本發(fā)明是關(guān)于一種二維式陣列發(fā)光二極管元件,尤其是關(guān)于一種具有高出光效率的二維式陣列高壓發(fā)光二極管元件。
背景技術(shù):發(fā)光二極管(LED)的發(fā)光原理和結(jié)構(gòu)與傳統(tǒng)光源并不相同,具有耗電量低、元件壽命長、無須暖燈時(shí)間、反應(yīng)速度快等優(yōu)點(diǎn),再加上其體積小、耐震動(dòng)、適合量產(chǎn),容易配合應(yīng)用需求制成極小或陣列式的元件,在市場(chǎng)上的應(yīng)用頗為廣泛。例如,光學(xué)顯示裝置、雷射二極管、交通號(hào)志、數(shù)據(jù)儲(chǔ)存裝置、通訊裝置、照明裝置、以及醫(yī)療裝置等?,F(xiàn)有的二維式陣列發(fā)光二極管元件1,如第1A圖與第1B圖所示,包含一透明基板10、若干個(gè)發(fā)光二極管單元12以二維方向延伸,緊密排列形成于透明基板10上,每一個(gè)發(fā)光二極管單元12包含一p型半導(dǎo)體層121、一發(fā)光層122、以及一n型半導(dǎo)體層123。由于透明基板10不導(dǎo)電,因此于若干個(gè)發(fā)光二極管單元12之間由蝕刻形成溝渠14后可使各發(fā)光二極管單元12彼此絕緣,另外再通過部分蝕刻若干個(gè)發(fā)光二極管單元12至n型半導(dǎo)體層123,分別于n型半導(dǎo)體層123的暴露區(qū)域以及p型半導(dǎo)體層121上形成一第一電極18以及一第二電極16。再通過導(dǎo)電配線結(jié)構(gòu)19選擇性連接若干個(gè)發(fā)光二極管單元12的第一電極18及第二電極16,使得若干個(gè)發(fā)光二極管單元12之間形成串聯(lián)或并聯(lián)的電路。其中,導(dǎo)電配線結(jié)構(gòu)19下方可以是空氣;也可以預(yù)先在形成導(dǎo)電配線結(jié)構(gòu)19之前,在發(fā)光二極管單元12的磊晶層部分表面及相近的發(fā)光二極管單元12磊晶層間以化學(xué)氣相沉積方式(CVD)、物理氣相沉積方式(PVD)、濺鍍(sputtering)等技術(shù)沉積形成絕緣層13,作為磊晶層的保護(hù)與相近發(fā)光二極管單元12間的電性絕緣。絕緣層13的材質(zhì)較佳例如可以是氧化鋁(Al2O3)、氧化硅(SiO2)、氮化鋁(AlN)、氮化硅(SiNx)、二氧化鈦(TiO2)等材料或其復(fù)合組合。然而,通過導(dǎo)電配線結(jié)構(gòu)19進(jìn)行發(fā)光二極管單元12間的電路連結(jié)時(shí),由于發(fā)光二極管單元12與之間的溝渠14高低差距頗大,在形成導(dǎo)電配線結(jié)構(gòu)19時(shí)容易產(chǎn)生導(dǎo)線連結(jié)不良或斷線的問題,進(jìn)而影響元件的良率。此外,上述的發(fā)光二極管元件1更可以進(jìn)一步地與其它元件組合連接以形成一發(fā)光裝置(light-emittingapparatus)。第11圖為現(xiàn)有的的發(fā)光裝置結(jié)構(gòu)示意圖,如第11圖所示,一發(fā)光裝置100包含一具有至少一電路101的次載體(sub-mount)110,將上述發(fā)光二極管元件1黏結(jié)固定于次載體110上;以及,一電性連接結(jié)構(gòu)104,以電性連接發(fā)光元件1的第一電極襯墊16’、第二電極襯墊18’與次載體110上的電路101;其中,上述的次載體110可以是導(dǎo)線架(leadframe)或大尺寸鑲嵌基底(mountingsubstrate),以方便發(fā)光裝置100的電路規(guī)劃并提高其散熱效果。上述的電性連接結(jié)構(gòu)104可以是焊線(bondingwire)或其它連結(jié)結(jié)構(gòu)。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明提供一種二維式陣列發(fā)光二極管元件,尤其是關(guān)于一種具有高出光效率的二維式陣列高壓發(fā)光二極管元件。