專利名稱：激光裝置及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及將半導(dǎo)體激光元件等激光元件和光纖等光部件組合而成的激光裝置及其制造方法。
背景技術(shù)：
近些年，使用了半導(dǎo)體激光(LD (Laser Diode):激光二極管)元件等激光元件的激光裝置被商品化，在光通信領(lǐng)域開始普及。作為這樣的激光裝置的一個例子，有將激光元件和光纖組合而成的激光模塊(laser module)。在這樣的激光模塊中，要求以高光耦合率按照使激光元件和光纖進(jìn)行光耦合的方式組合。

因此，在這樣的激光模塊中，為了從激光元件射出的激光更多地被導(dǎo)入至光纖，正確地進(jìn)行激光元件的射出面(射出激光的面)和光纖的前端部的對位變得重要。另外，使激光元件的射出面以及光纖的前端部的位置保持對位的狀態(tài)變得重要。作為上述那樣的激光模塊，已知有例如專利文獻(xiàn)I所記載的激光模塊。在專利文獻(xiàn)I所記載的激光模塊中，激光元件(laser)和光纖(optical fiber)被配置在相同的基板(substrate)上。更具體而言,激光元件被固定在被固定于基板上的激光輔助支架(lasersubmount)上。同樣,光纖被固定在被固定于基板上的光纖輔助支架(fiber submount,光纖支承部件)上。在專利文獻(xiàn)I所記載的激光模塊中，激光元件以及光纖在進(jìn)行了對位的狀態(tài)下，通過焊接被固定在各自的輔助支架上。由此，能夠使激光元件的射出面以及光纖的前端部的位置保持進(jìn)行了對位的狀態(tài)。然而，光纖向光纖輔助支架的固定通過上述的焊接進(jìn)行，此時不僅需要使焊料的溫度上升至溶熔點(diǎn)以上，還需要使光纖輔助支架的溫度，特別是使焊料擴(kuò)散的焊料固定部的溫度充分上升。這是因?yàn)槿艉噶瞎潭ú康臏囟鹊?，則不能夠使焊料均衡擴(kuò)散至焊料固定部整體。另外，一般從激光元件射出的激光的射出面的縱向(與激光元件的活性層正交的方向)的擴(kuò)展角的半高全寬(FWHM :Full Width at Half Maximum)為40°左右，射出面的橫向(與激光元件的活性層平行的方向)的擴(kuò)展角的半高全寬為10°左右(例如參照非專利文獻(xiàn)I、非專利文獻(xiàn)2)。即，與橫向的擴(kuò)展相比，激光的縱向的擴(kuò)展變大。因此，如上述的非專利文獻(xiàn)I、非專利文獻(xiàn)2所記載的那樣，一般使光纖的前端部形成為楔子形狀，在其前端部附加透鏡功能，從而使在縱向大幅擴(kuò)展的激光高效地入射至光纖的纖芯部。從而，能夠抑制從激光元件射出的激光不被導(dǎo)入至光纖的纖芯部，而照射至用于將光線固定于光纖輔助支架的焊料周邊，或抑制導(dǎo)入至光纖的包層部。專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)I:美國專利第6，758，610號說明書(2004年7月6日登錄)非專利文獻(xiàn)
非專利文獻(xiàn) I:Xiaodong Zeng and Yuying An, Coupling light from a laserdiode into a multimode fiber, APPLIED OPTICS, Optical Society of America, August2003，Vol. 42，No. 22非專利文獻(xiàn)2:Min_Ching Lin et al. , High-Power Laser Module withHigh Coupling Wedge-Shaped Fiber,Opto-Electronics and CommunicationsConference,2008 and the 2008 Australian Conference on Optical FiberTechnology, OECC / ACOFT 2008，Joint conference of the Volume, Issue, 7-10 July2008 Pages 1-2.

發(fā)明內(nèi)容
然而，在上述的專利文獻(xiàn)I所記載的激光模塊中，存在在光纖輔助支架上使用 ZrO2, Al2O3等隔熱材料的情況下，焊料的溫度上升，其結(jié)果，焊料本身熔融，或光纖被加熱，其特性惡化的課題。在光纖輔助支架中使用了非隔熱材料時焊料的溫度上升的理由如以下所述。即如上所述那樣，從激光元件射出的激光的全部不被導(dǎo)入至光纖的纖芯部，其一部分直接照射至用于將光纖固定于光纖輔助支架的焊料，或?qū)胫凉饫w的包層部。而且，直接照射至焊料的激光使焊料發(fā)熱。在光纖輔助支架中使用了非隔熱材料的情況下，在焊料產(chǎn)生的熱經(jīng)由光纖輔助支架被散熱至基板，但在光纖輔助支架中使用了隔熱材料的情況下，這樣的散熱不會迅速進(jìn)行，在焊料產(chǎn)生的熱滯留在光纖輔助支架內(nèi)。其結(jié)果，導(dǎo)致焊料的溫度上升。另外，被導(dǎo)入至包層部的激光從包層漏出，使光纖的金屬覆蓋部件發(fā)熱。在光纖輔助支架中使用了隔熱材料的情況下，在金屬覆蓋部件產(chǎn)生的熱傳導(dǎo)至焊料后，不被傳導(dǎo)至光纖輔助支架而滯留在焊料內(nèi)，導(dǎo)致焊料的溫度上升。具體而言，從激光元件射出的激光中，實(shí)際被導(dǎo)入至光纖的纖芯部的為全發(fā)光量中的90%左右。因此，剩余的10%左右的激光直接照射至焊料，或被導(dǎo)入至光纖的包層部。并且，預(yù)計(jì)激光元件越發(fā)高輸出化，與此相伴直接照射至焊料，或?qū)胫凉饫w的包層部的激光的強(qiáng)度不斷增大。激光元件的輸出現(xiàn)在已經(jīng)在10W以上，該情況下，不被導(dǎo)入至光纖的纖芯部的激光為IW以上，成為不能夠忽略上述那樣的對焊料的影響的狀況。這樣不被導(dǎo)入至光纖的纖芯部，而直接照射至焊料的激光、被導(dǎo)入至光纖的包層部的激光分別使焊料的溫度上升。其結(jié)果，導(dǎo)致上述那樣的焊料的熔融、光纖的加熱、光纖的特性惡化。另外，擔(dān)心雖不至于光纖的特性惡化，但若焊料的溫度上升到需要以上，則焊料軟化，光纖的位置變動。該現(xiàn)象在因上述的激光元件的射出光的擴(kuò)展角、光纖的前端部的透鏡形狀，在光纖的位置在激光元件的射出端面的縱向錯位的情況下特別顯著。因此，高效地對來自對光纖進(jìn)行固定的焊料的發(fā)熱進(jìn)行散熱，在提高激光元件的高輸出化方面是非常重要的事。因此，為了高效地對來自焊料的發(fā)熱進(jìn)行散熱，在上述的專利文獻(xiàn)I的激光模塊中，光纖輔助支架中使用導(dǎo)熱率高的非隔熱材料是有效的。但在光纖輔助支架中單純使用非隔熱材料的情況下，存在下次在使用焊料將光纖安裝于光纖輔助支架時，不能夠使光纖輔助支架的焊料固定部的溫度均勻且充分上升，其結(jié)果，產(chǎn)生不能夠使焊料擴(kuò)散至光纖輔助支架的焊料固定部全體這樣新的課題。
在將光纖安裝于光纖輔助支架時，利用來自用于該安裝另外準(zhǔn)備的激光源的激光照射產(chǎn)生熱，使用該熱進(jìn)行焊接。但若光纖輔助支架中使用非隔熱材料，通過該激光照射產(chǎn)生的熱不會滯留在配置了焊料固定部的光纖輔助支架的上表面內(nèi)(以下僅稱“光纖輔助支架面內(nèi)”。)而散發(fā)熱量。因此，不能夠使光纖輔助支架面內(nèi)的溫度充分上升，另外不能夠使光纖輔助支架面內(nèi)的溫度梯度減小。本發(fā)明是鑒于上述課題而完成的，其目的在于提供能夠使將光纖固定于焊料固定部時的向焊料固定部的熱供給、從激光元件向光纖的纖芯部導(dǎo)入激光時的來自焊料固定部的散熱均穩(wěn)定化，且具有高安裝可靠性的激光裝置以及其制造方法。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的激光裝置具備激光元件，其具有射出激光的射出面；光纖，其具有與上述激光元件的上述射出面對置地配置的前端部；支承部件，其是支承上述光纖的支承部件，由非隔熱材料構(gòu)成，且具有利用焊料固定上述光纖的焊料固定部，上述支承部件包含與散熱部件熱接觸的接觸部位，上述焊料固定部以隔著在將上述光纖固定 于上述焊料固定部時從與上述激光元件不同的激光元件照射激光的區(qū)域而位于與上述接觸部位相反側(cè)的方式離開上述接觸部位，且與上述散熱部件在空間上分離。