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一種被動元件之結構的制作方法

文檔序號:7098203閱讀:180來源:國知局
專利名稱:一種被動元件之結構的制作方法
技術領域
本發(fā)明涉及一種被動元件之結構,特別是有關于一種具有默認膜厚的被動元件之結構。
背景技術
現(xiàn)今社會對于電子產品的依賴性日益提高,人們的身邊總是存在有電子產品,而電子產品內部更是具有電路。并且不論是簡單的電路,亦或是復雜的電路,總是會包含基本的被動元件,舉例而言,電容即是其中的一種被動元件。在電路中,電容可用以儲存能量、更正功率因子以及作為濾波的元件?,F(xiàn)在的被動元件的例如為電極層的導電層是通過刷銀機涂銀漿于被動元件本體的表面上,再以約攝氏800度至900度的高溫燒結此被動元件,且此高溫燒結的處理時間需達數(shù)十分鐘,不僅耗費能源且造成環(huán)境溫度升高。此外,若被動元件的導電層是銀電極,則會因銀本身的活性較大,且在高溫燒結的狀態(tài)時,銀電極會有遷移擴散的現(xiàn)象,而造成被動元件的絕緣電阻降低,影響被動元件的電性,進而導致被動元件的損壞。除此之外,高溫燒結及涂布銀漿均是極耗費成本的制程。

發(fā)明內容
鑒于背景技術提及的各項問題,本發(fā)明提出一種被動元件之結構,以解決現(xiàn)有技術存在的問題。本發(fā)明提供的被動元件之結構,包含:—被動兀件本體,該被動兀件本體具有一第一表面與一第二表面,其中該被動兀件本體的材質可為陶瓷;至少一第一緩沖層,位于該被動元件本體的第一表面上,該第一緩沖層的厚度約介于30納米至300納米之間,其中該第一緩沖層的材質為鎳合金、鋁合金、鎳鉻合金、鎳釩合金、鈦、銀、鉬、不銹鋼316、不銹鋼304或銅合金中的一種;以及,至少一第一導電層,位于該第一緩沖層上,該第一導電層的厚度約介于80納米至1000納米之間,其中該第一導電層的材質為銅、鋅、銅合金、鋅合金、銀或鎳釩合金中的一種。此外,本發(fā)明的被動元件的結構,更可包含:至少一第二緩沖層,位于該被動元件本體的第二表面上,該第二緩沖層的厚度約介于30納米至300納米之間,其中該第二緩沖層的材質可為鎳合金、鋁合金、鎳鉻合金、鎳釩合金、鈦、銀、鉬、不銹鋼316、不銹鋼304或銅合金中的一種;以及,至少一第二導電層,位于該第二緩沖層上,該第二導電層的厚度約介于80納米至1000納米之間,其中該第二導電層的材質為銅、鋅、銅合金、鋅合金、銀或鎳釩合金中的一種。其中,該第一緩沖層與該第二緩沖層的厚度可約介于30納米至130納米之間。
其中,該第一導電層與該第二導電層的厚度可約介于130納米至280納米之間。其中,該第一緩沖層與該第二緩沖層的厚度可約為50納米或100納米,該第一導電層與該第二導電層的厚度可約為250納米。其中,該第一緩沖層與該第二緩沖層通過沉積法沉積于該被動元件本體上,該第一導電層與該第二導電層通過沉積法分別沉積于該第一緩沖層與該第二緩沖層上。其中,該被動元件是電容或突波吸收器或熱敏電阻或壓電陶瓷。本發(fā)明提供的另一種被動元件之結構,包含:—被動兀件本體,該被動兀件本體具有一第一表面與一第二表面,其中該被動兀件的材質可為陶瓷;至少一第一緩沖層,位于該被動元件本體的第一表面上,該第一緩沖層具有第一厚度,其中該第一緩沖層的材質可為鎳合金、鋁合金、鎳鉻合金、鎳釩合金、鈦、銀、鉬、不銹鋼316、不銹鋼304或銅合金中的一種;以及,至少一第一導電層,位于該第一緩沖層上,該第一導電層具有第二厚度,其中該第二厚度與該第一厚度的比值可約為介于0.26至33.34之間,其中該第一導電層的材質可為銅、鋅、銅合金、鋅合金、銀或鎳釩合金中的一種。此外,本發(fā)明的被動元件的結構,更可包含:至少一第二緩沖層,位于該被動元件本體的第二表面上,該第二緩沖層具有第三厚度,其中該第二緩沖層的材質可為鎳合金、鋁合金、鎳鉻合金、鎳釩合金、鈦、銀、鉬、不銹鋼316、不銹鋼304或銅合金中的一種;以及,至少一第二導電層,位于該第二緩沖層上,該第二導電層具有第四厚度,其中該第四厚度與該第三厚度的比值可約為介于0.26至33.34之間,其中該第二導電層的材質可為銅、鋅、銅合金、鋅合金、銀或鎳釩合金中的一種。