專利名稱：發(fā)光裝置的制造裝置以及制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種發(fā)光裝置的制造裝置以及制造方法。
背景技術(shù)：
被稱為有機(jī)電致發(fā)光(electroluminescence)元件(有機(jī)EL元件)或者有機(jī)發(fā)光二極管(Organic Light Emitting Diode)元件的自發(fā)光元件由通過施加電場而發(fā)光的熒光性的有機(jī)化合物形成，具有在各像素上具有該元件而構(gòu)成的顯示屏的顯示裝置作為下一代顯示設(shè)備而受到關(guān)注。有機(jī)EL元件形成在陽極電極和陰極電極這一對(duì)電極間，例如具備具有發(fā)光層、空穴注入層等的有機(jī)EL層(有機(jī)層)。有機(jī)EL元件通過在發(fā)光層由空穴和電子的再結(jié)合所產(chǎn)生的能量而發(fā)光。為了形成這樣的有機(jī)層，以往，將規(guī)定的高分子材料作為印刷墨并通過使用作為凸版的一種的柔印版的印刷(以下稱為柔印印刷)來在基板上形成(例如，日本特開 2007-299616號(hào)公報(bào))。柔印印刷通過使用低粘度印刷墨，能夠使形成于基板上的發(fā)光層等成為薄膜。另外，在柔印印刷中，通過例如由直接驅(qū)動(dòng)馬達(dá)等驅(qū)動(dòng)形成為輥?zhàn)訝畹挠“鏉L筒和網(wǎng)紋輥，能夠進(jìn)行精密的印刷。由于這些理由，能夠?qū)⑷嵊∮∷⒘己玫赜糜谟袡C(jī)EL的有機(jī)層的圖案形成。但是，以往的柔印印刷法存在以下所示的問題點(diǎn)。從分配器(日本特開 2007-299616號(hào)公報(bào)中墨腔)以在網(wǎng)紋輥表面整體上擴(kuò)展的方式供給的印刷墨，轉(zhuǎn)印到卷繞在印版滾筒上的形成印刷圖案的柔印版。柔印版與作為印刷對(duì)象的基板接觸，從而在基板上印刷印刷墨。此時(shí)，殘留在網(wǎng)紋輥上的剩余的印刷墨被刮刀(刮刀)除去。此時(shí)，由于網(wǎng)紋輥和刮刀接觸而產(chǎn)生塵埃，成為印刷墨中混入異物的原因。有機(jī)EL元件由于陰/陽極間薄，所以即使異物微小，也成為由于電極間短路而產(chǎn)生的暗斑等問題的原因。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述問題點(diǎn)而作出的，其目的在于提供一種能夠有效抑制形成有機(jī) EL元件這樣的微小的結(jié)構(gòu)時(shí)的異物混入的發(fā)光裝置的制造裝置以及制造方法。發(fā)光裝置的制造裝置，上述發(fā)光裝置具有排列于基板上的多個(gè)發(fā)光元件，上述發(fā)光裝置的制造裝置具有旋轉(zhuǎn)式的印版滾筒，具有用于在上述基板上印刷用來形成上述發(fā)光元件的有機(jī)層的印刷墨的柔印版；中間轉(zhuǎn)印體，與上述柔印版抵接并轉(zhuǎn)印上述印刷墨；頭部，向上述中間轉(zhuǎn)印體供給上述印刷墨；存儲(chǔ)部，將通過上述轉(zhuǎn)印而從上述中間轉(zhuǎn)印體移動(dòng)了上述印刷墨的區(qū)域作為印刷墨補(bǔ)充圖案而存儲(chǔ)；以及控制部，從上述頭部向上述中間轉(zhuǎn)印體的表面的上述印刷墨補(bǔ)充圖案的區(qū)域內(nèi)供給上述印刷墨。發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明，能夠有效地抑制形成有機(jī)EL元件這樣的微小結(jié)構(gòu)時(shí)的異物混入。


圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施方式1的印刷裝置的結(jié)構(gòu)的示意圖。圖2是表示印刷裝置的主要結(jié)構(gòu)的框圖。圖3是表示從網(wǎng)紋輥向印版滾筒的印刷墨的轉(zhuǎn)印動(dòng)作的圖。圖4是表示從印版滾筒向基板的印刷動(dòng)作的圖。圖5是表示發(fā)光裝置的結(jié)構(gòu)例的俯視圖。圖6是像素的驅(qū)動(dòng)電路的一例的等價(jià)電路圖。圖7是像素的俯視圖。圖8是圖7所示的VIII-VIII線截面圖。圖9A 圖9C是表示發(fā)光裝置的制造方法的圖。圖IOA 圖IOC是繼圖9表示發(fā)光裝置的制造方法的圖。圖11是表示本發(fā)明的實(shí)施方式2的印刷裝置的結(jié)構(gòu)的示意圖。圖12是表示本發(fā)明的實(shí)施方式3的印刷裝置的結(jié)構(gòu)以及動(dòng)作的示意圖。圖13是繼圖12表示印刷裝置的動(dòng)作的圖。圖14是表示本發(fā)明的實(shí)施方式4的印刷裝置的結(jié)構(gòu)的示意圖。圖15是表示本發(fā)明的實(shí)施方式5的印刷裝置的結(jié)構(gòu)的示意圖。圖16是表示本發(fā)明的實(shí)施方式6的印刷裝置的結(jié)構(gòu)的示意圖。圖17是表示印刷裝置的主要結(jié)構(gòu)的框圖。圖18是表示從網(wǎng)紋輥向印版滾筒的印刷墨的轉(zhuǎn)印動(dòng)作的圖。圖19是表示從印版滾筒向基板的印刷動(dòng)作的圖。圖20A以及圖20B是表示使用發(fā)光裝置的電子設(shè)備的圖。圖21是表示使用發(fā)光裝置的電子設(shè)備的圖。圖22是表示使用發(fā)光裝置的電子設(shè)備的圖。圖23是表示使用發(fā)光裝置的電子設(shè)備的圖。圖24A以及圖24B是表示頭的結(jié)構(gòu)例的示意圖。
具體實(shí)施例方式以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。(實(shí)施方式1)如圖1所示，實(shí)施方式1的印刷裝置300具有控制部301、存儲(chǔ)部302、頭303、收容有印刷墨340的印刷墨收容部304、網(wǎng)紋輥310、印版滾筒320、印刷臺(tái)330。控制部301具有CPU (中央處理單元，Central Processing Unit)等，對(duì)來自于后述的頭303的印刷墨的噴出以及網(wǎng)紋輥310和印版滾筒320的驅(qū)動(dòng)等印刷裝置300的功能整體進(jìn)行控制。存儲(chǔ)部302是由ROM(只讀存儲(chǔ)器，Read Only Memory)，RAM(隨機(jī)存取存儲(chǔ)器，Random Access Memory)等構(gòu)成的存儲(chǔ)裝置。在存儲(chǔ)部302中，存儲(chǔ)有例如控制部301執(zhí)行的程序以及基于印版滾筒320上的版的印刷圖案所涉及的數(shù)據(jù)等。另外，存儲(chǔ)部302例如作為控制部301執(zhí)行程序時(shí)的工作存儲(chǔ)器動(dòng)作。頭303基于控制部301的指示從頭303將印刷墨340向網(wǎng)紋輥310噴出。在本實(shí)施方式中，頭303具有壓電元件(未圖示)，通過所謂的噴墨方式噴出印刷墨340。另外，頭 303以如下方式構(gòu)成，S卩，一邊配合網(wǎng)紋輥310的長度在圖的X軸方向上掃描，一邊噴出印刷墨340。印刷墨收容部304在其內(nèi)部收容印刷墨340，并向頭303供給印刷墨340。本實(shí)施方式的印刷墨340是有機(jī)EL的例如成為發(fā)光層等的材料的規(guī)定的高分子材料的溶液。網(wǎng)紋輥310將圖的X軸方向作為軸并能夠旋轉(zhuǎn)地被支承，在X軸方向上具有規(guī)定的長度。在網(wǎng)紋輥310的外周面、即接收印刷墨340的面上，形成有作為淺凹部的多個(gè)網(wǎng)眼 311。在本說明書中，簡略化地顯示網(wǎng)眼311，網(wǎng)眼311以對(duì)應(yīng)于印刷條件具有規(guī)定的深度、 圖案等的方式設(shè)置。另外，頭303只要以如下方式配置，即，在網(wǎng)紋輥310的X軸方向上對(duì)應(yīng)于規(guī)定的長度，沿X軸配置多個(gè)將印刷墨340任意地噴出的噴出口，則能夠不在X軸方向上使頭303掃描地向網(wǎng)紋輥310的任意的網(wǎng)眼311內(nèi)噴出印刷墨340。印版滾筒320以圖的X軸方向?yàn)檩S并能夠能夠旋轉(zhuǎn)地被支承，在X軸方向具有規(guī)定的長度。如下所述，印版滾筒320以如下方式構(gòu)成，即，印版滾筒320除了能夠在X軸方向上旋轉(zhuǎn)之外，還能夠在與載置在印刷臺(tái)330上的基板31的印刷面的面方向中的與圖的X 軸方向正交的Y軸方向上移動(dòng)，并且，能夠在與X軸方向以及Y軸方向正交的、即相對(duì)于基板31的印刷面的法線方向的Z軸方向上移動(dòng)。在印版滾筒320的外周面上，形成有柔印版的1個(gè)或多個(gè)版的凸部321。版的凸部321以對(duì)應(yīng)于印刷的發(fā)光層等成為規(guī)定的圖案的方式形成，接收來自網(wǎng)紋輥310的印刷墨340并在印刷對(duì)象物的基板31上轉(zhuǎn)印印刷墨340。 印版滾筒320上的包含版的凸部321的柔印版的部分由樹脂以及橡膠等適合于柔印印刷的材料形成。另外，基板31在本實(shí)施方式中固定于印刷臺(tái)330上。印刷臺(tái)330是將作為印刷裝置300的印刷對(duì)象物的基板31載置在圖的XY平面上的臺(tái)。另外，印刷臺(tái)330具有例如用于固定基板31的機(jī)構(gòu)，但是在本說明書中省略其詳細(xì)說明。在圖2中，以框圖表示出與控制部301關(guān)聯(lián)的、更為詳細(xì)的結(jié)構(gòu)。印刷裝置300除了圖1所示的結(jié)構(gòu)物以外，還具有頭驅(qū)動(dòng)部305、驅(qū)動(dòng)部312、角度檢測部313、驅(qū)動(dòng)部322、 角度檢測部323。頭驅(qū)動(dòng)部305基于控制部301的指示，驅(qū)動(dòng)頭303內(nèi)置的壓電元件并噴出印刷墨 3400另外，頭驅(qū)動(dòng)部305具有驅(qū)動(dòng)用馬達(dá)(未圖示)以及軌道等機(jī)構(gòu)，使頭303在圖的X 軸方向上掃描。驅(qū)動(dòng)部312具有直接驅(qū)動(dòng)方式的驅(qū)動(dòng)用馬達(dá)(未圖示)，基于控制部301的指示， 以使從頭303噴出的印刷墨340到達(dá)網(wǎng)紋輥310的規(guī)定的位置的方式使網(wǎng)紋輥310旋轉(zhuǎn)。