在上述的激光裝置中，由于支承部件使用非隔熱材料，所以在從激光元件向光纖導(dǎo)入激光時，能夠?qū)⒈缓噶瞎潭ú课盏臒釓暮噶瞎潭ú扛咝У貍鲗?dǎo)至接觸部位。因此，利用從激光元件的射出面射出的激光中的、未被導(dǎo)入至光纖的纖芯部的激光的照射，激光被直接照射至焊料而使焊料發(fā)熱，或?qū)胫凉饫w的包層部的激光照射光纖的金屬覆蓋部件，從金屬覆蓋部件發(fā)熱，即便焊料固定部開始熱的吸收，也能夠高效地散放該熱。但若僅將支承部件從隔熱材料變更為非隔熱材料，支承部件的散熱效率大幅度提高，所以在為了使焊料熔融且將光纖固定于焊料固定部而照射激光時，產(chǎn)生從該照射區(qū)域朝向接觸部位的陡峭的熱梯度，從而不能夠使焊料固定部的溫度充分且均勻地上升，其結(jié)果，產(chǎn)生不能夠使焊料擴(kuò)散至焊料固定部全體的弊端。因此，在上述的激光裝置中，采用焊料固定部離開接觸部位，且與散熱部件在空間上分離的構(gòu)成。因此，在使焊料熔融且將光纖固定于焊料固定部時，通過向從焊料固定部與接觸部位側(cè)分離的區(qū)域(焊料固定部和接觸部位所夾的區(qū)域)照射激光，在從激光的照射區(qū)域至焊料固定部側(cè)的支承部件中，使從該激光的照射區(qū)域產(chǎn)生的熱中的傳導(dǎo)至焊料固定部側(cè)的熱滯留在配置了焊料固定部的支承部件內(nèi)，能夠使焊料固定部的溫度充分且均勻上升。原因是相對于激光的照射區(qū)域，焊料固定部位于與接觸部位相反側(cè)，，所以難以產(chǎn)生陡峭的溫度梯度。其結(jié)果，能夠使焊料固定部上的焊料的擴(kuò)散性更加均勻。因此，能夠使將光纖固定于焊料固定部時向焊料固定部的熱供給，和從激光元件向光纖的纖芯部導(dǎo)入激光時的來自焊料固定部的散熱均穩(wěn)定化，能夠?qū)崿F(xiàn)高的安裝可靠性。另外，為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的激光裝置具備臺座；配設(shè)于上述臺座上的激光元件和光纖；以及以上述光纖的端面與上述激光元件的射出面對置的方式支承上述光纖，且由非隔熱材料構(gòu)成的支承部件，上述支承部件的僅一方的端部與上述臺座熱接觸，上述光纖被焊接至與上述支承部件的上述一方的端部相反側(cè)的端部。
根據(jù)上述的構(gòu)成，在激光裝置的使用時，在使從上述半導(dǎo)體激光元件射出的激光入射至上述光纖的前端部時，能夠使在焊料產(chǎn)生的熱迅速轉(zhuǎn)移至臺座。原因是上述支承部件由非隔熱材料構(gòu)成，所以在焊料產(chǎn)生的熱從上述支承部件的上述相反側(cè)的端部(焊接了光纖側(cè)的端部)傳導(dǎo)至上述另一方的端部(與臺座熱接觸的端部)，從上述另一方的端部轉(zhuǎn)移至臺座。同時，根據(jù)上述的構(gòu)成，激光裝置的制造時，能夠使上述支承部件的上述相反側(cè)的端部(焊接了光纖側(cè)的端部)的溫度均勻且充分上升，其結(jié)果，能夠使用于將上述光纖焊接至上述支承部件的焊料均勻擴(kuò)散至上述支承部件上。原因是上述支承部件的僅上述一方的端部與上述臺座熱接觸(上述相反側(cè)的端部不與上述臺座熱接觸)，所以在上述另一方的端部和上述相反側(cè)的端部之間的區(qū)域照射激光，加熱上述支承部件的情況下，不存在將從該區(qū)域朝向上述相反側(cè)的端部傳導(dǎo)的熱轉(zhuǎn)移至上述臺座的散熱路徑，該熱滯留在上述相反側(cè)的端部。S卩，根據(jù)上述的構(gòu)成，能夠應(yīng)對(I)在激光裝置的制造時，在將上述光纖焊接于上 述支承部件的上述相反側(cè)的端部時，使該相反側(cè)的端部的溫度均勻且充分上升，并且(2)在激光裝置的使用時，在使從上述半導(dǎo)體激光元件射出的激光入射至上述光纖的前端部時，使在焊料產(chǎn)生的熱迅速轉(zhuǎn)移至臺座這樣2個相反的要求。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)安裝可靠性比以往優(yōu)良的激光裝置。另外，為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的激光裝置的制造方法是具備如下支承部件的激光裝置的制造方法，上述支承部件是支承上述光纖的支承部件，由非隔熱材料構(gòu)成，且具有利用焊料固定上述光纖的焊料固定部，上述支承部件包含與散熱部件熱接觸的接觸部位，上述焊料固定部以隔著在將上述光纖固定于上述焊料固定部時從激光元件激光的激光照射區(qū)域而位于與上述接觸部位相反側(cè)的方式離開上述接觸部位，且與上述散熱部件在空間上分離，包含在利用上述焊料將上述光纖固定于上述焊料固定部時，向上述激光照射區(qū)域照射激光的工序；利用由從上述激光照射區(qū)域向上述焊料固定部側(cè)傳導(dǎo)的熱引起的上述焊料固定部的溫度上升來使上述焊料熔融的工序。在上述的激光裝置的制造方法中，在使焊料熔融且將光纖固定于焊料固定部時，能夠向從焊料固定部與接觸部位側(cè)分離的區(qū)域(焊料固定部和接觸部位所夾的區(qū)域)照射激光。因此，在使焊料熔融且將光纖固定于焊料固定部時，向從焊料固定部與接觸部位側(cè)分離的區(qū)域照射激光，從在從激光的照射區(qū)域至焊料固定部側(cè)的支承部件中，能夠使從該激光的照射區(qū)域產(chǎn)生的熱中的傳導(dǎo)至焊料固定部側(cè)的熱滯留在配置了焊料固定部的支承部件內(nèi)。其結(jié)果，能夠使焊料固定部的溫度充分且均勻地上升，所以能夠使焊料固定部上的焊料的擴(kuò)散性均勻。因此，能夠使將光纖固定于焊料固定部時的向焊料固定部的熱供給，和從激光元件向光纖的纖芯部導(dǎo)入激光時的來自焊料固定部的散熱均穩(wěn)定化，能夠?qū)崿F(xiàn)高的安裝可靠性。本發(fā)明的激光裝置具備具有射出激光的射出面的激光元件；具有以與上述激光元件的上述射出面對置的方式配置的前端部的光纖；支承上述光纖，由非隔熱材料構(gòu)成，且具有利用焊料固定上述光纖的焊料固定部的支承部件，上述支承部件包含與散熱部件熱接觸的接觸部位，上述焊料固定部以隔著在將上述光纖固定于上述焊料固定部時從與上述激光元件不同的激光元件照射激光的區(qū)域而位于與上述接觸部位相反側(cè)的方式離開上述接觸部位，且與上述散熱部件在空間上分離。因此，起到能夠提供能夠使將光纖固定于焊料固定部時的向焊料固定部的熱供給，和從激光元件向光纖的纖芯部導(dǎo)入激光時的來自焊料固定部的散熱均穩(wěn)定化，具有高的安裝可靠性的激光裝置及其制造方法的效果。


圖I是用于說明本發(fā)明的一實(shí)施方式的激光裝置的示意的剖視圖。圖2是表示圖I的激光裝置的光纖支承部件的三視圖，圖2 Ca)是從圖I的Z方向觀察的俯視圖，圖2 (b)是從圖I的X方向觀察的側(cè)視圖，圖2 (C)是從圖I的Y方向觀察的側(cè)視圖。

圖3是表示圖I的激光裝置的光纖支承部件以及其周邊部的圖。圖4是用于比較圖I的激光裝置的光纖支承部件的導(dǎo)熱率、熱阻以及熱導(dǎo)(thermal conductance),和現(xiàn)有的激光裝置的光纖支承部件的導(dǎo)熱率、熱阻、以及熱導(dǎo)的表。圖5是對使用焊料將光纖固定于圖I的激光裝置的光纖支承部件的接合焊盤的狀況進(jìn)行說明的圖，圖5 Ca)是表示用于使焊料熔融的激光在光纖支承部件執(zhí)行焊料熔融的狀況的圖，圖5 (b)是表不由具有3W / m ·。(!'的導(dǎo)熱率的隔熱材料構(gòu)成的光纖支承部件的熱分布(溫度分布)的圖，圖5 (c)是由具有90W / m · °C以上的導(dǎo)熱率的非隔熱材料構(gòu)成的光纖支承部件的熱分布(溫度分布)的圖。圖6是表示圖I的激光裝置的光纖支承部件的變形例的三視圖，圖6 Ca)是從圖I的Z方向觀察的俯視圖，圖6 (b)是從圖I的X方向觀察的側(cè)視圖，圖6 (C)是從圖I的Y方向觀察的側(cè)視圖。圖7是表示圖I的激光裝置的光纖支承部件的變形例的三視圖，圖7 Ca)是從圖I的Z方向觀察的俯視圖，圖7 (b)是從圖I的X方向觀察的側(cè)視圖，圖7 (C)是從圖I的Y方向觀察的側(cè)視圖。圖8是表示圖I的激光裝置的光纖支承部件的變形例的三視圖，圖8 Ca)是從圖I的Z方向觀察的俯視圖，圖8 (b)是從圖I的X方向觀察的側(cè)視圖，圖8 (C)是從圖I的Y方向觀察的側(cè)視圖。圖9是表示圖I的激光裝置的光纖支承部件的變形例的三視圖，圖9 Ca)是從圖I的Z方向觀察的俯視圖，圖9 (b)是從圖I的X方向觀察的側(cè)視圖，圖9 (C)是從圖I的Y方向觀察的側(cè)視圖。圖10是表示圖I的激光裝置的光纖支承部件的變形例的三視圖，圖10 Ca)是從圖I的Z方向觀察的俯視圖，圖10 (b)是從圖I的X方向觀察的側(cè)視圖，圖10 (C)是從圖I的Y方向觀察的側(cè)視圖。圖11是表示圖I的激光裝置的光纖支承部件的變形例的三視圖，圖11 Ca)是從圖I的Z方向觀察的俯視圖，圖11 (b)是從圖I的X方向觀察的側(cè)視圖，圖11 (C)是從圖I的Y方向觀察的側(cè)視圖。