本發(fā)明提供一種二維式陣列發(fā)光二極管元件,包含一透明基板、若干個(gè)發(fā)光單元、若干導(dǎo)電配線結(jié)構(gòu);該透明基板具有一第一表面;每一個(gè)該發(fā)光單元包含若干側(cè)邊及一周長,配置在該第一表面上;該些導(dǎo)電配線結(jié)構(gòu)電性連接該些發(fā)光單元,配置在該第一表面上;任一該些發(fā)光單元的側(cè)邊與其相鄰的該發(fā)光單元間具有若干垂直距離,當(dāng)該些垂直距離大于50μm時(shí),該發(fā)光單元的側(cè)邊與最近的該發(fā)光單元不相近;任一該些發(fā)光單元與其相鄰的發(fā)光單元不相近的側(cè)邊長度總和與該發(fā)光單元的周長比大于50%。本發(fā)明的提供另一種二維式陣列發(fā)光二極管元件,包含一透明基板、若干發(fā)光單元和若干導(dǎo)電配線結(jié)構(gòu);該透明基板具有一第一表面;任一該些發(fā)光單元包含一第一電性半導(dǎo)體層、一第二電性半導(dǎo)體層和一發(fā)光層,該第一電性半導(dǎo)體層配置于該透明基板的該第一表面上,該第二電性半導(dǎo)體層配置于該第一電性半導(dǎo)體層上,該發(fā)光層配置于該第一電性半導(dǎo)體層與該第二電性半導(dǎo)體層之間;該些導(dǎo)電配線結(jié)構(gòu)電性連接該些發(fā)光單元,配置在該第一表面上;任一該些發(fā)光單元的該發(fā)光層與相鄰的發(fā)光單元其發(fā)光層間距大于35μm。附圖說明圖1為一結(jié)構(gòu)圖,顯示一現(xiàn)有的二維式陣列發(fā)光二極管元件側(cè)視結(jié)構(gòu)圖。圖2A為一結(jié)構(gòu)圖,顯示依據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的二維式陣列發(fā)光二極管元件俯視結(jié)構(gòu)圖。圖2B為一結(jié)構(gòu)圖,顯示依據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的二維式陣列發(fā)光二極管元件側(cè)視結(jié)構(gòu)圖。圖3為一結(jié)構(gòu)圖,顯示依據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的發(fā)光二極管單元俯視結(jié)構(gòu)圖。圖4A-4B為一示意圖,顯示依據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的二維式陣列發(fā)光二極管元件俯視示意圖。圖5為一結(jié)構(gòu)圖,顯示依據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的二維式陣列發(fā)光二極管元件俯視結(jié)構(gòu)圖。圖6A-6B為一示意圖,顯示依據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的二維式陣列發(fā)光二極管元件俯視示意圖。圖7為一表格,顯示依據(jù)不同二維式陣列發(fā)光二極管元件對(duì)發(fā)光效率與每顆發(fā)光二極管單元的發(fā)光能量比較表。圖8A-8C為一結(jié)構(gòu)圖,顯示依據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的二維式陣列發(fā)光二極管元件俯視結(jié)構(gòu)圖。圖9A-9D為一結(jié)構(gòu)圖,顯示一種單列的串聯(lián)式高壓發(fā)光二極管元件俯視結(jié)構(gòu)圖。圖10為一結(jié)構(gòu)圖,顯示依據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的二維式陣列發(fā)光二極管元件俯視結(jié)構(gòu)圖。