角度檢測部313是設(shè)置于網(wǎng)紋輥310或驅(qū)動(dòng)用馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)軸上的角度傳感器。角度檢測部313通過直接或間接地檢測網(wǎng)紋輥310的旋轉(zhuǎn)角度來檢測網(wǎng)紋輥310的位置，并將表示其位置的信號(hào)發(fā)送到控制部301。驅(qū)動(dòng)部322具有直接驅(qū)動(dòng)方式的驅(qū)動(dòng)用馬達(dá)(未圖示)，基于控制部301的指示， 以將噴出到網(wǎng)紋輥310上的印刷墨340轉(zhuǎn)印到印版滾筒320上的版的規(guī)定的位置上的方式，使印版滾筒320旋轉(zhuǎn)。另外，驅(qū)動(dòng)部322如下所述，使印版滾筒320在圖的Y軸方向以及Z軸方向上移動(dòng)。角度檢測部323是設(shè)置于印版滾筒320或驅(qū)動(dòng)用馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)軸上的角度傳感器。 角度檢測部323直接或間接地檢測印版滾筒320的位置，并將表示其位置的信號(hào)發(fā)送至控制部301。接下來，參照?qǐng)D3以及圖4對(duì)本實(shí)施方式的印刷裝置300的動(dòng)作進(jìn)行說明。另外， 以下所示的印刷裝置300的動(dòng)作只要沒有特別限定，則基于控制部301的指示進(jìn)行。另外， 在以下的說明中，網(wǎng)紋輥310的表面是指包含網(wǎng)眼311的范圍的網(wǎng)紋輥310的外周面。如圖3所示，頭303首先向網(wǎng)紋輥310噴出印刷墨340。如果不考慮從網(wǎng)紋輥310 向印版滾筒320的印刷墨的轉(zhuǎn)印，在該工序中，在網(wǎng)紋輥310的表面的全周上形成均勻的印刷墨膜341。另外，頭303通過在圖的X軸方向上掃描，覆蓋網(wǎng)紋輥310的長度范圍地噴出印刷墨340。配合上述的印刷墨膜341的形成工序，作為中間轉(zhuǎn)印體的網(wǎng)紋輥310向印版滾筒 320轉(zhuǎn)印印刷墨。此時(shí)，網(wǎng)紋輥310在箭頭Rl的方向上旋轉(zhuǎn)，印版滾筒320在箭頭Cl的方向上旋轉(zhuǎn)?？刂撇?01通過角度檢測部313檢測網(wǎng)紋輥310的位置并且通過角度檢測部 323檢測印版滾筒320的位置。然后，控制部301以正確地進(jìn)行印刷墨的轉(zhuǎn)印的方式控制驅(qū)動(dòng)部312而使網(wǎng)紋輥310旋轉(zhuǎn)，并且，控制驅(qū)動(dòng)部322而使印版滾筒320旋轉(zhuǎn)。另外，在各實(shí)施方式的說明中，網(wǎng)紋輥310以及印版滾筒320的一方或雙方也可以向與圖示相反的方向旋轉(zhuǎn)。另外，頭303在圍繞網(wǎng)紋輥310旋轉(zhuǎn)1周為止持續(xù)噴出印刷墨340。另外，在圖3 的例子中，并行地進(jìn)行從頭303向網(wǎng)紋輥310的印刷墨340的噴出和從網(wǎng)紋輥310向印版滾筒320的轉(zhuǎn)印動(dòng)作，但是，也可以在印刷墨340的噴出、即印刷墨膜341的形成結(jié)束后向印版滾筒320轉(zhuǎn)印印刷墨340。如圖3的例子所示，在印刷墨被轉(zhuǎn)印的印版滾筒320上的版的表面上形成印刷墨膜342。與之對(duì)應(yīng)的網(wǎng)紋輥310的表面成為印刷墨膜341被移動(dòng)且除去的狀態(tài)。當(dāng)向印版滾筒320上的版的印刷墨的轉(zhuǎn)印、即印刷墨膜342的形成結(jié)束時(shí)，如圖4 所示，印版滾筒320移動(dòng)到基板31上的規(guī)定的位置，從該位置開始向基板31印刷。此時(shí)， 印版滾筒320 —邊使設(shè)置在印版滾筒320上的版與基板31抵接，一邊在箭頭Cl的方向上旋轉(zhuǎn)，從而，在箭頭C2的方向上移動(dòng)。然后，在基板31的表面上形成例如成為有機(jī)EL元件的有機(jī)層的印刷墨膜343。頭303相對(duì)于印刷墨補(bǔ)充部位344，以在網(wǎng)紋輥310的表面全周再次均勻地形成印刷墨膜341的方式噴出印刷墨340，該印刷墨補(bǔ)充部位是指如上所述通過一部分印刷墨膜341轉(zhuǎn)印，網(wǎng)紋輥310的表面中的印刷墨340移動(dòng)并被除去的部位。在該工序中，印刷墨 340噴出的圖案(印刷墨補(bǔ)充圖案)在網(wǎng)紋輥310的表面中的印刷墨340移動(dòng)并被除去之前就預(yù)先存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部302中?？刂撇?01基于從角度檢測部313得到的網(wǎng)紋輥310的位置和印刷墨補(bǔ)充圖案，以網(wǎng)紋輥310的印刷墨補(bǔ)充部位344正確地面向頭303的方式控制驅(qū)動(dòng)部312。通過從頭303噴出印刷墨340，形成于印刷墨補(bǔ)充部位344上的補(bǔ)充印刷墨膜 341a與殘留的印刷墨膜341 —體化，在全周上形成均勻的印刷墨膜341。之后，如圖3所示那樣，能夠再次向印版滾筒320上的版轉(zhuǎn)印印刷墨以及向基板31印刷。
接下來，對(duì)使用上述的印刷裝置300制造的發(fā)光裝置的制造方法進(jìn)行說明。另外， 在以下的說明中，以使用了使通過有機(jī)EL元件產(chǎn)生的光經(jīng)由形成有有機(jī)EL元件的基板向外部射出的底部發(fā)射型的有機(jī)EL元件的主動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式的發(fā)光裝置為例進(jìn)行說明。另外，將本說明書的發(fā)光裝置作為顯示裝置使用。圖5所示的發(fā)光裝置10形成在上述的基板31上。發(fā)光裝置10在進(jìn)行顏色顯示的情況下，將具有分別以紅(R)、綠(G)、藍(lán)(B)3色中的任意一個(gè)發(fā)光色發(fā)光的發(fā)光元件的 3個(gè)像素30(30R、30G、30B)作為一組，該組在行方向(圖5的左右方向)上重復(fù)排列多個(gè)、 例如m個(gè)排列，在列方向(圖5的上下方向)上，具有相同色的發(fā)光色的發(fā)光元件的像素排列多個(gè)、例如η個(gè)。換言之，像素自身在行方向上排列: 個(gè)，發(fā)出RGB的各色光的像素以矩陣狀排列3mXn個(gè)。以下，對(duì)構(gòu)成發(fā)光裝置10的像素30進(jìn)行說明。另外，在本實(shí)施方式中，像素30R、 30G、30B的結(jié)構(gòu)相同，除了后述的發(fā)光層分別為發(fā)光層45R、45G、45B這一點(diǎn)不同。因此，以下作為單個(gè)的像素以像素30G為例進(jìn)行說明。像素30G如圖6所示，具有像素電路DS。像素電路DS例如如圖6所示，具有選擇晶體管Trll、驅(qū)動(dòng)晶體管Trl2、電容器Cs、有機(jī)EL元件(發(fā)光元件)0EL。如圖6所示，選擇晶體管Trll的柵極端子連接于掃描線Ls，漏極端子連接于數(shù)據(jù)線Ld，源極端子連接于接點(diǎn)mi。另外，驅(qū)動(dòng)晶體管Trl2的柵極端子連接于接點(diǎn)mi，漏極端子連接于陽極線La，源極端子連接于接點(diǎn)m2。電容器Cs連接于驅(qū)動(dòng)晶體管Trl2的柵極端子以及源極端子。另外，電容器Cs是附加設(shè)置于驅(qū)動(dòng)晶體管Trl2的柵極-源極間的輔助電容、或者驅(qū)動(dòng)晶體管Trl2的柵極-源極間的寄生電容和輔助容量構(gòu)成的電容成分。 另外，有機(jī)EL元件OEL的陽極電極(像素電極42)連接于接點(diǎn)附2，在陰極電極(對(duì)置電極 46)上施加基準(zhǔn)電壓Vss。掃描線Ls連接于配置在像素基板的周邊緣部上的掃描驅(qū)動(dòng)器(未圖示)，施加用于在規(guī)定時(shí)刻將在行方向上排列的多個(gè)像素30設(shè)定為選擇狀態(tài)的選擇電壓信號(hào)(掃描信號(hào))。另外，數(shù)據(jù)線Ld連接于配置在像素基板的周邊緣部的數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)器(未圖示)，在與上述像素30的選擇狀態(tài)同步的時(shí)刻施加對(duì)應(yīng)于發(fā)光數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)電壓(灰度信號(hào))。為了將排列在行方向上的多個(gè)驅(qū)動(dòng)晶體管Trl2設(shè)定為在連接于該驅(qū)動(dòng)晶體管Trl2的有機(jī)EL元件OEL的像素電極42(例如陽極電極)中流過與發(fā)光數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)電流的狀態(tài)，陽極線 La(供給電壓線)直接或者間接地連接于規(guī)定的高電位電源。即，陽極線La被施加比施加于有機(jī)EL元件OEL的對(duì)置電極46的基準(zhǔn)電壓Vss電位充分高的規(guī)定的高電位(供給電壓 Vdd)。另外，對(duì)置電極46例如以如下方式形成，即，該對(duì)置電極46直接或間接地連接于規(guī)定的低電位電源，相對(duì)于在基板31上排列成陣列狀的全部像素30通過單一的電極層形成， 被共通地施加規(guī)定的低電壓(基準(zhǔn)電壓Vss、例如接地電位GND)。另外，陽極線La和掃描線Ls使用形成各晶體管Trll、Trl2的源極電極、漏極電極的源極-漏極導(dǎo)電層而與上述源極電極、漏極電極一起形成。數(shù)據(jù)線Ld使用成為各晶體管Trll、Trl2的柵極電極的柵極導(dǎo)電層并與柵極電極一起形成。在數(shù)據(jù)線Ld和漏極電極 Trlld之間的絕緣膜32上，如圖7所示，形成接觸孔61，數(shù)據(jù)線Ld和漏極電極Trlld經(jīng)由接觸孔61導(dǎo)通。在掃描線Ls和柵極電極Trllg的兩端之間的絕緣膜32上，分別形成接觸孔62、63，掃描線Ls和柵極電極Trllg經(jīng)由接觸孔62、63導(dǎo)通。源極電極TrllS和柵極電極Trl2g之間的絕緣膜32上，形成接觸孔64，源極電極TrllS和柵極電極Trl2g經(jīng)由接觸孔64導(dǎo)通。