圖12是表示圖I的激光裝置的光纖支承部件的變形例的三視圖，圖12 Ca)是從圖I的Z方向觀察的俯視圖，圖12 (b)是從圖I的X方向觀察的側(cè)視圖，圖12 (C)是從圖I的Y方向觀察的側(cè)視圖。圖13是表示圖I的激光裝置的光纖支承部件的變形例的三視圖，圖13 Ca)是從圖I的Z方向觀察的俯視圖，圖13 (b)是從圖I的X方向觀察的側(cè)視圖，圖13 (C)是從圖I的Y方向觀察的側(cè)視圖。圖14是表示圖I的激光裝置的光纖支承部件以及圖6、8、10 13的光纖支承部件中使用Ni、Mo、Si、CuW (或者AlN)、Cu的任意一種的情況下的各自的熱阻以及熱導(dǎo)的表。圖15是表示圖I的激光裝置的光纖支承部件的接合焊盤的溫度上升和該光纖支承部件的熱阻的關(guān)系的圖表。
具體實(shí)施例方式基于圖I 圖5，按以下方式對本發(fā)明的一實(shí)施方式進(jìn)行說明。激光裝置100首先，基于圖I以及圖2，對作為本發(fā)明的一實(shí)施方式的激光裝置100的構(gòu)成進(jìn)行說明。圖I是用于說明本發(fā)明的一實(shí)施方式的激光裝置100的示意的剖視圖。另外，圖2是表示圖I所示的光纖支承部件5的三視圖，圖2 Ca)是從圖I的Z方向觀察俯視圖，圖2(b)是從圖I的X方向觀察的側(cè)視圖，圖2 (c)是從圖I的Y方向觀察的側(cè)視圖。如圖I以及圖2所示，本實(shí)施方式的激光裝置100具備臺座(散熱部件)I、半導(dǎo)體激光元件(激光元件)2、激光元件支承部件3、光纖4、光纖支承部件(支承部件)5、接合膜
6、接合焊盤(焊料固定部)7、焊料8、金屬覆蓋部件9。臺座I例如是具有長方體形狀的臺座。能夠在該臺座I的上部配置密封體(省略圖示)。這樣，能夠利用該密封體和臺座I構(gòu)成包住半導(dǎo)體激光元件2和光纖4的前端部4a的殼體。該情況下，臺座I作為殼體的底板發(fā)揮功能。如后所述，在臺座I上接合有激光元件支承部件3和光纖支承部件5。因此，激光振蕩時在半導(dǎo)體激光元件2產(chǎn)生的熱通過激光元件支承部件3被傳導(dǎo)至臺座I。同樣，在光纖4產(chǎn)生的熱、在后述的接合焊盤7產(chǎn)生的熱通過光纖支承部件5也被傳導(dǎo)至臺座I。為了使臺座I散發(fā)像這樣經(jīng)由激光元件支承部件3、光纖支承部件5而傳導(dǎo)至自身的熱，通常，臺座I被固定在散熱器上或溫度調(diào)整塊上。即，臺座I作為用于將從激光元件支承部件3、光纖支承部件5傳導(dǎo)至自身的熱散發(fā)至散熱器或者溫度調(diào)整塊的散熱部件發(fā)揮功能?？紤]臺座I的散熱性(熱傳導(dǎo)性)、和其制造成本，通常使用銅來形成。在半導(dǎo)體激光元件2上連接有激光驅(qū)動裝置(省略圖示)，從該激光驅(qū)動裝置輸入驅(qū)動電流。半導(dǎo)體激光元件2具有射出激光的射出面2a，該射出面2a與光纖4的前端部4a對置配置。半導(dǎo)體激光元件2通過從驅(qū)動裝置輸入驅(qū)動電流而振蕩，通過該振蕩從射出面2a輸出激光。在本實(shí)施方式的激光裝置100中，作為半導(dǎo)體激光元件2使用射出多模光的多模半導(dǎo)體激光元件。作為構(gòu)成這樣的多模半導(dǎo)體激光元件的半導(dǎo)體材料例如能夠使用InGaAs、AlGaAs、InGaAsP0如在背景技術(shù)中所述那樣,對于從輸出多模光的半導(dǎo)體激光兀件2的射出面2a射出的激光的擴(kuò)展角而言，在圖I的YZ平面的半高全寬(FWHM)為40°左右，另外，在圖I的XY平面的半高全寬為10°程度。即，與XY面內(nèi)相比，YZ面內(nèi)的半導(dǎo)體激光元件2的激光的擴(kuò)展大。此外，在圖I中，在與半導(dǎo)體激光元件2的射出面2a正交的面中，將與半導(dǎo)體激光元件2的活性層延伸的平面平行的面設(shè)為YZ面。另外，在與半導(dǎo)體激光元件2的射出面2a正交的面中，將與半導(dǎo)體激光元件2的活性層延伸的平面正交的面設(shè)為XY面。這意味著對于半導(dǎo)體激光元件2的射出面2a和光纖4的前端部4a的對位而言，與光纖4相對于半導(dǎo)體激光兀件2的射出面在X軸方向偏移的情況相比，在Z軸方向偏移會使后述的半導(dǎo)體激光元件2和光纖4的光耦合率更大幅度降低。原因是，如上所述那樣，半導(dǎo)體激光元件2的激光在YZ面內(nèi)的擴(kuò)展大，所以對在Z軸方向產(chǎn)生光纖4的位置偏移的情況,和在X軸方向產(chǎn)生光纖4的位置偏移的情況進(jìn)行比較，更多的激光沒有被導(dǎo)入至光纖4的纖芯部。換句話說，半導(dǎo)體激光元件2和光纖4的光耦合率的變動在X軸方向?qū)饫w4的 位置偏移遲鈍，而在Z軸方向?qū)饫w4的位置偏移非常敏感。根據(jù)光纖4的前端部4a所具有的透鏡功能的程度，例如，允許X軸方向的光纖4的位置偏移至10 μ m左右，而僅允許半導(dǎo)體激光元件2的射出面2a上的Z方向上光纖4的位置偏移至I 3 μ m的程度。激光元件支承部件3的下表面與臺座I接合。另一方面，在激光元件支承部件3的上表面配置有半導(dǎo)體激光元件2。即，激光元件支承部件3是以將半導(dǎo)體激光元件2配置于臺座I上方的特定的位置的方式支承半導(dǎo)體激光元件2的部件。另外，激光元件支承部件3擔(dān)負(fù)將半導(dǎo)體激光元件2射出激光時產(chǎn)生的熱傳導(dǎo)至臺座I的功能。在半導(dǎo)體激光元件2中產(chǎn)生的熱通過臺座I (或通過安裝于臺座I的散熱器或者溫度調(diào)整塊)散發(fā)至大氣中。由此，抑制激光振蕩時的半導(dǎo)體激光元件2的溫度上升，其結(jié)果，半導(dǎo)體激光元件2的振蕩穩(wěn)定地進(jìn)行。作為構(gòu)成激光元件支承部件3的材料，例如能夠使用銅鎢(CuW)、鑰(Mo)、氮化鋁(A1N)。光纖4是用于將從半導(dǎo)體激光元件2射出的激光引導(dǎo)至激光裝置100的外部的部件。在光纖4中通過其前端部4a導(dǎo)入從半導(dǎo)體激光元件2射出的激光。如圖I所示，光纖4的前端部4a具有棱線沿X軸方向延伸的楔子形狀。如上所述，與XY面內(nèi)相比，YZ面內(nèi)的半導(dǎo)體激光元件2的激光的擴(kuò)展大。因此，需要在激光入射的光纖4的前端部4a中，使在YZ面內(nèi)擴(kuò)展而從半導(dǎo)體激光元件2的射出面2a射出的激光折射導(dǎo)入至光纖4的纖芯部。因此，光纖4的前端部4a被加工成楔子形狀，通過該加工，賦予前端部4a透鏡功能。而且，在YZ面內(nèi)擴(kuò)展而從半導(dǎo)體激光元件2的射出面2a射出的激光在入射至賦予了透鏡功能的、具有楔子形狀的前端部4a時折射，被導(dǎo)入至光纖4的纖芯部。另外，如圖I所示，光纖4的前端部4a與半導(dǎo)體激光元件2的射出面2a對置地配置。而且，以從半導(dǎo)體激光元件2射出的激光中，導(dǎo)入至光纖4的纖芯部的激光成為最大的方式進(jìn)行半導(dǎo)體激光元件2的射出面2a和光纖4的前端部4a的對位。S卩，以半導(dǎo)體激光兀件2和光纖4的光稱合率成為最大的方式進(jìn)行半導(dǎo)體激光兀件2的射出面2a和光纖4的前端部4a的對位。光纖4例如成為包含纖芯部、該纖芯部的外側(cè)的包層部、覆蓋它們的覆蓋部的、公知的3層構(gòu)造即可。如上所述那樣的、半導(dǎo)體激光元件2的射出面2a和光纖4的前端部4a的對位，具體而言是指以從半導(dǎo)體激光元件2射出的激光最大限度地被導(dǎo)入至光纖4的纖芯部的方式對從半導(dǎo)體激光元件2射出的激光的光軸和光纖4的纖芯部的光軸進(jìn)行調(diào)心。另外，光纖4使用能夠與上述的多模半導(dǎo)體激光元件2光耦合的多模光纖即可，例如，使用其纖芯/包層直徑為100 / 125 μ m即可。