技術編號：7117661
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及太陽能電池制造領域，特別涉及。背景技術目前，在太陽能濕制程設備中，太陽能電池濕法邊緣絕緣時，由于擴散后的硅片表面的磷硅玻璃有一個特性，即親水性很強，這個特性會導致在濕法邊緣絕緣的時候翻到上邊緣的藥液過多，造成過刻，使受光面積減小。目前，有三種方法解決，第一種方法是通過在刻蝕槽里添加硫酸來增大溶液的張力，防止溶液漫延到上表面造成過刻。但這種方法對設備的機械精度要求很高，并且對使用過程中排風的穩(wěn)定性等要求也比較高，易出現(xiàn)過刻造成的“黑邊”片。第二種方...
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