專利名稱：一種實(shí)現(xiàn)太陽能電池濕法邊緣絕緣的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及太陽能電池制造領(lǐng)域，特別涉及一種實(shí)現(xiàn)太陽能電池濕法邊緣絕緣的方法。
背景技術(shù)：
目前，在太陽能濕制程設(shè)備中，太陽能電池濕法邊緣絕緣時(shí)，由于擴(kuò)散后的硅片表面的磷硅玻璃有一個(gè)特性，即親水性很強(qiáng)，這個(gè)特性會(huì)導(dǎo)致在濕法邊緣絕緣的時(shí)候翻到上邊緣的藥液過多，造成過刻，使受光面積減小。目前，有三種方法解決，第一種方法是通過在刻蝕槽里添加硫酸來增大溶液的張力，防止溶液漫延到上表面造成過刻。但這種方法對(duì)設(shè)備的機(jī)械精度要求很高，并且對(duì)使用過程中排風(fēng)的穩(wěn)定性等要求也比較高，易出現(xiàn)過刻造成的“黑邊”片。第二種方法是采用上下噴淋的方法先去掉正反兩面的磷硅玻璃，然后再進(jìn)入刻蝕槽去除邊緣PN結(jié)，這種方法雖然避免了磷硅玻璃的親水性導(dǎo)致的翻液問題，但正表面沒有磷硅玻璃的保護(hù)，刻蝕槽的氣相腐蝕和堿槽的腐蝕會(huì)導(dǎo)致方阻有3-5歐姆的上升,嚴(yán)重時(shí)可能達(dá)到10歐姆的上升，這會(huì)造成方阻的均勻性變差，導(dǎo)致電池效率的離散性增大。第三種方法是采用在進(jìn)入刻蝕槽前在硅片表面噴一層水膜，上表面吸水飽和，避免在刻蝕槽翻液，同時(shí)刻蝕槽采用帶液滾輪將溶液帶到硅片背面，而非與溶液直接接觸，進(jìn)行刻蝕。這種利用水膜保護(hù)的方法不能確保水不會(huì)滲到邊緣甚至背面，導(dǎo)致在刻蝕槽硅片不再吸附藥液刻蝕邊緣PN結(jié)，從而產(chǎn)生刻不通的情況。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種實(shí)現(xiàn)太陽能電池濕法邊緣絕緣的方法，操作簡單，效果好。本發(fā)明解決技術(shù)問題采用的技術(shù)方案是一種實(shí)現(xiàn)太陽能電池濕法邊緣絕緣的方法，包括以下步驟
第一步，在氫氟酸槽內(nèi)加入氫氟酸液使?jié)L輪部分浸入氫氟酸液中，滾輪在轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)其細(xì)小凹槽內(nèi)帶有適量的氫氟酸液；將硅片置于滾輪上，通過滾輪轉(zhuǎn)動(dòng)，利用氫氟酸去除硅片背面及邊緣的磷硅玻璃，保留硅片正表面的磷硅玻璃；
第二步，去除硅片背面及邊緣的磷硅玻璃后，采用上風(fēng)刀吹干滲到正表面上來的少許氫氟酸液；
第三步，進(jìn)入刻蝕槽，采用氫氟酸與硝酸的混合溶液腐蝕硅片背面及邊緣PN結(jié)。本發(fā)明先利用氫氟酸液去除硅片背面及邊緣磷硅玻璃，氫氟酸液置于氫氟酸槽內(nèi)，通過控制液位來控制滾輪帶液的量，使?jié)L輪的細(xì)小凹槽內(nèi)帶有適量的氫氟酸液，保證氫氟酸液完全腐蝕硅片背面及邊緣磷硅玻璃。具體地說，硅片是由滾輪拖著往前走，液面比滾輪的頂部低，硅片與氫氟酸液并不是直接接觸，滾輪的細(xì)小凹槽內(nèi)儲(chǔ)存的氫氟酸液被背面的磷硅玻璃迅速吸到硅片上，與背面及邊緣的磷硅玻璃進(jìn)行反應(yīng)，同時(shí)對(duì)上表面(即正表面)的磷硅玻璃的腐蝕邊距不超過3mm。