其中,該第二厚度與該第一厚度的比值可約介于I至9.34之間,該第四厚度與該第三厚度的比值可約介于I至9.34之間。其中,該第一緩沖層與該第二緩沖層通過沉積法沉積于該被動元件本體上,該第一導電層與該第二導電層通過沉積法分別沉積于該第一緩沖層與該第二緩沖層上。其中,該被動元件是電容或突波吸收器或熱敏電阻或壓電陶瓷。本發(fā)明之被動元件之結構,具有下述優(yōu)點:(I)通過預設的第一緩沖層與第一導電層的厚度范圍,甚至第二緩沖層與第二導電層的厚度范圍,以防止損傷被動元件本體。(2)通過預設的第一緩沖層與第一導電層,甚至第二緩沖層與第二導電層的厚度范圍,相較于目前的銀漿涂布的厚度范圍3微米至7微米之間,本發(fā)明提供的的被動元件之結構具有較低的厚度范圍,以降低被動元件的成本。(3)通過預設的第二厚度與第一厚度的比值范圍,甚至第四厚度與第三厚度的比值范圍,以使本發(fā)明的被動元件的電性及附著力、后續(xù)焊接接腳制程后的拉拔力皆可達到標準。(4)通過第一緩沖層第二緩沖層與被動元件本體有較佳膜層鍵結之后,并且利用第一緩沖層與第一導電層,甚至第二緩沖層與第二導電層彼此間之較佳膜層晶格匹配比,以避免第一導電層與第二導電層脫落。


圖1為本發(fā)明實施例的被動元件的側面示意圖。圖2為本發(fā)明實施例的被動元件設有接腳的側面示意圖。圖3為本發(fā)明實施例的被動元件設有接腳的正面示意圖。圖中:10:被動元件、20:被動元件本體、21:第一表面、22:第二表面、31:第一緩沖層、32:第二緩沖層、41:第一導電層、42:第二導電層、51:接腳、52:接腳、61:第一厚度、62:第二厚度、63:第三厚度、64:第四厚度。
具體實施例方式以下將參照相關附圖,說明本發(fā)明較佳實施例的被動元件之結構,為便于理解,下述實施例中之相同元件是以相同之符號標示來說明。本發(fā)明被動元件至少具有一表面,且此表面上可依序堆疊有緩沖層及導電層。此夕卜,本發(fā)明被動元件亦可于另一表面上依續(xù)堆疊有緩沖層及導電層。換句話說,本發(fā)明被動元件可于單面上依序堆疊緩沖層及導電層,亦或者,可于雙面上均依序堆疊有緩沖層及導電層。為使便于理解,下述實施例中于被動元件之不同表面上之緩沖層及導電層具有不同之名稱及符號。以雙面上均依序堆疊有緩沖層及導電層為例,如圖1、圖2、圖3所示,本實施例提供的被動元件10的結構至少包含被動元件本體20、第一緩沖層31、第一導電層41、第二緩沖層32以及第二導電層42。其中,被動兀件本體20具有第一表面21與第二表面22,而第一緩沖層31與第一導電層41依次堆疊于被動元件本體20的第一表面21,以及第二緩沖層32與第二導電層42依次堆疊于被動元件本體20的第二表面22。除此之外,被動元件10還可設有接腳51與接腳52,其中接腳51與接腳52分別電性連接第一導電層41與第二導電層42,接腳51與接腳52的作用是使本實施例的被動元件10的結構可應用于各種電路上。此外,被動元件10可為電容或突波吸收器或熱敏電阻或壓電陶瓷。且第一導電層41與第二導電層42可例如為電極層。其中,被動元件本體20的材質可為陶瓷。并且,第一緩沖層31與第二緩沖層32通過沉積法分別形成于被動兀件本體20之第一表面21與第二表面22。此外,第一導電層41與第二導電層42亦通過相同的沉積法分別形成于第一緩沖層31與第二緩沖層32上。其中,沉積法可例如為蒸鍍,輝光放電沉積、離子鍍或電弧鍍法。具體地,以輝光放電沉積為例,此沉積法是先加熱被動元件本體20至一溫度,再于一段時間內持續(xù)此溫度。其中,此溫度可約為150攝氏度。之后,于一低壓環(huán)境中通入制程氣體,直至此低壓環(huán)境的壓力達到可沉積的工作壓力。其中,此低壓環(huán)境的壓力可約為10_2托(torr)到10_6托(torr)之間。接著,即可開始進行例如輝光放電沉積的沉積動作以形成本實施例的被動元件10的結構。其中,此沉積動作為首先形成第一緩沖層31于被動兀件本體20的第一表面21上,再在第一緩沖層31上形成第一導電層41。之后,于被動元件本體20之第二表面22上形成第二緩沖層32,最后再于第二緩沖層32上形成第二導電層42。