專利名稱：離子發(fā)生器和靜電荷消除系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及離子發(fā)生器和靜電荷消除系統(tǒng)，其用于在空氣離子被鼓吹到帶靜電荷的物體，并且當(dāng)所述靜電荷將從所述物體被消除時(shí)，通過中和所述靜電荷來消除物體中的靜電荷。
背景技術(shù)：
用于消除物體(如，IC芯片或具有絕緣性質(zhì)的電子部件)中的靜電荷的離子發(fā)生器的實(shí)例是在官方公報(bào)JP-A-2004-234972中描述的空氣鼓吹型離子發(fā)生裝置。在官方公報(bào)JP-A-2004-234972的第0021段中，描述了如下的一種生成空氣離子的裝置。“離子發(fā)生器9包括環(huán)形對(duì)向電極14，其附著在空氣離子引導(dǎo)缸12的外周長上，空氣離子引導(dǎo)缸12 由與覆蓋物11的前部連接的絕緣材料制成；以及8個(gè)放電針15，其在空氣離子引導(dǎo)缸13 中沿對(duì)向電極14的外周方向以規(guī)則間隔徑向布置。這些放電針15被植入桿型電極夾持器 16中，電極夾持器16由布置在空氣離子引導(dǎo)缸13的中心部分中的絕緣材料制成。布置在殼體4的內(nèi)底部中的高電壓AC電源17的輸出電線17a經(jīng)嵌入在電極夾持器16中的導(dǎo)體 18連接到放電針15。高電壓電源17的返回電線17b連接到對(duì)向電極14。在放電針15和對(duì)向電極14之間產(chǎn)生電暈放電，以生成正負(fù)空氣離子?！痹诘?022段至第OOM段中，描述了如下的一種用于從放電針的頂端去除灰塵的清潔裝置?！扒鍧嵮b置10包括桿形旋轉(zhuǎn)構(gòu)件20，其在風(fēng)力作用下旋轉(zhuǎn)，具有翅片部分19， 從空氣鼓吹裝置8傳送的氣流撞擊翅片部分19 ；以及刷子構(gòu)件21，其通過翅片部分19附著于旋轉(zhuǎn)構(gòu)件20(0022)。旋轉(zhuǎn)構(gòu)件20的縱向方向上的中心被布置在電極夾持器16前部的支撐部分22支撐。旋轉(zhuǎn)構(gòu)件20可以繞著與對(duì)向電極14的環(huán)形中心同心的軸自由地旋轉(zhuǎn) (0023)。刷子構(gòu)件21由諸如尼龍樹脂或丙烯酸類樹脂之類的塑料制成。刷子構(gòu)件21附著于徑向方向上的某一位置處，該位置對(duì)應(yīng)于從對(duì)向電極14的環(huán)形中心通過刷子附著構(gòu)件 23直至各放電針15的頂端的距離。當(dāng)旋轉(zhuǎn)構(gòu)件20旋轉(zhuǎn)時(shí)，刷子構(gòu)件21接觸放電針15的頂端(0024)?！?br>
發(fā)明內(nèi)容
通常，用于操作具有電扇的離子發(fā)生器的操作電流大致是1A。然而，當(dāng)增加清潔功能來清潔放電電極(放電針)時(shí)，要在離子發(fā)生器的操作電流的基礎(chǔ)上加上用于驅(qū)動(dòng)刷子進(jìn)行清潔的電流。因此，總電流翻了數(shù)倍。在制造電子部件的生產(chǎn)線(如，半導(dǎo)體生產(chǎn)線) 中使用多個(gè)離子發(fā)生器的情況下，通過主電源開關(guān)總體上使多個(gè)離子發(fā)生器的電源導(dǎo)通和截止。因此，用于同時(shí)操作所有離子發(fā)生器的總電流消耗進(jìn)一步增加。