜和n+非晶硅薄膜。因此,由非晶硅薄膜形成的有源層324在陣列基板310的TFT區(qū)域中形成。并且這里,有源層324上形成n+非晶硅薄膜圖案325,所述n+非晶硅薄膜圖案325被構(gòu)圖為具有與有源層324基本上相同的形狀。之后,如圖13C中所示,在上面已經(jīng)形成有有源層324和n+非晶硅薄膜圖案325的陣列基板310的整個(gè)表面上形成第二導(dǎo)電膜。這里,第二導(dǎo)電膜可以由諸如鋁(Al)、鋁合金、鎢(W)、銅(Cu)、鉻(Cr)、鑰(Mo)、鑰合金或類似這樣的低電阻不透明導(dǎo)電材料制成。此夕卜,第二導(dǎo)電膜可以具有多層結(jié)構(gòu),在所述多層結(jié)構(gòu)中兩種或更多種低電阻導(dǎo)電材料疊置。之后,通過光刻(第三掩模工藝)選擇性地去除n+非晶硅薄膜和第二導(dǎo)電膜,以形成由位于有源層324上部的第二導(dǎo)電膜形成的源極322和漏極323。同時(shí),在陣列基板310的數(shù)據(jù)線區(qū)域中形成由第二導(dǎo)電膜形成的數(shù)據(jù)線(未示出),同時(shí),通過第三掩模工藝在陣列基板310的非顯示單元中形成由第二導(dǎo)電膜形成的第二上 子連接配線326b以及由第二導(dǎo)電膜形成的第一上子連接配線326a’。根據(jù)連接單元316中柵極線的順序交替地形成第一下子連接配線326a和第一上子連接配線326a’以及第二上子連接配線326b和第二下子連接配線326b’,在該情形下,可以將連接單元316中的奇數(shù)序號(hào)柵極線與第一下子連接配線326a和第一上子連接配線326a’連接,并將連接單元316中的偶數(shù)序號(hào)柵極線與第二上子連接配線326b和第二下子連接配線326b’連接。在該情形下,有源層324上形成歐姆接觸層325n,所述歐姆接觸層325n由n+非晶硅薄膜形成,并且允許有源層324的源極/漏極區(qū)域與源極322/漏極323歐姆接觸。這里,是以執(zhí)行兩次掩模工藝分別形成有源層324和數(shù)據(jù)配線層(S卩,源極322、漏極323、數(shù)據(jù)線、第二上子連接配線326b以及第一上子連接配線326a’)為例的,但是本發(fā)明并不局限于此,有源層324和數(shù)據(jù)配線層可以通過使用衍射曝光或者半色調(diào)(half-tone)曝光的單次掩膜工藝形成。然后,如圖13D中所示,在上面已經(jīng)形成有源極322/漏極323、數(shù)據(jù)線、第二上子連接配線326b以及第一上子連接配線326a’的陣列基板310的整個(gè)表面上形成保護(hù)層315b。通過光刻工藝(第四掩模工藝)選擇性地去除保護(hù)層315b和柵極絕緣層315a,以形成第一接觸孔340a (見圖11)以暴露柵極配線層中的部分第二下子連接配線326b’、第二接觸孔340b和340b’以暴露部分第一上子連接配線326a’、第三接觸孔340c以暴露連接單元316中的部分柵極線、第四接觸孔340d (見圖11)以暴露數(shù)據(jù)配線層中的部分第二上子連接配線326b,以及第五接觸孔340e以暴露部分第一下子連接配線326a,其中所述接觸孔分別在陣列基板310的非顯示單元中暴露、、、。此外,通過第四掩膜工藝,在陣列基板310的顯示單元中形成暴露部分漏極323的第六接觸孔340f。這里,第一接觸孔340a至第六接觸孔340f可以這樣形成使得下部的第一導(dǎo)電膜或者第二導(dǎo)電膜被暴露,或者下部的第一導(dǎo)電膜或第二導(dǎo)電膜可被去除以暴露第一導(dǎo)電膜和第二導(dǎo)電膜的側(cè)面。然后,如圖13E中所示,在上面已形成有保護(hù)層315b的陣列基板310的整個(gè)表面上形成由透明導(dǎo)電材料制成的第三導(dǎo)電膜,然后通過使用光刻工藝(第五掩模工藝)選擇性地構(gòu)圖所述第三導(dǎo)電膜,以形成通過陣列基板310的像素區(qū)域中的第六接觸孔340f與漏極323電連接的像素電極318。同時(shí),通過使用第五掩膜工藝選擇性地構(gòu)圖第三導(dǎo)電膜以形成第一連接電極345a(見圖11)和第三連接電極345c (見圖11),其中第一連接電極345a通過第一接觸孔340a和第三接觸孔340c分別與柵極配線層中的第二下子連接配線326b’和連接單元316中的柵極線電連接,第三連接電極345c通過另一第一接觸孔340a’和第四接觸孔340d分別與柵極配線層中的第二下子連接配線326b’和數(shù)據(jù)配線層中的第二上子連接配線326b電連接。