專利名稱：機(jī)器人手和機(jī)器人的制作方法
機(jī)器人手和機(jī)器人技術(shù)領(lǐng)域
本文所討論的實(shí)施方式涉及機(jī)器人手和機(jī)器人。
背景技術(shù)：
已知用于基板輸送的常規(guī)機(jī)器人，該機(jī)器人輸送諸如半導(dǎo)體晶片的盤狀基板。機(jī) 器人具有機(jī)器人手，該機(jī)器人手包括諸如夾持爪的多個夾持構(gòu)件并且將被放置在機(jī)器人手 上的基板的周緣部夾在夾持構(gòu)件之間以將基板夾持在預(yù)定位置。
例如，日本特開平10-279068號公報公開了一種基板輸送裝置，該裝置包括機(jī)器 人手，該機(jī)器人手具有為可動夾持構(gòu)件的移動導(dǎo)向件和為固定夾持構(gòu)件的固定導(dǎo)向件，該 機(jī)器人手通過使用移動導(dǎo)向件將基板壓到固定導(dǎo)向件的壁表面以執(zhí)行夾持操作。
然而，常規(guī)的機(jī)器人手存在夾持構(gòu)件由于反復(fù)擠壓而易于磨壞的問題。為此，夾持 構(gòu)件被高度頻繁地更換，因此給維修帶來了許多麻煩。
鑒于上述問題已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了實(shí)施方式的一方面，并且實(shí)施方式的目的在于提供一種 能抑制構(gòu)件的磨蝕以降低維修成本的機(jī)器人手和機(jī)器人。發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)實(shí)施方式的一方面的機(jī)器人手和機(jī)器人包括支撐單元。所述支撐單元布置在 基座上并且接觸基板的周緣部以夾持該基板。所述支撐單元中的至少一個單元在抵接所述 基板的所述周緣部的同時進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
根據(jù)實(shí)施方式的一方面，構(gòu)件的磨蝕能被抑制以降低維修成本。


本發(fā)明的更全面的理解和本發(fā)明伴隨的優(yōu)點(diǎn)中的許多優(yōu)點(diǎn)將容易獲得，因?yàn)楫?dāng)結(jié) 合附圖考慮時通過參考下列詳細(xì)說明能更好地理解本發(fā)明，附圖中
圖1是示出根據(jù)實(shí)施方式的機(jī)器人的構(gòu)造示例的示意圖2是示出根據(jù)實(shí)施方式的機(jī)器人手的構(gòu)造示例的示意圖3是示出可動爪的操作的示意圖4A和圖4B是示出固定爪的構(gòu)造示例的示意圖5A和圖5B是示出輥的操作的示意圖6A和圖6B是示出根據(jù)替代實(shí)施例的機(jī)器人手的構(gòu)造示例的示意圖；以及
圖7是示出常規(guī)的固定爪的構(gòu)造示例的示意圖。
具體實(shí)施方式
在下文中，將參照附圖詳細(xì)地說明根據(jù)本公開內(nèi)容的實(shí)施方式的機(jī)器人手和機(jī)器 人。
在下文中，主要說明的是，基板是半導(dǎo)體晶片。
假定夾持構(gòu)件主要被描述為“夾持爪”，該夾持構(gòu)件將基板的周緣部夾入中間并且 夾持該周緣部。而且，假定“夾持爪”的“夾持”除將基板的周緣部夾入中間之外還包括將 基板支撐在預(yù)定位置處。換言之，“夾持爪”可以被稱為“支撐單元”。
圖1是示出根據(jù)實(shí)施方式的機(jī)器人I的構(gòu)造示例的示意圖。為了使該說明可以理 解，在圖1中示出了三維直角坐標(biāo)系，該坐標(biāo)系包括其正向是豎直向上方向的Z軸。直角坐 標(biāo)系可以由其它附圖采用，該其它附圖用于在下文被說明。
如圖1所示，機(jī)器人I是關(guān)節(jié)型機(jī)器人，并且包括基座2，臂3、5和7，關(guān)節(jié)4、6和 8，以及機(jī)器人手10。
控制裝置20連接至機(jī)器人I。由機(jī)器人I執(zhí)行的基板夾持操作和輸送操作受控制 裝置20控制。而且，基于被預(yù)先存儲在控制裝置20中的教導(dǎo)數(shù)據(jù)執(zhí)行該控制。