例如，當(dāng)多個(gè)離子發(fā)生器用于IC處理器(半導(dǎo)體芯片傳送裝置)時(shí)，必須充分增大IC處理器的電流能力，使得即使當(dāng)所有的離子發(fā)生器消耗各自最大的電流消耗時(shí)，裝置的操作也不會(huì)受到影響。在本發(fā)明的實(shí)施例中，提供了離子發(fā)生器和靜電荷消除系統(tǒng)，其中在同時(shí)使用具有諸如清潔功能之類的可選功能的多個(gè)離子發(fā)生器或者使用具有多個(gè)可選功能的離子發(fā)生器的情況下，當(dāng)功能部分的操作時(shí)序移位時(shí)，功能部分可以在不增加電流消耗的情況下進(jìn)行操作。在一個(gè)實(shí)施例中，本發(fā)明提供了一種離子發(fā)生器，其用于當(dāng)空氣離子被鼓吹到帶靜電荷的物體并且當(dāng)所述靜電荷將從所述物體被消除時(shí)，通過中和所述靜電荷來消除所述物體中的靜電荷，所述離子發(fā)生器包括控制部分；功能部分，當(dāng)從所述控制部分向所述功能部分發(fā)送指令時(shí)，所述功能部分進(jìn)行操作；第一計(jì)時(shí)器，所述第一計(jì)時(shí)器用于測(cè)量從電源導(dǎo)通的時(shí)刻到所述功能部分第一次執(zhí)行操作的時(shí)刻的等待時(shí)間；以及第二計(jì)時(shí)器，所述第二計(jì)時(shí)器用于測(cè)量循環(huán)時(shí)間，使得所述功能部分可在第二次或隨后將所述操作重復(fù)執(zhí)行預(yù)定的循環(huán)時(shí)間。在另一個(gè)實(shí)施例中，本發(fā)明提供了一種具有多個(gè)離子發(fā)生器的靜電荷消除系統(tǒng)， 所述多個(gè)離子發(fā)生器用于當(dāng)空氣離子被鼓吹到帶靜電荷的物體并且當(dāng)所述靜電荷將從所述物體被消除時(shí)，通過中和所述靜電荷來消除所述物體中的靜電荷，其中由公共電源向所述多個(gè)離子發(fā)生器提供電功率，各離子發(fā)生器包括控制部分；功能部分，當(dāng)從所述控制部分向所述功能部分發(fā)送指令時(shí)，所述功能部分進(jìn)行操作；第一計(jì)時(shí)器，所述第一計(jì)時(shí)器用于測(cè)量從電源導(dǎo)通的時(shí)刻到所述功能部分第一次執(zhí)行操作的時(shí)刻的等待時(shí)間；以及第二計(jì)時(shí)器，所述第二計(jì)時(shí)器用于測(cè)量循環(huán)時(shí)間，使得所述功能部分可在第二次或隨后將所述操作重復(fù)執(zhí)行預(yù)定的循環(huán)時(shí)間，其中在所述功能部分的操作時(shí)序移位的同時(shí)，各離子發(fā)生器操作所述功能部分。根據(jù)本發(fā)明的離子發(fā)生器和靜電荷消除系統(tǒng)，當(dāng)可選功能的操作時(shí)序移位時(shí)，可以在不增加電流消耗的情況下操作可選功能。由于以上原因，導(dǎo)致可以同時(shí)使用具有諸如清潔功能之類的可選功能的多個(gè)離子發(fā)生器。另外，可以使用具有多個(gè)可選功能的靜電荷消除裝置。


