專利名稱：太陽能電池片去除磷硅玻璃裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
太陽能電池片去除磷硅玻璃裝置技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型涉及太陽能電池片制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種太陽能電池片去除磷硅玻璃裝置。
背景技術(shù)：
[0002]太陽能電池的主要制造過程去除硅片表面損傷層、擴(kuò)散制結(jié)、等離子邊緣腐蝕、 去除磷硅玻璃、沉積減反射膜、制作上下電極等工序。[0003]在太陽能電池的擴(kuò)散工藝后，硅片表面會(huì)形成一層PSG，必須去除。擴(kuò)散原理 POCl3在高溫600°C下分解，產(chǎn)生P2O5和PCl5,然后2P205+5Si——5Si02+4P,這樣生成的P就可以擴(kuò)散到硅片里，實(shí)現(xiàn)P摻雜。在擴(kuò)散中，我們還比通入足夠的氧氣，這樣PCl5和氧氣反應(yīng)，生成P2O5和Cl2,從而避免產(chǎn)生的PCl5對(duì)硅片的不利影響。[0004]通過反應(yīng)可以發(fā)現(xiàn)，在實(shí)現(xiàn)P摻雜的同時(shí)，在硅片表面還會(huì)有二氧化硅和五氧化二磷，所謂的PSG，通過酸溶液洗去。[0005]采用酸溶液進(jìn)行去PSG，一般采用氫氟酸溶液洗去PSG，去除PSG后，再經(jīng)過一些除酸操作才能進(jìn)入下一工序?，F(xiàn)有工藝中依次有酸洗槽、噴淋槽、漂洗槽、熱水慢提拉槽和烘箱。需要五個(gè)步驟才能在去除PSG后，并充分完全的去除殘余酸。此工藝效率低，設(shè)備投入大，若一個(gè)設(shè)備損壞，就整條生產(chǎn)線癱瘓，導(dǎo)致產(chǎn)能降低。實(shí)用新型內(nèi)容[0006]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中的不足，本實(shí)用新型提供一種太陽能電池片去除磷硅玻璃裝置，采用堿洗槽中和殘余酸，去酸效果好，工序步驟簡單，大大縮短去PSG設(shè)備的長度。[0007]本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是一種太陽能電池片去除磷硅玻璃裝置，依次包括酸洗槽、堿洗槽、噴淋槽和甩干機(jī)。[0008]本實(shí)用新型的有益效果是，本實(shí)用新型太陽能電池片去除磷硅玻璃裝置，采用堿洗槽中和殘余酸，去酸效果好，工序步驟簡單，大大縮短去PSG設(shè)備的長度，投資成本減降低，占地減少，有利于車間的空間利用，甩干機(jī)的配備和調(diào)配靈活多變，保證產(chǎn)量穩(wěn)定。


[0009]
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。[0010]圖1是現(xiàn)有技術(shù)的流程框圖。[0011]圖2是本實(shí)用新型的太陽能電池片去除磷硅玻璃裝置最佳實(shí)施例的流程框圖。
具體實(shí)施方式
[0012]現(xiàn)在結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。這些附圖均為簡化的示意圖， 僅以示意方式說明本實(shí)用新型的基本結(jié)構(gòu)，因此其僅顯示與本實(shí)用新型有關(guān)的構(gòu)成。[0013]圖2是本實(shí)用新型的太陽能電池片去除磷硅玻璃裝置，依次包括酸洗槽、堿洗槽、 噴淋槽和甩干機(jī)。[0014]酸洗槽中存放氫氟酸溶液，堿洗槽中選用弱堿性溶液為佳，噴淋槽優(yōu)選采用無離子水。
權(quán)利要求1. 一種太陽能電池片去除磷硅玻璃裝置，其特征在于依次包括酸洗槽、堿洗槽、噴淋槽和甩干機(jī)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種太陽能電池片去除磷硅玻璃裝置，依次包括酸洗槽、堿洗槽、噴淋槽和甩干機(jī)。本實(shí)用新型太陽能電池片去除磷硅玻璃裝置，采用堿洗槽中和殘余酸，去酸效果好，工序步驟簡單，大大縮短去PSG設(shè)備的長度，投資成本減降低，占地減少，有利于車間的空間利用，甩干機(jī)的配備和調(diào)配靈活多變，保證產(chǎn)量穩(wěn)定。
文檔編號(hào)H01L31/18GK202308019SQ20112044250
公開日2012年7月4日 申請(qǐng)日期2011年11月10日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月10日
發(fā)明者王煜輝 申請(qǐng)人:常州華盛恒能光電有限公司