臂3被沿豎直方向(Z軸方向)從基座2以可滑動的方式設(shè)置(見示意圖中的雙 頭箭頭a0)。結(jié)果，機(jī)器人手10能沿豎直方向上升和下降。
臂5經(jīng)由關(guān)節(jié)4連接到臂3。這時,臂5繞關(guān)節(jié)4的旋轉(zhuǎn)軸線al以可旋轉(zhuǎn)的方式 支撐(見繞旋轉(zhuǎn)軸線al的雙頭箭頭)。類似地，臂7經(jīng)由關(guān)節(jié)6連接到臂5。這時，臂7繞 關(guān)節(jié)6的旋轉(zhuǎn)軸線a2以可旋轉(zhuǎn)的方式支撐(見繞旋轉(zhuǎn)軸線a2的雙頭箭頭)。
機(jī)器人手10是夾持放置在其上的諸如半導(dǎo)體晶片的基板的末端執(zhí)行器。機(jī)器人 手10經(jīng)由關(guān)節(jié)8連接到臂7的末端。這時，機(jī)器人手10繞關(guān)節(jié)8的旋轉(zhuǎn)軸線a3以可旋轉(zhuǎn) 的方式支撐(見繞旋轉(zhuǎn)軸線a3的雙頭箭頭)。
在此，關(guān)節(jié)4、關(guān)節(jié)6和關(guān)節(jié)8中的每個均包括諸如致動器和馬達(dá)的驅(qū)動機(jī)構(gòu)(未 示出)。臂5、臂7和機(jī)器人手10根據(jù)驅(qū)動機(jī)構(gòu)的驅(qū)動在沿著示意圖中的XY平面執(zhí)行轉(zhuǎn)動 操作。
圖1已經(jīng)示出機(jī)器人I包括一個機(jī)器人手10。然而，機(jī)器人手的數(shù)量不限于一個。 例如，多個機(jī)器人手可以以如模擬時鐘的分針和時針一樣的重疊方式繞旋轉(zhuǎn)軸線a3設(shè)置。
接著，參照圖2說明根據(jù)實(shí)施方式的機(jī)器人手10的構(gòu)造示例。圖2是示出根據(jù)實(shí) 施方式的機(jī)器人手10的構(gòu)造示例的示意圖。圖2所示的示意圖是當(dāng)從Z軸的正向觀察時 的機(jī)器人手10的平面圖。在此，省略了關(guān)于圖1中已示出的臂5、關(guān)節(jié)6、臂7、關(guān)節(jié)8、旋轉(zhuǎn) 軸線a2以及旋轉(zhuǎn)軸線a3的說明。
如圖2所示，機(jī)器人手10包括板11、固定爪12、可動爪13、接收座14以及驅(qū)動單 元15。固定爪12包括輥12a和接收座12b，該輥12a能沿著基板W的周緣部旋轉(zhuǎn)。而且， 輥12a和接收座12b —體連接，并且接收座12b連同輥12a —起旋轉(zhuǎn)。
板11是也被稱為基底或基座的構(gòu)件，基板W被放置在該板11上。在此，圖2中已 經(jīng)示出板11的形狀像鏟。然而，板11的形狀不限于鏟。而且，板11可以就其功能被稱為 “放置單元”。
固定爪12是固定夾持爪，該固定夾持爪設(shè)置在板11中并且不從給定位置移位。例 如，固定爪12放置在板11的前端附近。而且，圖2中示出一對固定爪12放置在板11的前 端的兩端處。
在固定爪12的情況下，輥12a接觸基板W的周緣部并且接收座12b從下側(cè)(換言 之，沿Z軸的正向)支撐基板W。而且，在下文參照圖4A和圖4B說明固定爪12的細(xì)節(jié)。
可動爪13是可動夾持爪。例如，可動爪13設(shè)置在板11的末端附近以能沿著示意圖中的X軸滑動。在下文參照圖3說明可動爪13的操作細(xì)節(jié)。
類似于接收座12b，接收座14是從下側(cè)支撐基板W的構(gòu)件。而且，圖2示出了一對 接收座14被放置在板11的末端的兩端處。
驅(qū)動單元15是使可動爪13滑動的驅(qū)動機(jī)構(gòu)。例如，驅(qū)動單元15由空氣缸體等構(gòu) 成。
在此，參照圖3說明可動爪13的操作。圖3是示出可動爪13的操作的示意圖。圖 3簡單地示出當(dāng)從Y軸的負(fù)向觀察時的機(jī)器人手。在該情況下，圖3的上部示出基板W被放 置且未被夾持的情況，并且圖3的下部示出基板W被夾持的情況。