圖1是本發(fā)明的第一實(shí)施例的離子發(fā)生器(靜電荷消除裝置)和靜電荷消除系統(tǒng)的框圖。圖2是圖1所示的離子發(fā)生器的詳細(xì)框圖。圖3是示出圖2所示的各離子發(fā)生器的清潔操作的流程圖。圖4是各離子發(fā)生器執(zhí)行清潔操作時(shí)的時(shí)序圖。圖5是多個(gè)離子發(fā)生器以相同時(shí)序執(zhí)行清潔操作時(shí)的時(shí)序圖。圖6是當(dāng)時(shí)序移位時(shí)多個(gè)離子發(fā)生器執(zhí)行清潔操作時(shí)的時(shí)序圖。圖7是本發(fā)明的第二實(shí)施例的離子發(fā)生器和靜電荷消除系統(tǒng)的框圖。圖8是圖7所示的靜電荷消除系統(tǒng)的各離子發(fā)生器的框圖。圖9是圖7所示的靜電荷消除系統(tǒng)的多個(gè)離子發(fā)生器的電路圖。圖10是圖7所示的各離子發(fā)生器執(zhí)行清潔操作時(shí)的流程圖。圖11是當(dāng)在時(shí)序正移位的同時(shí)使用第三計(jì)時(shí)器時(shí)圖7所示的多個(gè)離子發(fā)生器執(zhí)行清潔操作時(shí)的時(shí)序圖。圖12是當(dāng)在時(shí)序正移位的同時(shí)沒有使用第三計(jì)時(shí)器時(shí)圖7所示的多個(gè)離子發(fā)生器執(zhí)行清潔操作時(shí)的時(shí)序圖。
圖13是本發(fā)明的第三實(shí)施例的離子發(fā)生器的框圖。圖14是圖13所示的離子發(fā)生器的控制單元的詳細(xì)框圖。圖15是圖13所示的離子發(fā)生器的靜電荷消除單元的詳細(xì)框圖。圖16是圖13所示的離子發(fā)生器執(zhí)行清潔操作時(shí)的流程圖。圖17是本發(fā)明的第四實(shí)施例的離子發(fā)生器的框圖。
具體實(shí)施例方式根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，離子發(fā)生器(靜電荷消除裝置)包括控制部分；至少一個(gè)功能部分，在從控制部分向功能部分發(fā)送指令時(shí)，所述功能部分進(jìn)行操作；第一計(jì)時(shí)器，其用于測(cè)量從電源導(dǎo)通的時(shí)刻到功能部分第一次執(zhí)行操作的時(shí)刻的等待時(shí)間；以及第二計(jì)時(shí)器，其用于測(cè)量循環(huán)時(shí)間，使得功能部分可在第二次或隨后將所述操作重復(fù)執(zhí)行預(yù)定的循環(huán)時(shí)間。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，靜電荷消除系統(tǒng)包括從公共電源接收電功率的多個(gè)離子發(fā)生器。各離子發(fā)生器的功能部分具有在電源提供電功率時(shí)進(jìn)行操作的可選功能，如，清潔功能和空氣鼓吹功能。參照附圖，以下將說明本發(fā)明的離子發(fā)生器和靜電荷消除系統(tǒng)的實(shí)施例。圖1示出本發(fā)明的第一實(shí)施例的離子發(fā)生器和靜電荷消除系統(tǒng)。如附圖中所示，雖然本發(fā)明的靜電荷消除系統(tǒng)1不受該實(shí)施例限制，但是(例如)本實(shí)施例的靜電荷消除系統(tǒng)1可以應(yīng)用于潔凈室中的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)的IC處理器。靜電荷消除系統(tǒng)1包括多個(gè)離子發(fā)生器3a至 3d。離子發(fā)生器3a至3d并聯(lián)連接到電源2(例如，DC電源)。另外，電源2電連接到IC處理器和各種裝置，使得可以提供電功率。確定電源2的允許電流為預(yù)定安培數(shù)。因此，在所消耗電流的強(qiáng)度超過允許電流的情況下，斷路器進(jìn)行操作。通常，靜電荷消除系統(tǒng)的離子發(fā)生器3a至3d連接到IC處理器的電源和其它裝置。