圖11為另一現(xiàn)有發(fā)光裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。具體實(shí)施方式以下配合圖式說明本發(fā)明的各實(shí)施例。首先,圖2A與圖2B所示為本發(fā)明第一實(shí)施例的二維式陣列發(fā)光二極管元件2的俯視圖與側(cè)視圖。二維式陣列發(fā)光二極管元件2具有一個(gè)透明基板20,透明基板20具有第一表面201與底面202,其中第一表面201與底面202相對(duì)。透明基板20并不限定為單一材料,亦可以是由若干不同材料組合而成的復(fù)合式透明基板。例如:透明基板20可以包含兩個(gè)相互接合的第一透明基板與第二透明基板(圖未示)。本實(shí)施例中,透明基板20的材質(zhì)為藍(lán)寶石(sapphire)。然而,透明基板20的材質(zhì)亦可以包含但不限于鋁酸鋰(lithiumaluminumoxide,LiAlO2)、氧化鋅(zincoxide,ZnO)、磷化鎵(galliumnitride,GaP)、玻璃(Glass)、有機(jī)高分子板材、氮化鋁(aluminumnitride,AlN)。接著,在透明基板20的第一表面201上,形成若干二維延伸排列的發(fā)光二極管單元22陣列。在本實(shí)施例中,制作方式如下所述:首先,以傳統(tǒng)的磊晶成長制程,在一成長基板(圖未示)上依序形成n型半導(dǎo)體層221,發(fā)光層222,以及p型半導(dǎo)體層223。在本實(shí)施例中,成長基板的材質(zhì)為砷化鎵(GaAs)。當(dāng)然,除了砷化鎵(GaAs)基板之外,成長基板的材質(zhì)是可包含但不限于鍺(germanium,Ge)、磷化銦(indiumphosphide,InP)、藍(lán)寶石(sapphire)、碳化硅(siliconcarbide)、硅(silicon)、氧化鋰鋁(lithiumaluminumoxide,LiAlO2)、氧化鋅(zincoxide,ZnO)、氮化鎵(galliumnitride,GaN)、氮化鋁(aluminumnitride)。接著,以黃光微影制程技術(shù)選擇性移除部分磊晶層后,殘余的磊晶層在成長基板上形成如圖2B所示,分開排列的多個(gè)發(fā)光二極管單元22的磊晶層部分結(jié)構(gòu)。其中,更可包含以黃光微影制程技術(shù)蝕刻形成每一個(gè)發(fā)光二極管單元22的n型半導(dǎo)體層暴露區(qū)域,以做為后續(xù)電極結(jié)構(gòu)的形成平臺(tái)。為了增加元件整體的出光效率,透過基板轉(zhuǎn)移與基板接合的技術(shù),將發(fā)光二極管單元22磊晶層結(jié)構(gòu)設(shè)置于透明基板20之上。發(fā)光二極管單元22可以以加熱或加壓的方式與透明基板20直接接合,或是透過透明黏著層(圖未示)將發(fā)光二極管單元22與透明基板20黏著接合。其中,透明黏著層可以是一有機(jī)高分子透明膠材,例如聚酰亞胺(polyimide)、苯環(huán)丁烯類高分子(BCB)、全氟環(huán)丁基類高分子(PFCB)、環(huán)氧類樹脂(Epoxy)、壓克力類樹脂(AcrylicResin)、聚脂類樹脂(PET)、聚碳酸酯類樹脂(PC)等材料中的一種或其組合;或一透明導(dǎo)電氧化金屬層,例如氧化銦錫(ITO)、氧化銦(InO)、氧化錫(SnO)、氧化錫氟(FTO)、銻錫氧化物(ATO)、鎘錫氧化物(CTO)、氧化鋅鋁(AZO)、摻鎘氧化鋅(GZO)等材料中的一種或其組合;或一無機(jī)絕緣層,例如氧化鋁(Al2O3)、氮化硅(SiNx)、氧化硅(SiO2)、氮化鋁(AlN)、二氧化鈦(TiO2)等材料中的一種或其組合。在本實(shí)施例中,發(fā)光二極管單元22是以苯環(huán)丁烯類高分子(BCB)做為透明黏著層與透明基板20進(jìn)行接合。