專利名稱：一種卡盤裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體測(cè)試封裝技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種卡盤裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體測(cè)試封裝行業(yè)中，研發(fā)出快速可靠的設(shè)備，能把QFN(Quad FlatNo-Iead lockage，方形扁平無(wú)引腳封裝)管子在藍(lán)膜膠帶上，經(jīng)封裝切割后，可以直接由機(jī)械手單個(gè)取出，裝編入料管，再由料管進(jìn)料的設(shè)備進(jìn)行檢測(cè)，因此可代替用人工把管子從藍(lán)膜膠帶排出來(lái)再裝入料管的工序。通過(guò)光檢確認(rèn)管子編入料管的正確方向，此方法比用人工確認(rèn)及手工編入來(lái)的可靠。裝料機(jī)是在藍(lán)膜膠帶上切割好的QFN半導(dǎo)體晶體管從12/8 “片環(huán)框盒上料，單片推入上料臺(tái)上，經(jīng)設(shè)計(jì)的框架規(guī)定好位置，由機(jī)械壓力使膨脹。采用光檢通過(guò)X-Y-Z軸的移動(dòng)定位，由機(jī)械手用真空吸力把管子單個(gè)吸起。采用16個(gè)工位以上的轉(zhuǎn)盤式流程進(jìn)行光檢，定位分選后編入料管。此方法利用對(duì)裝盤馬達(dá)的控制的準(zhǔn)確及相關(guān)馬達(dá)的準(zhǔn)確同步運(yùn)作，對(duì)軟件及電控的要求高。目前，扣住藍(lán)膜膠帶的裝置機(jī)械卡盤，容易損傷藍(lán)膜，有待做進(jìn)一步的改進(jìn)。運(yùn)送藍(lán)膜膠帶到達(dá)卡盤的指定位置后，卡盤上的固定裝置扣住藍(lán)膜，但是扣的方式，是機(jī)械的合頁(yè)式扣藍(lán)膜膠帶，這非常容易碰撞到藍(lán)膜膠帶，容易出現(xiàn)故障。由此，出現(xiàn)了一種平行滑動(dòng)扣住藍(lán)膜的裝置，其包括設(shè)置在卡盤本體上的滑軌、滑動(dòng)配合在所述滑軌上的滑塊、一端連接在所述滑塊上，另一端連接在所述卡盤本體上的伸縮裝置。通過(guò)伸縮裝置的伸縮運(yùn)動(dòng)，可帶動(dòng)滑塊沿滑軌前后移動(dòng)，以扣住藍(lán)膜。但是，目前的卡盤裝置與軌道底盤之間的高度不夠，藍(lán)膜到達(dá)卡盤時(shí)不能穩(wěn)定的扣住固定。另外，卡盤裝置運(yùn)動(dòng)時(shí)，其是X軸線路的運(yùn)動(dòng)是X軸的雙線路布局的，這容易出現(xiàn)電線換亂，不能整齊的放置，不能按照運(yùn)動(dòng)的路徑隨之一起移動(dòng)。

實(shí)用新型內(nèi)容有鑒于此，本實(shí)用新型提供了一種卡盤裝置，以實(shí)現(xiàn)卡盤與軌道底座之間的高度可調(diào)的目的。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案一種卡盤裝置，包括底座；鋪設(shè)在所述底座上的縱向?qū)к墸辉O(shè)置在所述底座上的縱向驅(qū)動(dòng)馬達(dá)，該縱向驅(qū)動(dòng)馬達(dá)與第一絲杠機(jī)構(gòu)相連；與所述縱向?qū)к壔瑒?dòng)配合的滑板；設(shè)置在所述底座上的橫向驅(qū)動(dòng)馬達(dá)，該橫向驅(qū)動(dòng)馬達(dá)與第二絲杠機(jī)構(gòu)相連，該第二絲杠機(jī)構(gòu)的絲母上連接有底板，該底板上設(shè)有抬高驅(qū)動(dòng)馬達(dá)以及若干個(gè)抬高絲桿機(jī)構(gòu)， 該抬高絲桿機(jī)構(gòu)的絲母外圈為圓形，所述抬高驅(qū)動(dòng)馬達(dá)通過(guò)傳動(dòng)帶與各個(gè)抬高絲桿機(jī)構(gòu)的絲母相連；與各個(gè)抬高絲桿機(jī)構(gòu)的絲桿相連的第二層卡盤；設(shè)置在所述第二層卡盤上的第一層卡盤，該第一層卡盤上設(shè)有固定裝置。優(yōu)選的，在上述卡盤裝置中，所述傳動(dòng)帶為齒形帶，所述抬高絲桿機(jī)構(gòu)的絲母外圈具有與所述齒形帶的輪齒配合的凹槽。優(yōu)選的，在上述卡盤裝置中，該卡盤裝置的橫向線路和縱向線路均為一根。