另外，絕緣膜32由絕緣性材料、例如硅氧化膜、硅氮化膜等形成，以覆蓋數(shù)據(jù)線 Ld、柵極電極Trllg以及柵極電極Trl2g的方式形成在基板31上。其次，有機(jī)EL元件OEL如圖8所示，具有像素電極42、空穴注入層43、間層44、發(fā)光層45G、對(duì)置電極46。另外，在圖8中，為了說明的方便，作為對(duì)發(fā)光作出貢獻(xiàn)的發(fā)光功能層，以具有空穴注入層43和發(fā)光層45G的結(jié)構(gòu)作為例子。除此以外，發(fā)光功能層可以只是發(fā)光層45G，也可以具有空穴注入層43和發(fā)光層45G。在各像素的基板31上，形成使柵極導(dǎo)電層形成圖案的選擇晶體管Trll、驅(qū)動(dòng)晶體管Trl2的柵極電極Trllg、Trl2g。在與各像素鄰接的基板31上，使柵極導(dǎo)電層形成圖案， 并形成沿著列方向延伸的數(shù)據(jù)線Ld。像素電極(陽極電極)42由具有透光性的導(dǎo)電材料、例如ΙΤ0(銦錫氧化物、hdium Tin Oxide)，ZnO等構(gòu)成。各像素電極42與鄰接的其他的像素30的像素電極42通過層間絕緣膜47而被絕緣。層間絕緣膜47由絕緣性材料、例如氮化硅膜形成。層間絕緣膜47形成在像素電極42間，對(duì)晶體管Trll、Trl2和掃描線Ls、陽極線La進(jìn)行絕緣保護(hù)。在層間絕緣膜47上形成大致方形的開口部47a，通過該開口部47a劃出像素30G的發(fā)光區(qū)域。另外，在層間絕緣膜47上形成有隔壁48。在隔壁48上，在列方向(圖7的上下方向)上延伸的槽狀的開口部48a遍及各個(gè)像素30地形成。在這里，層間絕緣膜47以及形成在其上的隔壁48形成在行方向上鄰接地排列的各像素30的發(fā)光區(qū)域間的間隙區(qū)域。隔壁48使絕緣材料例如聚酰亞胺等感光性樹脂硬化，并形成于層間絕緣膜47上。 隔壁48如圖7所示那樣以集中對(duì)沿著列方向的多個(gè)像素的像素電極42開口的方式形成為條紋狀。另外，隔壁48的平面形狀不僅限定于此，也可以是對(duì)每個(gè)像素電極42具有開口部的格子狀。另外，隔壁48的上表面以比發(fā)光層45R、45G、45B的中央的平坦部的上表面高的方式形成。另外，可以在隔壁48的表面、層間絕緣膜47的表面實(shí)施疏液處理。在這里，疏液是指表現(xiàn)出拒絕水系的溶劑、有機(jī)系溶劑中的任意一種的性質(zhì)?？昭ㄗ⑷雽?3形成在像素電極42上?？昭ㄗ⑷雽?3具有向發(fā)光層45供給空穴的功能?？昭ㄗ⑷雽?3由能夠注入/傳輸空穴(hole)的有機(jī)高分子系的材料、例如PEDOT PSS(作為導(dǎo)電性聚合物的聚乙撐二氧噻吩和作為摻雜物的聚苯乙烯磺酸的混合物)構(gòu)成。間層44形成在空穴注入層43上。間層44具有攔截電子并在發(fā)光層45G內(nèi)使電子和空穴容易再結(jié)合的功能，使發(fā)光層45G的發(fā)光效率提高。發(fā)光層45G形成于空穴注入層43上。發(fā)光層45G(以及R、B)具有通過在陽極電極42和陰極電極46之間施加電壓而產(chǎn)生各像素的發(fā)光色的光的功能。發(fā)光層45G由包含能夠發(fā)出熒光或者磷光的公知的高分子發(fā)光材料、例如聚對(duì)苯乙烯撐系或聚芴系等的共軛雙鍵聚合物的發(fā)光材料構(gòu)成。另外，這些發(fā)光材料通過涂敷溶解(或分散)于適當(dāng)?shù)乃等軇┗蛘咚臍浠?、四甲苯、三甲苯，二甲苯等有機(jī)溶劑的溶液(分散液)，并使溶劑揮發(fā)而形成。對(duì)置電極(陰極電極)46在底部發(fā)射型的情況下設(shè)置于發(fā)光層45G側(cè)，為具有由導(dǎo)電材料、例如Li、Mg、Ca、Ba等功函數(shù)低的材料構(gòu)成的電子注入性的下層和由Al等光反射性導(dǎo)電金屬構(gòu)成的上層的層疊構(gòu)造。在本實(shí)施方式中，對(duì)置電極46由跨過多個(gè)像素30而形成的單一的電極層構(gòu)成，施加例如作為接地電位的基準(zhǔn)電壓Vss。另外，在使有機(jī)EL元件 OEL為頂部發(fā)射型的情況下，對(duì)置電極46設(shè)置于發(fā)光層45G側(cè)，為具有IOnm左右的膜厚的極薄的例如由Li、Mg、Ca、Ba等功函數(shù)低的材料構(gòu)成的低功函數(shù)層和IOOnm 200nm左右的膜厚的ITO等光透過性導(dǎo)電層的透明層疊結(jié)構(gòu)。在對(duì)置電極46上，設(shè)置有鈍化膜49。在鈍化膜49上設(shè)置有粘結(jié)層50。而且，在粘結(jié)層50上設(shè)置有密封基板51。接下來，使用圖9A 圖9C以及圖IOA 圖IOC對(duì)本實(shí)施方式的發(fā)光裝置的制造方法進(jìn)行說明。另外，由于選擇晶體管Trll與驅(qū)動(dòng)晶體管Trl2通過同一工序形成，所以省略一部分選擇晶體管Trll的形成的說明。如圖9A所示，首先，準(zhǔn)備由玻璃基板等構(gòu)成的基板31。然后，在該基板31上，通過濺射法、真空蒸鍍法等形成例如由Mo膜、Cr膜、Al膜、Cr/Al層疊膜、AlTi合金膜或者 AlNdTi合金膜、AlNi合金膜、MoNb合金膜等構(gòu)成的柵極導(dǎo)電膜，這如圖9A所示那樣，形成圖案為驅(qū)動(dòng)晶體管Trl2的柵極電極Trl2g的形狀。此時(shí)，雖然沒有圖示，但是也形成選擇晶體管Trll的柵極電極Trllg以及數(shù)據(jù)線Ld。接下來，如圖9B所示，通過CVD (化學(xué)氣相沉積，Chemical Vapor D印osition)法等在柵極電極Trl2g以及數(shù)據(jù)線Ld上形成絕緣膜 32。接下來，在絕緣膜32上通過CVD法等形成由非晶體硅等構(gòu)成的半導(dǎo)體層。然后， 在半導(dǎo)體層上通過CVD法等形成例如由SiN等構(gòu)成的絕緣膜。接著，將絕緣膜通過光刻等形成圖案，形成截止膜115。另外，在半導(dǎo)體層以及截止膜115上，通過CVD法等，形成由含有η型雜質(zhì)的非晶體硅等構(gòu)成的膜，通過光刻等使該膜和半導(dǎo)體層形成圖案，從而，如圖9B 所示，形成半導(dǎo)體層114和歐姆接觸層116、117。接下來，通過濺射法、真空蒸鍍法等在絕緣膜32上覆蓋ITO等透明導(dǎo)電膜或者光反射性導(dǎo)電膜以及ITO等透明導(dǎo)電膜之后，通過光刻形成圖案而形成像素電極42。接著，在絕緣膜32上形成作為貫通孔的接觸孔61 64，之后，通過濺射法、真空蒸鍍法等覆蓋由例如Mo膜、Cr膜、Al膜、Cr/Al層疊膜、AlTi合金膜或者AlNdTi合金膜、 AlNi合金膜、MoNb合金膜等構(gòu)成的源極-漏極導(dǎo)電膜，通過光刻形成圖案而如圖9B所示那樣形成漏極電極Trl2d以及源極電極Trl2s。與此同時(shí)，形成陽極線La。此時(shí)，驅(qū)動(dòng)晶體管 Trl2的源極電極Trl2s以分別與像素電極42的一部分重合的方式形成。接著，如圖9C所示，以覆蓋驅(qū)動(dòng)晶體管Trl2等的方式通過CVD法等形成由硅氮化膜構(gòu)成的層間絕緣膜47，之后，通過光刻形成開口部47a。接下來，將感光性聚酰亞胺以覆蓋層間絕緣膜47的方式涂敷，通過經(jīng)由與隔壁48的形狀對(duì)應(yīng)的掩膜并曝光、顯影而形成圖案，如圖9C所示，形成具有開口部48a的隔壁48。接下來，如圖IOA所示，形成發(fā)光層45G。在這里，將成為空穴注入層的PEDOT =PSS 的溶液作為印刷墨340，通過上述印刷裝置300在由開口部47a包圍的像素電極42上選擇性地印刷。印刷墨340為，對(duì)PEDOT :PSS添加用于調(diào)整粘度以及表面張力的酒精、非離子系界面活性劑、乙二醇等，調(diào)整為PEDOT =PSS印刷墨。接下來，將基板31在大氣環(huán)境下以 150°C 250°C進(jìn)行5 30分鐘干燥。由此，使有機(jī)化合物含有液的溶劑揮發(fā)，形成空穴注入層43。有機(jī)化合物含有液在加熱環(huán)境下被涂敷也可。另外，作為柔印版的印版滾筒320上的版的凸部321的圖案對(duì)應(yīng)于被印刷的各層的圖案，而使用光刻法形成預(yù)先規(guī)定的圖案。 另外，在空穴注入層用的印刷裝置300中，由于印版滾筒320上的版的凸部321的厚度比層間絕緣膜47的厚度以及隔壁48的厚度的和充分高，所以印版滾筒320上的版能夠使印刷墨膜；342的印刷墨340容易地突出在像素電極42上。接下來，如圖IOB所示，形成間層44。在這里，將含有成為間層44的材料的有機(jī)化合物含有液作為印刷墨340，通過印刷裝置300在由開口部47a包圍的空穴注入層43上印刷。接著，在氮或者氬等不活性環(huán)境中進(jìn)行加熱干燥，或者在真空中進(jìn)行加熱干燥，進(jìn)行殘留溶劑的除去并形成間層44。有機(jī)化合物含有液也可以在加熱環(huán)境下涂敷。另外，空穴注入層43以及間層44即使在本實(shí)施方式那樣的具有多個(gè)顏色的發(fā)光層45的情況下，也可以由共通的材料形成。另外，在間層用的印刷裝置300中，由于印版滾筒320上的版的凸部 321的厚度比層間絕緣膜47的厚度以及隔壁48的厚度的和充分高，所以印版滾筒320上的版能夠使印刷墨膜；342的印刷墨340容易地突出在像素電極43上。接下來，形成發(fā)光層45G。在這里，將含有發(fā)光聚合物材料(R、G、B)的有機(jī)化合物含有液作為印刷墨340，通過印刷裝置300在由開口部47a包圍的間層44上印刷。印刷墨 340使聚芴系的高分子發(fā)光材料溶解于甲苯、二甲苯、三甲苯、四甲苯等溶劑，調(diào)整為規(guī)定的濃度。溶劑也可以是上述的混合溶劑。接下來，在露點(diǎn)-70°C以下的干燥環(huán)境下或者在真空中以80 150°C。且為發(fā)光層的玻璃轉(zhuǎn)移溫度以下的溫度加熱10 30分鐘，除去膜中的溶劑。另外，在發(fā)光層用的印刷裝置300中，由于印版滾筒320上的版的凸部321的厚度比層間絕緣膜47的厚度以及隔壁48的厚度的和充分高，所以，印版滾筒320上的版能夠使印刷墨膜342的印刷墨340容易地突出在間層44上。接下來，如圖IOC所示，形成對(duì)置電極46。在這里，在保持干燥環(huán)境的狀態(tài)下進(jìn)行冷卻之后，在形成到發(fā)光層45G的基板31上，通過真空蒸鍍或電子束蒸鍍法，以蒸鍍法形成 Li、Mg、LiF、Ca、Ba等堿金屬、堿土類金屬、或者它們的化合物。接著，通過蒸鍍法或者電子束蒸鍍法形成Al等的光反射性導(dǎo)電層。