實(shí)際上,將發(fā)光二極管單元22設(shè)置于透明基板20上的方法不限于此,于本技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)的人應(yīng)可以理解,根據(jù)不同的結(jié)構(gòu)特性,發(fā)光二極管單元22亦可以磊晶成長的方式直接形成于透明的基板上。此外,根據(jù)基板轉(zhuǎn)移次數(shù)的不同,亦可以形成p型半導(dǎo)體層與基板相鄰,且n型半導(dǎo)體層在p型半導(dǎo)體層上,中間夾有發(fā)光層的結(jié)構(gòu)。接著,在發(fā)光二極管單元22的磊晶層部分表面及相鄰發(fā)光二極管單元22磊晶層間以化學(xué)氣相沉積方式(CVD)、物理氣相沉積方式(PVD)、濺鍍(sputtering)等技術(shù)沉積形成絕緣層23,作為磊晶層的保護(hù)與相鄰發(fā)光二極管單元22間的電性絕緣。絕緣層23的材質(zhì)較佳例如可以是氧化鋁(Al2O3)、氧化硅(SiO2)、氮化鋁(AlN)、氮化硅(SiNx)、二氧化鈦(TiO2)等材料或其復(fù)合組合。之后,以濺鍍的方式在發(fā)光二極管單元22的n型半導(dǎo)體層暴露區(qū)域表面,p型半導(dǎo)體層表面,以及透明基板的第一表面201上形成第一電極28、第二電極26及導(dǎo)電配線結(jié)構(gòu)29,以進(jìn)行發(fā)光二極管單元22之間的電性連結(jié)。以本實(shí)施例為例,在第一發(fā)光二極管單元22的n型半導(dǎo)體層暴露區(qū)域上形成第一電極28,在相鄰的發(fā)光二極管單元22的p型半導(dǎo)體層223上形成第二電極26,以及形成一導(dǎo)電配線結(jié)構(gòu)29于兩個(gè)電極之間,以串聯(lián)的方式電性連結(jié)兩個(gè)相鄰的發(fā)光二極管單元22。導(dǎo)電配線結(jié)構(gòu)29與電極26,28的材質(zhì)較佳例如可以是金屬,例如金(Au)、銀(Ag)、銅(Cu)、鉻(Cr)、鋁(Al)、鉑(Pt)、鎳(Ni)、鈦(Ti)、錫(Sn)等,其合金或其層迭組合。形成第一電極28、第二電極26與導(dǎo)電配線結(jié)構(gòu)29的材質(zhì)可以相同或不同,其結(jié)構(gòu)可以是單一次制程,也可以是由多次制程所完成。除此之外,如圖2A所示,為了減少不透光的金屬結(jié)構(gòu)對(duì)發(fā)光二極管元件2出光效率所產(chǎn)生的影響,依據(jù)不同的電路設(shè)計(jì),分別自本實(shí)施例中的發(fā)光二極管單元22串行之中其中兩個(gè)發(fā)光二極管單元22的p型半導(dǎo)體層223及n型半導(dǎo)體層221表面形成兩組導(dǎo)電配線結(jié)構(gòu)29,延伸至磊晶層之外的透明基板20第一表面201上形成第一電極襯墊26'與第二電極襯墊28'。通過兩個(gè)電極襯墊,可以以打線或焊錫等方式與外部電源形成電性連接。其中,形成電極襯墊26',28'的制程,可以與形成電極26,28及導(dǎo)電配線結(jié)構(gòu)29于單一次制程中進(jìn)行,也可以由多次制程所完成。而形成電極襯墊26’,28’的材質(zhì),可以分別與形成電極26,28或?qū)щ娕渚€結(jié)構(gòu)29的材質(zhì)相同或不同。圖3所示為發(fā)光二極管單元22放大的俯視圖。在本實(shí)施例中,每一個(gè)發(fā)光二極管單元22是為長方形,依序具有四個(gè)側(cè)邊22a,長度為a、側(cè)邊22b,長度為b、側(cè)邊22c,長度為a、以及側(cè)邊22d,長度為b。而發(fā)光二極管單元22的周長即為四個(gè)側(cè)邊的長度總和,即2a+2b。值得注意的是,在本發(fā)明之中,為了增加發(fā)光二極管元件的出光效率,對(duì)發(fā)光二極管單元22的排列方式進(jìn)行了調(diào)整?,F(xiàn)有的二維式陣列發(fā)光二極管元件之中,當(dāng)發(fā)光二極管單元22之間設(shè)置距離過近時(shí),發(fā)光二極管單元所產(chǎn)生的光容易被相近發(fā)光二極管單元中能帶相近的半導(dǎo)體層(尤其是發(fā)光層)再吸收,進(jìn)而影響元件整體的出光效率。