然后采用上風(fēng)刀吹干滲到正表面上來的少許氫氟酸液，只采用上風(fēng)刀，不采用下風(fēng)刀，目的是防止?jié)B到正表面上來的過多的氫氟酸液腐蝕掉正表面的磷硅玻璃，同時(shí)也使下表面(即背面)的磷硅玻璃有充分的時(shí)間進(jìn)行完全腐蝕。最后進(jìn)入刻蝕槽，采用氫氟酸與硝酸的混合溶液腐蝕硅片背面及邊緣PN結(jié)。本發(fā)明專利在實(shí)現(xiàn)太陽能電池濕法邊緣絕緣的同時(shí)，有效地解決了在濕法邊緣絕緣時(shí)因滲到正表面的氫氟酸液過多，從而造成過刻的問題。方法可靠，操作簡便。
具體實(shí)施例方式一種實(shí)現(xiàn)太陽能電池濕法邊緣絕緣的方法，第一步，在氫氟酸槽內(nèi)加入氫氟酸濃度為5%的氫氟酸液，使2/3的滾輪浸入氫氟酸液中；將硅片置于滾輪上，滾輪轉(zhuǎn)動(dòng)，控制傳動(dòng)速度為I. 3m/min，使?jié)L輪的細(xì)小凹槽內(nèi)帶有適量的氫氟酸液；通過滾輪轉(zhuǎn)動(dòng)，利用氫氟酸去除硅片背面及邊緣的磷硅玻璃，保留硅片正表面的磷硅玻璃；
第二步，去除硅片背面及邊緣的磷硅玻璃后，采用上風(fēng)刀吹干滲到正表面上來的少許氫氟酸液；
第三步，進(jìn)入刻蝕槽，采用比例為1:10的氫氟酸與硝酸的混合溶液腐蝕硅片背面及邊
緣PN結(jié)。
權(quán)利要求
1.一種實(shí)現(xiàn)太陽能電池濕法邊緣絕緣的方法，其特征在于包括以下步驟 第一步，在氫氟酸槽內(nèi)加入氫氟酸液使?jié)L輪部分浸入氫氟酸液中，滾輪在轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)其細(xì)小凹槽內(nèi)帶有適量的氫氟酸液；將硅片置于滾輪上，通過滾輪轉(zhuǎn)動(dòng)，利用氫氟酸去除硅片背面及邊緣的磷硅玻璃，保留硅片正表面的磷硅玻璃； 第二步，去除硅片背面及邊緣的磷硅玻璃后，采用上風(fēng)刀吹干滲到正表面上來的少許氫氟酸液； 第三步，進(jìn)入刻蝕槽，采用氫氟酸與硝酸的混合 溶液腐蝕硅片背面及邊緣PN結(jié)。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種實(shí)現(xiàn)太陽能電池濕法邊緣絕緣的方法，包括以下步驟第一步，在氫氟酸槽內(nèi)加入氫氟酸液使?jié)L輪部分浸入氫氟酸液中，滾輪在轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)其細(xì)小凹槽內(nèi)帶有適量的氫氟酸液；將硅片置于滾輪上，通過滾輪轉(zhuǎn)動(dòng)，利用氫氟酸去除硅片背面及邊緣的磷硅玻璃，保留硅片正表面的磷硅玻璃；第二步，去除硅片背面及邊緣的磷硅玻璃后，采用上風(fēng)刀吹干滲到正表面上來的少許氫氟酸液；第三步，進(jìn)入刻蝕槽，采用氫氟酸與硝酸的混合溶液腐蝕硅片背面及邊緣PN結(jié)。本發(fā)明操作簡單，效果好。
文檔編號(hào)H01L31/18GK102623560SQ20121008411
公開日2012年8月1日 申請(qǐng)日期2012年3月28日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月28日
發(fā)明者馮亞超, 劉煥久, 曾慶云, 梅曉東, 鄭金彩 申請(qǐng)人:浙江晶科能源有限公司