由此，形成2層結(jié)構(gòu)的對(duì)置電極46。接下來，如圖8所示，通過在對(duì)置電極46上以電子束蒸鍍法、濺射法或者CVD法形成SiN、SiON等的層，形成鈍化膜49。接著，在鈍化膜49上涂敷由紫外線硬化樹脂或者熱硬化樹脂構(gòu)成的粘結(jié)層50，將由玻璃或者金屬蓋形成的密封基板51貼合于涂敷面。接著， 通過紫外線或者熱使粘結(jié)層50硬化，使基板31和密封基板51接合。通過以上步驟，制造發(fā)光裝置10。如以上說明的那樣，在本實(shí)施方式中，在柔印印刷中，網(wǎng)紋輥310上的印刷墨膜 341中，僅對(duì)通過向印版滾筒320上的版的轉(zhuǎn)印而使印刷墨340移動(dòng)并除去的部分，通過噴墨法噴出印刷墨340，形成均勻的印刷墨340。由此，不需要如以往的柔印印刷那樣通過使刮刀在網(wǎng)紋輥的表面上滑動(dòng)來除去印刷墨，能夠抑制異物的混入。特別是，在將本發(fā)明用于如有機(jī)EL元件那樣在陰極和陽極間形成數(shù)百nm左右的微小的構(gòu)造的有機(jī)層的情況下，能夠減低電極間的短路所導(dǎo)致的暗斑等不良產(chǎn)生的可能性，所以特別適合于應(yīng)用。(實(shí)施方式2)如圖11所示，實(shí)施方式2的印刷裝置400具有頭303a、30;3b這2個(gè)頭，與具有1 個(gè)頭303的實(shí)施方式1的印刷裝置300不同。另外，在以下的說明中，對(duì)與已經(jīng)說明了的實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)物賦予相同符號(hào)，并省略其詳細(xì)說明。
在頭303a上連接有印刷墨收容部304a。在印刷墨收容部30 中收容有與實(shí)施方式1相同規(guī)定濃度的印刷墨；340。頭303a以能夠與實(shí)施方式1同樣地將印刷墨340向網(wǎng)紋輥310噴出的方式配置。在頭30 上連接有印刷墨收容部304b。在印刷墨收容部304b中收容有比印刷墨 340濃度低的印刷墨。頭30 以與頭303a同樣地一邊在基板31的長度方向(圖的X軸方向)上掃描，一邊向網(wǎng)紋輥310噴出印刷墨的方式配置。接下來，對(duì)印刷裝置400的動(dòng)作進(jìn)行說明。如圖11所示，在本實(shí)施方式中，通過頭 303a,303b這2個(gè)頭進(jìn)行圖4中所說明的那樣的印刷墨的補(bǔ)充。首先，對(duì)網(wǎng)紋輥310表面的印刷墨補(bǔ)充部位344，從頭303a噴出規(guī)定的濃度的印刷墨，形成補(bǔ)充印刷墨膜341a。接著，從頭30 噴出比規(guī)定的濃度低的印刷墨。印刷墨從頭30 的噴出，是為了補(bǔ)充網(wǎng)紋輥310旋轉(zhuǎn)期間蒸發(fā)的溶劑，而對(duì)印刷墨沒有轉(zhuǎn)印的部分噴出或者對(duì)網(wǎng)紋輥310整體均勻地噴出的。這樣，通過補(bǔ)充印刷墨膜341a與殘留的印刷墨膜341接觸，濃度相對(duì)低的印刷墨和相對(duì)高的印刷墨340以在印刷墨膜341內(nèi)成為均等的印刷墨濃度的方式移動(dòng)、擴(kuò)散。這些頭303a、303b的動(dòng)作與實(shí)施方式1的頭303同樣，基于通過角度檢測部313檢測的網(wǎng)紋輥310的位置，控制部301進(jìn)行控制。這樣，通過涂敷多種濃度的印刷墨，能夠在全周形成濃度以及膜厚的均勻性更高的印刷墨膜341。因此，根據(jù)本實(shí)施方式，形成于基板31上的印刷墨膜343因?yàn)槟軌蛱岣呔鶆蛐远鴥?yōu)選。另外，在本實(shí)施方式中，對(duì)應(yīng)于印刷條件，也可以代替濃度低的印刷墨而僅使用溶劑。另外，在本實(shí)施方式中，設(shè)置有2個(gè)噴墨頭即頭303a、303b，但是也可以設(shè)置3個(gè)以上， 也可以從各個(gè)頭噴出濃度不同的印刷墨或者僅噴出溶劑。(實(shí)施方式3)如圖12所示，實(shí)施方式3的印刷裝置500在使用將實(shí)施方式1的網(wǎng)紋輥310展開成平面狀的網(wǎng)紋板350這一點(diǎn)上與實(shí)施方式1的印刷裝置300不同。另外，對(duì)上面沒有說明的結(jié)構(gòu)物進(jìn)行以下說明。網(wǎng)紋板350在本實(shí)施方式中是形成為矩形的板狀體的印刷墨收容部。在網(wǎng)紋板 350的一方的主面、即與印版滾筒320對(duì)置的一側(cè)的面上，形成有作為與網(wǎng)紋輥310的網(wǎng)眼 311相當(dāng)?shù)臏\的凹部即網(wǎng)眼351。網(wǎng)眼351以對(duì)應(yīng)于印刷條件等具有規(guī)定的深度、圖案等的
方式設(shè)置。網(wǎng)紋板臺(tái)360是固定網(wǎng)紋板350的臺(tái)狀的構(gòu)件。網(wǎng)紋板臺(tái)360以至少能夠在圖的 Y軸方向上移動(dòng)的方式構(gòu)成。驅(qū)動(dòng)部361相當(dāng)于實(shí)施方式1的驅(qū)動(dòng)部312。驅(qū)動(dòng)部361具有線性馬達(dá)方式的驅(qū)動(dòng)用馬達(dá)(未圖示)，基于控制部301的指示，使網(wǎng)紋板臺(tái)360移動(dòng)到規(guī)定的位置。位置檢測部362與實(shí)施方式1的角度檢測部313相當(dāng)。位置檢測部362是設(shè)置于網(wǎng)紋板350、網(wǎng)紋板臺(tái)360或者驅(qū)動(dòng)用馬達(dá)上的位置傳感器。位置檢測部362直接或者間接地檢測網(wǎng)紋板350的位置，將表示該位置的信號(hào)發(fā)送至控制部301。頭驅(qū)動(dòng)部306使頭303在圖的Y軸方向上移動(dòng)，使頭303在圖的X軸方向上掃描。頭驅(qū)動(dòng)部306與實(shí)施方式1的頭驅(qū)動(dòng)部305相當(dāng)。頭驅(qū)動(dòng)部306具有X軸方向以及Y軸方向上的導(dǎo)向軌道(在圖12中僅在Y軸方向上)，在能夠使頭303不僅在圖的X軸方向而且在Y軸方向上掃描這一點(diǎn)上，與頭驅(qū)動(dòng)部305不同。另外，頭驅(qū)動(dòng)部306基于控制部301的指示，驅(qū)動(dòng)頭303內(nèi)置的壓電元件并噴出印刷墨340。接下來，參照?qǐng)D12以及圖13對(duì)本實(shí)施方式的印刷裝置500的動(dòng)作進(jìn)行說明。首先，頭303在網(wǎng)紋板350的表面噴出印刷墨340。由此，在網(wǎng)紋板350的整個(gè)面上形成印刷墨膜；341。此時(shí)，印版滾筒320在不干涉印刷墨340的噴出的位置待機(jī)。接下來，如圖12所示，印版滾筒320移動(dòng)到網(wǎng)紋板350上的規(guī)定的位置。接著，印版滾筒320 —邊使印版滾筒320上的版抵接于網(wǎng)紋板350，一邊在箭頭Cl的方向上旋轉(zhuǎn)，并且在箭頭C2的方向上行進(jìn)。另外，載置網(wǎng)紋板350的網(wǎng)紋板臺(tái)360在箭頭C2的相反方向的箭頭Rl的方向上移動(dòng)。由此，印刷墨膜341被轉(zhuǎn)印到印版滾筒320上的版上，在印版滾筒320上的版的表面上形成實(shí)施方式1的圖3所示那樣的印刷墨膜342。另外，在向印版滾筒320上的版轉(zhuǎn)印印刷墨時(shí)，網(wǎng)紋板350也可以停止，但是，為了利用用于印刷墨轉(zhuǎn)印的適當(dāng)?shù)耐茐憾玫郊魯嗔?，?yōu)選在與印版滾筒320的行進(jìn)方向相反的方向(箭頭Rl)上行進(jìn)。接下來，如圖13所示，印版滾筒320與實(shí)施方式1的圖4同樣地在基板31上進(jìn)行印刷。由此，在基板31上形成印刷墨膜343。另外，頭303向網(wǎng)紋板350上的印刷墨膜341 中的印刷墨340移動(dòng)并被除去的部分3M補(bǔ)充印刷墨340。此時(shí)，頭驅(qū)動(dòng)部306使頭303向箭頭Sl的方向移動(dòng)，驅(qū)動(dòng)部361使網(wǎng)紋板臺(tái)360向箭頭Sl的相反方向的箭頭Rl的方向移動(dòng)。在印版滾筒320向基板31轉(zhuǎn)印的期間，如果頭303向印刷墨膜341中的印刷墨340移動(dòng)并被除去的部分邪4補(bǔ)充印刷墨340，則在印版滾筒320向基板31的轉(zhuǎn)印結(jié)束后，通過再次接觸網(wǎng)紋板350上的印刷墨膜341，而迅速供給接下來的轉(zhuǎn)印的印刷墨，能夠進(jìn)一步提高制造效率。如本實(shí)施方式的印刷裝置500那樣，通過使網(wǎng)紋輥310平面化并成為網(wǎng)紋板350， 能夠提高維護(hù)性。另外，代替頭驅(qū)動(dòng)部306，也可以使用與實(shí)施方式1同樣的頭驅(qū)動(dòng)部305。 在該情況下，能夠使頭303的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)簡略化或者省略(在后述的線列頭(Iinehead)方式的情況下)，通過網(wǎng)紋板臺(tái)360移動(dòng)，在網(wǎng)紋板350整體上涂敷印刷墨340。(實(shí)施方式4)如圖14所示，實(shí)施方式4的印刷裝置600在使頭303成為與實(shí)施方式2同樣的頭 303a,303b這兩個(gè)頭的這一點(diǎn)上，與實(shí)施方式3的印刷裝置500不同。印刷裝置600的動(dòng)作基本上與印刷裝置500 —樣。另外，與實(shí)施方式2 —樣，頭 303a噴出規(guī)定濃度的印刷墨340，頭30 噴出濃度比印刷墨340低的印刷墨或者僅噴出溶劑。頭30 能夠在網(wǎng)紋板350的表面的一部分或者全部上涂敷印刷墨或者溶劑。(實(shí)施方式5)如圖15所示，實(shí)施方式5的印刷裝置700在具有2個(gè)網(wǎng)紋板350a、350b這點(diǎn)上， 以及，在具有2個(gè)清潔單元371、372這一點(diǎn)上，與實(shí)施方式3的印刷裝置500不同。另外， 為了簡略化，省略圖示，以下說明以外的結(jié)構(gòu)與實(shí)施方式3相同。網(wǎng)紋板350a、350b分別與實(shí)施方式3的網(wǎng)紋板350相同。在本實(shí)施方式中，網(wǎng)紋板350a、350b載置在共通的網(wǎng)紋板臺(tái)360上。