優(yōu)選的，在上述卡盤裝置中，所述固定裝置具體包括設(shè)置所述第一層卡盤上的滑軌；滑動(dòng)配合在所述滑軌上的滑塊；一端連接在所述滑塊上，另一端連接在所述卡盤本體上的伸縮裝置。優(yōu)選的，在上述卡盤裝置中，所述滑軌為分別與所述滑塊兩側(cè)配合的兩個(gè)。優(yōu)選的，在上述卡盤裝置中，所述滑軌的底部形成有滑槽，所述滑塊的底部?jī)蓚?cè)形成有與所述滑槽配合的滑板。優(yōu)選的，在上述卡盤裝置中，所述伸縮裝置為氣缸。優(yōu)選的，在上述卡盤裝置中，所述滑軌通過(guò)螺釘固定在所述第一層卡盤上。從上述的技術(shù)方案可以看出，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置一個(gè)與第二絲杠機(jī)構(gòu)的絲母相連的底板，并在底板上設(shè)置抬高驅(qū)動(dòng)馬達(dá)以及若干個(gè)抬高絲桿機(jī)構(gòu)，抬高絲桿機(jī)構(gòu)的絲母外圈為圓形，抬高驅(qū)動(dòng)馬達(dá)通過(guò)傳動(dòng)帶與各個(gè)抬高絲桿機(jī)構(gòu)的絲母相連，第二層卡盤與各個(gè)抬高絲桿機(jī)構(gòu)的絲桿相連。通過(guò)抬高驅(qū)動(dòng)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)各個(gè)抬高絲桿機(jī)構(gòu)的絲母轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使得抬高絲桿機(jī)構(gòu)的絲桿軸線運(yùn)動(dòng)，繼而將第二層卡盤和設(shè)置在第二層卡盤上的第一層卡盤抬高和降低，使得藍(lán)膜到達(dá)卡盤時(shí)能夠穩(wěn)定的扣住固定。

為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的卡盤裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型公開了一種卡盤裝置，以實(shí)現(xiàn)卡盤與軌道底座之間的高度可調(diào)的目的。下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。請(qǐng)參閱圖1，圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的卡盤裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。本實(shí)用新型提供的卡盤裝置，包括底座1 ；[0034]鋪設(shè)在所述底座1上的縱向?qū)к? ；設(shè)置在所述底座1上的縱向驅(qū)動(dòng)馬達(dá)2，該縱向驅(qū)動(dòng)馬達(dá)2與第一絲杠機(jī)構(gòu)14相連，通過(guò)縱向驅(qū)動(dòng)馬達(dá)2驅(qū)動(dòng)第一絲杠機(jī)構(gòu)14的絲杠轉(zhuǎn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)其絲母沿絲桿軸向移動(dòng)；與所述縱向?qū)к?滑動(dòng)配合的滑板，第一絲杠機(jī)構(gòu)14的絲母與該滑板相連，從而通過(guò)絲母的移動(dòng)，帶動(dòng)滑板沿縱向?qū)к?滑動(dòng)；設(shè)置在所述底座1上的橫向驅(qū)動(dòng)馬達(dá)8，該橫向驅(qū)動(dòng)馬達(dá)8與第二絲杠機(jī)構(gòu)12相連，該第二絲杠機(jī)構(gòu)12的絲母上連接有底板，通過(guò)橫向驅(qū)動(dòng)馬達(dá)8驅(qū)動(dòng)第二絲杠機(jī)構(gòu)12的絲桿轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使得第二絲杠機(jī)構(gòu)12的絲母及與其連接的底板沿第二絲杠機(jī)構(gòu)12的絲桿移動(dòng)。底板上設(shè)有抬高驅(qū)動(dòng)馬達(dá)13以及若干個(gè)抬高絲桿機(jī)構(gòu)，該抬高絲桿機(jī)構(gòu)的絲母外圈為圓形，所述抬高驅(qū)動(dòng)馬達(dá)13通過(guò)傳動(dòng)帶6與各個(gè)抬高絲桿機(jī)構(gòu)的絲母相連；與各個(gè)抬高絲桿機(jī)構(gòu)的絲桿相連的第二層卡盤5 ；設(shè)置在所述第二層卡盤5上的第一層卡盤11，該第一層卡盤11上設(shè)有固定裝置 10。