由此,第二上子連接配線326b通過第三連接電極345c與柵極配線層中的第二下子連接配線326b’電連接,柵極配線層中的第二下子連接配線326b’通過第一連接電極345a與連接單元316中的柵極線電連接。此外,通過使用第五掩模工藝,選擇性地構(gòu)圖第三導(dǎo)電膜以形成第二連接電極345b和第四連接電極345d,其中第二連接電極345b通過第二接觸孔340b和第三接觸孔340c與第一上子連接配線326a’和連接單元316中的柵極線電連接,第四連接電極345d通過第二接觸孔340b’和第五接觸孔340e分別與第一上子連接配線326a’和第一下子連接·配線326a電連接。由此,第一下子連接配線326a通過第四連接電極345d與第一上子連接配線326a’電連接,第一上子連接配線326a’通過第二連接電極345b與連接單元316中的柵極線電連接。這里,第三連接電極345c和第四連接電極345d分別形成在第一下和上子連接配線組326a、326a’的至少一個(gè)點(diǎn)處,以及第二上和下子連接配線組326b和326b’的至少一個(gè)點(diǎn)處。同時(shí),在本發(fā)明的第三實(shí)施方式中,是以具有雙連接結(jié)構(gòu)的連接單元形成在顯示單元的一側(cè)為例描述的,但是本發(fā)明并不局限于此。在本發(fā)明的一種實(shí)施方式中,具有雙連接結(jié)構(gòu)的連接單元可以形成在顯示單元的兩側(cè),將在本發(fā)明的第四實(shí)施方式中對(duì)此進(jìn)行詳細(xì)描述。圖14是示意性示出根據(jù)本發(fā)明的第四實(shí)施方式的顯示裝置的平面圖。圖15是示出圖14所示的根據(jù)本發(fā)明的第四實(shí)施方式的顯示裝置的一部分的放大平面圖。參照?qǐng)D14和圖15,根據(jù)本發(fā)明的第四實(shí)施方式的顯示裝置400包括顯示單元420、非顯示單元和驅(qū)動(dòng)單元,在顯示單元420中以矩陣形式布置有多個(gè)子像素(未示出),非顯示單元包圍顯示單元420,驅(qū)動(dòng)單元用于驅(qū)動(dòng)子像素。驅(qū)動(dòng)單元包括時(shí)序驅(qū)動(dòng)單元(未示出)、數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)單元430、電平移位器(未示出)等等。這里,數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)單元430形成在顯示裝置400的面板上,時(shí)序驅(qū)動(dòng)單元可以形成在與面板連接的柔性電路板(未示出)上,或者可以形成在與所述柔性電路板連接的外部系統(tǒng)基板上,等等。然而,本發(fā)明并不局限于此,而且時(shí)序驅(qū)動(dòng)單元可以與數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)單元430 —起形成。驅(qū)動(dòng)單元以集成電路(IC)的形式安裝在面板上,柔性電路板貼合于面板。這里,面板和柔性電路板可以通過各向異性導(dǎo)電膜(ACF)貼合。這里,顯示裝置400包括,例如,諸如IXD裝置或者OLED顯示裝置這樣的平板顯示
>J-U裝直。
當(dāng)以IXD裝置作為顯示裝置400的實(shí)例時(shí),盡管未詳細(xì)示出,但是顯示裝置400的面板可以包括作為第一基板的濾色器基板、作為第二基板的陣列基板以及在濾色器基板與陣列基板之間形成的液晶層。這里,濾色器基板可以包括濾色器、黑矩陣以及覆層,所述濾色器包括紅色、綠色和藍(lán)色子濾色器,所述黑矩陣分隔子濾色器并且阻擋透過液晶層的光,所述覆層形成在濾色器和黑矩陣的上部上。垂直地和水平地布置以限定像素區(qū)域的柵極線和數(shù)據(jù)線形成在陣列基板上,而作為開關(guān)元件的薄膜晶體管形成在柵極線和數(shù)據(jù)線交叉區(qū)域處,即TFT區(qū)域處。這里,薄膜晶體管包括與柵極線連接的柵極、與數(shù)據(jù)線連接的源極以及與像素電極連接的漏極。