另外，在本實(shí)施方式中，基于控制部301的指示，驅(qū)動(dòng)部361不僅能夠使網(wǎng)紋板臺(tái)360在圖的Y軸方向上移動(dòng)，而且能夠在X軸方向(箭頭Al)上移動(dòng)。另外，網(wǎng)紋板臺(tái)360以在向著箭頭Al的方向移動(dòng)的情況下主要成為2個(gè)狀態(tài)的方式構(gòu)成。1個(gè)如圖15所示，為網(wǎng)紋板350a位于清潔位置Pcl而網(wǎng)紋板350b位于印刷墨轉(zhuǎn)印位置PO的狀態(tài)。另一個(gè)是網(wǎng)紋板350a位于印刷墨轉(zhuǎn)印位置PO而網(wǎng)紋板350b位于清潔位置Pc2的狀態(tài)。另外，也可以將網(wǎng)紋板臺(tái)360分開為與網(wǎng)紋板350a相對(duì)的部分和與網(wǎng)紋板350b相對(duì)的部分，但是，在本實(shí)施方式那樣的作為一體的情況下，具有2個(gè)網(wǎng)紋板的相對(duì)位置關(guān)系不變的優(yōu)點(diǎn)。清潔單元371是在網(wǎng)紋板350a位于清潔位置Pcl時(shí)，在網(wǎng)紋板350a上進(jìn)行掃描、 清潔、擦拭、大氣壓等離子體清潔、UV(紫外線)照射等的清潔裝置。由此，清潔單元371能夠進(jìn)行網(wǎng)紋板350a的維護(hù)。清潔單元372是在網(wǎng)紋板350b位于清潔位置Pc2時(shí)，在網(wǎng)紋板350b上進(jìn)行掃描、 清潔、擦拭、大氣壓等離子體清潔、UV(紫外線)照射等的清潔裝置。由此，清潔單元372能夠進(jìn)行網(wǎng)紋板350b的維護(hù)。另外，清潔單元371、372都是根據(jù)控制部301的指示動(dòng)作，能夠在圖的Y軸方向(箭頭Hl)上移動(dòng)。接下來對(duì)印刷裝置700的動(dòng)作進(jìn)行說明。印刷墨340向網(wǎng)紋板350a或者網(wǎng)紋板 350b的涂敷以及印刷墨340向印版滾筒320上的版的轉(zhuǎn)印在圖15的印刷墨轉(zhuǎn)印位置PO進(jìn)行。這之后，到向基板31的印刷為止的動(dòng)作與實(shí)施方式3—樣。印版滾筒320在圖的Y軸方向(箭頭Ο)上往復(fù)，重復(fù)上述的工序。另外，在本實(shí)施方式中，交替使用2個(gè)網(wǎng)紋板350a、350b。例如，在使用網(wǎng)紋板350a 進(jìn)行上述的印刷之后，當(dāng)印刷次數(shù)達(dá)到規(guī)定次數(shù)時(shí)，驅(qū)動(dòng)部361以網(wǎng)紋板350a位于清潔位置Pcl的方式使網(wǎng)紋板臺(tái)360移動(dòng)。接著，清潔單元371通過上述方法對(duì)網(wǎng)紋板350a的表面進(jìn)行清潔。在網(wǎng)紋板350a在清潔位置Pcl進(jìn)行維護(hù)的過程中，能夠在印刷中使用的網(wǎng)紋板 350b位于印刷墨轉(zhuǎn)印位置P0。因此，并行進(jìn)行網(wǎng)紋板350a的維護(hù)，而能夠使用網(wǎng)紋板350b 繼續(xù)進(jìn)行印刷。當(dāng)使用網(wǎng)紋板350b完成規(guī)定次數(shù)的印刷后，驅(qū)動(dòng)部361以網(wǎng)紋板350b位于清潔位置Pc2的方式使網(wǎng)紋板臺(tái)360移動(dòng)。之后，同樣地交替進(jìn)行網(wǎng)紋板350a與網(wǎng)紋板 350b的印刷的使用和維護(hù)。如以上說明的那樣，通過設(shè)置多個(gè)印刷墨收容部(網(wǎng)紋板350a、350b)，能夠提高作為印刷裝置的開工率。另外，在本實(shí)施方式中，雖然對(duì)使用網(wǎng)紋板的情況進(jìn)行了記載，但是，也可以準(zhǔn)備2組實(shí)施方式1那樣的網(wǎng)紋輥，交替進(jìn)行印刷的使用和維護(hù)。另外，在本實(shí)施方式中，為了圖示的方便使用2個(gè)清潔單元371、372，但是，作為一體的清潔裝置構(gòu)成也可。(實(shí)施方式6)以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。如圖16所示，本實(shí)施方式的印刷裝置1300具有控制部301、存儲(chǔ)部302、頭303、收容有印刷墨340的印刷墨收容部304、網(wǎng)紋輥310、印版滾筒1320、印刷臺(tái)330?？刂撇?01具有CPU (中央處理單元，Central Processing Unit)等，對(duì)來自于后述的頭303的印刷墨的噴出以及網(wǎng)紋輥310和印版滾筒1320的驅(qū)動(dòng)等印刷裝置1300的功能整體進(jìn)行控制。存儲(chǔ)部302是由ROM(只讀存儲(chǔ)器，Read Only Memory)，RAM(隨機(jī)存取存儲(chǔ)器， Random Access Memory)等構(gòu)成的存儲(chǔ)裝置。在存儲(chǔ)部302中，存儲(chǔ)有例如控制部301執(zhí)行的程序以及基于印版滾筒1320上的版的印刷圖案所涉及的數(shù)據(jù)等。另外，存儲(chǔ)部302例如作為控制部301執(zhí)行程序時(shí)的工作存儲(chǔ)器動(dòng)作。頭303基于控制部301的指示從頭303將印刷墨340向網(wǎng)紋輥310噴出。在本實(shí)施方式中，頭303具有壓電元件(未圖示)，通過所謂的噴墨方式噴出印刷墨340。另外，頭 303以如下方式構(gòu)成，即，一邊配合網(wǎng)紋輥310的長度在圖的X軸方向上掃描，一邊噴出印刷墨340。印刷墨收容部304在其內(nèi)部收容印刷墨340，并向頭303供給印刷墨340。本實(shí)施方式的印刷墨340是有機(jī)EL的例如成為發(fā)光層等的材料的規(guī)定的高分子材料的溶液。網(wǎng)紋輥310將圖的X軸方向作為軸并能夠旋轉(zhuǎn)地被支承，在X軸方向上具有規(guī)定的長度。在網(wǎng)紋輥310的外周面、即接收印刷墨340的面上，形成有作為淺凹部的多個(gè)網(wǎng)眼 311。在本說明書中，簡略化地顯示網(wǎng)眼311，網(wǎng)眼311以對(duì)應(yīng)于印刷條件具有規(guī)定的深度、 圖案等的方式設(shè)置。另外，頭303只要以如下方式配置，即，在網(wǎng)紋輥310的X軸方向上對(duì)應(yīng)于規(guī)定的長度，沿X軸配置多個(gè)將印刷墨340任意地噴出的噴出口，則能夠不在X軸方向上使頭303掃描地向網(wǎng)紋輥310的任意的網(wǎng)眼311內(nèi)噴出印刷墨340。印版滾筒1320以圖的X軸方向?yàn)檩S并能夠能夠旋轉(zhuǎn)地被支承，在X軸方向具有規(guī)定的長度。如下所述，印版滾筒1320以如下方式構(gòu)成，即，印版滾筒1320除了能夠在X軸方向上旋轉(zhuǎn)之外，還能夠在與載置在印刷臺(tái)330上的基板31的印刷面的面方向中的與圖的 X軸方向正交的Y軸方向上移動(dòng)，并且，能夠在與X軸方向以及Y軸方向正交的、即相對(duì)于基板31的印刷面的法線方向的Z軸方向上移動(dòng)。在印版滾筒1320的外周面上，形成有柔印版的1個(gè)或多個(gè)版的凸部1321。版的凸部1321以對(duì)應(yīng)于印刷的發(fā)光層等成為規(guī)定的圖案的方式形成，接收來自網(wǎng)紋輥310的印刷墨340并在印刷對(duì)象物的基板31上轉(zhuǎn)印印刷墨 340。印版滾筒1320上的包含版的凸部1321的柔印版的部分由樹脂以及橡膠等適合于柔印印刷的材料形成。另外，基板31在本實(shí)施方式中固定于印刷臺(tái)330上。印刷臺(tái)330是將作為印刷裝置1300的印刷對(duì)象物的基板31載置在圖的XY平面上的臺(tái)。另外，印刷臺(tái)330具有例如用于固定基板31的機(jī)構(gòu)，但是在本說明書中省略其詳細(xì)說明。在圖17中，以框圖表示出與控制部301關(guān)聯(lián)的、更為詳細(xì)的結(jié)構(gòu)。印刷裝置1300 除了圖21所示的結(jié)構(gòu)物以外，還具有頭驅(qū)動(dòng)部305、驅(qū)動(dòng)部312、角度檢測部313、驅(qū)動(dòng)部 322、角度檢測部323。頭驅(qū)動(dòng)部305基于控制部301的指示，驅(qū)動(dòng)頭303內(nèi)置的壓電元件并噴出印刷墨 3400另外，頭驅(qū)動(dòng)部305具有驅(qū)動(dòng)用馬達(dá)(未圖示)以及軌道等機(jī)構(gòu)，使頭303在圖的X 軸方向上掃描。驅(qū)動(dòng)部312具有直接驅(qū)動(dòng)方式的驅(qū)動(dòng)用馬達(dá)(未圖示)，基于控制部301的指示， 以使從頭303噴出的印刷墨340到達(dá)網(wǎng)紋輥310的規(guī)定的位置的方式使網(wǎng)紋輥310旋轉(zhuǎn)。角度檢測部313是設(shè)置于網(wǎng)紋輥310或驅(qū)動(dòng)用馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)軸上的角度傳感器。角度檢測部313通過直接或間接地檢測網(wǎng)紋輥310的位置，并將表示其位置的信號(hào)發(fā)送到控制部301。驅(qū)動(dòng)部322具有直接驅(qū)動(dòng)方式的驅(qū)動(dòng)用馬達(dá)(未圖示)，基于控制部301的指示， 以將噴出到網(wǎng)紋輥310上的印刷墨340轉(zhuǎn)印到印版滾筒1320上所具有的版的規(guī)定的位置上的方式，使印版滾筒1320旋轉(zhuǎn)。另外，驅(qū)動(dòng)部322如下所述，使印版滾筒1320在圖的Y軸方向以及Z軸方向上移動(dòng)。角度檢測部323是設(shè)置于印版滾筒1320或驅(qū)動(dòng)用馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)軸上的角度傳感器。 角度檢測部323直接或間接地檢測印版滾筒1320的位置，并將表示其位置的信號(hào)發(fā)送至控制部301。接下來，參照?qǐng)D18以及圖19對(duì)本實(shí)施方式的印刷裝置1300的動(dòng)作進(jìn)行說明。另外，以下所示的印刷裝置1300的動(dòng)作只要沒有特別限定，則基于控制部301的指示進(jìn)行。