專利名稱：一種真空高壓電極法蘭的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種法蘭，尤其是一種用于真空裝置組裝的的耐高壓電極法蘭。
背景技術(shù)：
在真空狀態(tài)下，電極能耐20KV電壓、幾十KA的通流能力，但很容易形成高電壓激發(fā)(尖端)輝光放電現(xiàn)象，從而使產(chǎn)品放電而不能工作。高壓絕緣結(jié)構(gòu)(包括絕緣結(jié)構(gòu)和金屬電極結(jié)構(gòu))的耐壓性能是高壓真空電極首要解決的問(wèn)題，如果高壓絕緣結(jié)構(gòu)的耐壓性能不能保證，通常會(huì)出現(xiàn)放電擊穿現(xiàn)象，使產(chǎn)品放電而不能工作。影響耐壓效果的主要因素有絕緣材料、絕緣結(jié)構(gòu)等。因?yàn)閭鹘y(tǒng)的法蘭在高壓真空環(huán)境下的種種限制，成為目前困擾真空高壓器件在真空中測(cè)試的一大難題。

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明目的針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，我們?cè)谑┕ぶ薪?jīng)過(guò)長(zhǎng)期的實(shí)踐摸索，設(shè)計(jì)了一種
真空高壓電極法蘭。技術(shù)方案為了實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明所采用的技術(shù)方案為一種真空高壓電極法蘭，本裝置利用同軸電極加絕緣材料屏蔽放電結(jié)構(gòu)，從而獲得能耐20KV電壓的能力、幾十KA的通流能力，其結(jié)構(gòu)包括真空室外電極內(nèi)壓板、電極外防護(hù)罩上電極外壓板、設(shè)置在真空室外電極內(nèi)壓板與上電極外壓板之間的真空室外同軸匯流電纜、法蘭盤、外電極、內(nèi)電極、真空室內(nèi)電極內(nèi)壓板、下電極外壓板及設(shè)置在真空室內(nèi)電極內(nèi)壓板、下電極外壓板之間的真空室內(nèi)同軸匯流電纜，所述法蘭盤與外電極之間設(shè)有外絕緣防護(hù)套，所述外電極與內(nèi)電極之間設(shè)有內(nèi)絕緣防護(hù)套，真空室內(nèi)電極內(nèi)壓板與下電極外壓板之間設(shè)有電極內(nèi)防護(hù)罩。所述外絕緣防護(hù)套靠近法蘭盤的位置及外電極、內(nèi)電極與內(nèi)絕緣防護(hù)套接觸的位置均設(shè)有真空密封圈。有益效果本發(fā)明益效果是經(jīng)多次試驗(yàn)及使用驗(yàn)證，電極能耐20KV電壓、幾十KA的通流能力；結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，拆卸輕松方便。


附圖為本發(fā)明一種真空高壓電極法蘭的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖，通過(guò)一個(gè)最佳實(shí)施例，對(duì)本技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明，但是本發(fā)明的保護(hù)范圍不局限于所述實(shí)施例。如圖所示，一種真空高壓電極法蘭，包括真空室外電極內(nèi)壓板I、電極外防護(hù)罩2上電極外壓板3、設(shè)置在真空室外電極內(nèi)壓板I與上電極外壓板3之間的真空室外同軸匯流電纜4、法蘭盤14、外電極7、內(nèi)電極9、真空室內(nèi)電極內(nèi)壓板13、下電極外壓板11及設(shè)置在真空室內(nèi)電極內(nèi)壓板13、下電極外壓板11之間的真空室內(nèi)同軸匯流電纜10，所述法蘭盤14與外電極7之間設(shè)有外絕緣防護(hù)套5，所述外電極7與內(nèi)電極9之間設(shè)有內(nèi)絕緣防護(hù)套8，所述真空室內(nèi)電極內(nèi)壓板13與下電極外壓板11之間設(shè)有電極內(nèi)防護(hù)罩12。
所述外絕緣防護(hù)套5靠近法蘭盤14的位置及外電極7、內(nèi)電極9與內(nèi)絕緣防護(hù)套8接觸的位置均設(shè)有真空密封圈6。
權(quán)利要求
1.一種真空高壓電極法蘭，包括真空室外電極內(nèi)壓板(I)、電極外防護(hù)罩(2)上電極外壓板(3)、設(shè)置在真空室外電極內(nèi)壓板(I)與上電極外壓板(3)之間的真空室外同軸匯流電纜(4)、法蘭盤(14)、外電極(7)、內(nèi)電極(9)、真空室內(nèi)電極內(nèi)壓板(13)、下電極外壓板(11)及設(shè)置在真空室內(nèi)電極內(nèi)壓板(13)、下電極外壓板(11)之間的真空室內(nèi)同軸匯流電纜(10)，其特征在于所述法蘭盤(14)與外電極(7)之間設(shè)有外絕緣防護(hù)套(5)，所述外電極(7)與內(nèi)電極(9)之間設(shè)有內(nèi)絕緣防護(hù)套(8)，所述真空室內(nèi)電極內(nèi)壓板(13)與下電極外壓板(11)之間設(shè)有電極內(nèi)防護(hù)罩(12)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種真空高壓電極法蘭，其特征在于所述外絕緣防護(hù)套(5)靠近法蘭盤(14)的位置及外電極(7)、內(nèi)電極(9)與內(nèi)絕緣防護(hù)套(8)接觸的位置均設(shè)有真空密封圈(6)。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種真空高壓電極法蘭，本裝置利用同軸電極加絕緣材料屏蔽放電結(jié)構(gòu)，從而獲得能耐20KV電壓的能力，其結(jié)構(gòu)包括真空室外電極內(nèi)壓板、電極外防護(hù)罩上電極外壓板、設(shè)真空室外同軸匯流電纜、法蘭盤、外電極、內(nèi)電極、真空室內(nèi)電極內(nèi)壓板、下電極外壓板及真空室內(nèi)同軸匯流電纜，所述法蘭盤與外電極之間設(shè)有外絕緣防護(hù)套，所述外電極與內(nèi)電極之間設(shè)有內(nèi)絕緣防護(hù)套，真空室內(nèi)電極內(nèi)壓板與下電極外壓板之間設(shè)有電極內(nèi)防護(hù)罩。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本結(jié)構(gòu)采用特殊的絕緣材料制成特制的絕緣防護(hù)套，屏蔽放電的效果十分明顯，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，拆卸輕松方便。
文檔編號(hào)H01R13/502GK102723635SQ20121010064
公開日2012年10月10日 申請(qǐng)日期2012年4月9日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月9日
發(fā)明者戴建新 申請(qǐng)人:常熟市虞華真空設(shè)備科技有限公司