此外,TFT包括柵極絕緣層和有源層,所述柵極絕緣層用于將柵極與源極/漏極絕緣,通過供給柵極的柵極電壓,所述有源層用于在源極與漏極之間形成導(dǎo)電溝道。此夕卜,TFT包括用于將源極/漏極與像素電極絕緣的保護(hù)層。 根據(jù)本發(fā)明第四實(shí)施方式的如上所訴構(gòu)造的顯示裝置400需要許多與柵極線相對(duì)應(yīng)的連接配線組 4261a、4261a’,4261b、4261b’,426ra、426ra’,426rb、426rb’,以將柵極信號(hào)施加給多個(gè)子像素的各條柵極線。這里,根據(jù)本發(fā)明第四實(shí)施方式的顯示裝置400采用雙連接結(jié)構(gòu),在所述雙連接結(jié)構(gòu)中,以與上述本發(fā)明第一和第二實(shí)施方式相似的方式通過使用數(shù)據(jù)配線層和柵極配線層來形成多條連接配線組4261a、4261a’,多條連接配線組4261b、4261b’、多條連接配線組426ra、426ra’和多條連接配線組426rb、426rb’。也就是說,在本發(fā)明第四實(shí)施方式的情形下,第一下和上子連接配線4261a、4261a’,426ra、426ra’以及第二上和下子連接配線4261b、4261b’,426rb、426rb’交替地形成在柵極配線層和數(shù)據(jù)配線層中,使得第一子連接配線組4261a、4261a’與第二子連接配線組4261b、4261b’相鄰,而第一子連接配線組426ra、426ra’與第二子連接配線組426rb、426rb’相鄰,故能夠減少相鄰的連接配線組4261a、4261a’ 與 4261b、4261b’之間和 426ra、426ra’ 與 426rb、426rb’ 之間的間隔,因此能夠在連接單元中布置相同數(shù)量的連接配線組4261a、4261a’,4261b、4261b’,426ra、426ra’,426rb、426rb’,而總寬度比現(xiàn)有技術(shù)的連接單元更小。然而,與第二實(shí)施方式相似,在本發(fā)明的第四實(shí)施方式中,通過跳線結(jié)構(gòu)分別形成第一連接配線組4261a、4261a’和426ra、426ra’以及第二連接配線組4261b、4261b’和426rb、426rb’,以包括與連接配線4261a、426ra,4261b、426rb形成在不同層的連接配線4261a’、426ra’,4261b’、426rb’,由此防止由于相鄰連接配線組 4261a、4261a’ 與 4261b、4261b’之間,426ra、426ra’與426rb、426rb’之間的電阻差所導(dǎo)致的缺陷圖像。S卩,第一連接配線組4261a、4261a’和426ra、426ra’可以包括在柵極配線層中的第一連接配線4261a、426ra (即第一下子連接配線)以及在數(shù)據(jù)配線層中的第一連接配線4261a’、426ra’(即第一上子連接配線),第二連接配線組4261b、4261b’和426rb、426rb’可以包括在數(shù)據(jù)配線層中的第二連接配線4261b、426rb (即第二上子連接配線)以及在柵極配線層中的第二連接配線4261b’、426rb’(即第二下子連接配線)。此外,第一連接配線組4261a、4261a’和426ra、426ra’可以包括位于左側(cè)的左側(cè)第一下和上子連接配線4261a、4261a’以及位于右側(cè)的右側(cè)第一下和上子連接配線426ra、426ra’,第二連接配線組4261b、4261b’和426rb、426rb’可以包括左側(cè)第二上和下子連接配線4261b、4261b’以及右側(cè)第二上和下子連接配線 426rb、426rb’ 。這里,由于根據(jù)第四實(shí)施方式的顯示裝置400采用雙連接結(jié)構(gòu),所以需要接觸孔440b和440c以將第一上子連接配線4261a’、426ra’(為了解釋起見將基于左側(cè)連接配線描述)與連接單元416中的柵極線(這里,連接單元416中的柵極線是指向非顯示單元延伸的顯示單元的柵極線)連接。即,第一上子連接配線4261a’、426ra’通過第二接觸孔440b與上部的第二連接電極445b電連接,第二連接電極445b通過第三接觸孔440c與連接單元416中的下部的柵極線電連接,因此,第一上子連接配線4261a’、426ra’與連接單元416中的相對(duì)應(yīng)的柵極線連接。