另外，在以下的說明中，網(wǎng)紋輥310的表面是指包含網(wǎng)眼311的范圍的網(wǎng)紋輥310的外周面。首先，在控制部301中，基于來自與網(wǎng)紋輥310對(duì)應(yīng)的角度檢測部313的信號(hào)，計(jì)算出網(wǎng)紋輥310的位置。接著，控制部301由存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部302的印刷圖案計(jì)算出網(wǎng)紋輥 310的表面的印刷墨涂敷區(qū)域。在本實(shí)施方式中，印刷墨涂敷區(qū)域?yàn)橛“鏉L筒1320所具有的版的凸部1321的表面。然后，頭303向計(jì)算出的印刷墨涂敷區(qū)域噴出印刷墨340，在網(wǎng)紋輥310的表面形成布滿印刷墨340的印刷墨膜341。此時(shí)，網(wǎng)紋輥310在箭頭Rl的方向上旋轉(zhuǎn)。另外，頭 303通過在圖的X軸方向上掃描而覆蓋網(wǎng)紋輥310的長度范圍地噴出印刷墨340。涂敷于作為中間轉(zhuǎn)印體的網(wǎng)紋輥310的印刷墨膜341的印刷墨340，通過網(wǎng)紋輥 310與印版滾筒1320上的版的抵接而轉(zhuǎn)印到印版滾筒1320的版的凸部1321上。印版滾筒 1320在箭頭Cl的方向上旋轉(zhuǎn)。在圖18的例子中，某個(gè)版的凸部1321上的印刷墨膜342的印刷墨340已經(jīng)從網(wǎng)紋輥310被轉(zhuǎn)印，接著，對(duì)于其相鄰的版的凸部1321，沒有圖示的印刷墨膜341從網(wǎng)紋輥310被轉(zhuǎn)印。通過這樣從網(wǎng)紋輥310向印版滾筒1320上的版的轉(zhuǎn)印，大致全部的印刷墨膜341從網(wǎng)紋輥310移動(dòng)并被除去。另外，在本實(shí)施方式的說明中，網(wǎng)紋輥 310以及印版滾筒1320的一方或雙方也可以向與圖示相反的方向旋轉(zhuǎn)。通過印刷墨的轉(zhuǎn)印，當(dāng)印版滾筒1320所具有的版的印刷墨膜342的形成結(jié)束時(shí)， 接著，驅(qū)動(dòng)部322使印版滾筒1320移動(dòng)到基板31上的規(guī)定的位置。之后，如圖19所示，印刷墨340在與基板31接觸的同時(shí)在箭頭Cl的方向上旋轉(zhuǎn)，并且，在箭頭C2的方向上行進(jìn)， 與此同時(shí)，將印刷墨膜342轉(zhuǎn)印到基板31上。由此，在基板31上，形成印刷墨膜343。另外，如上所述，從向印版滾筒1320上的版轉(zhuǎn)印后的網(wǎng)紋輥310的表面除去大致全部的印刷墨膜341。接下來，對(duì)使用上述的印刷裝置1300制造的發(fā)光裝置的制造方法進(jìn)行說明。另外，在以下的說明中，以使用了使通過有機(jī)EL元件產(chǎn)生的光經(jīng)由形成有有機(jī)EL元件的基板向外部射出的底部發(fā)射型的有機(jī)EL元件的主動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式的發(fā)光裝置為例進(jìn)行說明。另外， 將本說明書的發(fā)光裝置作為顯示裝置使用。圖5所示的發(fā)光裝置10形成在上述的基板31上。發(fā)光裝置10在進(jìn)行顏色顯示的情況下，將具有分別以紅(R)、綠(G)、藍(lán)(B) 3色中的任意一個(gè)發(fā)光色發(fā)光的發(fā)光元件的 3個(gè)像素30(30R、30G、30B)作為一組，該組在行方向(圖5的左右方向)上重復(fù)排列多個(gè)、 例如m個(gè)排列，在列方向(圖5的上下方向)上，具有相同色的發(fā)光色的發(fā)光元件的像素排列多個(gè)、例如η個(gè)。換言之，像素自身在行方向上排列: 個(gè)，發(fā)出RGB的各色光的像素以矩陣狀排列3mXn個(gè)。以下，對(duì)構(gòu)成發(fā)光裝置10的像素30進(jìn)行說明。另外，在本實(shí)施方式中，像素30R、 30G、30B的結(jié)構(gòu)相同，除了后述的發(fā)光層分別為發(fā)光層45R、45G、45B這一點(diǎn)不同。因此，以下作為單個(gè)的像素以像素30G為例進(jìn)行說明。像素30G如圖6所示，具有像素電路DS。像素電路DS例如如圖6所示，具有選擇晶體管Trll、驅(qū)動(dòng)晶體管Trl2、電容器Cs、有機(jī)EL元件(發(fā)光元件)0EL。如圖6所示，選擇晶體管Trll的柵極端子連接于掃描線Ls，漏極端子連接于數(shù)據(jù)線Ld，源極端子連接于接點(diǎn)mi。另外，驅(qū)動(dòng)晶體管Trl2的柵極端子連接于接點(diǎn)mi，漏極端子連接于陽極線La，源極端子連接于接點(diǎn)m2。電容器Cs連接于驅(qū)動(dòng)晶體管Trl2的柵極端子以及源極端子。另外，電容器Cs是附加設(shè)置于驅(qū)動(dòng)晶體管Trl2的柵極-源極間的輔助電容、或者驅(qū)動(dòng)晶體管Trl2的柵極-源極間的寄生電容和輔助容量構(gòu)成的電容成分。 另外，有機(jī)EL元件OEL的陽極電極(像素電極42)連接于接點(diǎn)附2，在陰極電極(對(duì)置電極 46)上施加基準(zhǔn)電壓Vss。掃描線Ls連接于配置在像素基板的周邊緣部上的掃描驅(qū)動(dòng)器(未圖示)，施加用于在規(guī)定時(shí)刻將在行方向上排列的多個(gè)像素30設(shè)定為選擇狀態(tài)的選擇電壓信號(hào)(掃描信號(hào))。另外，數(shù)據(jù)線Ld連接于配置在像素基板的周邊緣部的數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)器(未圖示)，在與上述像素30的選擇狀態(tài)同步的時(shí)刻施加對(duì)應(yīng)于發(fā)光數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)電壓(灰度信號(hào))。為了將排列在行方向上的多個(gè)驅(qū)動(dòng)晶體管Trl2設(shè)定為在連接于該驅(qū)動(dòng)晶體管Trl2的有機(jī)EL元件OEL的像素電極42(例如陽極電極)中流過與發(fā)光數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)電流的狀態(tài)，陽極線 La(供給電壓線)直接或者間接地連接于規(guī)定的高電位電源。即，陽極線La被施加比施加于有機(jī)EL元件OEL的對(duì)置電極46的基準(zhǔn)電壓Vss電位充分高的規(guī)定的高電位(供給電壓 Vdd)。另外，對(duì)置電極46例如以如下方式形成，即，該對(duì)置電極46直接或間接地連接于規(guī)定的低電位電源，相對(duì)于在基板31上排列成陣列狀的全部像素30通過單一的電極層形成， 被共通地施加規(guī)定的低電壓(基準(zhǔn)電壓Vss、例如接地電位GND)。另外，陽極線La和掃描線Ls使用形成各晶體管Trll、Trl2的源極電極、漏極電極的源極-漏極導(dǎo)電層而與上述源極電極、漏極電極一起形成。數(shù)據(jù)線Ld使用成為各晶體管Trll、Trl2的柵極電極的柵極導(dǎo)電層并與柵極電極一起形成。在數(shù)據(jù)線Ld和漏極電極 Trlld之間的絕緣膜32上，如圖7所示，形成接觸孔61，數(shù)據(jù)線Ld和漏極電極Trlld經(jīng)由接觸孔61導(dǎo)通。在掃描線Ls和柵極電極Trllg的兩端之間的絕緣膜32上，分別形成接觸孔62、63，掃描線Ls和柵極電極Trllg經(jīng)由接觸孔62、63導(dǎo)通。源極電極TrllS和柵極電極Trl2g之間的絕緣膜32上，形成接觸孔64，源極電極TrllS和柵極電極Trl2g經(jīng)由接觸孔64導(dǎo)通。另外，絕緣膜32由絕緣性材料、例如硅氧化膜、硅氮化膜等形成，以覆蓋數(shù)據(jù)線 Ld、柵極電極Trllg以及柵極電極Trl2g的方式形成在基板31上。其次，有機(jī)EL元件OEL如圖8所示，具有像素電極42、空穴注入層43、間層44、發(fā)光層45G、對(duì)置電極46。另外，在圖8中，為了說明的方便，作為對(duì)發(fā)光作出貢獻(xiàn)的發(fā)光功能層，以具有空穴注入層43和發(fā)光層45G的結(jié)構(gòu)作為例子。除此以外，發(fā)光功能層可以只是發(fā)光層45G，也可以具有空穴注入層43和發(fā)光層45G。在各像素的基板31上，形成使柵極導(dǎo)電層形成圖案的選擇晶體管Trll、驅(qū)動(dòng)晶體管Trl2的柵極電極Trllg、Trl2g。在與各像素鄰接的基板31上，使柵極導(dǎo)電層形成圖案， 并形成沿著列方向延伸的數(shù)據(jù)線Ld。像素電極(陽極電極)42由具有透光性的導(dǎo)電材料、例如ΙΤ0(銦錫氧化物、hdium Tin Oxide)，ZnO等構(gòu)成。各像素電極42與鄰接的其他的像素30的像素電極42通過層間絕緣膜47而被絕緣。層間絕緣膜47由絕緣性材料、例如氮化硅膜形成。層間絕緣膜47形成在像素電極42間，對(duì)晶體管Trll、Trl2和掃描線Ls、陽極線La進(jìn)行絕緣保護(hù)。在層間絕緣膜47上形成大致方形的開口部47a，通過該開口部47a劃出像素30G的發(fā)光區(qū)域。另外，在層間絕緣膜47上形成有隔壁48。在隔壁48上，在列方向(圖7的上下方向)上延伸的槽狀的開口部48a遍及各個(gè)像素30地形成。在這里，層間絕緣膜47以及形成在其上的隔壁48形成在行方向上鄰接地排列的各像素30的發(fā)光區(qū)域間的間隙區(qū)域。隔壁48使絕緣材料例如聚酰亞胺等感光性樹脂硬化，并形成于層間絕緣膜47上。 隔壁48如圖7所示那樣以集中對(duì)沿著列方向的多個(gè)像素的像素電極42開口的方式形成為條紋狀。另外，隔壁48的平面形狀不僅限定于此，也可以是對(duì)每個(gè)像素電極42具有開口部的格子狀。另外，隔壁48的上表面以比發(fā)光層45R、45G、45B的中央的平坦部的上表面高的方式形成。另外，可以在隔壁48的表面、層間絕緣膜47的表面實(shí)施疏液處理。在這里，疏液是指表現(xiàn)出拒絕水系的溶劑、有機(jī)系溶劑中的任意一種的性質(zhì)?？昭ㄗ⑷雽?3形成在像素電極42上。空穴注入層43具有向發(fā)光層45供給空穴的功能。