如圖3的上部所示，在基板W被夾持之前，基板W由接收座12b和接收座14僅從 下側(cè)支撐。這時，間隙“i”存在于基板W和夾持爪(例如固定爪12的輥12a)之間。而且， 雖然間隙也可以存在于基板W和可動爪13之間，但是省略了該情況的說明。
接收座12b和接收座14具有預(yù)定高度，并且支撐基板W并同時基于在基板W的下 表面和板11的上表面之間的高度設(shè)置預(yù)定間隙。結(jié)果，能防止顆粒粘附于基板W。
如圖3的下部所示，當(dāng)基板W被夾持時，機(jī)器人I使得驅(qū)動單元15將可動爪13朝 向板11的前端(換言之，朝向示意圖中X軸的正向)滑動(見示意圖中的箭頭101)。
然后，滑動的可動爪13沿基板W接觸固定爪12的方向擠壓基板W以消除間隙“i”， 并因而使基板W的周緣部接觸固定爪12的棍12a (見不意圖中的箭頭102)。
結(jié)果，基板W的周緣部被夾在固定爪12和可動爪13之間，并因而夾持基板W。
在此，將參照圖7說明常規(guī)的固定爪12’的構(gòu)造示例。圖7是示出常規(guī)的固定爪 12’的構(gòu)造示例的示意圖。如圖7所示,常規(guī)的固定爪12’例如由側(cè)壁和接收座一體地或固 定地形成，基板W被擠壓到側(cè)壁，并且接收座從下側(cè)支撐基板W。
為此，當(dāng)基板W被反復(fù)地擠壓到側(cè)壁時(見示意圖中的雙頭箭頭106)，應(yīng)力被反復(fù) 加到側(cè)壁的特定區(qū)域并因而易于出現(xiàn)磨蝕“a”(見示意圖中由閉合曲線Ml圍繞的部分)。
因?yàn)楫?dāng)出現(xiàn)磨蝕“a”時基板W在板11上的定位具有偏差，因此必須每次更換固定 爪12’。換言之，這給維修帶來許多麻煩。
返回到圖3，假定板W的周緣部接觸輥12a，該輥能在根據(jù)本實(shí)施方式的機(jī)器人手 10中沿著周緣部旋轉(zhuǎn)。結(jié)果，因?yàn)槟軌蛞种茟?yīng)力被反復(fù)施加到特定區(qū)域，所以能抑制固定爪 12的磨蝕以降低維修成本。
而且，在如圖3的上部所示基板W僅被從下側(cè)支撐的狀態(tài)下，除沿著X軸方向的間 隙之外，常常出現(xiàn)沿著XY平面的偏差。
結(jié)合該方面，根據(jù)本實(shí)施方式的機(jī)器人手10使得輥12a被動地旋轉(zhuǎn)，該輥12a沿 著基板W的周緣部抵接該基板W以修正沿著XY平面的偏差并且將基板W引導(dǎo)到預(yù)定位置。 在下文參照圖5A和5B說明該方面的細(xì)節(jié)。
返回到圖2，將描述基板W的預(yù)定位置。在圖2中，基板W由一對固定爪12和可動 爪13夾持使得在三點(diǎn)被支撐。
在此，假定基板W的預(yù)定位置是處于該狀態(tài)的基板W的位置。在下文中，假定處于 預(yù)定位置的基板W的中心是中心P，平行于X軸并且經(jīng)過中心P的軸線是軸線Cl，并且平行 于Y軸并且經(jīng)過中心P的軸線是軸線C2。
可以設(shè)置有通知單元，該通知單元計數(shù)可動爪13的操作次數(shù)并且根據(jù)操作次數(shù)通知使用者固定爪12的更換時間。例如，圖2示出驅(qū)動單元15包括通知燈15a,該通知燈 根據(jù)可動爪13的操作次數(shù)照亮。使用者能將通知燈15a的照亮用作指示固定爪12的更換 時間的信號。通知燈15a可以被放置在除了驅(qū)動單元15的部位上。通知裝置不限于燈。
接著，參照圖4A和圖4B說明固定爪的構(gòu)造示例。圖4A和圖4B是示出固定爪12 的構(gòu)造示例的示意圖。圖4A示出當(dāng)從Z軸的正向觀察時的固定爪12的平面圖，并且圖4B 示出當(dāng)從Y軸的負(fù)向觀察時的圖4A的A-A’截面的截面圖。
在圖4A和圖4B中，示出了圖2所示的由軸線Cl分開的一對固定爪12之中的左 側(cè)固定爪12。假定右側(cè)固定爪12具有相同的構(gòu)造。