本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置一個(gè)與第二絲杠機(jī)構(gòu)12的絲母相連的底板，并在底板上設(shè)置抬高驅(qū)動(dòng)馬達(dá)13以及若干個(gè)抬高絲桿機(jī)構(gòu)，抬高絲桿機(jī)構(gòu)的絲母外圈為圓形，抬高驅(qū)動(dòng)馬達(dá)13通過(guò)傳動(dòng)帶6與各個(gè)抬高絲桿機(jī)構(gòu)的絲母相連，第二層卡盤與各個(gè)抬高絲桿機(jī)構(gòu)的絲桿相連。通過(guò)抬高驅(qū)動(dòng)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)各個(gè)抬高絲桿機(jī)構(gòu)的絲母轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使得抬高絲桿機(jī)構(gòu)的絲桿軸線運(yùn)動(dòng)，繼而將第二層卡盤和設(shè)置在第二層卡盤上的第一層卡盤抬高和降低，使得藍(lán)膜到達(dá)卡盤時(shí)能夠穩(wěn)定的扣住固定。為了優(yōu)化上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型提供的傳動(dòng)帶6可以為齒形帶，所述抬高絲桿機(jī)構(gòu)的絲母外圈具有與所述齒形帶的輪齒配合的凹槽，抬高絲桿機(jī)構(gòu)的絲母的外形制成齒形帶輪的形狀，使之與齒形帶相配。齒形帶能實(shí)現(xiàn)各個(gè)抬高絲桿機(jī)構(gòu)的絲桿上升或下降的距離相等，具有同步效果。卡盤裝置的橫向線路7和縱向線路4均為一根。橫向線路7和縱向線路4來(lái)的更為整齊和有序，當(dāng)橫向運(yùn)動(dòng)時(shí)橫向線路7—起跟隨，縱向運(yùn)動(dòng)時(shí)，縱向線路4 一起跟隨，更加的脈絡(luò)清晰。本實(shí)用新型提供的固定裝置10具體包括滑軌、滑塊和伸縮裝置。其中，滑軌設(shè)置第一層卡盤11上，可通過(guò)螺釘固定在第一層卡盤11上?；瑝K滑動(dòng)配合在所述滑軌上，伸縮裝置一端連接在所述滑塊上，另一端連接在所述第一層卡盤11上。優(yōu)選的，在滑塊的外側(cè)設(shè)有向下延伸的擋板，伸縮裝置一端連接在所述滑塊的擋板上。本實(shí)用新型在第一層卡盤11上設(shè)置滑軌，并設(shè)置與該滑軌滑動(dòng)配合的滑塊，通過(guò)伸縮裝置的伸縮運(yùn)動(dòng)，可帶動(dòng)滑塊沿滑軌前后移動(dòng)。從而本實(shí)用新型提供的固定裝置可平行的扣住藍(lán)膜膠帶，不易撞擊藍(lán)膜膠帶，避免了合頁(yè)式的翻轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)對(duì)藍(lán)膜膠帶的碰撞和損傷。為了進(jìn)一步優(yōu)化上述技術(shù)方案，滑軌為分別與所述滑塊兩側(cè)配合的兩個(gè)，兩個(gè)滑軌能夠?yàn)榛瑝K提供穩(wěn)定的滑道，避免滑塊跑偏?；壍牡撞啃纬捎谢?，所述滑塊的底部?jī)蓚?cè)形成有與所述滑槽配合的滑板。將滑軌和滑塊上的滑動(dòng)部設(shè)置在底部，更加靠近伸縮裝置，能夠明顯減少伸縮裝置驅(qū)動(dòng)時(shí)帶來(lái)的扭矩，降低了驅(qū)動(dòng)力，提高了能源的利用效率。有旋的伸縮裝置為氣缸。本說(shuō)明書中各個(gè)實(shí)施例采用遞進(jìn)的方式描述，每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說(shuō)明的都是與其他實(shí)施例的不同之處，各個(gè)實(shí)施例之間相同相似部分互相參見(jiàn)即可。對(duì)所公開的實(shí)施例的上述說(shuō)明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實(shí)用新型。對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來(lái)說(shuō)將是顯而易見(jiàn)的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實(shí)用新型的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本實(shí)用新型將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。
