專利名稱：太陽能電池生產(chǎn)系統(tǒng)中的薄膜制備方法
技術領域：
本發(fā)明涉及太陽能電池生產(chǎn)系統(tǒng)，具體地，涉及太陽能電池生產(chǎn)系統(tǒng)中的薄膜制備方法。
背景技術：
太陽能是人類取之不盡用之不竭的可再生能源，也是清潔能源，不產(chǎn)生任何的環(huán)境污染。在太陽能的有效利用當中，大陽能光電利用是近些年來發(fā)展最快，最具活力的研究領域，是其中最受矚目的項目之一。為此，人們研制和開發(fā)了太陽能電池。制作太陽能電池主要是以半導體材料為基礎，其工作原理是利用光電材料吸收光能后發(fā)生光電于轉換反應。不同的制備方法對作為太陽能電池主要部件的硅片薄膜的質量影響很大，現(xiàn)有技術中硅片薄膜的轉換效率有待改進。

發(fā)明內(nèi)容
針對現(xiàn)有技術中的缺陷，本發(fā)明的目的是提供一種太陽能電池生產(chǎn)系統(tǒng)中的薄膜制備方法。根據(jù)本發(fā)明的一個方面，提供一種太陽能電池生產(chǎn)系統(tǒng)中的薄膜制備方法，包括如下步驟步驟A 將二水合乙酸鋅和乙醇胺溶于乙二醇乙醚溶劑中得到溶液R1，其中，二水合乙酸鋅與乙醇胺的摩爾量比為1 1.84;步驟B 攪拌所述溶液Rl直到得到溶膠R2，攪拌時溫度保持在68攝氏度；步驟C 將溶膠R2放置36小時；步驟D 以400r/分鐘旋涂所述溶膠R2，每次旋涂時間為12秒；步驟E 以2000r/分鐘旋涂所述溶膠R2，每次旋涂時間為16秒；步驟F 重復所述步驟D和步驟E旋涂3次后使用150度的烘箱進行干燥；步驟G 在460攝氏度至520攝氏度的溫度下進行退火處理。優(yōu)選地，在所述步驟G中，在490攝氏度的溫度下進行退火處理。本發(fā)明通過旋涂參數(shù)以及優(yōu)選的退火溫度使得薄膜表面均勻致密，提供了電池的轉換效率。
具體實施例方式根據(jù)本發(fā)明提供的太陽能電池生產(chǎn)系統(tǒng)中的薄膜制備方法，包括步驟步驟A 將二水合乙酸鋅和乙醇胺溶于乙二醇乙醚溶劑中得到溶液R1，其中，二水合乙酸鋅與乙醇胺的摩爾量比為1 1.84;步驟B:攪拌所述溶液Rl直到得到溶膠R2，攪拌時溫度保持在68 攝氏度；步驟C 將溶膠R2放置36小時；步驟D 以400r/分鐘旋涂所述溶膠R2，每次旋涂時間為12秒；步驟E 以2000r/分鐘旋涂所述溶膠R2，每次旋涂時間為16秒；步驟F 重復所述步驟D和步驟E旋涂3次后使用150度的烘箱進行干燥；步驟G 在460攝氏度至520攝氏度的溫度下進行退火處理。優(yōu)選地，在所述步驟G中，在490攝氏度的溫度下進行退火處理。 以上對本發(fā)明的具體實施例進行了描述。需要理解的是，本發(fā)明并不局限于上述特定實施方式，本領域技術人員可以在權利要求的范圍內(nèi)做出各種變形或修改，這并不影響本發(fā)明的實質內(nèi)容。
權利要求
1.一種太陽能電池生產(chǎn)系統(tǒng)中的薄膜制備方法，其特征在于，包括如下步驟步驟A 將二水合乙酸鋅和乙醇胺溶于乙二醇乙醚溶劑中得到溶液R1，其中，二水合乙酸鋅與乙醇胺的摩爾量比為1 1.84;步驟B 攪拌所述溶液Rl直到得到溶膠R2，攪拌時溫度保持在68攝氏度； 步驟C 將溶膠R2放置36小時；步驟D 以400r/分鐘旋涂所述溶膠R2，每次旋涂時間為12秒； 步驟E 以2000r/分鐘旋涂所述溶膠R2，每次旋涂時間為16秒； 步驟F 重復所述步驟D和步驟E旋涂3次后使用150度的烘箱進行干燥； 步驟G 在460攝氏度至520攝氏度的溫度下進行退火處理。
2.根據(jù)權利要求1所述的太陽能電池生產(chǎn)系統(tǒng)中的薄膜制備方法，其特征在于，在所述步驟G中，在490攝氏度的溫度下進行退火處理。
全文摘要
本發(fā)明提供太陽能電池生產(chǎn)系統(tǒng)中的薄膜制備方法，包括步驟步驟A將二水合乙酸鋅和乙醇胺溶于乙二醇乙醚溶劑中得到溶液R1；步驟B攪拌所述溶液R1；步驟D以400r/分鐘旋涂所述溶膠R2，每次旋涂時間為12秒；步驟E以2000r/分鐘旋涂所述溶膠R2，每次旋涂時間為16秒；步驟F重復所述步驟D和步驟E旋涂3次后使用150度的烘箱進行干燥；步驟G在460攝氏度至520攝氏度的溫度下進行退火處理。本發(fā)明通過旋涂參數(shù)以及優(yōu)選的退火溫度使得薄膜表面均勻致密，提供了電池的轉換效率。
文檔編號H01L31/18GK102544204SQ201110440388
公開日2012年7月4日 申請日期2011年12月26日 優(yōu)先權日2011年12月26日
發(fā)明者姚鵬, 錢騰達, 顧錫淼 申請人:嘉興優(yōu)太太陽能有限公司