然而，靜電荷消除系統(tǒng)的離子發(fā)生器3a 至3d可以連接到以不同方式設(shè)置的電源。離子發(fā)生器3a至3d的數(shù)量不限于四個(gè)，而是可能使用數(shù)量為兩個(gè)或更多個(gè)的離子發(fā)生器。然而，待使用的離子發(fā)生器的數(shù)量不受電源2的允許電流限制。用于本實(shí)施例的離子發(fā)生器3a至3d具有作為可選功能的清潔功能。為了周期性地執(zhí)行清潔功能，用于本實(shí)施例的各離子發(fā)生器具有作為用于測(cè)量循環(huán)時(shí)間的計(jì)時(shí)器的第二計(jì)時(shí)器6，第二計(jì)時(shí)器6用于測(cè)量與對(duì)向電極(未示出)一起用于產(chǎn)生電暈放電的放電電極被清潔的循環(huán)時(shí)間。四個(gè)離子發(fā)生器3a至3d電連接到未示出的IC處理器的主開關(guān)。因此，可以同時(shí)通過主開關(guān)導(dǎo)通和截止電源?？傮w上，離子發(fā)生器包括放電電極，其與對(duì)向電極相對(duì)地布置；離子發(fā)生部分， 其用于在對(duì)向電極和放電電極之間產(chǎn)生電暈放電；以及空氣鼓吹部分(鼓風(fēng)機(jī))，其用于將所生成的離子鼓吹到將要被消除靜電荷的物體上。在離子發(fā)生器中，當(dāng)離化的空氣被鼓吹到將要被消除電荷的物體上時(shí)，可以消除物體上的靜電荷?？梢园慈我夥绞?jīng)Q定放電電極的布置。通常，放電電極沿著與氣流方向垂直的方向徑向布置。根據(jù)靜電電容來決定電極的數(shù)量，并且電極的數(shù)量不受具體限制。然而，例如，可以按規(guī)則間隔布置數(shù)量為四個(gè)的電極。例如，放電電極由鎢合金制成。關(guān)于其尺寸， 例如，直徑是1.5mm并且長度是20mm。就DC型離子發(fā)生器而言，施加到放電電極的電壓大致為 +, -5000v。
空氣鼓吹部分是用于產(chǎn)生風(fēng)力的裝置，其能夠?qū)㈦x化空氣的氣流鼓吹到將要被消除靜電荷的物體上。空氣鼓吹部分可以具有其中由電機(jī)旋轉(zhuǎn)風(fēng)扇的結(jié)構(gòu)。或者，空氣鼓吹部分可以具有如下結(jié)構(gòu)壓縮空氣的管連接到離子發(fā)生器并且在壓縮空氣的壓力作用下傳送氣流。如圖2中所示，本實(shí)施例的離子發(fā)生器包括傳統(tǒng)的離子發(fā)生部分8 ；和空氣鼓吹部分9。另外，本實(shí)施例的離子發(fā)生器包括清潔部分(可選功能)10，其用于周期性清潔放電電極的頂端部分，以去除附著在放電電極的頂端部分上的灰塵；第一計(jì)時(shí)器5，其用于測(cè)量從電源導(dǎo)通的時(shí)刻到清潔部分10第一次執(zhí)行操作的時(shí)刻的等待時(shí)間、；等待時(shí)間設(shè)置部分11，其用于設(shè)置第一計(jì)時(shí)器5中的等待時(shí)間；第二計(jì)時(shí)器6，其用于測(cè)量循環(huán)時(shí)間t2，使得可以使清潔部分10在第二次或隨后將操作重復(fù)執(zhí)行預(yù)定的循環(huán)時(shí)間；以及控制部分7， 其用于發(fā)出指令，以操作清潔部分10。清潔部分10包括可移動(dòng)部分(未示出)，其由諸如螺線管或電機(jī)之類的電源操作；以及刷子(未示出)，其用于當(dāng)刷子與可移動(dòng)部分一起移動(dòng)時(shí)從放電電極的頂部去除灰塵。執(zhí)行清潔，使得刷子往復(fù)地接觸放電電極的頂端(例如)幾秒至幾十秒。