專利名稱：一種晶體硅太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散節(jié)能減排工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及晶體硅太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散工藝，具體涉及一種晶體硅太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散節(jié)能減排工藝。技術(shù)背景
太陽(yáng)能電池是一種將光能直接轉(zhuǎn)化為電能的器件，由于其清潔、無(wú)污染，取之不盡用之不竭，受到越來(lái)越多的關(guān)注，市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)也越來(lái)越劇烈，如何降低太陽(yáng)能電池的成本，提高太陽(yáng)能電池的轉(zhuǎn)換效率已成為各光伏企業(yè)研究的重點(diǎn)。
三氯氧磷，一種工業(yè)化工原料，為無(wú)色透明液體，有劇毒。常規(guī)太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散使用三氯氧磷作為擴(kuò)散源，太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散是核心，硅太陽(yáng)能電池的表面摻雜濃度決定了太陽(yáng)能電池的轉(zhuǎn)換效率。影響表面摻雜濃度的有擴(kuò)散溫度、擴(kuò)散時(shí)間、攜源氣體流量，通常采用調(diào)整擴(kuò)散溫度來(lái)調(diào)整表面摻雜濃度，得到想要的方塊電阻。然而，采用這一方式調(diào)整方塊電阻，對(duì)小幅度調(diào)整方塊電阻非常適用，對(duì)硅片單片方塊電阻均勻性無(wú)法調(diào)整，對(duì)三氯氧磷的使用量較大，不利于成本控制。發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明目的是提供一種降低太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散成本的工藝，使用該工藝能夠有效的減少擴(kuò)散三氯氧磷的使用量，從而降低表面摻雜濃度，有效提高太陽(yáng)能電池的轉(zhuǎn)換效率。
本發(fā)明采用的技術(shù)方案是提供一種降低太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散成本的工藝，包括如下步驟
(1)將制絨后的硅片放于擴(kuò)散爐中，爐內(nèi)各溫區(qū)溫度升至750-770°C，爐內(nèi)環(huán)境為均勻的氮?dú)鈿夥?，氮?dú)饬髁縄Oslm ；
(2)待溫度穩(wěn)定后，同時(shí)通入攜源氣體三氯氧磷，流量為850-950sCCm，及干氧，流量為350sCCm，且保證爐內(nèi)氣體環(huán)境均勻，擴(kuò)散20分鐘；
(3)停止通攜源氣體三氯氧磷，同步均勻提升爐內(nèi)各區(qū)溫度，升溫至830°C，擴(kuò)散 20分鐘；
(4)通入氮?dú)饨禍?，完成擴(kuò)散過(guò)程。
本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點(diǎn)
本發(fā)明可以有效的節(jié)省三氯氧磷的使用量，從而節(jié)約擴(kuò)散成本，減少?gòu)U氣排放量; 本發(fā)明從工藝角度可以降低表面摻雜濃度，更好的保證結(jié)區(qū)的完整性，減少表面電子空穴對(duì)的復(fù)合，從而對(duì)轉(zhuǎn)換效率有一定的提升。本發(fā)明無(wú)須增添任何設(shè)備安裝，工藝時(shí)間與常規(guī)工藝時(shí)間相同，重復(fù)性強(qiáng)，可推廣使用。
具體實(shí)施方式
本發(fā)明采用的技術(shù)方案是提供一種降低太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散成本的工藝，包括如下步驟
(1)將制絨后的硅片放于擴(kuò)散爐中，爐內(nèi)各溫區(qū)溫度升至750-770°C，爐內(nèi)環(huán)境為均勻的氮?dú)鈿夥眨獨(dú)饬髁縄Oslm ；