權(quán)利要求1.一種卡盤裝置，其特征在于，包括底座(1)；鋪設(shè)在所述底座⑴上的縱向?qū)к?3)；設(shè)置在所述底座(1)上的縱向驅(qū)動(dòng)馬達(dá)O)，該縱向驅(qū)動(dòng)馬達(dá)O)與第一絲杠機(jī)構(gòu) (14)相連；與所述縱向?qū)к塁3)滑動(dòng)配合的滑板；設(shè)置在所述底座(1)上的橫向驅(qū)動(dòng)馬達(dá)(8)，該橫向驅(qū)動(dòng)馬達(dá)(8)與第二絲杠機(jī)構(gòu) (12)相連，該第二絲杠機(jī)構(gòu)(1 的絲母上連接有底板，該底板上設(shè)有抬高驅(qū)動(dòng)馬達(dá)(13)以及若干個(gè)抬高絲桿機(jī)構(gòu)，該抬高絲桿機(jī)構(gòu)的絲母外圈為圓形，所述抬高驅(qū)動(dòng)馬達(dá)(1 通過(guò)傳動(dòng)帶(6)與各個(gè)抬高絲桿機(jī)構(gòu)的絲母相連；與各個(gè)抬高絲桿機(jī)構(gòu)的絲桿相連的第二層卡盤(5)；設(shè)置在所述第二層卡盤( 上的第一層卡盤(11)，該第一層卡盤(11)上設(shè)有固定裝置 (10)。
2.如權(quán)利要求1所述的卡盤裝置，其特征在于，所述傳動(dòng)帶(6)為齒形帶，所述抬高絲桿機(jī)構(gòu)的絲母外圈具有與所述齒形帶的輪齒配合的凹槽。
3.如權(quán)利要求1所述的卡盤裝置，其特征在于，該卡盤裝置的橫向線路(7)和縱向線路 ⑷均為一根。
4.如權(quán)利要求1所述的卡盤裝置，其特征在于，所述固定裝置(10)具體包括設(shè)置所述第一層卡盤(11)上的滑軌；滑動(dòng)配合在所述滑軌上的滑塊；一端連接在所述滑塊上，另一端連接在所述卡盤本體上的伸縮裝置。
5.如權(quán)利要求4所述的卡盤裝置，其特征在于，所述滑軌為分別與所述滑塊兩側(cè)配合的兩個(gè)。
6.如權(quán)利要求5所述的卡盤裝置，其特征在于，所述滑軌的底部形成有滑槽，所述滑塊的底部?jī)蓚?cè)形成有與所述滑槽配合的滑板。
7.如權(quán)利要求4所述的卡盤裝置，其特征在于，所述伸縮裝置為氣缸。
8.如權(quán)利要求4所述的卡盤裝置，其特征在于，所述滑軌通過(guò)螺釘固定在所述第一層卡盤(11)上。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種卡盤裝置，包括縱向?qū)к壓涂v向驅(qū)動(dòng)馬達(dá)，該縱向驅(qū)動(dòng)馬達(dá)與第一絲杠機(jī)構(gòu)相連；與縱向?qū)к壔瑒?dòng)配合的滑板；橫向驅(qū)動(dòng)馬達(dá)，該橫向驅(qū)動(dòng)馬達(dá)與第二絲杠機(jī)構(gòu)相連，該第二絲杠機(jī)構(gòu)的絲母上連接有底板，該底板上設(shè)有抬高驅(qū)動(dòng)馬達(dá)以及若干個(gè)抬高絲桿機(jī)構(gòu)，抬高驅(qū)動(dòng)馬達(dá)通過(guò)傳動(dòng)帶與各個(gè)抬高絲桿機(jī)構(gòu)的絲母相連；與各個(gè)抬高絲桿機(jī)構(gòu)的絲桿相連的第二層卡盤；設(shè)置在第二層卡盤上的第一層卡盤，該第一層卡盤上設(shè)有固定裝置。通過(guò)抬高驅(qū)動(dòng)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)各個(gè)抬高絲桿機(jī)構(gòu)的絲母轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使得抬高絲桿機(jī)構(gòu)的絲桿軸線運(yùn)動(dòng)，繼而將第二層卡盤和設(shè)置在第二層卡盤上的第一層卡盤抬高和降低，使得藍(lán)膜到達(dá)卡盤時(shí)能夠穩(wěn)定的扣住固定。
文檔編號(hào)H01L21/687GK202025730SQ201120028548
公開日2011年11月2日 申請(qǐng)日期2011年1月27日 優(yōu)先權(quán)日2011年1月27日
發(fā)明者張巍巍 申請(qǐng)人:江陰格朗瑞科技有限公司