雖然說明與圖2的說明部分重疊，但是固定爪12包括輥12a和接收座12b，如圖 4A和圖4B所示。而且，輥12a和接收座12b—體連接。輥12a抵接基板W的周緣部以沿著 基板W的周緣部被動地旋轉(zhuǎn)。
接收座12b是也被稱為底座的構(gòu)件，該接收座與輥12a成一體以隨同輥12a—起 旋轉(zhuǎn)。換言之，輥12a和接收座12b構(gòu)成旋轉(zhuǎn)體，該旋轉(zhuǎn)體能沿著基板W的周緣部旋轉(zhuǎn)。而 且，接收座12b具有超過輥12a的直徑的最大寬度。接收座12b在其上在其寬度超過輥12a 的直徑的區(qū)域中放置基板W，以從下側(cè)支撐基板W。
輥12a和接收座12b被設(shè)置以繞旋轉(zhuǎn)軸線a4在板11上以可旋轉(zhuǎn)的方式旋轉(zhuǎn)(見 示意圖中的雙頭箭頭103)。換言之，固定爪12是固定的可旋轉(zhuǎn)式夾持爪，該夾持爪如上所 述不移位并且被以可旋轉(zhuǎn)的方式支撐在板11上。固定爪12可以具有安裝結(jié)構(gòu)，該安裝結(jié)構(gòu) 包括支承銷12aa和支承件12ab，被設(shè)置成穿過板11的支承銷12aa由支承件12ab支承，該 支承件12ab附接至板11的內(nèi)部，輥12a和接收座12b是一體形成的，例如，如圖4B所示。
當(dāng)采用安裝結(jié)構(gòu)時，優(yōu)選的是在“輥12a和接收座12b”與板11之間，或者在板11 與支承銷12aa之間設(shè)置預(yù)定間隙，使得輥12a和接收座12b能平穩(wěn)地旋轉(zhuǎn)。
如圖4A和圖4B所示，輥12a和接收座12b能根據(jù)各自的形狀被分別稱為“圓筒 部”和“凸緣(collar)部”，該“圓筒部”形成為圓筒形狀，該“凸緣部”以凸緣的形狀從圓筒 部突出。換言之，“圓筒部”的外周面接觸基板W的周緣部的端面，并且“凸緣部”的上表面 接觸基板W的周緣部的下表面。
接著，參照圖5A和圖5B說明當(dāng)基板W抵接時的輥12a的操作。圖5A和圖5B是 示出輥12a的操作的示意圖。在圖5A和圖5B中，僅說明所必需的構(gòu)件被簡單示出并且隨 同輥12a —起旋轉(zhuǎn)的接收座12b未被示出。而且，圖5A所示的M2區(qū)域在圖5B中被放大和 示出。
首先，假定一對輥12a被布置在軸線Cl的對稱位置處，其中每個輥12a和軸線Cl 之間的距離是“n”，如圖5A所示。這樣，優(yōu)選的是，該對輥12a被布置在軌道的對稱位置處， 可動爪13沿著該軌道擠壓基板W。
在此，如由圖5A的實(shí)線基板W所示，在很多情況下基板W在被夾持之前被放置成 從位于預(yù)定位置處的虛擬基板WO沿著XY平面偏離。例如，如圖5A所示，假定基板W的中 心Q從預(yù)定中心位置P偏離到軸線Cl的左側(cè)并且偏離到軸線C2的下側(cè)。
在該狀態(tài)下，假定可動爪13沿著X軸線方向擠壓基板W。在該情況下，基板W此時 不會抵接一對輥12a而是抵接由閉合曲線M2圍繞的左側(cè)輥12a。
在此，假定基板W在接觸點(diǎn)“m”處抵接輥12a，如圖5B所示。在該情況下，基板W抵接位于軸線C3的右側(cè)處的接觸點(diǎn)“m”，該軸線C3經(jīng)過輥12a的旋轉(zhuǎn)中心并且平行于可動 爪13的擠壓方向，該基板W通過利用抵接表面的擠壓力和摩擦力以使得輥12a逆時針方向 被動地旋轉(zhuǎn)(見箭頭104)。雖然未被示出，通過在接收座12b (見圖4A和圖4B)和基板W 的周緣部的下表面之間進(jìn)一步增加摩擦力能執(zhí)行旋轉(zhuǎn),接收座12b的上表面接觸基板W的 周緣部的下表面。
根據(jù)輥12a的旋轉(zhuǎn)，基板W將其方向從擠壓方向改變到箭頭105的方向并且在使 基板W本身旋轉(zhuǎn)的同時進(jìn)行移動。然后，基板W通過抵接位于軸線Cl的相對的對稱位置處 的右側(cè)輥12a來停止其運(yùn)動并且被放置在由基板WO所指示的預(yù)定位置。換言之，基板W在 修正沿著XY平面引起的偏差的同時被引導(dǎo)到預(yù)定位置并且被一對固定爪12和可動爪13夾持。