空穴注入層43由能夠注入/傳輸空穴(hole)的有機(jī)高分子系的材料、例如PEDOT PSS(作為導(dǎo)電性聚合物的聚乙撐二氧噻吩和作為摻雜物的聚苯乙烯磺酸的混合物)構(gòu)成。間層44形成在空穴注入層43上。間層44具有攔截電子并在發(fā)光層45G內(nèi)使電子和空穴容易再結(jié)合的功能，使發(fā)光層45G的發(fā)光效率提高。發(fā)光層45G形成于空穴注入層43上。發(fā)光層45G(以及R、B)具有通過在陽極電極42和陰極電極46之間施加電壓而產(chǎn)生各像素的發(fā)光色的光的功能。發(fā)光層45G由包含能夠發(fā)出熒光或者磷光的公知的高分子發(fā)光材料、例如聚對(duì)苯乙烯撐系或聚芴系等的共軛雙鍵聚合物的發(fā)光材料構(gòu)成。另外，這些發(fā)光材料通過涂敷溶解(或分散)于適當(dāng)?shù)乃等軇┗蛘咚臍浠?、四甲苯、三甲苯，二甲苯等有機(jī)溶劑的溶液(分散液)，并使溶劑揮發(fā)而形成。對(duì)置電極(陰極電極)46在底部發(fā)射型的情況下設(shè)置于發(fā)光層45G側(cè)，為具有由導(dǎo)電材料、例如Li、Mg、Ca、Ba等功函數(shù)低的材料構(gòu)成的電子注入性的下層和由Al等光反射性導(dǎo)電金屬構(gòu)成的上層的層疊構(gòu)造。在本實(shí)施方式中，對(duì)置電極46由跨過多個(gè)像素30而形成的單一的電極層構(gòu)成，施加例如作為接地電位的基準(zhǔn)電壓Vss。另外，在使有機(jī)EL元件 OEL為頂部發(fā)射型的情況下，對(duì)置電極46設(shè)置于發(fā)光層45G側(cè)，為具有IOnm左右的膜厚的極薄的例如由Li、Mg、Ca、Ba等功函數(shù)低的材料構(gòu)成的低功函數(shù)層和IOOnm 200nm左右的膜厚的ITO等光透過性導(dǎo)電層的透明層疊結(jié)構(gòu)。在對(duì)置電極46上，設(shè)置有鈍化膜49。在鈍化膜49上設(shè)置有粘結(jié)層50。而且，在粘結(jié)層50上設(shè)置有密封基板51。接下來，使用圖9A 圖9C以及圖IOA 圖IOC對(duì)本實(shí)施方式的發(fā)光裝置的制造方法進(jìn)行說明。另外，由于選擇晶體管Trll與驅(qū)動(dòng)晶體管Trl2通過同一工序形成，所以省略一部分選擇晶體管Trll的形成的說明。如圖9A所示，首先，準(zhǔn)備由玻璃基板等構(gòu)成的基板31。然后，在該基板31上，通過濺射法、真空蒸鍍法等形成例如由Mo膜、Cr膜、Al膜、Cr/Al層疊膜、AlTi合金膜或者AlNdTi合金膜、AlNi合金膜、MoNb合金膜等構(gòu)成的柵極導(dǎo)電膜，這如圖9A所示那樣，形成圖案為驅(qū)動(dòng)晶體管Trl2的柵極電極Trl2g的形狀。此時(shí)，雖然沒有圖示，但是也形成選擇晶體管Trll的柵極電極Trllg以及數(shù)據(jù)線Ld。接下來，如圖9B所示，通過CVD(化學(xué)氣相沉積，Chemical Vapor D印osition)法等在柵極電極Trl2g以及數(shù)據(jù)線Ld上形成絕緣膜 32。接下來，在絕緣膜32上通過CVD法等形成由非晶體硅等構(gòu)成的半導(dǎo)體層。然后， 在半導(dǎo)體層上通過CVD法等形成例如由SiN等構(gòu)成的絕緣膜。接著，將絕緣膜通過光刻等形成圖案，形成截止膜115。另外，在半導(dǎo)體層以及截止膜115上，通過CVD法等，形成由含有η型雜質(zhì)的非晶體硅等構(gòu)成的膜，通過光刻等使該膜和半導(dǎo)體層形成圖案，從而，如圖9B 所示，形成半導(dǎo)體層114和歐姆接觸層116、117。接下來，通過濺射法、真空蒸鍍法等在絕緣膜32上覆蓋ITO等透明導(dǎo)電膜或者光反射性導(dǎo)電膜以及ITO等透明導(dǎo)電膜之后，通過光刻形成圖案而形成像素電極42。接著，在絕緣膜32上形成作為貫通孔的接觸孔61 64，之后，通過濺射法、真空蒸鍍法等覆蓋由例如Mo膜、Cr膜、Al膜、Cr/Al層疊膜、AlTi合金膜或者AlNdTi合金膜、 AlNi合金膜、MoNb合金膜等構(gòu)成的源極-漏極導(dǎo)電膜，通過光刻形成圖案而如圖9B所示那樣形成漏極電極Trl2d以及源極電極Trl2s。與此同時(shí)，形成陽極線La。此時(shí)，驅(qū)動(dòng)晶體管 Trl2的源極電極Trl2s以分別與像素電極42的一部分重合的方式形成。接著，如圖9C所示，以覆蓋驅(qū)動(dòng)晶體管Trl2等的方式通過CVD法等形成由硅氮化膜構(gòu)成的層間絕緣膜47，之后，通過光刻形成開口部47a。接下來，將感光性聚酰亞胺以覆蓋層間絕緣膜47的方式涂敷，通過經(jīng)由與隔壁48的形狀對(duì)應(yīng)的掩膜并曝光、顯影而形成圖案，如圖9C所示，形成具有開口部48a的隔壁48。接下來，如圖IOA所示，形成發(fā)光層45G。在這里，將成為空穴注入層的PEDOT =PSS 的溶液作為印刷墨340，通過上述印刷裝置1300在由開口部47a包圍的像素電極42上選擇性地印刷。印刷墨340為，對(duì)PEDOT :PSS添加用于調(diào)整粘度以及表面張力的酒精、非離子系界面活性劑、乙二醇等，調(diào)整為PEDOT =PSS印刷墨。接下來，將基板31在大氣環(huán)境下以 150°C 250°C進(jìn)行5 30分鐘干燥。由此，使有機(jī)化合物含有液的溶劑揮發(fā)，形成空穴注入層43。有機(jī)化合物含有液在加熱環(huán)境下被涂敷也可。另外，作為柔印版的印版滾筒1320 上的版的凸部1321的圖案對(duì)應(yīng)于被印刷的各層的圖案，而使用光刻法形成預(yù)先規(guī)定的圖案。另外，在空穴注入層用的印刷裝置1300中，由于印版滾筒1320上的版的凸部1321的厚度比層間絕緣膜47的厚度以及隔壁48的厚度的和充分高，所以印版滾筒1320上的版能夠使印刷墨膜342的印刷墨340容易地突出在像素電極42上。接下來，如圖IOB所示，形成間層44。在這里，將含有成為間層44的材料的有機(jī)化合物含有液作為印刷墨340，通過印刷裝置1300在由開口部47a包圍的空穴注入層43上印刷。接著，在氮或者氬等不活性環(huán)境中進(jìn)行加熱干燥，或者在真空中進(jìn)行加熱干燥，進(jìn)行殘留溶劑的除去并形成間層44。有機(jī)化合物含有液也可以在加熱環(huán)境下涂敷。另外，空穴注入層43以及間層44即使在本實(shí)施方式那樣的具有多個(gè)顏色的發(fā)光層45的情況下，也可以由共通的材料形成。另外，在間層用的印刷裝置1300中，由于印版滾筒1320上的版的凸部 1321的厚度比層間絕緣膜47的厚度以及隔壁48的厚度的和充分高，所以印版滾筒1320上的版能夠使印刷墨膜；342的印刷墨340容易地突出在像素電極43上。
接下來，形成發(fā)光層45G。在這里，將含有發(fā)光聚合物材料(R、G、B)的有機(jī)化合物含有液作為印刷墨340，通過印刷裝置1300在由開口部47a包圍的間層44上印刷。印刷墨 340使聚芴系的高分子發(fā)光材料溶解于甲苯、二甲苯、三甲苯、四甲苯等溶劑，調(diào)整為規(guī)定的濃度。溶劑也可以是上述的混合溶劑。接下來，在露點(diǎn)-70°C以下的干燥環(huán)境下或者在真空中以80 150°C。且為發(fā)光層的玻璃轉(zhuǎn)移溫度以下的溫度加熱10 30分鐘，除去膜中的溶劑。另外，在發(fā)光層用的印刷裝置1300中，由于印版滾筒1320上的版的凸部1321的厚度比層間絕緣膜47的厚度以及隔壁48的厚度的和充分高，所以，印版滾筒1320上的版能夠使印刷墨膜342的印刷墨340容易地突出在間層44上。接下來，如圖IOC所示，形成對(duì)置電極46。在這里，在保持干燥環(huán)境的狀態(tài)下進(jìn)行冷卻之后，在形成到發(fā)光層45G的基板31上，通過真空蒸鍍或電子束蒸鍍法，以蒸鍍法形成 Li、Mg、LiF、Ca、Ba等堿金屬、堿土類金屬、或者它們的化合物。接著，通過蒸鍍法或者電子束蒸鍍法形成Al等的光反射性導(dǎo)電層。由此，形成2層結(jié)構(gòu)的對(duì)置電極46。接下來，如圖8所示，通過在對(duì)置電極46上以電子束蒸鍍法、濺射法或者CVD法形成SiN、SiON等的層，形成鈍化膜49。接著，在鈍化膜49上涂敷由紫外線硬化樹脂或者熱硬化樹脂構(gòu)成的粘結(jié)層50，將由玻璃或者金屬蓋形成的密封基板51貼合于涂敷面。接著， 通過紫外線或者熱使粘結(jié)層50硬化，使基板31和密封基板51接合。通過以上步驟，制造發(fā)光裝置10。如以上說明的那樣，在本實(shí)施方式中，在柔印印刷中，僅在基板31上的顯示部(像素30)所對(duì)應(yīng)的部分以噴墨法在網(wǎng)紋輥310的表面形成印刷墨。由此，能夠減少用于柔印印刷的印刷墨的使用量。即，能夠提高昂貴的有機(jī)EL材料的使用效率，并且能夠減小發(fā)光裝置的制造成本。在上述的實(shí)施方式中，作為中間轉(zhuǎn)印體，對(duì)旋轉(zhuǎn)式的網(wǎng)紋輥310進(jìn)行了說明，但是，也可以構(gòu)成為板狀的網(wǎng)紋板。另外，在實(shí)施方式1中說明了的發(fā)光裝置10的制造方法以使用印刷裝置300為例進(jìn)行了說明，但是，也可以使用印刷裝置400、500、600、700、1300。另外，發(fā)光裝置10作為數(shù)碼相機(jī)、個(gè)人電腦、便攜電話等電子設(shè)備的顯示部(顯示器)使用。具體來說，相機(jī)200 例如如圖20A以及圖20B所示，具有透鏡部201、操作部202、顯示部203、取景器204。作為該顯示部203，使用發(fā)光裝置10。同樣地，圖21所示的個(gè)人電腦210具有顯示部211和操作部212，發(fā)光裝置10作為顯示部211使用。另外，圖22所示的便攜電話220具有顯示部 221、操作部222、受話部223、送話部224，發(fā)光裝置10作為顯示部221使用。另外，圖23所示的大畫面電視230具有顯示部231，在該顯示部231使用發(fā)光裝置10。以上，對(duì)各實(shí)施方式進(jìn)行說明，但是本發(fā)明不僅限于上述實(shí)施方式和具體例子，可以進(jìn)行各種變形以及應(yīng)用。例如，在上述實(shí)施方式中，發(fā)光裝置10是進(jìn)行顏色顯示的裝置，以具有3個(gè)顏色發(fā)光元件的結(jié)構(gòu)為例進(jìn)行了說明，但是不僅限于此，也可以是2個(gè)顏色或者4個(gè)顏色以上。另外，在發(fā)光裝置10是進(jìn)行單色顯示的裝置的情況下，僅具有1個(gè)顏色的發(fā)光元件。另外，在上述實(shí)施方式中，以發(fā)光功能層是具有空穴注入層43、間層44以及發(fā)光層45(R、G、B)的結(jié)構(gòu)作為例子，但是不僅限定于此。例如，還可以是由空穴注入層43和發(fā)光層45構(gòu)成發(fā)光功能層的結(jié)構(gòu)，還可以僅將發(fā)光層45作為發(fā)光功能層。