光纖支承部件5以其下表面隔著接合膜6的方式與臺座I接合。另一方面,在光纖支承部件5的上表面以隔著接合焊盤7的方式配置有光纖4。光纖支承部件5以將光纖4的前端部4a配置于臺座I上方的特定的位置的方式支承光纖4的前端部4a。光纖支承部件5使用具有高的導(dǎo)熱率的非隔熱材料而構(gòu)成。光纖支承部件5例如使用鎳(Ni)、鑰(Mo)、硅(Si)、銅鎢(CuW)、氮化鋁(A1N)、銅(Cu)等具有高的導(dǎo)熱率的非隔熱材料即可。例如，上述的非隔熱材料的導(dǎo)熱率分別為90W / m* 0C (Ni)、147W / m · °C(Mo)、160W / m · °C (Si)、200W / m · °C (CuW、A1N)、400W / m · °C (Cu)。另外，作 為他們以外的非隔熱材料，例如能夠使用Ni - ceramic、碳化硅(SiC，257W / m· °C)、氧化鈹(BeO, 285W / m · °C )、立方氮化硼(Cubic boron nitride, 1300W / m ·Κ)、金剛石(2200W /m*°C)0作為這樣的非隔熱材料具有的導(dǎo)熱率，優(yōu)選50W / m· °C以上。另一方面，相對于這樣的非隔熱材料作為具有低的導(dǎo)熱率的隔熱材料，例如能夠列舉二氧化硅(IW / m*°C)、玻璃陶瓷(Macor) (2ff / m · °C )、氧化錯(Zirconia) (3ff / m · °C)等。光纖支承部件5使用具有這樣的高的導(dǎo)熱率的非隔熱材料而構(gòu)成，所以能夠?qū)⑹辜す馊肷渲凉饫w4時產(chǎn)生的熱高效地傳導(dǎo)至臺座I。當(dāng)然，構(gòu)成光纖支承部件5的非隔熱材料并不局限于上述的材料。主要是光纖支承部件5使用與導(dǎo)熱率極低的玻璃等隔熱材料相比具有高的導(dǎo)熱率的非隔熱材料即可。而且，激光入射至光纖4時產(chǎn)生的熱通過臺座I被散發(fā)。由此,抑制激光傳導(dǎo)時的光纖4的溫度上升，光纖4的配置被穩(wěn)定地支承。另外，如后所述，從激光元件2射出的激光中的、直接照射至焊料8的激光使焊料8發(fā)熱。另外，從激光元件2射出的激光中的、被導(dǎo)入至光纖4的包層部的激光從包層部漏出，使后述的金屬覆蓋部件9發(fā)熱。而且，這些熱被固定光纖4的接合焊盤7吸收，經(jīng)由光纖支承部件5從臺座I散放。如圖2所示，光纖支承部件5由具有配置光纖4的上述的上表面的梁部(平板狀部)5a，和具有與臺座I接合的上述的下表面的柱部(保持部)5b構(gòu)成。而且，該柱部5b與梁部5a的沿短邊方向延伸的端部的一方側(cè)連結(jié)配置。梁部5a和柱部5b —體成型，這里，為便于說明，將光纖支承部件5分為2個部分，即分成上述的梁部5a和上述的柱部5b。梁部5a具有平板形狀，柱部5b具有長方體形狀。因此，如圖2 (c)所示，光纖支承部件5的從圖I的Y軸方向觀察的側(cè)面成為L字形。在本說明書中，將具有這樣的L字形的側(cè)面的光纖支承部件5的構(gòu)造稱為“懸臂梁構(gòu)造”。此外，當(dāng)然也可以不像上述那樣，使梁部5a和柱部5b —體成型，而使梁部5a和柱部5b各自分別成型，然后，以成為上述那樣的L字形的方式使它們一體化。但該情況下，優(yōu)選以不阻礙梁部5a和柱部5b之間的熱傳導(dǎo)的方式使梁部5a和柱部5b —體化。柱部5b具有與臺座I接合的上述的下表面。而且，在柱部5b的下表面和臺座I之間隔有接合膜6。該接合膜6用于將柱部5b固定在臺座I上，例如能夠使用由Ni膜(上層)/ Au膜(下層)構(gòu)成的雙層構(gòu)造膜。通過將這樣的雙層構(gòu)造膜用于接合膜6，能夠?qū)⒈簧鲜龅慕雍虾副P7吸收的熱高效地傳導(dǎo)至臺座1，并且能夠可靠地將柱部5b固定于臺座I。另一方面,梁部5a具有配置光纖4的上述的上表面。而且,在梁部5a的上表面和光纖4之間隔著接合焊盤7。該接合焊盤7用于將光纖4固定于梁部5a的上表面，與接合膜6相同，例如能夠使用由Ni膜(上層)/ Au膜(下層)構(gòu)成的雙層構(gòu)造膜。通過將這樣的雙層構(gòu)造膜用于接合焊盤7，能夠?qū)⒈簧鲜龅慕雍虾副P7吸收的熱高效地傳導(dǎo)至梁部5a，且能夠?qū)⒐饫w4可靠地固定在梁部5a上。并且，在將光纖4配置于梁部5a的上表面時，光纖4被焊料8固定在梁部5a的接合焊盤7上。作為焊料8例如使用熔點(diǎn)為100°C 200°C左右的低熔點(diǎn)焊料、共晶焊料即可。更具體而言，作為焊料8使用錫(Sn) 63% -鉛(Pb) 37%的共晶焊料、銦(In)合金焊料或錫(Sn)-銀(Ag)焊料等即可。例如是金(Au) 80% -錫(Sn) 20%、金(Au) 10% -錫(Sn)90%、金(Au) 96. 85% -硅(Si) 3. 15%、金(Au) 88% -鍺(Ge) 12%的各共晶焊料即可。優(yōu)選是金(Au) 80% -錫(Sn) 20%焊料。另外，作為他們的熔點(diǎn)的范圍優(yōu)選是200 400°C， 更優(yōu)選是100 400°C。另外，如圖I所示，在光纖4的一部分的周圍以包圍光纖4的方式配置有金屬覆蓋部件9。優(yōu)選該金屬覆蓋部件9在使用焊料8接合光纖4和接合焊盤7時存在于光纖4和焊料8之間。原因是光纖4是玻璃，所以不適合與焊料的接合。另外，通常為了防御對纖芯部以及包層部的機(jī)械干擾和化學(xué)干擾，由樹脂覆蓋光纖4的外側(cè)。但該覆蓋也不適合與焊料的接合，而且也不適合金屬覆蓋部件9的形成。根據(jù)以上的事由優(yōu)選金屬覆蓋部件9直接形成于光纖4的包層部外周。因此，在本實(shí)施方式中，另外配置上述的金屬覆蓋部件9，經(jīng)由該金屬覆蓋部件9，進(jìn)行光纖4和焊料8的接合。光纖支承部件5以下，對光纖支承部件5的構(gòu)成以及其效果更詳細(xì)地進(jìn)行說明。圖3是表示圖I以及圖2的光纖支承部件5以及其周邊部的圖。在圖3中，光纖支承部件5如上述那樣由梁部5a和柱部5b構(gòu)成。具體而言，梁部5a包含配置了通過焊料8固定光纖4的接合焊盤7的一主表面(第I主表面，上表面)，和處于與其相反側(cè)的另一主表面(第2主表面，下表面)。另外，如上所述，梁部5a具有平板狀的形狀，在沿其短邊方向延伸的一端部側(cè)與柱部5b連結(jié)。而且，梁部5a的另一主表面(下表面)與臺座I對置。這里，“主表面”指構(gòu)成平板狀的物體的6個面中，具有最大面積的2個面。此外，主表面也常常被稱作“上表面”或“下表面”，主表面以外的面常常被稱作“側(cè)面”。另一方面，如上所述，柱部5b的下端被固定在臺座I上。而且,柱部5b的上端在沿梁部5a的短邊方向延伸的一端部側(cè)與梁部5a連結(jié)。由此，柱部5b使梁部5a的另一主表面(下表面)與臺座I分離對置。換句話說，將梁部5a配置在臺座I的上方，保持梁部5a和臺座I的間隔。另外，柱部5b將從梁部5a傳導(dǎo)至自身的熱散發(fā)至臺座I。如上所述，柱部5b被固定在臺座I上，經(jīng)由柱部5b被固定在臺座I上的部位(接觸部位)，將從梁部5a、柱部5b傳導(dǎo)來的熱散發(fā)至臺座I。因此，可以說柱部5b在柱部5b被固定在臺座I的部位與臺座I熱接觸。并且，如上所述，此梁部5a以及柱部5b均使用具有高導(dǎo)熱率的非隔熱材料。在這樣的梁部5a和柱部5b連結(jié)的、由非隔熱材料構(gòu)成的光纖支承部件5中，首先，以臺座I為基準(zhǔn)的光纖4的高度為H，對此固定了光纖4的接合焊盤7的下方的光纖支承部件5的厚度，即，梁部5a的厚度成為比光纖4的高度H小的值亦即Hl (以下將該構(gòu)成稱作“構(gòu)成I”)。此外，這里忽略接合膜6以及接合焊盤7的厚度，光纖4的高度僅由光纖支承部件5的厚度決定。接下來，接合焊盤7和柱部5b相互分離(以下將該構(gòu)成稱作“構(gòu)成2”)。在圖3中，例如將貫穿接合焊盤7的中心線和貫穿柱部5b的中心線之間的距離設(shè)為L，使接合焊盤7和柱部5b相互分離。由圖3可知，若將接合焊盤7的寬度(與光纖4的長邊方向正交的方向的寬度)設(shè)為Wl，將柱部5b的寬度(與光纖4的長邊方向正交的方向的寬度)設(shè)為W2，則 L Xffl + W2) / 2。首先，在上述的構(gòu)成I中，接合焊盤7的下方的光纖支承部件5的厚度Hl與為了使光纖4的前端部4a與半導(dǎo)體激光元件2的射出面2a光耦合所需的高度H相比變薄。即，光纖支承部件5使光纖4的前端部4a和半導(dǎo)體激光元件2的射出面2a對位，且在接合焊盤7的下方使梁部5a和臺座I分離，保持它們的間隔。