于是，因?yàn)樵诨錡被引導(dǎo)時輥12a在旋轉(zhuǎn)的同時抵接基板W，所以僅輥12a的外 周面的特定區(qū)域沒有接收由抵接引起的應(yīng)力。換言之，因?yàn)檩?2a的磨蝕能被抑制，所以能 降低關(guān)于更換操作等的維修成本。
雖然未被示出，但是接收座12b (見圖4A和圖4B)在從下側(cè)支撐基板W的同時隨 同棍12a —起旋轉(zhuǎn)，因而基板W平穩(wěn)地移動而不刮擦下表面。
如上所述，因?yàn)檩?2a和接收座12b (見圖4A和圖4B)當(dāng)它們被動地旋轉(zhuǎn)時導(dǎo)致 來自輥12a和接收座12b與基板W之間的抵接表面的摩擦力，所以優(yōu)選的是，構(gòu)成輥12a和 接收座12b的外周面的材料是這樣的一種材料，當(dāng)外周面接觸基板W的周緣部時該材料產(chǎn)生預(yù)定摩擦力。
已說明的是，位于軸線Cl的左側(cè)處的輥12a在圖5A和圖5B中被示出。然而，顯 然，位于右側(cè)的輥12a執(zhí)行相似的操作，盡管在左右之間存在差異。
到目前為止，已經(jīng)說明的是，通過抵接基板W而被動地旋轉(zhuǎn)的輥12a被包括在固定 爪12中。然而，輥12a可以被設(shè)置在夾持構(gòu)件中，該夾持構(gòu)件位于基板W在被擠壓的一側(cè) 處。
因此，參照圖6A和圖6B說明替代實(shí)施例。圖6A是示出根據(jù)替代實(shí)施例的機(jī)器人 手IOA的構(gòu)造示例的示意圖。圖6B是示出根據(jù)另一替代實(shí)施例的機(jī)器人手IOB的構(gòu)造示 例的示意圖。
僅當(dāng)需要關(guān)于部件的說明時，圖6A和圖6B的與根據(jù)實(shí)施方式的機(jī)器人手10的那 些部件相同的部件具有附圖標(biāo)記。
如圖6A所示，根據(jù)替代實(shí)施例的機(jī)器人手IOA包括作為夾持構(gòu)件的輥13a，該輥 13a由驅(qū)動單元15滑動以擠壓基板W。輥13a繞旋轉(zhuǎn)軸線a5被以可旋轉(zhuǎn)的方式設(shè)置。
當(dāng)基板W被放置成沿著XY平面偏離時，由于與圖5A和圖5B相同的原因，當(dāng)輥13a 抵接基板W時輥13a也旋轉(zhuǎn)。換言之，因?yàn)橥庵苊娴膬H特定區(qū)域難以經(jīng)受應(yīng)力，所以能抑制 磨蝕以降低維修成本。
如同繞圖6B所示的機(jī)器人手IOB的旋轉(zhuǎn)軸線a6以可旋轉(zhuǎn)的方式移動的輥13a’， 位于擠壓側(cè)的多個夾持構(gòu)件可以被設(shè)置并且由連接構(gòu)件13b連接以平行于彼此滑動。在該 情況下，不但能防止輥13a’的磨蝕，而且機(jī)器人手能可靠地響應(yīng)偏差，即使當(dāng)基板W的偏差 大時也是如此。
如上所述，根據(jù)實(shí)施方式的機(jī)器人手包括作為基座的板以及多個夾持爪，所述多個夾持爪布置在板上并且接觸基板的周緣部以夾持基板。夾持爪中的至少一個在抵接基板 的周緣部的同時進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
因此，根據(jù)依照實(shí)施方式的機(jī)器人手，能抑制構(gòu)件的磨蝕以降低維修成本。
雖然在實(shí)施方式中已經(jīng)說明的是，當(dāng)機(jī)器人手包括一對固定爪時，兩個固定爪都 包括相應(yīng)的輥。然而，本實(shí)施方式不限于此。例如，僅其中一個固定爪可以包括輥。
在該情況下，當(dāng)放置在板上的基板的偏差被始終朝向恒定方向偏壓時，或者當(dāng)僅 基板的周緣部的一部分具有R形狀時，僅抵接該范圍的固定爪包括輥，因而能至少抑制該 范圍的磨蝕。因此，基板的形狀可以不限于圓形。