當(dāng)清潔放電電極時(shí)，離子發(fā)生器消耗電流，所述電流的強(qiáng)度是生成離子時(shí)所消耗的電流的幾倍。在第一計(jì)時(shí)器5中設(shè)置從電源2導(dǎo)通的時(shí)刻到清潔部分10開始操作的時(shí)刻的等待時(shí)間。用于自動(dòng)產(chǎn)生隨機(jī)數(shù)的隨機(jī)電路可以應(yīng)用于等待時(shí)間設(shè)置部分11。然而， 可以設(shè)置等待時(shí)間，使得操作柱手動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)計(jì)時(shí)器中設(shè)置的刻度盤。以此方式，等待時(shí)間設(shè)置部分11可以設(shè)置第二計(jì)時(shí)器6中的循環(huán)時(shí)間、。就這一點(diǎn)而言，各個(gè)離子發(fā)生器3a至3d 不受本實(shí)施例的形式限制，而是可以提供可選功能，如，用于改變空氣鼓吹方向的風(fēng)向改變
直ο圖3是清潔各個(gè)離子發(fā)生器3a至3d的流程圖。當(dāng)在步驟S 1中導(dǎo)通離子發(fā)生器的電源時(shí)，放電電極開始放電，并且離子發(fā)生器開始鼓吹離化空氣的氣流。同時(shí)，第一計(jì)時(shí)器5測(cè)量預(yù)定的等待時(shí)間、(步驟S”。在經(jīng)過等待時(shí)間、之后，清潔部分10開始操作， 對(duì)放電電極進(jìn)行清潔(步驟S3)。同時(shí)，當(dāng)步驟S3開始時(shí)，第二計(jì)時(shí)器6開始測(cè)量時(shí)間。在經(jīng)過預(yù)定的循環(huán)時(shí)間t2(步驟S4)之后，清潔部分10開始再次操作并且對(duì)放電電極進(jìn)行清潔。此后，經(jīng)過預(yù)定的循環(huán)時(shí)間t2，對(duì)放電電極重復(fù)進(jìn)行清潔。就這一點(diǎn)而言，循環(huán)時(shí)間t2 可能是恒定的。或者，循環(huán)時(shí)間t2可能按預(yù)定模式改變或者隨機(jī)改變，使得清潔間隔可以發(fā)生變化。圖4是一組離子發(fā)生器3a至3d執(zhí)行清潔操作時(shí)的時(shí)序圖。第一計(jì)時(shí)器5測(cè)量從電源2導(dǎo)通的時(shí)刻到清潔操作開始的時(shí)刻的等待時(shí)間、。當(dāng)經(jīng)過等待時(shí)間、之后，第二計(jì)時(shí)器6開始測(cè)量隨意決定的循環(huán)時(shí)間、并且再次執(zhí)行清潔。在本實(shí)施例中，可以將循環(huán)時(shí)間t2設(shè)置為例如一小時(shí)。在本實(shí)施例的各離子發(fā)生器3a至3d中，生成離子時(shí)的電流消耗是IA并且清潔時(shí)的電流消耗是2A。圖5是四組離子發(fā)生器3a至3d以相同時(shí)序執(zhí)行清潔操作時(shí)的時(shí)序圖。圖5示出比較例。如時(shí)序圖中所示，當(dāng)四組離子發(fā)生器3a至3d同時(shí)操作時(shí)，在生成離子時(shí)的電流消耗是4A。因此，在進(jìn)行清潔操作時(shí)的總電流消耗是8A。為了按該時(shí)序操作各離子發(fā)生器3a 至3d，必須使用電源2，使允許電流不小于8A。圖6是進(jìn)行清潔操作時(shí)的時(shí)序圖，在該清潔操作中，離子發(fā)生器3a至3d以移位的時(shí)序進(jìn)行操作。