并且，在上述的構(gòu)成2中，接合焊盤7和固定于臺座I上的柱部5b之間僅離開距離L，其中，接合焊盤7將使從半導(dǎo)體激光元件2射出的激光入射至光纖4的前端部4b時產(chǎn)生的熱傳導(dǎo)至梁部5a。S卩，在光纖支承部件5中，接合焊盤7和將從梁部5a傳導(dǎo)的熱散發(fā)至臺座I的柱部5b僅分開距離L。光纖支承部件5具備上述那樣的2個的構(gòu)成I以及構(gòu)成2，從而(I)能夠使焊料8熔融且使將光纖4固定于接合焊盤7時的對接合焊盤7的熱供給穩(wěn)定化，(2)能夠使從半導(dǎo)體激光元件2向光纖4的纖芯部導(dǎo)入激光時的來自接合焊盤7的散熱穩(wěn)定化。即，是應(yīng)對下述2個相反的要求的構(gòu)成，(I)在激光裝置100的制造時，使焊料8熔融且將光纖4固定于接合焊盤7時，使接合焊盤7周邊的溫度均勻且充分上升，且(2)在激光裝置100的使用時，在使從半導(dǎo)體激光元件2射出的激光入射至光纖4的前端部4b時，使從焊料8傳導(dǎo)至接合焊盤7的熱迅速轉(zhuǎn)移至臺座I。首先，參照圖3以及圖4，說明在使從半導(dǎo)體激光元件2射出的激光入射至光纖4的前端部4b時,怎樣能夠?qū)暮噶?傳導(dǎo)至接合焊盤7的熱迅速轉(zhuǎn)移至臺座I。使從半導(dǎo)體激光元件2射出的激光入射至光纖4的前端部4b時在焊料8產(chǎn)生的熱首先被傳導(dǎo)至接合焊盤7。而且，被傳導(dǎo)至接合焊盤7的熱沿圖3的箭頭A傳導(dǎo)至梁部5a內(nèi)后，沿圖3的箭頭B從梁部5a高效地傳導(dǎo)至柱部5b。像這樣，能夠使被接合焊盤7吸收的熱高效地傳導(dǎo)至柱部5b是因?yàn)樵诮雍虾副P7和固定于具有散熱功能的臺座I的柱部5b之間，更具體而言是和柱部5b被固定于臺座I的部位之間存在使用了非隔熱材料的梁部5a和使用了非隔熱材料的柱部5b。這里，如圖4的本發(fā)明的項(xiàng)目所示，在梁部5a以及柱部5b使用具有90W / m · °C以上的導(dǎo)熱率的非隔熱材料的情況下，梁部5a的接合焊盤7的與臺座I接近的一端至柱部5b被固定于臺座I的部位的熱阻為6X 10°C / W以下。換句話說，梁部5a的接合焊盤7的與臺座I接近的一端至柱部5b被固定于臺座I的部位的熱導(dǎo)為1.67X 10_2W /°C以上。此夕卜，例如能夠如以下那樣計(jì)算上述的熱阻、熱導(dǎo)。若以圖2的光纖支承部件5為例，則梁部5a的寬度h為1mm、長度k為2mm、高度(厚度)1為O. 2mm。另外，柱部5b的寬度h'為1mm、長度k'為O. 5mm、高度(厚度)1'為O. 5mm。該情況下，若光纖支承部件5的材料為Mo (導(dǎo)熱率K = 147W / m · °C)，則配置于梁部5a的一主表面的接合焊盤7和柱部5b被固定于臺座I的部位之間的熱阻能夠以以下式子表示。((k — k") / (hXl) + Γ / (h, Xk, ))/κ …(I)另外，其熱導(dǎo)能夠以上述的式(I)計(jì)算的熱阻的倒數(shù)表示。
此外,在上述式(I)中，計(jì)算接合焊盤7的與臺座I接近的一端和柱部5b被固定于臺座I的部位之間的熱阻。這是因?yàn)樽詈唵蔚丶僭O(shè)從接合焊盤7向上述的部位的散熱的流動。另一方面，如圖4的以往技術(shù)的項(xiàng)目所示，在梁部5a以及柱部5b中使用具有3W /m · 的導(dǎo)熱率的隔熱材料的情況下，梁部5a以及柱部5b的熱阻成為8. 33X 10°C / W。換句話說，梁部5a以及柱部5b的熱導(dǎo)成為I. 20 X 10_2W / °C。這樣梁部5a以及柱部5b使用圖4的本發(fā)明的項(xiàng)目所示的具有90W / m · °C以上的導(dǎo)熱率的非隔熱材料，從而梁部5a以及柱部5b的熱阻與圖4的以往技術(shù)的項(xiàng)目所示的情況相比大幅減少。該情況下，能夠高效地進(jìn)行上述那樣的、從梁部5a向柱部5b的熱傳導(dǎo)。這樣，在使從半導(dǎo)體激光元件2射出的激光入射至光纖4的前端部4b時，能夠?qū)崿F(xiàn)穩(wěn)定的散熱。接下來，參照圖5，對在使焊料8熔融，且將光纖4固定于接合焊盤7時，怎樣能夠使接合焊盤7周邊的溫度均勻且充分上升進(jìn)行說明。在使焊料8熔融且將光纖4固定于接合焊盤7時，使用來自配置于激光裝置100的外部的激光源的激光照射，從激光裝置100的外部供給用于使焊料8熔融的熱。S卩，如圖5 (a)所示，通過將來自配置于激光裝置100的外部的激光源的激光11照射至焊料8，加熱焊料8，且通過將來自配置于激光裝置100的外部的激光源的激光10照射至梁部5a，加熱梁部5a。這里，加熱梁部5a是為了使接合焊盤7周邊的溫度均勻且充分上升，焊料8向接合焊盤7全體擴(kuò)散。此外，在僅利用激光10對梁部5a的加熱就能夠使焊料8熔融的情況下，可以省略激光11對焊料8的直接加熱。如上所述，在光纖支承部件5中，接合焊盤7和柱部5b之間僅距距離L。因此，如圖5 Ca)所示，能夠?qū)⒂糜诩訜崃翰?b的激光10照射至接合焊盤7和柱部5b之間。在梁部5a以及柱部5b中使用隔熱材料(例如圖4的以往技術(shù)的項(xiàng)目所示的具有3W / m · °C的導(dǎo)熱率的隔熱材料)的情況下，由于梁部5a的低熱傳導(dǎo)性，所以在梁部5a中不會高效地傳導(dǎo)在激光10的照射位置產(chǎn)生的熱。因此，如圖5 (b)所示，梁部5a的溫度隨著遠(yuǎn)離激光10的照射位置而急劇降低。即，在將光纖4固定于接合焊盤7時，不能夠使接合焊盤7周邊的溫度均勻且充分上升。其結(jié)果，不能夠使焊料8均勻擴(kuò)散至接合焊盤7周邊。與此相對，在梁部5a以及柱部5b使用非隔熱材料(例如圖4的本發(fā)明的項(xiàng)目所示的具有90W / m · °C以上的導(dǎo)熱率的非隔熱材料)的情況下，如圖5 (c)所示，由于梁部5a的高熱傳導(dǎo)性，在梁部5a中高效地傳導(dǎo)從激光10的照射位置(激光照射位置)產(chǎn)生的熱。因此，如圖5 (C)所示，梁部5a的溫度梯度變小。即，在將光纖4固定于接合焊盤7時，能夠使接合焊盤7周邊的溫度均勻且充分上升。其結(jié)果，能夠使焊料8均勻擴(kuò)散至接合焊盤7周邊。特別是梁部5a中的、距激光10的照射位置的接合焊盤7側(cè)的部分的溫度梯度與距激光10的照射位置的柱部5b側(cè)的部分的溫度梯度相比變小。原因是從激光10的照射位置向柱部5b側(cè)傳導(dǎo)的熱經(jīng)由柱部5b被散發(fā)至臺座1，與此相對，由于梁部5a與臺座I分離而沒有散熱路徑，所以從激光10的照射位置傳導(dǎo)至接合焊盤7側(cè)的熱滯留在梁部5a內(nèi)。這樣，在將光纖4固定于接合焊盤7時，能夠?qū)崿F(xiàn)對接合焊盤7的穩(wěn)定的熱供給。此外，如圖5 (a)所示，在使焊料8a熔融且將光纖4固定于接合焊盤7時，從配置于激光裝置100的外部的激光源直接向焊料8a照射激光11，也能夠促進(jìn)焊料8a的熔融。 例如，將激光10的輸出設(shè)為27W，將激光11的輸出設(shè)為8W即可。但優(yōu)選按照在為使焊料8a變質(zhì)的溫度前不使焊料8a的溫度上升的方式設(shè)定直接照射至焊料8a的激光11的輸出即可。如以上說明所示，根據(jù)本實(shí)施方式的激光裝置100，即便通過從半導(dǎo)體激光元件2的射出面2a射出的激光中的、未導(dǎo)入至光纖4的纖芯部的激光的照射，加熱用于固定光纖4的焊料8，也能夠?qū)⒃摕岣咝У貍鲗?dǎo)至臺座1，其結(jié)果，能夠高效地散發(fā)來自接合焊盤7的熱。因此，能夠防止焊料8本身的熔融、該熱引起的光纖4的加熱、該加熱引起的光纖4的特性惡化。另外，在使焊料8熔融且將光纖4固定于接合焊盤7時，能夠使接合焊盤7周邊的溫度均勻且充分上升。因此，能夠使接合焊盤7上的焊料8a的擴(kuò)散性均勻。這樣根據(jù)本實(shí)施方式的激光裝置100，能夠應(yīng)對(I)使從半導(dǎo)體激光元件2射出的激光入射至光纖4的前端部4b時，使從焊料8傳導(dǎo)至接合焊盤7的熱迅速轉(zhuǎn)移至臺座1，且