另外，在上述實(shí)施方式中，以像素電路DS具有兩個(gè)晶體管的結(jié)構(gòu)為例進(jìn)行了說明，但是，也可以具有3個(gè)以上的晶體管。另外，在上述實(shí)施方式中，以底部發(fā)射型的有機(jī)EL元件為中心進(jìn)行了說明，但是不僅限定于此，還能夠用于將通過有機(jī)EL元件OEL產(chǎn)生的光經(jīng)由對(duì)置電極向外部射出的頂部發(fā)射型的有機(jī)EL元件。另外，在上述實(shí)施方式中，以將發(fā)光裝置作為顯示裝置利用的結(jié)構(gòu)作為例子進(jìn)行了說明，但是，還可以作為在打印機(jī)的感光鼓上照射光的打印頭等的曝光裝置加以利用。另外，在上述實(shí)施方式中，對(duì)頭303在圖的X軸方向上掃描的所謂的串行頭方式進(jìn)行了說明。在串行頭方式中，頭303例如沿著圖24A所示的導(dǎo)向軌道307掃描。除此以外， 還可以使用例如具有多個(gè)噴出口(噴嘴)的所謂的線列頭方式的頭。在該情況下，頭可以為1個(gè)，也可以如圖24B所示那樣將例如3個(gè)頭308a、308b、308c從Z軸方向觀察配置成交錯(cuò)狀。由此，頭驅(qū)動(dòng)部305或者頭驅(qū)動(dòng)部306中的用于使頭303掃描的結(jié)構(gòu)能夠省略或者簡略化。另外，通過采用線列頭方式，由于能夠在廣闊的范圍內(nèi)一次印刷，能夠縮短工序，為優(yōu)選。另外，在該情況下，希望基于各噴嘴的噴出量的偏差預(yù)先設(shè)定各噴嘴具有的壓電元件的動(dòng)作波形并存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部302，從而能夠使各噴嘴的噴出量一定。另外，當(dāng)然也可以將上述各實(shí)施方式以及變形例的結(jié)構(gòu)適當(dāng)組合。
權(quán)利要求
1.一種發(fā)光裝置的制造裝置，上述發(fā)光裝置具有排列于基板上的多個(gè)發(fā)光元件，上述發(fā)光裝置的制造裝置具有旋轉(zhuǎn)式的印版滾筒，具有用于在上述基板上印刷用來形成上述發(fā)光元件的有機(jī)層的印刷墨的柔印版；中間轉(zhuǎn)印體，與上述柔印版抵接并轉(zhuǎn)印上述印刷墨； 頭部，向上述中間轉(zhuǎn)印體供給上述印刷墨；存儲(chǔ)部，將通過上述轉(zhuǎn)印而從上述中間轉(zhuǎn)印體移動(dòng)了上述印刷墨的區(qū)域作為印刷墨補(bǔ)充圖案而存儲(chǔ)；以及控制部，從上述頭部向上述中間轉(zhuǎn)印體的表面的上述印刷墨補(bǔ)充圖案的區(qū)域內(nèi)供給上述印刷墨。
2.如權(quán)利要求1所述的發(fā)光裝置的制造裝置，其特征在于，還具有頭驅(qū)動(dòng)部，該頭驅(qū)動(dòng)部使上述頭部移動(dòng)到與上述印刷墨補(bǔ)充圖案對(duì)置的位置。
3.如權(quán)利要求1所述的發(fā)光裝置的制造裝置，其特征在于， 上述頭部通過噴墨方式向上述中間轉(zhuǎn)印體噴出上述印刷墨。
4.如權(quán)利要求1所述的發(fā)光裝置的制造裝置，其特征在于，上述頭部具有多個(gè)噴嘴，上述多個(gè)噴嘴相互之間位置固定并且分別噴出上述印刷墨， 上述多個(gè)噴嘴分別具有壓電元件，上述壓電元件將上述印刷墨作為液滴以噴墨方式噴出，上述存儲(chǔ)部存儲(chǔ)各上述壓電元件的動(dòng)作波形，上述控制部基于上述動(dòng)作波形進(jìn)行控制，從而使來自各上述壓電元件的上述印刷墨的噴出量均勻。
5.如權(quán)利要求1所述的發(fā)光裝置的制造裝置，其特征在于， 上述發(fā)光元件是有機(jī)電致發(fā)光元件，上述印刷墨包含成為有機(jī)電致發(fā)光元件的有機(jī)層的材料。
6.如權(quán)利要求1所述的發(fā)光裝置的制造裝置，其特征在于， 上述中間轉(zhuǎn)印體是旋轉(zhuǎn)式的網(wǎng)紋輥。
7.如權(quán)利要求1所述的發(fā)光裝置的制造裝置，其特征在于， 上述中間轉(zhuǎn)印體是板狀的網(wǎng)紋板。
8.如權(quán)利要求7所述的發(fā)光裝置的制造裝置，其特征在于， 在上述轉(zhuǎn)印時(shí)，上述網(wǎng)紋板和上述印版滾筒相互向相反方向行進(jìn)。
9.如權(quán)利要求1所述的發(fā)光裝置的制造裝置，其特征在于，上述頭部具有多個(gè)頭，上述多個(gè)頭分別噴出上述有機(jī)層的材料成分的濃度相互不同的上述印刷墨或者溶劑。
10.一種發(fā)光裝置的制造裝置，上述發(fā)光裝置具有排列于基板上的多個(gè)發(fā)光元件，上述發(fā)光裝置的制造裝置具有旋轉(zhuǎn)式的印版滾筒，具有用于在上述基板上印刷用來形成上述發(fā)光元件的有機(jī)層的印刷墨的柔印版；第1及第2中間轉(zhuǎn)印體，與上述柔印版抵接并轉(zhuǎn)印上述印刷墨； 頭部，向上述第1及第2中間轉(zhuǎn)印體供給上述印刷墨；存儲(chǔ)部，將通過上述轉(zhuǎn)印而從上述中間轉(zhuǎn)印體移動(dòng)了上述印刷墨的區(qū)域作為印刷墨補(bǔ)充圖案而存儲(chǔ)；控制部，從上述頭部向上述中間轉(zhuǎn)印體的表面的上述印刷墨補(bǔ)充圖案的區(qū)域內(nèi)供給上述印刷墨；中間轉(zhuǎn)印體移動(dòng)裝置，使上述第1及第2中間轉(zhuǎn)印體以一方位于用于上述轉(zhuǎn)印的位置而另一方位于用于維護(hù)的位置的方式交替移動(dòng)；以及清潔裝置，對(duì)位于用于上述維護(hù)的位置上的上述第1中間轉(zhuǎn)印體或者上述第2中間轉(zhuǎn)印體進(jìn)行清潔。
11.一種發(fā)光裝置的制造裝置，上述發(fā)光裝置具有排列于基板上的多個(gè)發(fā)光元件，上述發(fā)光裝置的制造裝置具有旋轉(zhuǎn)式的印版滾筒，具有用于在上述基板上印刷用來形成上述發(fā)光元件的有機(jī)層的印刷墨的柔印版；中間轉(zhuǎn)印體，與上述柔印版抵接并轉(zhuǎn)印上述印刷墨； 頭部，向上述中間轉(zhuǎn)印體供給上述印刷墨；存儲(chǔ)部，存儲(chǔ)與上述基板的印刷圖案對(duì)應(yīng)的上述中間轉(zhuǎn)印體的表面的印刷墨供給圖案；以及控制部，從上述頭部向上述中間轉(zhuǎn)印體的上述印刷墨供給圖案的區(qū)域內(nèi)供給上述印刷墨。
12.—種具有發(fā)光元件的發(fā)光裝置的制造方法，包含如下工序?qū)⒑邪l(fā)光元件的有機(jī)層的材料的印刷墨供給到中間轉(zhuǎn)印體，在上述中間轉(zhuǎn)印體的表面形成印刷墨膜；從上述中間轉(zhuǎn)印體向印版滾筒的柔印版轉(zhuǎn)印上述印刷墨膜； 將轉(zhuǎn)印到上述柔印版上的上述印刷墨膜印刷到基板上；以及對(duì)通過上述轉(zhuǎn)印而從上述中間轉(zhuǎn)印體移動(dòng)了上述印刷墨的區(qū)域，噴墨頭選擇性地補(bǔ)充上述印刷墨，在上述中間轉(zhuǎn)印體的表面再次形成上述印刷墨膜。
13.如權(quán)利要求12所述的發(fā)光裝置的制造方法，其特征在于，在再次形成上述印刷墨膜的工序之后，將上述有機(jī)層的材料的濃度比上述印刷墨低的低濃度印刷墨或者溶劑供給到上述中間轉(zhuǎn)印體的表面的一部分或者全部。
14.如權(quán)利要求12所述的發(fā)光裝置的制造方法，其特征在于，在使上述中間轉(zhuǎn)印體的上述印刷墨移動(dòng)到上述柔印版上之前，將上述中間轉(zhuǎn)印體的上述印刷墨被移動(dòng)到上述柔印版上的區(qū)域作為印刷墨補(bǔ)充圖案而存儲(chǔ)， 使上述噴墨頭部移動(dòng)到與上述印刷墨補(bǔ)充圖案對(duì)置的位置。
15.如權(quán)利要求12所述的發(fā)光裝置的制造方法，其特征在于， 上述中間轉(zhuǎn)印體是旋轉(zhuǎn)式的網(wǎng)紋輥。
16.如權(quán)利要求12所述的發(fā)光裝置的制造方法，其特征在于， 檢測上述中間轉(zhuǎn)印體的角度而檢測上述中間轉(zhuǎn)印體的位置。
17.如權(quán)利要求12所述的發(fā)光裝置的制造方法，其特征在于， 上述中間轉(zhuǎn)印體是板狀的網(wǎng)紋板。
18.如權(quán)利要求17所述的發(fā)光裝置的制造方法，其特征在于，在上述轉(zhuǎn)印時(shí)，上述網(wǎng)紋板和上述印版滾筒相互向相反方向行進(jìn)。
19. 一種具有發(fā)光元件的發(fā)光裝置的制造方法，含有以下工序 通過噴墨方式，將含有發(fā)光元件的有機(jī)層的材料的印刷墨選擇性地供給到中間轉(zhuǎn)印體的表面中的與印版滾筒的柔印版抵接的區(qū)域；從上述中間轉(zhuǎn)印體向上述印版滾筒的上述柔印版轉(zhuǎn)印上述印刷墨；以及從上述印版滾筒向基板上印刷上述印刷墨。
全文摘要
提供一種能夠有效抑制形成有機(jī)EL元件這樣的微小的結(jié)構(gòu)時(shí)的異物混入的發(fā)光裝置的制造裝置以及制造方法。發(fā)光裝置的制造裝置中，發(fā)光裝置具有排列于基板上的多個(gè)發(fā)光元件，發(fā)光裝置的制造裝置具有旋轉(zhuǎn)式的印版滾筒，具有用于在基板上印刷用來形成發(fā)光元件的有機(jī)層的印刷墨的柔印版；中間轉(zhuǎn)印體，與柔印版抵接并轉(zhuǎn)印印刷墨；頭部，向中間轉(zhuǎn)印體供給印刷墨；存儲(chǔ)部，將通過轉(zhuǎn)印而從中間轉(zhuǎn)印體移動(dòng)了印刷墨的區(qū)域作為印刷墨補(bǔ)充圖案而存儲(chǔ)；以及控制部，從頭部向中間轉(zhuǎn)印體的表面的印刷墨補(bǔ)充圖案的區(qū)域內(nèi)供給印刷墨。
文檔編號(hào)H01L51/56GK102195008SQ201110066780
公開日2011年9月21日 申請(qǐng)日期2011年3月18日 優(yōu)先權(quán)日2010年3月18日
發(fā)明者下田悟, 海老澤功 申請(qǐng)人:卡西歐計(jì)算機(jī)株式會(huì)社