此沉積動作亦可為同時先于被動兀件本體20之第一表面21上與第二表面22上形成第一緩沖層31與第二緩沖層32,再于第一緩沖層31上形成第一導電層41與于第二緩沖層32上形成第二導電層42。因此,本實施例的被動元件10的結構中,第一緩沖層31位于被動元件本體20的第一表面21上、第一導電層41位于第一緩沖層31上、第二緩沖層32位于被動兀件本體20的第二表面22上以及第二導電層42位于第二緩沖層32上。此外,第一導電層41與第二導電層42的材質可例如銅、鋅、銅合金、鋅合金、銀或鎳釩合金中的任一種,而第一緩沖層31與第二緩沖層32的材質可例如鎳合金、鋁合金、鎳鉻合金、鎳釩合金、鈦、銀、鉬、不銹鋼316、不銹鋼304或銅合金中的一種。其中,本實施例的被動元件10可通過第一緩沖層31與第二緩沖層32附著于被動元件本體20,并且利用第一緩沖層31、第二緩沖層32與第一導電層41、第二導電層42與被動元件本體20有較佳的膜層鍵結,以避免第一導電層41與第二導電層42脫落。值得一提的是,當被動元件10為電容時,第一導電層41與第二導電層42的面積和被動元件本體20的材質的介電系數(shù),都是此例如為電容的被動元件10的電容量的決定因素。除此之外,本發(fā)明被動元件10亦可僅于被動元件本體20之單面上依序堆疊有第一緩沖層31與第一導電層41。亦或者,本發(fā)明被動元件10可僅于被動元件本體20之單面上依序堆疊有第二緩沖層32與第二導電層42。另外,本發(fā)明被動元件10亦可于被動元件本體20之第一表面21上堆疊有第一緩沖層31與第一導電層41,且第二表面22上堆疊有第二緩沖層32與第二導電層42。此外,第一導電層41、第二導電層42、第一緩沖層31與第二緩沖層32的厚度范圍亦會影響附著力及制造成本。因此,本實施例的被動元件10的結構中,第一緩沖層31具有第一厚度61,第二緩沖層32具有第三厚度63,且第一厚度61與第三厚度63都可約介于30納米至300納米之間,且第一厚度61與第三厚度63較佳的結構是厚度都可約介于30納米至130納米之間。并且,本實施例的被動元件10的結構中的第一導電層41具有第二厚度62,與第二導電層42具有第四厚度64,且第二厚度62與第四厚度64都可約介于80納米至1000納米之間,且第二厚度62與第四厚度64的較佳的結構是厚度都可約介于130納米至280納米之間。而第一厚度61與第二厚度62更佳的結構可約為50納米/250納米或可約為100納米/250納米,且第三厚度63與第四厚度64更佳的結構可約為50納米/250納米或可約為100納米/250納米。因此,本實施例的被動元件10的結構的一個特點在于,通過預設的第一緩沖層31、第二緩沖層32、第一導電層41以及第二導電層42的厚度范圍,即可使本實施例的被動元件10的結構通過拉拔力大于2.5公斤的測試,或本實施例的被動元件10的結構的附著力依美國國家標準ANSI/ASTMD3359-87《用膠帶試驗測定附著力》規(guī)定達5B標準。因此,可得知本實施例的被動元件10的結構確實具有較佳的附著力。另外,本實施例的被動元件10的結構亦可是第二厚度62與第一厚度61的比值范圍可約介于0.26至33.34之間,以及第四厚度64與第三厚度63的比值范圍可約介于0.26至33.34之間。且第二厚度62與第一厚度61較佳的比值范圍可約介于I至9.34之間,以及第四厚度64與第三厚度63較佳的比值范圍可約介于I至9.34之間。當本實施例的被動元件10的結構的比值范圍如上述而言時,本實施例的被動元件10的結構通過拉拔力大于2.5公斤之測試,且本實施例被動元件10的結構的附著力依美國國家標準ANSI/ASTMD3359-87《用膠帶試驗測定附著力》規(guī)定達5B標準。因此,可得知本實施例的被動元件10的結構確實具有較佳的附著力。以上所述僅為舉例性,而非為限制性者。任何未脫離本發(fā)明的精神與范疇,而對其進行的等效修改或變更,均應包含于權利要求范圍中。
權利要求