并且,第一上子連接配線4261a’、426ra’通過第四連接電極445d與在不同層中的第一下子連接配線4261a、426ra電連接。在該情形下,以相同的方式,第二下子連接配線4261b’、426rb’也通過第一接觸孔440a與上部的第一連接電極445a電連接,第一連接電極445a通過第三接觸孔440c與連 接單元416中的下柵極線電連接,因此,第二下子連接配線4261b’、426rb’與連接單元416中相對(duì)應(yīng)的柵極線連接。并且,第二下子連接配線4261b’、426rb’通過第三連接電極445c與在不同層中的第二上子連接配線4261b、426rb電連接。這種跳線在每組第一下和上子連接配線組4261a、4261a’和426ra、426ra’的至少一個(gè)點(diǎn)處以及每組第二上和下子連接配線組4261b、4261b’和426rb、426rb’的至少一個(gè)點(diǎn)處形成。即,第一下和上子連接配線組4261a、4261a’和426ra、426ra’以及第二上和下子連接配線組4261b、4261b’和426rb、426rb’可以在適當(dāng)?shù)狞c(diǎn)跳線至少一次以便調(diào)整它們的電阻。因此,連接配線 4261a、4261a’ 與 4261b、4261b’,426ra、426ra’ 與 426rb、426rb’ 之間的電阻的偏差得以補(bǔ)償,由此改善屏幕上各個(gè)行的顏色不同的水平模糊現(xiàn)象。根據(jù)連接單元416中柵極線的順序和水平順序,交替地形成第一下和上子連接配線組4261a、4261a’和426ra、426ra’以及第二上和下子連接配線組4261b、4261b’和426rb、426rb’,在該情形下,例如,在左側(cè)基礎(chǔ)上,連接單元416中的奇數(shù)序號(hào)柵極線可以與左側(cè)第一下和上子連接配線4261a、4261a’連接,而連接單元416中的偶數(shù)序號(hào)柵極線可以與左側(cè)第二上和下子連接配線4261b、4261b’連接。此外,在右側(cè)基礎(chǔ)上,連接單元416中的奇數(shù)序號(hào)柵極線可以與右側(cè)第一下和上子連接配線426ra、426ra’連接,連接單元416中的偶數(shù)序號(hào)柵極線可以與右側(cè)第二上和下子連接配線426rb、426rb’連接。然而,本發(fā)明并不局限于這種連接方案。根據(jù)本發(fā)明第一至第四實(shí)施方式的陣列基板通過密封劑以面對(duì)的方式與濾色器基板貼合,所述密封劑施加到圖像顯示部分的外緣(outer edges)的。在該情形下,濾色器基板包括用于防止向TFT漏光的黑矩陣、柵極線、數(shù)據(jù)線以及用于實(shí)現(xiàn)紅色、綠色和藍(lán)色的濾色器。濾色器基板與陣列基板的貼合通過形成在濾色器基板或者陣列基板上的貼合鍵(attachment keys)實(shí)現(xiàn)。本發(fā)明還可以應(yīng)用于利用TFT制造的任何其它顯示裝置,例如OLED (有機(jī)發(fā)光二極管)顯示裝置,其中OLED與驅(qū)動(dòng)晶體管連接。由于本發(fā)明可以在不背離其特征的情況下以多種形式體現(xiàn),故還應(yīng)理解的是,除非另有說明,上述實(shí)施方式并不受任何前述的細(xì)節(jié)的限制,而應(yīng)在如所附權(quán)利要求所限定那樣在權(quán)利要求保護(hù)范圍內(nèi)作廣泛地解釋,因此所有落入權(quán)利要求的界限和范圍內(nèi),或者與這種界限和范圍等同的界限和范圍內(nèi)的變化和修改都意在被所附權(quán)利要求 所包含。
權(quán)利要求