(2)使焊料8熔融且將光纖4固定于接合焊盤7時，使接合焊盤7周邊的溫度均勻且充分上升這2個相反的要求。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)高的安裝可靠性。變形例I圖6表示上述的一實(shí)施方式的激光裝置100的光纖支承部件5的變形例I的概略結(jié)構(gòu)。圖6是表示圖I所示的光纖支承部件5的變形例I的三視圖，圖6 (a)是從圖I的Z方向觀察的上述的變形例I的俯視圖，圖6 (b)是從圖I的X方向觀察的上述的變形例I的側(cè)視圖，圖6 (c)是從圖I的Y方向觀察的上述的變形例I的側(cè)視圖。本變形例I的光纖支承部件和上述的光纖支承部件5不同點(diǎn)在于將2個柱部15b分別設(shè)置于沿梁部15a的短邊方向延伸的2個端部側(cè)。梁部15a、柱部15b、接合膜16以及接合焊盤17分別與光纖支承部件5的梁部5a、柱部5b、接合膜6以及接合焊盤7相同。此外，2個柱部15b中經(jīng)由接合膜16與臺座I接合的僅是2個柱部15b中距接合焊盤17的距離大的一方(在圖6 (c)中為右側(cè))的柱部15b。此外，距接合焊盤17的距離小的一方(在圖6 (C)中為左側(cè))的柱部15b可以與臺座I分離，也可以經(jīng)由由隔熱材料構(gòu)成的接合膜(未圖示)等與臺座I接合。主要是距接合焊盤17的距離小的一方(在圖6 Ce)中左側(cè))的柱部15b不與臺座I熱接觸即可。關(guān)于該點(diǎn)，以下各變形例也相同。
根據(jù)本變形例1，能夠得到與圖2所示的光纖支承部件5相同的效果。以下，將本變形例I的光纖支承部件以及上述的光纖支承部件5的各自的構(gòu)成合在一起稱作“構(gòu)成A”。變形例2圖7表示上述的一實(shí)施方式的激光裝置100的光纖支承部件5的變形例2的概略結(jié)構(gòu)。圖7是表示圖I所示的光纖支承部件5的變形例2的三視圖，圖7 (a)是從圖I的Z方向觀察的上述的變形例2的俯視圖，圖7 (b)是表示從圖I的X方向觀察的上述的變形例2的側(cè)視圖，圖7 (c)是從圖I的Y方向觀察的上述的變形例2的側(cè)視圖。本變形例2的光纖支承部件和上述的光纖支承部件5不同的點(diǎn)在于將光纖支承部件5的梁部5a置換成了在該梁部5a上設(shè)置了開口部D的梁部25a。柱部25b、接合膜26 以及接合焊盤27分別與光纖支承部件5的柱部5b、接合膜6以及接合焊盤7相同。另外，梁部25a除了設(shè)置了開口部D以外，與光纖支承部件5的梁部5a相同。根據(jù)本變形例2，能夠得到與圖2所示的光纖支承部件5相同的效果。變形例3圖8是表示上述的一實(shí)施方式的激光裝置100的光纖支承部件5的變形例3的概略結(jié)構(gòu)。圖8是表示圖I所示的光纖支承部件5的變形例3的三視圖，圖8 (a)是從圖I的Z方向觀察的上述的變形例3的俯視圖，圖8 (b)是從圖I的X方向觀察的上述的變形例3的側(cè)視圖，圖8 (c)是從圖I的Y方向觀察的上述的變形例3的側(cè)視圖。本變形例3的光纖支承部件和上述的光纖支承部件5不同的點(diǎn)在于將光纖支承部件5的梁部5a置換成了在該梁部5a上設(shè)置了開口部E的梁部35a。另外，不同點(diǎn)在于將2個柱部35b分別設(shè)置在了沿梁部35a的短邊方向延伸的2個端部側(cè)。柱部35b、接合膜36以及接合焊盤37分別與光纖支承部件5的柱部5b、接合膜6以及接合焊盤7相同。另外，梁部35a除了設(shè)置了開口部E以外，與光纖支承部件5的梁部5a相同。此外，2個柱部35b中，經(jīng)由接合膜36與臺座I接合的僅是2個柱部35b中距接合焊盤37的距離大的一方。根據(jù)本變形例3，能夠得到與圖2所示的光纖支承部件5相同的效果。以下，將本變形例3的光纖支承部件以及上述的變形例2的光纖支承部件的各自的構(gòu)成合在一起稱作“構(gòu)成B”。變形例4圖9是表示上述的一實(shí)施方式的激光裝置100的光纖支承部件5的變形例4的概略結(jié)構(gòu)。圖9是表示圖I所示的光纖支承部件5的變形例4的三視圖，圖9 (a)是從圖I的Z方向觀察的上述的變形例4的俯視圖，圖9 (b)是從圖I的X方向觀察的上述的變形例4的側(cè)視圖，圖9 (c)是從圖I的Y方向觀察的上述的變形例4的側(cè)視圖。本變形例4的光纖支承部件和上述的光纖支承部件5不同的點(diǎn)在于將光纖支承部件5的梁部5a置換成了在該梁部5a上設(shè)置了開口部F的梁部45a。柱部45b、接合膜46以及接合焊盤47分別與光纖支承部件5的柱部5b、接合膜6以及接合焊盤7相同。另外，梁部45a除了設(shè)置了開口部F以外，與光纖支承部件5的梁部5a相同。根據(jù)本變形例4，能夠得到與圖2所示的光纖支承部件5相同的效果。變形例5
圖10表示上述的一實(shí)施方式的激光裝置100的光纖支承部件5的變形例5的概略結(jié)構(gòu)。圖10是表示圖I所示的光纖支承部件5的變形例5的三視圖，圖10 Ca)是從圖I的Z方向觀察的上述的變形例5的俯視圖，圖10 (b)是從圖I的X方向觀察的上述的變形例5的側(cè)視圖，圖10 (c)是從圖I的Y方向觀察的上述的變形例5的側(cè)視圖。本變形例5的光纖支承部件和上述的光纖支承部件5不同的點(diǎn)在于將光纖支承部件5的梁部5a置換成了在該梁部5a上設(shè)置了開口部G的梁部55a。另外，不同點(diǎn)在于將2個柱部55b分別設(shè)置于沿梁部55a的短邊方向延伸的2個端部側(cè)。柱部55b、接合膜56以及接合焊盤57分別與光纖支承部件5的柱部5b、接合膜6以及接合焊盤7相同。另外，梁部55a除了設(shè)置了開口部G以外，與光纖支承部件5的梁部5a相同。此外，2個柱部55b中經(jīng)由接合膜56與臺座I接合的僅是2個柱部55b中距接合焊盤57的距離大的一方。根據(jù)本變形例5，能夠得到與圖2所示的光纖支承部件5相同的效果。
以下，將本變形例5的光纖支承部件以及上述的變形例4的光纖支承部件的各自的構(gòu)成合在一起稱作“構(gòu)成C”。變形例6圖11表示上述的一實(shí)施方式的激光裝置100的光纖支承部件5的變形例6的概略結(jié)構(gòu)。圖11是表示圖I所示的光纖支承部件5的變形例6的三視圖，圖11 (a)是從圖I的Z方向觀察的上述的變形例6的俯視圖，圖11 (b)是從圖I的X方向觀察的上述的變形例6的側(cè)視圖，圖11 (c)是從圖I的Y方向觀察的上述的變形例6的側(cè)視圖。本變形例6的光纖支承部件和上述的光纖支承部件5不同的點(diǎn)在于(I)將光纖支承部件5的梁部5a置換成了在該梁部5a上設(shè)置了 2個開口部I的梁部65a，(2)設(shè)置了 2個柱部65b、65d，以及(3)將L字型的擴(kuò)張部65c附加于梁部65a。擴(kuò)張部65c以梁部65a的端部中、與配置有接合焊盤67側(cè)的端部相反側(cè)的端部為基點(diǎn)，沿梁部65a的一方的長邊以及一方的短邊延伸。而且，第I柱部65b連結(jié)于梁部65a的端部中、與配置有接合焊盤67側(cè)的端部相反側(cè)的端部的下表面，第2柱部65d與擴(kuò)張部65c的前端部(沿梁部65a的端部中、配置有接合焊盤67側(cè)的端部延伸的直線部)的下表面連結(jié)。這2個柱部中經(jīng)由接合膜66與臺座I接合的僅是這2個柱部中距接合焊盤67的距離大的柱部65d。這里，距接合焊盤67的距離是指沿距接合焊盤67的散熱路徑測量的距離。柱部65b、接合膜66以及接合焊盤67分別與光纖支承部件5的柱部5b、接合膜6以及接合焊盤7相同。另外，梁部65a除了設(shè)置了 2個開口部I以外，與光纖支承部件5的梁部5a相同。根據(jù)本變形例6，能夠得到與圖2所示的光纖支承部件5相同的效果。以下，將本變形例6的光纖支承部件的構(gòu)成稱作“構(gòu)成D”。變形例7圖12是表示上述的一實(shí)施方式的激光裝置100的光纖支承部件5的變形例7的概略結(jié)構(gòu)。圖12是表示圖I所示的光纖支承部件5的變形例7的三視圖，圖12 Ca)是從圖I的Z方向觀察的上述的變形例7的俯視圖，圖12 (b)是從圖I的X方向觀察的上述的變形例7的側(cè)視圖，圖12 (c)是從圖I的Y方向觀察的上述的變形例7的側(cè)視圖。
本變形例7的光纖支承部件和上述的光纖支承部件5不同的點(diǎn)在于不使用光纖支承部件5的柱部5b，該梁部75以隔著接合膜76的方式與配置在臺座I上的臺座凸部78接
八
口 ο接合焊盤77與光纖支承部件5的接合焊盤7相同。根據(jù)本變形例7，也能夠得到與圖2所示的光纖支承部件5相同的效果。以下，將本變形例7的光纖支承部件的構(gòu)成稱作“構(gòu)成E”。