因此僅特定的固定爪以這種方式包括輥的這方面可以類似地應(yīng)用于可動爪。
在實(shí)施方式中主要已經(jīng)說明的是，旋轉(zhuǎn)體是輥。然而，本實(shí)施方式不限于此。例如， 本實(shí)施方式可以采用夾持構(gòu)件，在該夾持構(gòu)件中，抵接基板的區(qū)域是球形旋轉(zhuǎn)體。
而且，在實(shí)施方式中已經(jīng)說明的是，夾持構(gòu)件被放置在板的前端或末端附近。夾持 構(gòu)件的布置位置不限于此。
而且，在實(shí)施方式中主要已經(jīng)說明的是，基板作為示例是半導(dǎo)體晶片。顯然，基板 能被廣泛適用而不存在類型的區(qū)別。
權(quán)利要求
1.一種機(jī)器人手，該機(jī)器人手包括多個支撐單元，所述支撐單元布置在基座上并且接觸基板的周緣部以夾持該基板，所述支撐單元中的至少一個在抵接所述基板的所述周緣部的同時進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機(jī)器人手，其中 所述支撐單元中的至少一個是可動支撐單元，該可動支撐單元沿所述基板抵接另一支撐單元的方向擠壓該基板，并且 其它支撐單元是旋轉(zhuǎn)式支撐單元，所述旋轉(zhuǎn)式支撐單元以可旋轉(zhuǎn)的方式被支撐在所述基座上并且沿著所述基板的借助所述可動支撐單元的擠壓而被抵接的所述周緣部旋轉(zhuǎn)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的機(jī)器人手，其中，所述旋轉(zhuǎn)式支撐單元包括以下這樣的至少一對支撐單元，所述至少一對支撐單元布置在所述可動支撐單元擠壓所述基板所沿的軌道上的對稱位置處。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的機(jī)器人手，其中，所述旋轉(zhuǎn)式支撐單元包括 圓筒部，該圓筒部形成為圓筒形狀，并且所述圓筒部的外周面接觸所述基板的所述周緣部的端面；和 凸緣部，該凸緣部形成為以凸緣形狀從所述圓筒部突出，并且所述凸緣部的上表面接觸所述基板的所述周緣部的下表面，并且 所述旋轉(zhuǎn)式支撐單元當(dāng)?shù)纸铀龌宓乃鲋芫壊繒r基于所述凸緣部與該基板的所述周緣部的下表面之間的摩擦力而旋轉(zhuǎn)。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的機(jī)器人手，其中 所述旋轉(zhuǎn)式支撐單元被放置在所述基座的前端附近，并且 所述可動支撐單元被放置在所述基座的末端附近。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的機(jī)器人手，該機(jī)器人手還包括通知單元，該通知單元計數(shù)所述可動支撐單元的操作次數(shù)，以根據(jù)該操作次數(shù)通知使用者所述旋轉(zhuǎn)式支撐單元的更換時間。
7.一種包括根據(jù)權(quán)利要求1所述的機(jī)器人手的機(jī)器人。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種機(jī)器人手和機(jī)器人。根據(jù)實(shí)施方式的機(jī)器人手和機(jī)器人包括支撐單元。所述支撐單元布置在基座上并且接觸基板的周緣部以夾持該基板。所述支撐單元中的至少一個在抵接所述基板的周緣部的同時進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
文檔編號H01L21/683GK103009385SQ201210074159
公開日2013年4月3日 申請日期2012年3月19日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月26日
發(fā)明者日野一紀(jì), 安藤隆治, 島田克彥 申請人:株式會社安川電機(jī)