專利名稱：一種用于單晶托加熱的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及單晶硅加工領(lǐng)域中的一種用于單晶托加熱的裝置。
背景技術(shù)：
在單晶硅片生產(chǎn)流程中有一道工序是將玻璃板與單晶托剝離。此工序是利用加熱烘箱對(duì)帶有玻璃的單晶托進(jìn)行加熱烘烤，烘烤后取出，再利用錘子將玻璃板輕松敲下的過程。現(xiàn)在，由工人將帶有玻璃的單晶托放置在平板上，再將平板搬到加熱烘箱中進(jìn)行加熱烘烤。在加熱烘烤完畢后，再由工人將單晶托取出。這樣，只能一件一件的進(jìn)行加熱， 并且只能人工操作，費(fèi)時(shí)費(fèi)辦，工作效率低下。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的所要解決的技術(shù)問題是提供一種可供多件同時(shí)加熱，且工作效率高的一種用于單晶托加熱的裝置。本實(shí)用新型的技術(shù)方案為一種用于單晶托加熱的裝置，其結(jié)構(gòu)中包括托架和托盤；所述的托架為底座、上架和多個(gè)立柱圍合而成的框架結(jié)構(gòu)，在相對(duì)立柱的側(cè)壁上的相對(duì)應(yīng)位置分別設(shè)置有放置托盤的支架。其中，所述的托盤由平板和支腳組成，所述支腳設(shè)置于平板的下表面。其中，所述的立柱自上至下設(shè)置有多個(gè)支架，所述的托盤為多個(gè)。本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比的優(yōu)點(diǎn)為1、本實(shí)用新型設(shè)置了多層支架和托盤，可以同時(shí)加熱多個(gè)單晶托，提高了工作效率。2、在托盤下面設(shè)置了支腳，可以方便液壓堆高車進(jìn)行工件的運(yùn)送，實(shí)現(xiàn)機(jī)械操作， 避免了對(duì)人的燙傷和降低了勞動(dòng)強(qiáng)度。

1、圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。其中，1、底座，2、支腳，3、平板，4、單晶托，5、立柱，6、上架，7、支架。
具體實(shí)施方式
參見圖1，本實(shí)用新型的用于單晶托加熱的裝置，由托架和托盤組成，所述的托架為底座1、上架6和多個(gè)立柱5圍合而成的框架結(jié)構(gòu)，在相對(duì)立柱5的側(cè)壁上的相對(duì)應(yīng)位置分別設(shè)置有放置托盤的支架7。托盤由平板3和支腳2組成，所述支腳2設(shè)置于平板3的下表面。立柱5自上至下設(shè)置有6個(gè)支架7，3個(gè)托盤。工作時(shí)，將需加熱的將帶有玻璃的單晶托4放置在托盤的平板3上，再用液壓堆高車將托盤放置在置于烘箱內(nèi)的托架的支架7上，即可進(jìn)行烘烤。在加熱完成后，用液壓堆高車將托盤取出，再進(jìn)行將玻璃板與單晶托的剝離。
權(quán)利要求1.一種用于單晶托加熱的裝置，其特征在于其結(jié)構(gòu)中包括托架和托盤；所述的托架為底座(1)、上架(6)和多個(gè)立柱(5)圍合而成的框架結(jié)構(gòu)，在相對(duì)立柱(5)的側(cè)壁上的相對(duì)應(yīng)位置分別設(shè)置有放置托盤的支架(7)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于單晶托加熱的裝置，其特征在于所述的托盤由平板⑶和支腳⑵組成，所述支腳⑵設(shè)置于平板⑶的下表面。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種用于單晶托加熱的裝置，其特征在于所述的立柱 (5)自上至下設(shè)置有多個(gè)支架(7)，所述的托盤為多個(gè)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及單晶硅加工領(lǐng)域中的一種用于單晶托加熱的裝置，其結(jié)構(gòu)中包括托架和托盤；所述的托架為底座(1)、上架(6)和多個(gè)立柱(5)圍合而成的框架結(jié)構(gòu)，在相對(duì)立柱(5)的側(cè)壁上的相對(duì)應(yīng)位置分別設(shè)置有放置托盤的支架(7)。本實(shí)用新型設(shè)置了多層支架和托盤，可以同時(shí)加熱多個(gè)單晶托，提高了工作效率；在托盤下面設(shè)置了支腳，可以方便液壓堆高車進(jìn)行工件的運(yùn)送，實(shí)現(xiàn)機(jī)械操作，避免了對(duì)人的燙傷和降低了勞動(dòng)強(qiáng)度。
文檔編號(hào)H01L21/67GK202259215SQ201120380270
公開日2012年5月30日 申請(qǐng)日期2011年10月9日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月9日
發(fā)明者劉巍, 周為征, 李佩劍, 王建鎖, 范靖, 黃計(jì)成 申請(qǐng)人:晶偉電子材料有限公司