1.一種顯示裝置,包括 第一基板,所述第一基板包括顯示單元和包圍所述顯示單元的非顯示單元; 驅(qū)動(dòng)單元; 其中所述第一基板進(jìn)一步包括 多個(gè)薄膜晶體管,所述多個(gè)薄膜晶體管形成在所述顯示單元中;和 多條第一連接配線和多條第二連接配線,所述多條第一連接配線和所述多條第二連接配線交替地形成在所述非顯示單元中,用于將來自所述驅(qū)動(dòng)單元的柵極信號(hào)施加給所述顯示單元中的各條柵極線;以及 第二基板,所述第二基板與所述第一基板貼合, 其中所述第一連接配線與所述第二連接配線相鄰,并且所述第一連接配線形成在第一層上,所述第二連接配線形成在與所述第一層不同的第二層上。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的顯示裝置,其中柵極線形成在所述第一層上,數(shù)據(jù)線形成在所述第二層上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的顯示裝置,進(jìn)一步包括 第一連接電極,所述第一連接電極將所述第一連接配線與所述柵極線電連接;以及 第二連接電極,所述第二連接電極將所述第二連接配線與所述柵極線電連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的顯示裝置,其中所述第一連接電極和所述第二連接電極由相同的材料制成。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的顯示裝置,其中所述第一連接配線進(jìn)一步包括第一輔助連接配線,所述第二連接配線進(jìn)一步包括第二輔助連接配線。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的顯示裝置,其中所述第一輔助連接配線與所述第一連接配線平行并且所述第一輔助連接配線形成在所述第一連接配線上方,所述第二輔助連接配線與所述第二連接配線平行并且所述第二輔助連接配線形成在所述第二連接配線上方。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的顯示裝置,其中所述第一輔助連接配線形成在所述第一連接配線的正上方,所述第二輔助連接配線形成在所述第二連接配線的正上方。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的顯示裝置,其中所述第一輔助連接配線和所述第二輔助連接配線形成在相同的層上。
9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的顯示裝置,其中所述第一輔助連接配線的寬度比所述第一連接配線的寬度窄,所述第二輔助連接配線的寬度比所述第二連接配線的寬度窄。
10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的顯示裝置,其中所述第一輔助連接配線和所述第二輔助連接配線由透明導(dǎo)電材料形成。
11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的顯示裝置,其中所述第一輔助連接配線和所述第二輔助連 接配線與像素電極形成在相同的層上。
12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的顯示裝置,其中所述第一輔助連接配線和所述第二輔助連接配線與所述第一連接電極和所述第二連接電極形成在相同的層上。
13.根據(jù)權(quán)利要求5所述的顯示裝置,其中所述第一連接配線與所述第一輔助連接配線彼此電連接,所述第二連接配線與所述第二輔助連接配線彼此電連接。
14.根據(jù)權(quán)利要求3所述的顯示裝置,所述第一連接配線包括形成在所述第一層上的第一下子連接配線和形成在所述第二層上的第一上子連接配線,所述第二連接配線包括形成在所述第一層上的第二下子連接配線和形成在所述第二層上的第二上子連接配線。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的顯示裝置,其中所述第一下子連接配線與所述第一上子連接配線通過第三連接電極相連接,所述第二下子連接配線與所述第二上子連接配線通過第四連接電極相連接。
16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的顯示裝置,所述第一下子連接配線與所述第二上子連接配線彼此相鄰并且交替地形成,所述第一上子連接配線與所述第二下子連接配線彼此相鄰并且交替地形成。
17.根據(jù)權(quán)利要求14所述的顯示裝置,其中所述第一下子連接配線與所述第二下子連接配線與所述柵極線形成在相同的層上,所述第一上子連接配線與所述第二上子連接配線與所述數(shù)據(jù)線形成在相同的層上。