變形例8圖13表示上述的一實(shí)施方式的激光裝置100的光纖支承部件5的變形例8的概略結(jié)構(gòu)。圖13是表示圖I所示的光纖支承部件5的變形例8的三視圖，圖13 Ca)是從圖I的Z方向觀察的上述的變形例8的俯視圖，圖13 (b)是從圖I的X方向觀察的上述的變形例8的側(cè)視圖，圖11 (c)是從圖I的Y方向觀察的上述的變形例8的側(cè)視圖。本變形例8的光纖支承部件和上述的光纖支承部件5不同的點(diǎn)在于將光纖支承部件5的柱部5b置換成了該柱部5b的一部分的材料使用了與柱部5b的材料不同的材料的柱部85b。例如在圖2中，在柱部5b中使用Si這樣的容易破裂的材料的情況下，因臺座I和柱部5b的熱膨脹系數(shù)的差產(chǎn)生應(yīng)力，存在在它們固定后，梁部5a或者柱部5b破損的問題。因此，在本變形例8中，通過將柱部85b的一部分置換成具有與Si接近的熱膨脹系數(shù)的Mo等金屬，能夠賦予柱部85b作為臺座I和柱部5b的固定時產(chǎn)生的應(yīng)力的緩沖材料的作用。梁部85a、接合膜86以及接合焊盤87分別與光纖支承部件5的柱部5b、接合膜6以及接合焊盤7相同。根據(jù)本變形例8，也能夠得到與圖2所示的光纖支承部件5相同的效果。以下，將本變形例8的光纖支承部件的構(gòu)成稱作“構(gòu)成F”。圖14表示在圖2所示的光纖支承部件5和其變形例1、3、5 8的光纖支承部件的各構(gòu)成A F中，各光纖支承部件使用了 Ni、Mo、Si、CuW (或者AlN)、Cu的任意一個情況的各自的熱阻和熱導(dǎo)。如圖14所示，在光纖支承部件使用了 Ni的情況下，上述的構(gòu)成E以及構(gòu)成F能夠具有上述的6X10°C/ W以下的熱阻。同樣，能夠具有1.67X10_2W /°C以上的熱導(dǎo)。該情況下，若將圖5(a)所示的激光10的輸出設(shè)為27W，將激光11的輸出設(shè)為8W，則能夠得到上述那樣的光纖支承部件5的效果。在光纖支承部件使用了 Mo的情況下，上述的構(gòu)成A、構(gòu)成B、構(gòu)成E以及構(gòu)成F能夠具有上述的6X10°C / W以下的熱阻。同樣，能夠具有1.67X10_2W /°C以上的熱導(dǎo)。該情況下，若將圖5(a)所示的激光10的輸出設(shè)為27W，將激光11的輸出設(shè)為8W，則能夠得到上述那樣的光纖支承部件5的效果。在光纖支承部件使用了 Si的情況下，上述的構(gòu)成A、構(gòu)成B、構(gòu)成E以及構(gòu)成F能夠具有上述的6X10°C / W以下的熱阻。同樣，能夠具有1.67X10_2W /°C以上的熱導(dǎo)。該情況下，若將圖5 Ca)所示的激光10的輸出設(shè)為27W、激光11的輸出設(shè)為8W，則能夠得到上述那樣的光纖支承部件5的效果。在光纖支承部件使用了 CuW(或者AlN)的情況下，上述的構(gòu)成A、構(gòu)成B、構(gòu)成C、構(gòu)成E以及構(gòu)成F能夠具有上述的6 X 10°C / W以下的熱阻。同樣，能夠具有1.67X10_2W / V以上的熱導(dǎo)。該情況下，若是上述的構(gòu)成A、構(gòu)成B、構(gòu)成C以及構(gòu)成F,若將圖5 (a)所不的激光10的輸出設(shè)為27W，將激光11的輸出設(shè)為8W，則能夠得到上述那樣的光纖支承部件5的效
果O另外，若是上述的構(gòu)成E，若將圖5 (a)所示的激光10的輸出設(shè)為54W，將激光11的輸出設(shè)為8W，則能夠得到上述那樣的光纖支承部件5的效果。在光纖支承部件使用了 Cu的情況下，上述的構(gòu)成A、構(gòu)成B、構(gòu)成C、構(gòu)成D、構(gòu)成E以及構(gòu)成F能夠具有上述的6X10°C / W以下的熱阻。同樣，能夠具有1.67X10_2W / °C以上的熱導(dǎo)。該情況下,若是上述的構(gòu)成B、構(gòu)成C、構(gòu)成D以及構(gòu)成F,若將圖5 (a)所示的激光10的輸出設(shè)為27W，將激光11的輸出設(shè)為8W，則能夠得到上述那樣的光纖支承部件5的效·
果O另外，若是上述的構(gòu)成A以及構(gòu)成E，若將圖5(a)所示的激光10的輸出設(shè)為108W，將激光11的輸出設(shè)為8W，則能夠得到上述那樣的光纖支承部件5的效果。如圖14所示，光纖支承部件使用了 CuW (或者AlN)的情況下的上述的構(gòu)成E、光纖支承部件使用了 Cu的情況下的上述的構(gòu)成A以及構(gòu)成E分別使激光直接照射至上述的焊料8a，促進(jìn)焊料8a的熔融，從而能夠得到與上述的一實(shí)施方式的光纖支承部件5相同的效果。圖15是表示接合焊盤7的溫度上升和上述的光纖支承部件的熱阻的關(guān)系的圖表。此外，圖15的J所示的范圍是將圖5 (a)所示的激光10的輸出設(shè)為27W，將激光11的輸出設(shè)為8W時的熱阻的范圍，圖15的K所示的范圍是將激光10的輸出設(shè)為54W，將激光11的輸出設(shè)為8W時的熱阻的范圍。如圖15的J所示那樣，若是前者的熱范圍的情況下，光纖支承部件的熱阻是20°C/ W以上、60°C/ W以下，如圖15的K所示那樣，若是后者的熱范圍的情況下，光纖支承部件的熱阻是10°C / W以上、60°C / W以下。如圖15所示，在將具有圖4的以往技術(shù)的項(xiàng)目所示的3W / m*°C的導(dǎo)熱率的隔熱材料用于光纖支承部件的情況下，若向焊料8給予IW的熱量，則其溫度上升成為150°C。與此相對，在本發(fā)明的光纖支承部件中，能夠?qū)⒃摐囟壬仙O(shè)為100°C以下。例如，在將焊料8例如設(shè)為AuSn20% (熔點(diǎn)278°C )，將半導(dǎo)體激光元件2的輸出設(shè)為10 20W的情況下，若對光纖4的光的耦合為85%左右，則能夠?qū)?W左右的光吸收至焊料8。該情況下，若將具有圖4的以往技術(shù)的項(xiàng)目所示的3W / m · °C的導(dǎo)熱率的隔熱材料用于光纖支承部件，則焊料8以及其周邊的光纖4被加熱至近300°C，但在本發(fā)明中為200°C以下，那些影響被避免?？偨Y(jié)如以上所示，本實(shí)施方式的激光裝置具備激光元件，其具有射出激光的射出面；光纖，其具有與上述激光元件的上述射出面對置地配置的前端部；支承部件，其具有通過焊料固定上述光纖的焊料固定部，支承部件支承上述光纖，并由非隔熱材料構(gòu)成，上述支承部件包含與散熱部件熱接觸的接觸部位，上述焊料固定部以隔著在將上述光纖固定于上述焊料固定部時從與上述激光元件不同的激光元件照射激光的區(qū)域而位于與上述接觸部位相反側(cè)的方式離開上述接觸部位，且與上述散熱部件在空間上分離。在上述的激光裝置中，由于支承部件使用非隔熱材料，所以在從激光元件向光纖導(dǎo)入激光時，能夠?qū)⒈缓噶瞎潭ú课盏臒釓暮噶瞎潭ú扛咝У貍鲗?dǎo)至接觸部位。因此，通過從激光元件的射出面射出的激光中的、未導(dǎo)入至光纖的纖芯部的激光的照射，激光直接照射焊料而使焊料發(fā)熱，或?qū)胫凉饫w的包層部的激光照射光纖的金屬覆蓋部件而使金屬覆蓋部件發(fā)熱，即便焊料固定部開始熱的吸收，也能夠高效地散發(fā)該熱。但是，若僅將支承部件從隔熱材料變更為非隔熱材料，則由于支承部件的散熱效率的大幅度提高，即便在為了使焊料熔融而將光纖固定于焊料固定部，照射激光時，也產(chǎn)生從該照射區(qū)域朝向接觸部位的陡峭的熱梯度，所以不會向配置了焊料固定部的支承部件的主表面內(nèi)供給足夠的熱量，產(chǎn)生其主表面內(nèi)的溫度梯度變大的弊端。因此，在上述的激光裝置中，采用焊料固定部從接觸部位分離，且與散熱部件在空間上分離的構(gòu)成。因此，在使焊料熔融且將光纖固定于焊料固定部時，從焊料固定部向與接觸部位側(cè)分離的區(qū)域照射激光，從而在從激光的照射區(qū)域至焊料固定部側(cè)的支承部件中，從該激光的照射區(qū)域產(chǎn)生的熱中傳導(dǎo)至焊料固定部側(cè)的熱滯留在配置了焊料固定部的支承部件的主表面內(nèi)，能夠使該主表面內(nèi)的溫度梯度減小。原因是相對于激光的照射區(qū)域，焊料固定部位于與接觸部位相反側(cè)，所以難以產(chǎn)生陡峭的熱梯度。其結(jié)果，能夠使上述的主表面內(nèi)的溫度梯度減小，所以能夠使焊料固定部上的焊料的擴(kuò)散性更加均勻。