在本發(fā)明的實(shí)施例中,為減少發(fā)光二極管單元之間的再吸收現(xiàn)象,使每一個(gè)不同的發(fā)光二極管單元22之間距離拉大。以本實(shí)施例為例,由于發(fā)光層之間能帶相近,再吸收現(xiàn)象尤其明顯。因此,以發(fā)光層間的距離為基準(zhǔn),調(diào)整十個(gè)發(fā)光二極管單元彼此之間的發(fā)光層間距都大于35μm。除此之外,不同的發(fā)光二極管單元22間,側(cè)邊的相鄰比例應(yīng)盡量減少。以圖4A為例,當(dāng)不同發(fā)光二極管單元22之間的側(cè)邊垂直距離x大于50μm時(shí),相鄰的發(fā)光二極管單元之間的再吸收機(jī)會(huì)較低,因此可以定義為兩側(cè)邊之間不相近。這樣的定義,可以廣泛適用于不同形狀的發(fā)光二極管單元22結(jié)構(gòu)之中,如圖4B所示,圓形的發(fā)光二極管單元22也可以適當(dāng)?shù)匾员舜瞬幌嘟姆绞揭远S陣列的方式設(shè)置在基板上,減少彼此之間再吸收的機(jī)會(huì),增加發(fā)光二極管元件的出光效率。以本實(shí)施例為例,我們可以推算出每一個(gè)發(fā)光二極管單元22與其它發(fā)光二極管單元的側(cè)邊不相近值α。不相近值α的定義為單一發(fā)光二極管單元與其它發(fā)光二極管單元不相近的側(cè)邊長度總和與周長的比值。如圖5所示,我們將十個(gè)發(fā)光二極管單元22進(jìn)行編號(hào),計(jì)算發(fā)光二極管單元22-1的不相近值α。發(fā)光二極管單元22-1與下方的發(fā)光二極管單元22-2側(cè)邊部分經(jīng)由導(dǎo)電配線結(jié)構(gòu)29相連接,側(cè)邊22-1c與側(cè)邊22-2d之間的垂直距離小于或等于50μm時(shí),彼此相近,相近的長度為b。同樣的,發(fā)光二極管單元22-1的側(cè)邊22-1d與左側(cè)的發(fā)光二極管單元22-3的側(cè)邊22-3b垂直距離小于50μm,也是彼此相近,相近的長度為b;此外,發(fā)光二極管單元22-1的周長為2a+2b。在本實(shí)施例中,有2b長度的側(cè)邊與其它的發(fā)光二極管單元相近,不相近的側(cè)邊長度總和為(2a+2b)-2b=2a。因此,發(fā)光二極管單元22-1的不相近值α為2a/(2a+2b)。相同的計(jì)算公式,同樣可以應(yīng)用在不同形狀的發(fā)光二極管單元22結(jié)構(gòu)之中。把單一發(fā)光二極管單元的側(cè)邊分割為無數(shù)的點(diǎn),沿著每一個(gè)點(diǎn)的側(cè)邊做切線,就任一點(diǎn)依垂直其切線方向計(jì)算與最近的發(fā)光二極管單元側(cè)邊的垂直距離。確認(rèn)每一個(gè)點(diǎn)與最近的發(fā)光二極管單元的距離后,把所有不相近的側(cè)邊以積分的方式加總,所獲得的積分值即為不相近的側(cè)邊長度總和,不相近值α即為積分值與周長的比值。以圖6A與圖6B為例,我們可以延伸計(jì)算形狀為不規(guī)則形的發(fā)光二極管單元每一點(diǎn)與其它發(fā)光二極管單元是否相近。當(dāng)發(fā)光二極管單元的形狀為不規(guī)則形狀時(shí),以側(cè)邊上的每一個(gè)點(diǎn)垂直于此側(cè)邊的方向計(jì)算與最近的發(fā)光二極管單元側(cè)邊的垂直距離x,當(dāng)側(cè)邊為弧形時(shí),則以弧形上的每一個(gè)點(diǎn)對(duì)弧形做切線后,就此點(diǎn)垂直于其切線方向計(jì)算垂直距離。在圖6A與圖6B中,分別以發(fā)光二極管單元32-1與發(fā)光二極管單元42-1為例,標(biāo)示出發(fā)光二極管單元側(cè)邊不同位置與最近發(fā)光二極管單元32-2,32-3,42-2,42-3間垂直距離x的計(jì)算方式。