專利名稱：提高方塊電阻均勻性的擴散爐管的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及太陽能電池制造領(lǐng)域，特別涉及一種提高方塊電阻均勻性的擴散爐管。
背景技術(shù)：
目前，大多廠家都選用P型硅片來制作太陽能電池，并且一般用三氯氧磷液態(tài)源作為擴散源，進行磷擴散形成N型層。擴散過程中發(fā)生的反應(yīng)如下4P0Cl3+302 (過量)—2P205+6C12 (氣)，2P205+5Si — 5Si02+4P。擴散這一工藝工程是在擴散爐的反應(yīng)室內(nèi)進行的，為了確保擴散工藝的穩(wěn)定性，即不同批次的硅片通過擴散后，所得到的PN結(jié)的結(jié)深及摻雜濃度等參數(shù)保證一致，必須確保反應(yīng)腔體內(nèi)部的氣體壓力保持穩(wěn)定。擴散爐管通常具有一個進氣口和一個與進氣口位于擴散設(shè)備同一端的尾氣口，并通過一根由尾氣口延伸至擴散爐管爐口位置的尾氣管對廢氣進行排放，由于擴散設(shè)備具有一定的長度，反應(yīng)內(nèi)腔的壓力不平衡，從而使擴散設(shè)備中各個位置的反應(yīng)不均勻，影響擴散效果。目前對反應(yīng)室的氣壓控制主要有兩種方式1、通過人工手動調(diào)節(jié)尾氣閥門來控制壓力的大小，該方式費時費力，且不夠準確；2、通過控制充入反應(yīng)室的氮氣量來控制壓力， 該方法浪費氮氣，且增加了能耗。

實用新型內(nèi)容本實用新型要解決的技術(shù)問題是為了解決上述不足，本實用新型提供一種可提高方塊電阻均勻性的擴散爐管。本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是一種提高方塊電阻均勻性的擴散爐管，具有爐體，所述的爐體內(nèi)具有內(nèi)腔，并且爐體的一端具有一根第一進氣管和一根用于排放爐體內(nèi)廢氣的尾氣管，所述的尾氣管的一端與外界連通，另一端設(shè)置在爐體的內(nèi)腔內(nèi)，爐體的另一端具有一根第二進氣管，所述的第一進氣管的一端和第二進氣管的一端均與液態(tài)擴散源的源瓶連通，第一進氣管的另一端和第二進氣管的另一端均與內(nèi)腔連通，并且第一進氣管和第二進氣管的氣體出口相對于內(nèi)腔對稱設(shè)置。本實用新型的有益效果是，本實用新型提高方塊電阻均勻性的擴散爐管，擴散爐管兩端對稱設(shè)置進氣管，使擴散更加均勻，工藝上減少了小氮的用量，即減少了三氯氧磷的用量，從而節(jié)約成本；提高了擴散后方塊電阻的片內(nèi)和片間的均勻性；擴散通磷時間減少3 分鐘，為進一步提升產(chǎn)量做鋪墊。
以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。

圖1是本實用新型提高方塊電阻均勻性的擴散爐管最優(yōu)實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1、爐體，11、第一進氣管，12、尾氣管，13、第二進氣管，2、內(nèi)腔。
具體實施方式
現(xiàn)在結(jié)合附圖對本實用新型作進一步詳細的說明。這些附圖均為簡化的示意圖， 僅以示意方式說明本實用新型的基本結(jié)構(gòu)，因此其僅顯示與本實用新型有關(guān)的構(gòu)成。如圖1所示，一種提高方塊電阻均勻性的擴散爐管，具有爐體1，爐體1內(nèi)具有內(nèi)腔 2，并且爐體1的一端具有一根第一進氣管11和一根用于排放爐體內(nèi)廢氣的尾氣管12，尾氣管12的一端與外界連通，另一端設(shè)置在內(nèi)腔2中，爐體1的另一端具有一根第二進氣管 13，第一進氣管11的一端和第二進氣管13的一端均與液態(tài)擴散源的源瓶連通，第一進氣管 11的另一端和第二進氣管13的另一端均與內(nèi)腔2連通，并且第一進氣管11和第二進氣管 13的氣體出口相對于內(nèi)腔2對稱設(shè)置。以上述依據(jù)本實用新型的理想實施例為啟示，通過上述的說明內(nèi)容，相關(guān)工作人員完全可以在不偏離本項實用新型技術(shù)思想的范圍內(nèi)，進行多樣的變更以及修改。本項實用新型的技術(shù)性范圍并不局限于說明書上的內(nèi)容，必須要根據(jù)權(quán)利要求范圍來確定其技術(shù)性范圍。
權(quán)利要求1. 一種提高方塊電阻均勻性的擴散爐管，具有爐體(1)，所述的爐體(1)內(nèi)具有內(nèi)腔 O)，并且爐體(1)的一端具有一根第一進氣管(11)和一根用于排放爐體內(nèi)廢氣的尾氣管 (12)，所述的尾氣管(1 的一端與外界連通，另一端設(shè)置在內(nèi)腔O)中，其特征在于爐體 (1)的另一端具有一根第二進氣管(13)，所述的第一進氣管(11)的一端和第二進氣管(13) 的一端均與液態(tài)擴散源的源瓶連通，第一進氣管(11)的另一端和第二進氣管(1 的另一端均與內(nèi)腔( 連通，并且第一進氣管(11)和第二進氣管(1 的氣體出口相對于內(nèi)腔O) 對稱設(shè)置。
專利摘要本實用新型涉及一種提高方塊電阻均勻性的擴散爐管，具有爐體，爐體內(nèi)具有內(nèi)腔，并且爐體的一端具有一根第一進氣管和一根用于排放爐體內(nèi)廢氣的尾氣管，尾氣管的一端與外界連通，另一端設(shè)置在爐體的內(nèi)腔內(nèi)，爐體的另一端具有一根第二進氣管，第一進氣管的一端和第二進氣管的一端均與液態(tài)擴散源的源瓶連通，第一進氣管的另一端和第二進氣管的另一端均與內(nèi)腔連通，并且第一進氣管和第二進氣管的氣體出口相對于內(nèi)腔對稱設(shè)置。本實用新型在擴散爐管兩端對稱設(shè)置進氣管，使擴散更加均勻，工藝上減少了小氮的用量，即減少了三氯氧磷的用量，從而節(jié)約成本；提高了擴散后方塊電阻的片內(nèi)和片間的均勻性；擴散通磷時間減少，為進一步提升產(chǎn)量做鋪墊。
文檔編號H01L21/228GK202307810SQ20112044240
公開日2012年7月4日 申請日期2011年11月10日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月10日
發(fā)明者王煜輝 申請人:常州華盛恒能光電有限公司