18.—種制造顯示裝置的方法,所述方法包括提供第一基板,所述第一基板包括顯示單元和包圍所述顯示單元的非顯示單元;在所述顯示單元中形成柵極線,在所述非顯示單元中形成多條第一連接配線; 形成覆蓋所述柵極線和所述第一連接配線的柵極絕緣層; 形成薄膜晶體管的有源層; 在所述顯示單元中形成數(shù)據(jù)線、源極和漏極,在所述非顯示單元中形成多條第二連接配線; 形成覆蓋所述數(shù)據(jù)線、所述源極和所述漏極、以及所述第二連接配線的鈍化層; 形成暴露所述柵極線、所述第一連接配線、所述第二連接配線和所述漏極的接觸孔; 形成與所述漏極連接的像素電極; 提供第~■基板;以及 將所述第一基板與所述第二基板貼合。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的方法,其中所述第一連接配線與所述第二連接配線在所述非顯示單元中交替地形成,并且所述第一連接配線與所述第二連接配線相鄰。
20.根據(jù)權(quán)利要求18所述的方法,其中所述形成與所述漏極連接的像素電極的步驟進(jìn)一步包括 分別形成將所述柵極線與所述第一連接配線連接的連接電極,和將所述柵極線與所述第二連接配線連接的連接電極。
21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的方法,其中所述形成與所述漏極連接的像素電極的步驟進(jìn)一步包括 分別在所述第一連接配線與所述第二連接配線上方形成輔助連接配線。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的方法,其中所述輔助連接配線由形成像素電極的透明導(dǎo)電材料形成。
23.一種制造顯示裝置的方法,所述方法包括 提供第一基板和第二基板,其中所述第一基板包括顯示單元和包圍所述顯示單元的非顯示單元; 提供驅(qū)動(dòng)單元; 在所述顯示單元中形成柵極線,在所述非顯示單元中形成多條第一下子連接配線和多條第二下子連接配線;形成覆蓋所述柵極線、所述第一下子連接配線和所述第二下子連接配線的柵極絕緣層; 形成薄膜晶體管的有源層; 在所述顯示單元中形成數(shù)據(jù)線、源極和漏極,在所述非顯示單元中形成多條第一上子連接配線和多條第二上子連接配線; 形成覆蓋所述數(shù)據(jù)線、所述源極和漏極、所述第一上子連接配線以及所述第二上子連接配線的鈍化層; 形成暴露所述柵極線、所述第一下子連接配線、所述第二下子連接配線、所述第一上子連接配線和所述第二上子連接配線的接觸孔; 形成與所述漏極連接的像素電極,并且形成連接電極,所述連接電極將相應(yīng)的柵極線分別與所述第一上子連接配線連接、將相應(yīng)的柵極線分別與所述第二下連接配線連接、將所述第一下子連接配線分別與所述第一上子連接配線連接、將所述第二下子連接配線分別與所述第二上子連接配線連接;以及 將所述第一基板與所述第二基板貼合。
24.根據(jù)權(quán)利要求23所述的方法,其中所述第一下子連接配線與所述第二下子連接配線在相同的層上彼此隔開。
25.根據(jù)權(quán)利要求23所述的方法,其中所述第一上子連接配線與所述第二上子連接配線在相同的層上彼此隔開。
26.根據(jù)權(quán)利要求23所述的方法,其中所述第一下子連接配線與所述第二上子連接配線彼此相鄰并且地交替形成,所述第一上子連接配線與所述第二下子連接配線彼此相鄰并且交替地形成。
全文摘要
提供了一種顯示裝置及其制造方法。在用于窄邊框的雙連接結(jié)構(gòu)中,第一連接配線與柵極線形成在相同的層上,第二連接配線與數(shù)據(jù)線形成在相同的層上。第一連接配線和第二連接配線形成在非顯示區(qū)域中?;蛘撸诘谝贿B接配線和第二連接配線上方進(jìn)一步分別形成輔助連接配線?;蛘叩谝贿B接配線和第二連接配線劃分為兩段子連接配線。構(gòu)成一條連接配線的子連接配線分別相連接并形成在不同層上,由此能夠改善由于相鄰連接配線之間的電阻差導(dǎo)致的缺陷圖像。
文檔編號(hào)H01L27/32GK102956672SQ201210290830
公開日2013年3月6日 申請(qǐng)日期2012年8月15日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月18日
發(fā)明者河宗武, 鄭泰容, 樸鐘賢, 趙旸鎬, 金世鎬, 權(quán)永哲, 金成顯 申請(qǐng)人:樂金顯示有限公司
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