因此，能夠?qū)崿F(xiàn)能夠使將光纖固定于焊料固定部時的向焊料固定部的熱供給，以及從激光元件向光纖的纖芯部導(dǎo)入激光時的來自焊料固定部的散熱均穩(wěn)定化的高安裝可靠性。在上述的激光裝置中，優(yōu)選上述非隔熱材料的熱阻在上述焊料固定部和上述接觸部位之間為10°c / W以上、60°C / W以下。該情況下，在從激光元件向光纖的纖芯部導(dǎo)入激光時，能夠使被焊料固定部吸收的熱在支承部件中更高效地傳導(dǎo)。另一方面，在將光纖固定于焊料固定部時，能夠高效地向配置了焊料固定部的支承部件的主表面內(nèi)供給足夠的熱量，能夠使該主表面內(nèi)的溫度梯度進(jìn)一步減小。另外，在上述的激光裝置中，優(yōu)選上述支承部件具有平板狀部，其包含配置了上述焊料固定部的第I主表面，和與上述散熱部件分離且對置的、處于上述第I主表面的相反側(cè)的第2主表面；保持部，其被固定于上述散熱部件上，在上述平板狀部的任意的端部側(cè)與上述平板狀部連結(jié)且保持上述第2主表面和上述散熱部件的間隔，將上述保持部被固定于上述散熱部件的部位作為上述接觸部位。該情況下，固定于散熱部件上的保持部與平板狀部的端部側(cè)連結(jié)，所以能夠使在平板狀部中傳導(dǎo)的熱在保持部中傳導(dǎo)，從散熱部件散熱。另外，在上述的激光裝置中，優(yōu)選上述保持部在沿上述平板狀部的短邊方向延伸的一方的端部側(cè)與上述平板狀部連結(jié)，且將上述焊料固定部配置在沿上述平板狀部的短邊方向延伸的另一方的端部側(cè)。該情況下，焊料固定部和保持部離開平板狀部的長邊方向的長度。因此，能夠使焊料固定部和保持部的間的距離增大，所以在將光纖固定于焊料固定部時，能夠使滯留在配置了焊料固定部的支承部件的主表面內(nèi)的熱量增加，能夠使該主表面內(nèi)的溫度梯度進(jìn)一步減小。另外，本實(shí)施方式的激光裝置的制造方法是具備如下的支承部件的激光裝置的制造方法，上述支承部件具有通過焊料固定光纖的焊料固定部，是支承上述光纖的、并由非隔熱材料構(gòu)成的支承部件，上述支承部件包含與散熱部件熱接觸的接觸部位，上述焊料固定部以隔著在將上述光纖固定于上述焊料固定部時從激光元件照射激光的區(qū)域而位于與上述接觸部位相反側(cè)的方式離開上述接觸部位，且與上述散熱部件在空間上分離，包含將上述光纖利用上述焊料固定于上述焊料固定部時，向上述激光照射區(qū)域照射激光的工序；使用從上述激光照射區(qū)域向上述焊料固定部側(cè)傳導(dǎo)的熱引起的上述焊料固定部的溫度上升使上述焊料溶融的工序。在上述的激光裝置的制造方法中，在使焊料熔融且將光纖固定于焊料固定部時，能夠向從焊料固定部與接觸部位側(cè)分離的區(qū)域照射激光。因此，在使焊料熔融且將光纖固定于焊料固定部時，能夠向從焊料固定部與接觸 部位側(cè)分離的區(qū)域照射激光，從而在從激光的照射區(qū)域至焊料固定部側(cè)的支承部件中，能夠使從該激光的照射區(qū)域產(chǎn)生的熱中的傳導(dǎo)至焊料固定部側(cè)的熱滯留在配置了焊料固定部的支承部件的主表面內(nèi)。其結(jié)果，能夠向該主表面內(nèi)供給足夠的熱量，能夠使該主表面內(nèi)的溫度梯度減小，所以能夠使焊料固定部上的焊料的擴(kuò)散性均勻。因此，能夠?qū)崿F(xiàn)能夠使將光纖固定于焊料固定部時的向焊料固定部的熱供給，和從激光元件向光纖的纖芯部導(dǎo)入激光時的來自焊料固定部的散熱均穩(wěn)定化的高安裝可靠性。附加事項(xiàng)本發(fā)明并不局限于上述的實(shí)施方式，在技術(shù)方案所示的范圍內(nèi)能夠進(jìn)行各種變更。即，對在技術(shù)方案所示的范圍適當(dāng)?shù)刈兏说募夹g(shù)的手段進(jìn)行組合而成的實(shí)施方式也包含于本發(fā)明的技術(shù)的范圍。產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明能夠適用于對半導(dǎo)體激光元件等激光元件和光纖等光部件進(jìn)行組合而成的激光裝置。附圖符號說明I…臺座(散熱部件)；2…半導(dǎo)體激光元件(激光元件)；2a…射出面；3…激光元件支承部件；4…光纖；4a…前端部；5…光纖支承部件(支承部件);5a、15a、25a、35a、45a、55a、65a、75、85a…梁部(平板狀部);5b、15b、25b、35b、45b、55b、65b、85b…柱部(保持部);6、16、26、36、46、56、66…接合膜；7、17、27、37、47、57、67…接合焊盤(焊料固定部)；8、8a…焊料；9…金屬覆蓋部件；10、11···激光；100…激光裝置；
權(quán)利要求
1.一種激光裝置，其特征在于，具備 激光元件，其具有射出激光的射出面； 光纖，其具有與所述激光元件的所述射出面對置地配置的前端部； 支承部件，其是支承所述光纖的支承部件，由非隔熱材料構(gòu)成，且具有通過焊料固定所述光纖的焊料固定部， 所述支承部件包含與散熱部件熱接觸的接觸部位，所述焊料固定部以隔著在將所述光纖固定于所述焊料固定部時從與所述激光元件不同的激光元件照射激光的區(qū)域而位于與所述接觸部位相反側(cè)的方式離開所述接觸部位，且與所述散熱部件在空間上分離。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的激光裝置，其特征在于， 所述非隔熱材料的熱阻是10°C / W以上、60°C / W以下。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或者2所述的激光裝置，其特征在于， 所述支承部件具有 平板狀部，其包含配置了所述焊料固定部的第I主表面和與所述散熱部件分離且對置的、位于所述第I主表面的相反側(cè)的第2主表面； 保持部，其被固定于所述散熱部件上，在所述平板狀部的任意端部側(cè)與所述平板狀部連結(jié)，并保持所述第2主表面和所述散熱部件的間隔， 將所述保持部被固定于所述散熱部件的部位作為所述接觸部位。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的激光裝置，其特征在于， 所述保持部在沿所述平板狀部的短邊方向延伸的一方的端部側(cè)與所述平板狀部連結(jié)，并且， 所述焊料固定部被配置在沿所述平板狀部的短邊方向延伸的另一方的端部側(cè)。
5.一種激光裝置，其特征在于，具備 臺座； 配設(shè)于所述臺座上的激光元件和光纖；以及 支承部件，其以所述光纖的端面與所述激光元件的射出面對置的方式支承所述光纖，且由非隔熱材料構(gòu)成， 所述支承部件僅其一方的端部與所述臺座熱接觸，所述光纖被焊接在與所述支承部件的所述一方的端部相反側(cè)的端部。
6.一種激光裝置的制造方法，其特征在于， 是具備支承部件的激光裝置的制造方法，所述支承部件是支承光纖的支承部件，由非隔熱材料構(gòu)成，且具有通過焊料固定所述光纖的焊料固定部， 所述支承部件包含與散熱部件熱接觸的接觸部位，所述焊料固定部以隔著在將所述光纖固定于所述焊料固定部時從激光元件照射激光的激光照射區(qū)域而位于與所述接觸部位相反側(cè)的方式離開所述接觸部位，且與所述散熱部件在空間上分離， 所述激光裝置的制造方法包含以下工序 在將所述光纖通過所述焊料固定于所述焊料固定部時，向所述激光照射區(qū)域照射激光的工序； 利用由從所述激光照射區(qū)域向所述焊料固定部側(cè)傳導(dǎo)的熱引起的所述焊料固定部的溫度上升來使所述焊料熔融的工序。
全文摘要
本發(fā)明涉及激光裝置及其制造方法，其中，激光裝置(100)具備半導(dǎo)體激光元件(2)，其具有射出激光的射出面(2a)；光纖(4)，其具有與半導(dǎo)體激光元件(2)的射出面(2a)對置地配置的前端部(4a)；光纖支承部件(5)，其具有通過焊料(8)固定光纖(4)的接合焊盤(7)，是支承光纖(4)的、由非隔熱材料構(gòu)成的光纖支承部件。光纖支承部件(5)包含與臺座(1)熱接觸的接觸部位，接合焊盤(7)以隔著在將光纖(4)固定于接合焊盤(7)時從與半導(dǎo)體激光元件(2)不同的激光元件照射激光的區(qū)域而位于與接觸部位相反側(cè)的方式離開接觸部位，且與臺座(1)在空間上分離。
文檔編號H01S5/022GK102822710SQ20118001627
公開日2012年12月12日 申請日期2011年3月24日 優(yōu)先權(quán)日2010年3月30日
發(fā)明者豐原望, 坂元明, 葛西洋平 申請人:株式會社藤倉