如時(shí)序圖中所示，第一計(jì)時(shí)器5的等待時(shí)間tla至tld被設(shè)置成比10分鐘至40分鐘加長了 10分鐘，使得相應(yīng)的清潔開始時(shí)序可以移位10分鐘的間隔。因此，放電電極不同時(shí)執(zhí)行清潔操作。因此，在進(jìn)行清潔操作時(shí)的總電流消耗可以被限制為5A。如上所述，根據(jù)本實(shí)施例的離子發(fā)生器3a至3d和靜電荷消除系統(tǒng)1，對(duì)于各個(gè)離子發(fā)生器3a至3d，第一計(jì)時(shí)器5的操作時(shí)序發(fā)生移位。因此，可以防止電流消耗增加。接著，以下將說明第二實(shí)施例的離子發(fā)生器和靜電荷消除系統(tǒng)。如圖7中所示，本實(shí)施例的靜電荷消除系統(tǒng)包括電源2 ；以及離子發(fā)生器23a至23d。如圖8中所示，各離子發(fā)生器23a至23d包括第二計(jì)時(shí)器6 ；第一計(jì)時(shí)器5，由隨機(jī)電路11來設(shè)置其等待時(shí)間 、；以及第三計(jì)時(shí)器觀，其測(cè)量直至其它離子發(fā)生器23a至23d正執(zhí)行清潔操作時(shí)檢測(cè)公共信號(hào)線M的電壓電平這一時(shí)刻的等待時(shí)間t3。本實(shí)施例的各離子發(fā)生器23a至23d包括 信號(hào)檢測(cè)部分25，其連接到公共信號(hào)操作線M并且檢測(cè)公共操作信號(hào)線M的電壓電平； 以及信號(hào)輸出部分26，其用于向公共操作信號(hào)線對(duì)輸出操作信號(hào)，使得公共操作信號(hào)線M 的電壓電平可以降低。圖9是與公共信號(hào)操作線M連接的多個(gè)離子發(fā)生器23a至23d的電路圖。各離子發(fā)生器23a至23d的信號(hào)檢測(cè)部分25檢測(cè)公共操作信號(hào)線M的電壓電平是高還是低。 同時(shí)，各離子發(fā)生器23a至23d的信號(hào)檢測(cè)部分25判斷在檢測(cè)到的電壓電平低時(shí)其它離子發(fā)生器23a至23d是否正執(zhí)行清潔操作。各離子發(fā)生器23a至23d的信號(hào)檢測(cè)部分25判斷在檢測(cè)到的電壓電平為高時(shí)是否有離子發(fā)生器23a至23d沒有正執(zhí)行清潔操作。當(dāng)各離子發(fā)生器23a至23d正執(zhí)行清潔操作時(shí)，信號(hào)輸出部分沈經(jīng)晶體管27向公共操作信號(hào)線 M輸出操作信號(hào)，即，微小的電流。晶體管27屬于NPN型。當(dāng)從信號(hào)輸出部分沈向基極發(fā)送操作信號(hào)(電流)時(shí)，發(fā)射極和集電極之間的電阻值大大降低并且公共操作信號(hào)線M 的電壓電平變低。當(dāng)不是每個(gè)離子發(fā)生器23a至23d都正執(zhí)行清潔操作時(shí)，信號(hào)輸出部分 26不輸出操作信號(hào)。結(jié)果，集電極和發(fā)射極相對(duì)于彼此設(shè)置成打開狀態(tài)。因此，DC電源的電壓V被原樣施加到公共操作信號(hào)線。因此，電壓電平變高。圖10是各離子發(fā)生器23a至23d進(jìn)行清潔操作時(shí)的流程圖。第一計(jì)時(shí)器5測(cè)量從離子發(fā)生器23a至23d的電源導(dǎo)通的時(shí)刻到第一次清潔操作開始的時(shí)刻的等待時(shí)間、。 