(2)待溫度穩(wěn)定后，同時(shí)通入攜源氣體三氯氧磷，流量為850-950sCCm，及干氧，流量為350sCCm，且保證爐內(nèi)氣體環(huán)境均勻，擴(kuò)散20分鐘；
(3)停止通攜源氣體三氯氧磷，同步均勻提升爐內(nèi)各區(qū)溫度，升溫至830°C，擴(kuò)散 20分鐘；
(4)通入氮?dú)饨禍?，完成擴(kuò)散過(guò)程。
上述技術(shù)方案中，攜源氣體三氯氧磷的流量為850-950sCCm，傳統(tǒng)工藝中攜源氣體三氯氧磷流量為1000-1500sCCm，本發(fā)明技術(shù)方案與傳統(tǒng)工藝相比節(jié)約三氯氧磷流量為 50_650sccmo
實(shí)施例1
將常規(guī)單晶125電池片進(jìn)行制絨后按如下步驟進(jìn)行擴(kuò)散(1)將制絨后的硅片放于擴(kuò)散爐中，爐內(nèi)各溫區(qū)溫度升至760°C，爐內(nèi)環(huán)境為均勻的氮?dú)鈿夥?，氮?dú)饬髁縄Oslm ； (2)待溫度穩(wěn)定后，同時(shí)通入攜源氣體三氯氧磷，流量為920sCCm，及干氧，流量為350sCCm， 且保證爐內(nèi)氣體環(huán)境均勻，擴(kuò)散20分鐘；C3)停止通攜源氣體三氯氧磷，同步均勻提升爐內(nèi)各區(qū)溫度，升溫至830°C，擴(kuò)散20分鐘；(4)通入氮?dú)饨禍?，完成擴(kuò)散過(guò)程。
從實(shí)驗(yàn)片中等間接取10片抽測(cè)方塊電阻，五點(diǎn)測(cè)其方塊電阻，結(jié)果如下
在AMI. 5、光強(qiáng)1000W，溫度25°C條件下測(cè)得電性能
權(quán)利要求
1.一種降低太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散成本的工藝，其特征在于，包括如下步驟(1)將制絨后的硅片放于擴(kuò)散爐中，爐內(nèi)各溫區(qū)溫度升至750-770°C，爐內(nèi)環(huán)境為均勻的氮?dú)鈿夥?，氮?dú)饬髁縄Oslm ；(2)待溫度穩(wěn)定后，同時(shí)通入攜源氣體三氯氧磷，流量為850-950sCCm，及干氧，流量為 350SCCm，且保證爐內(nèi)氣體環(huán)境均勻，擴(kuò)散20分鐘；(3)停止通攜源氣體三氯氧磷，同步均勻提升爐內(nèi)各區(qū)溫度，升溫至830°C，擴(kuò)散20分鐘；(4)通入氮?dú)饨禍?，完成擴(kuò)散過(guò)程。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種降低太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散成本的工藝，其特征在于步驟(2) 中攜源氣體三氯氧磷流量為920sCCm。
全文摘要
一種晶體硅太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散節(jié)能減排工藝。本發(fā)明提供一種降低太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散成本的工藝，包括如下步驟(1)將制絨后的硅片放于擴(kuò)散爐中，爐內(nèi)各溫區(qū)溫度升至750-770℃，爐內(nèi)環(huán)境為均勻的氮?dú)鈿夥?，氮?dú)饬髁?0slm；(2)待溫度穩(wěn)定后，同時(shí)通入攜源氣體三氯氧磷，流量為850-950sccm，及干氧，流量為350sccm，且保證爐內(nèi)氣體環(huán)境均勻，擴(kuò)散20分鐘；(3)停止通攜源氣體三氯氧磷，同步均勻提升爐內(nèi)各區(qū)溫度，升溫至830℃，擴(kuò)散20分鐘；(4)通入氮?dú)饨禍?，完成擴(kuò)散過(guò)程。本發(fā)明從工藝角度可以降低表面摻雜濃度，更好的保證結(jié)區(qū)的完整性，減少表面電子空穴對(duì)的復(fù)合，從而對(duì)轉(zhuǎn)換效率有一定的提升。
文檔編號(hào)H01L31/18GK102509745SQ20111032935
公開(kāi)日2012年6月20日 申請(qǐng)日期2011年10月26日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月26日
發(fā)明者馮曉軍 申請(qǐng)人:浙江鴻禧光伏科技股份有限公司