根據(jù)實(shí)驗(yàn)的結(jié)果可以發(fā)現(xiàn),當(dāng)二維式陣列發(fā)光二極管元件上發(fā)光二極管的單元不相近值α大于50%時(shí),發(fā)光二極管元件2可以比現(xiàn)有的緊密排列的二維式陣列發(fā)光二極管元件3提升發(fā)光效率5%,如圖7提供的發(fā)光二極管元件對(duì)元件發(fā)光效率與每顆發(fā)光二極管單元的發(fā)光能量比較表所示。當(dāng)發(fā)光二極管元件2中的每一個(gè)發(fā)光二極管單元側(cè)邊長a值為560μm,側(cè)邊長b值為290μm時(shí),不相近值α約為65%,發(fā)光二極管元件2之發(fā)光效率比現(xiàn)有的緊密排列的二維式陣列發(fā)光二極管元件提升10%。除了本實(shí)施例之外,圖8A至圖8C提供其它符合不相近值α大于50%的發(fā)光二極管單元排列方式所組成的二維式陣列發(fā)光二極管元件的實(shí)施例。此外,為了增加元件整體的出光效率,我們還可以利用干蝕刻或濕蝕刻等方式在透明基板的第一表面及/或背面進(jìn)行表面粗化,以增加光線散射與出光機(jī)率。此外,自俯視圖觀之,發(fā)光二極管單元22設(shè)置于透明基板20上時(shí),發(fā)光二極管單元22的發(fā)光層垂直投影于第一表面的位置與透明基板20任一側(cè)邊之間最短距離較佳應(yīng)大于20μm,以增加光自透明基板20摘出的機(jī)會(huì)。在相同的發(fā)明精神之下,我們可以將單列的串聯(lián)式高壓發(fā)光二極管元件接合于透明基板上,利用適當(dāng)?shù)亩㈥嚵信帕蟹绞?,也可以達(dá)到增加串聯(lián)式高壓發(fā)光二極管元件中每一顆發(fā)光單元的不相近值α的效果,以形成具有高出光效率的二維式陣列發(fā)光二極管元件。圖9A至圖9D分別顯示單列的串聯(lián)式高壓發(fā)光二極管元件4、5、6、7。其中,每一個(gè)高壓發(fā)光二極管元件分別包含有四個(gè)發(fā)光二極管單元42、52、62、72,以磊晶成長或接合的方式形成于基板40、50、60、70之上。與上述的結(jié)構(gòu)相同,先在第一發(fā)光二極管單元42、52、62、72的n型半導(dǎo)體層暴露區(qū)域上形成第一電極46、56、66、76,延伸出導(dǎo)電配線結(jié)構(gòu)49、59、69、79至另一個(gè)相鄰的發(fā)光二極管單元42、52、62、72,并形成第二電極48、58、68、78于相鄰的發(fā)光二極管單元42的p型半導(dǎo)體層上,以串聯(lián)的方式電性連結(jié)兩個(gè)相鄰的發(fā)光二極管單元42、52、62、72。在每一個(gè)單列的串聯(lián)式高壓發(fā)光二極管元件4、5、6、7之中,行列末端的兩個(gè)發(fā)光二極管單元42、52、62、72更分別形成有第一電極襯墊46’、56’、66’、76’與第二電極襯墊48’、58’、68’、78’,用以與外部元件或電源形成電性連接。我們可以將若干個(gè)上述圖9A至圖9D所示的單列的串聯(lián)式高壓發(fā)光二極管元件4、5、6、7以透明黏著層設(shè)置于一個(gè)單一的透明基板80上,發(fā)光二極管元件4、5、6、7彼此之間可以透過打線制程或黃光制程形成導(dǎo)電配線結(jié)構(gòu)89的方式進(jìn)行電性連結(jié),在適當(dāng)?shù)呐帕兄?,可以形成較現(xiàn)有的緊密排列的二維式陣列發(fā)光二極管元件具有較高不相近值α的二維式陣列發(fā)光二極管元件,以達(dá)成較高的元件整體出光效率,如圖10所示。本發(fā)明所列舉之各實(shí)施例僅用以說明本發(fā)明,并非用以限制本發(fā)明之范圍。任何人對(duì)本發(fā)明所作之任何顯而易知之修飾或變更皆不脫離本發(fā)明之精神與范圍。