專利名稱：一種穩(wěn)定非接觸式吸盤工作間隙的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于半導(dǎo)體及平板顯示制造業(yè)中的非接觸式搬運技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種穩(wěn)定非接觸式吸盤工作間隙的方法和相應(yīng)裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體及平板顯示制造業(yè)中，對晶片或玻璃基板的表面質(zhì)量要求很高，為了避免對工件表面產(chǎn)生污染、損傷等不良影響，非接觸式搬運技術(shù)得到了越來越廣泛的應(yīng)用。非接觸吸盤是一種常用的吸浮式非接觸搬運設(shè)備，現(xiàn)存問題是吸取工件前的初始間隙沒有標準或難以控制，初始間隙不合理會使吸取過程工件振幅過大，振動衰減較慢，極易導(dǎo)致吸盤與工件碰撞接觸；隨著所生產(chǎn)的工件尺寸越來越大，厚度越來越小，在吸取和搬運過程中工件易產(chǎn)生變形，剛性連接的吸盤無法進行相應(yīng)的調(diào)節(jié)，也容易造成接觸。針對這些情況，本發(fā)明提出的一種穩(wěn)定非接觸式吸盤工作間隙的方法和相應(yīng)的裝置，結(jié)構(gòu)簡單，制造成本低，且經(jīng)過驗證切實有效，是一種穩(wěn)定非接觸吸盤工作間隙的實用方法。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種穩(wěn)定非接觸式吸盤工作間隙的方法。本發(fā)明的技術(shù)方案是
在非接觸吸盤工作面的外圍，位置均勻地開設(shè)豎直向下的噴吹孔，以噴吹力均勻為原則，開孔直徑宜小，開孔數(shù)量宜多。上述噴吹孔的氣源獨立于吸盤真空發(fā)生裝置的氣源，有獨立的進氣壓力或流量調(diào)節(jié)裝置。本發(fā)明的非接觸吸盤與其支承件之間具有柔性連接機構(gòu) (例如彈簧)，該柔性連接機構(gòu)使吸盤具有豎直方向移動的自由度，及相對水平面在小角度以任意方向翻轉(zhuǎn)的自由度。應(yīng)用本發(fā)明技術(shù)方法的非接觸式吸盤應(yīng)包括支承件1、柔性機構(gòu)2、真空發(fā)生器氣源3、噴吹孔氣源4、非接觸吸盤體5、噴吹孔6、真空發(fā)生腔7。噴吹孔通以壓縮空氣產(chǎn)生噴吹力，當吸盤與被吸取工件靠近，噴吹孔出口與工件的距離小于設(shè)定距離時，噴吹力變大，吸盤被推開，當吸盤與被吸取工件遠離，噴吹孔出口與工件的距離大于設(shè)定距離時，噴吹力變小，吸盤在重力作用下靠近工件，最終吸盤與工件的距離穩(wěn)定在設(shè)定距離。本發(fā)明的優(yōu)點是
1，無需高精度的位置控制，便可以保證吸盤下落過程中不會與工件發(fā)生碰撞，并且可以調(diào)節(jié)吸盤的位置使之與工件間的初始間隙最優(yōu)，以保證吸取過程工件不會與吸盤發(fā)生碰撞。2，在搬運的過程中，由于柔性機構(gòu)的調(diào)節(jié)作用，吸盤對工件的震動和變形也具有一定的適應(yīng)能力。3，對真空發(fā)生裝置的種類沒有限制，可以是伯努利式也可以是渦旋式。


圖1是本發(fā)明在非接觸吸盤上的應(yīng)用示意圖。其中1、支承件，2、柔性機構(gòu)，3、真空發(fā)生器氣源，4、噴吹孔氣源，5、非接觸吸盤體，6、噴吹孔，7、真空發(fā)生腔。
具體實施例方式下面對本發(fā)明作進一步的說明。1.應(yīng)用本發(fā)明的非接觸式吸盤，其動作順序為先打開噴吹孔氣源，將吸盤放下， 利用噴吹氣流和吸盤柔性連接的調(diào)節(jié)作用使吸盤和工件間的間隙穩(wěn)定，待間隙穩(wěn)定后再打開真空發(fā)生腔的氣源，吸取工件，支承件帶動吸盤抬起，搬運工件。2.吸盤真空發(fā)生腔和噴吹孔的進氣壓力或流量的設(shè)定應(yīng)滿足在柔性機構(gòu)的同時作用下，噴吹孔的噴吹力足夠抬起吸盤，保證吸盤下落過程中不會碰撞工件；真空發(fā)生腔的吸取力能夠與工件重量和噴吹力平衡。
權(quán)利要求
1.一種穩(wěn)定非接觸式吸盤工作間隙的方法，其特征在于在非接觸式吸盤的真空發(fā)生腔的外圍開設(shè)均勻分布的噴吹孔，噴吹孔通以壓縮空氣產(chǎn)生噴吹力，當吸盤與被吸取工件靠近，噴吹孔出口與工件的距離小于設(shè)定距離時，噴吹力變大，吸盤被推開，當吸盤與被吸取工件遠離，噴吹孔出口與工件的距離大于設(shè)定距離時，噴吹力變小，吸盤在重力作用下靠近工件，最終吸盤與工件的距離穩(wěn)定在設(shè)定距離。
2.根據(jù)權(quán)利1所述一種穩(wěn)定非接觸式吸盤工作間隙的方法，其特征在于噴吹孔與吸盤獨立，可分別調(diào)節(jié)進氣壓力和流量。
3.根據(jù)權(quán)利1所述一種穩(wěn)定非接觸式吸盤工作間隙的方法，其特征在于吸盤與其支承機構(gòu)采用彈簧柔性連接。
全文摘要
本發(fā)明屬于半導(dǎo)體及平板顯示制造業(yè)中的非接觸式搬運技術(shù)領(lǐng)域，實現(xiàn)了一種穩(wěn)定非接觸式吸盤工作間隙的方法。發(fā)明內(nèi)容主要涉及在非接觸式吸盤放下至吸取工件的過程中穩(wěn)定吸盤與工件之間氣體間隙的方法和相應(yīng)裝置。本發(fā)明通過在非接觸式吸盤的真空發(fā)生腔的外圍開設(shè)噴吹孔，并對吸盤采用柔性支撐，利用吸盤放下過程中噴吹氣流和柔性機構(gòu)的調(diào)節(jié)能力使吸盤和工件之間保持設(shè)定的工作間隙，并使搬運過程中的間隙穩(wěn)定性有所提高。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，制造成本低，且經(jīng)過驗證切實有效，是一種穩(wěn)定非接觸吸盤工作間隙的實用方法。
文檔編號H01L21/677GK102332419SQ201110334510
公開日2012年1月25日 申請日期2011年10月30日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月30日
發(fā)明者蔡茂林, 許啟躍, 許未晴 申請人:蔡茂林