1.一種被動元件之結構,其特征在于,包含: 一被動元件本體,該被動元件本體具有一第一表面與一第二表面; 至少一第一緩沖層,位于該被動元件本體的第一表面上,該第一緩沖層的厚度介于30納米至300納米之間,其中該第一緩沖層的材質為鎳合金、鋁合金、鎳鉻合金、鎳釩合金、鈦、銀、鉬、不銹鋼316、不銹鋼304或銅合金中的一種;以及, 至少一第一導電層,位于該第一緩沖層上,該第一導電層的厚度介于80納米至1000納米之間,其中該第一導電層的材質為銅、鋅、銅合金、鋅合金、銀或鎳釩合金中的一種。
2.如權利要求1所述的被動元件之結構,其特征在于,更包含: 至少一第二緩沖層,位于該被動元件本體的第二表面上,該第二緩沖層的厚度介于30納米至300納米之間,其中該第二緩沖層的材質為鎳合金、鋁合金、鎳鉻合金、鎳釩合金、鈦、銀、鉬、不銹鋼316、不銹鋼304或銅合金中的一種;以及, 至少一第二導電層,位于該第二緩沖層上,該第二導電層的厚度介于80納米至1000納米之間,其中該第二導電層的材質為銅、鋅、銅合金、鋅合金、銀或鎳釩合金中的一種。
3.如權利要求2所述的被動元件之結構,其特征在于,該第一緩沖層與該第二緩沖層的厚度介于30納米至130納米之間。
4.如權利要求2所述的被動兀件之結構,其特征在于,該第一導電層與該第二導電層的厚度介于130納米至280納米之間。
5.如權利要求2所述的被動元件之結構,其特征在于,該第一緩沖層與該第二緩沖層的厚度為50納米或100納米,該第一導電層與該第二導電層的厚度為250納米。
6.如權利要求2所述的被動元件之結構,其特征在于,該第一緩沖層與該第二緩沖層通過沉積法沉積于該被動元件本體上,該第一導電層與該第二導電層通過沉積法分別沉積于該第一緩沖層與該第二緩沖層上。
7.如權利要求1所述的被動元件之結構,其特征在于,該被動元件是電容或突波吸收器或熱敏電阻或壓電陶瓷。
8.一種被動元件之結構,其特征在于,包含: 一被動元件本體,該被動元件本體具有一第一表面與一第二表面; 至少一第一緩沖層,位于該被動元件本體的第一表面上,該第一緩沖層具有第一厚度,其中該第一緩沖層的材質為鎳合金、鋁合金、鎳鉻合金、鎳釩合金、鈦、銀、鉬、不銹鋼316、不銹鋼304或銅合金中的一種;以及, 至少一第一導電層,位于該第一緩沖層上,該第一導電層具有第二厚度,其中該第二厚度與該第一厚度的比值為介于0.26至33.34之間,且該第一導電層的材質為銅、鋅、銅合金、鋅合金、銀或鎳鑰;合金中的一種。
9.如權利要求8所述的被動元件之結構,其特征在于,更包含: 至少一第二緩沖層,位于該被動元件本體的第二表面上,該第二緩沖層具有第三厚度,其中該第二緩沖層的材質為鎳合金、鋁合金、鎳鉻合金、鎳釩合金、鈦、銀、鉬、不銹鋼316、不銹鋼304或銅合金中的一種;以及, 至少一第二導電層,位于該第二緩沖層上,該第二導電層具有第四厚度,其中該第四厚度與該第三厚度的比值為介于0.26至33.34之間,其中該第二導電層的材質為銅、鋅、銅合金、鋅合金、銀或鎳鑰;合金中的一種。
10.如權利要求9所述的被動元件之結構,其特征在于,該第二厚度與該第一厚度的比值介于I至9.34之間,該第四厚度與該第三厚度的比值介于I至9.34之間。
11.如權利要求9所述的被動元件之結構,其特征在于,該第一緩沖層與該第二緩沖層通過沉積法沉積于該被動元件本體上,該第一導電層與該第二導電層通過沉積法分別沉積于該第一緩沖層與該第二緩沖層上。
12.如權利要求8所述的被動元件之結構,其特征在于,該被動元件是電容或突波吸收器或熱敏電阻或壓電陶瓷。`
全文摘要
本發(fā)明提供一種被動元件之結構。此被動元件的結構包含被動元件本體、第一緩沖層與第一導電層堆疊于被動元件本體的第一表面上,而被動元件本體的第二表面上更可堆疊有第二緩沖層與第二導電層。其中,第一緩沖層與第二緩沖層的厚度均介于30納米至300納米之間,第一導電層與第二導電層的厚度均介于80納米至1000納米之間。亦或第一導電層與第一緩沖層的厚度比值介于0.26至33.34之間,且第二導電層與第二緩沖層的厚度比值介于0.26至33.34。
文檔編號H01G4/005GK103165281SQ20121012413
公開日2013年6月19日 申請日期2012年4月24日 優(yōu)先權日2011年12月16日
發(fā)明者李智淵, 蔡碩文, 黃耀賢, 蔡俊毅 申請人:鉅永真空科技股份有限公司
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