第二計(jì)時(shí)器6測(cè)量預(yù)定清潔間隔的循環(huán)時(shí)間、。第三計(jì)時(shí)器測(cè)量當(dāng)其它離子發(fā)生器23a至 23d正執(zhí)行清潔操作時(shí)清潔操作的開始所延遲的等待時(shí)間t3。也就是說，在清潔的時(shí)序與其它離子發(fā)生器23a至23d的時(shí)序重疊的情況下，開始清潔操作的等待時(shí)間延長，從而時(shí)序發(fā)生移位。具體來講，例如，在步驟SS2中，在清潔的循環(huán)時(shí)間、被設(shè)置為1小時(shí)的情況下， 由隨機(jī)電路11進(jìn)行設(shè)置，使得第一計(jì)時(shí)器5的等待時(shí)間、可以被隨機(jī)設(shè)置在0秒至50分鐘(從循環(huán)時(shí)間中減去10分鐘)的范圍內(nèi)。在經(jīng)過這段時(shí)間后，當(dāng)在步驟SS3中檢測(cè)到提供到公共操作信號(hào)線M的電壓時(shí)，檢查是否有其它離子發(fā)生器23a至23d通過使用公共電源2正執(zhí)行清潔操作。在其它離子發(fā)生器23a至23d正執(zhí)行清潔操作(參照?qǐng)D11)的情況下，程序前進(jìn)至步驟SS4并且清潔操作時(shí)間被設(shè)置成10秒。然后，第三計(jì)時(shí)器的等待時(shí)間 t3被設(shè)置成比10秒長，例如，第三計(jì)時(shí)器的等待時(shí)間t3被設(shè)置成20秒，并且再次檢查是否有其它離子發(fā)生器23a至23d通過使用公共操作信號(hào)線M正執(zhí)行清潔操作。在沒有離子發(fā)生器23a至23d正執(zhí)行清潔操作(參照12)的情況下，程序前進(jìn)至步驟SS5，并且信號(hào)輸出部分沈輸出操作信號(hào)并且使公共操作信號(hào)線M的電壓電平為低。由于以上原因，導(dǎo)致使離子發(fā)生器不能以與其它離子發(fā)生器23a至23d相同的時(shí)序來執(zhí)行清潔操作。當(dāng)在步驟 SS6中完成清潔操作時(shí)，在步驟SS7中，公共操作信號(hào)線M的電壓電平重新為高。在程序從步驟SS6開始已等待預(yù)定的循環(huán)時(shí)間t2(步驟SS8)之后，程序返回到步驟SS3并且重復(fù)執(zhí)行清潔操作。就這一點(diǎn)而言，程序可能沒有返回到SS3，而是第二次并且之后返回到步驟 SS6，并且重復(fù)執(zhí)行清潔操作。還可以由隨機(jī)電路設(shè)置第三計(jì)時(shí)器的等待時(shí)間t3。在上述實(shí)施例中，即使當(dāng)之前沒有設(shè)置第一計(jì)時(shí)器5的等待時(shí)間、使得多個(gè)離子發(fā)生器23a至23d不能彼此重疊時(shí)，可以防止多個(gè)離子發(fā)生器23a至23d以相同時(shí)序執(zhí)行清潔操作。如下描述本實(shí)施例的變型。在離子發(fā)生器中，可以一直檢測(cè)公共操作信號(hào)線M的電壓，而并不以預(yù)定間隔使用第三計(jì)時(shí)器來觀察公共操作信號(hào)線M的電壓。在這個(gè)變型中，當(dāng)在圖10中在步驟SS3中的公共操作信號(hào)電平為低時(shí)，離子發(fā)生器連續(xù)檢測(cè)公共操作信號(hào)電平。然后，當(dāng)檢測(cè)到公共操作信號(hào)電平為高時(shí)，程序可以轉(zhuǎn)到步驟SS5。換句話講，步驟SS4的等待時(shí)間t3可以基本上為0秒。在這種情況下，離子發(fā)生器可能未提供有第三計(jì)時(shí)器。接著，以下將說明本發(fā)明的第三實(shí)施例的離子發(fā)生器和靜電荷消除系統(tǒng)。如圖13 中所示，本實(shí)施例的靜電荷消除系統(tǒng)包括電源2 ；以及離子發(fā)生器31。離子發(fā)生器31包括控制單元32 ；以及多個(gè)靜電荷消除單元33a至33d，其連接到控制單元32。各靜電荷消除單元33a至33d連接到公共電源2。如圖14中所示，控制單元32包括控制部分34 ；第一計(jì)時(shí)器5 ；第二計(jì)時(shí)器6 ；以及通信部分36，其用于發(fā)送信號(hào)并且從靜電荷消除單元33a 至33d的通信部分36接收信號(hào)。如其中示出靜電荷消除單元33a為代表的圖15中所示，各靜電荷消除單元33a至 33d包括離子發(fā)生部分8 ；空氣鼓吹部分9 ；清潔部分10 ；以及通信部分36，其用于發(fā)送信號(hào)并且從控制單元32的通信部分35接收信號(hào)。通信部分36將關(guān)于清潔部分10是否操作的檢測(cè)結(jié)果發(fā)送到控制單元32，并且從控制單元32接收開始進(jìn)行清潔操作的指令。根據(jù)第一計(jì)時(shí)器5和第二計(jì)時(shí)器6測(cè)得的延遲時(shí)間、和循環(huán)時(shí)間t2，控制單元32向各靜電荷消除單元33a至33d發(fā)出開始進(jìn)行清潔操作的指令。通信部分36可以使用與控制單元32的通信部分35相同的通信部分。圖16是用于說明本實(shí)施例的靜電荷消除系統(tǒng)的操作的流程圖。當(dāng)離子發(fā)生器31 的開關(guān)導(dǎo)通(步驟SSS1)并且經(jīng)過預(yù)定的等待時(shí)間、(步驟SSS2)時(shí)，控制單元32向第一靜電荷消除單元33a發(fā)送開始進(jìn)行清潔操作的指令。當(dāng)?shù)谝混o電荷消除單元33a從控制單元32接收到指令時(shí)，開始清潔放電電極的清潔操作(步驟SSS3)。在從第一靜電荷消除單元33a開始清潔操作起經(jīng)過預(yù)定的等待時(shí)間、6554)之后，控制單元32向第二靜電荷消除單元3 發(fā)送開始進(jìn)行清潔操作的指令。第二靜電荷消除單元3 接收控制單元32所發(fā)送的指令，并且開始清潔放電電極的清潔操作(SSS5)。同樣，以相同的方式清潔與控制單元32連接的其它靜電荷消除單元33c、33d(SSSn)。如上所述，在經(jīng)過等待時(shí)間、之后，靜電荷消除單元33a至33d依次執(zhí)行清潔放電電極的清潔操作。在所有的靜電荷消除單元33a至33d已完成清潔操作之后，當(dāng)從第一靜電荷消除單元33a開始起經(jīng)過預(yù)定的循環(huán)時(shí)間、(SSSn+l)時(shí)，控制單元32向第一靜電荷消除單元 33a發(fā)送開始清潔放電電極的第二次清潔操作的指令。第一靜電荷消除單元33a從控制單元32接收指令，并且開始清潔放電電極的第二次清潔操作(SSSn+2)。以相同的方式，其它靜電荷消除單元3 至33d執(zhí)行第二次清潔操作(SSSn+2至SSSn+n)。在經(jīng)過循環(huán)時(shí)間t2 之后，各靜電荷消除單元33a至33d依次重復(fù)執(zhí)行操作，以對(duì)放電電極進(jìn)行清潔。就這一點(diǎn)而言，當(dāng)?shù)却龝r(shí)間、隨機(jī)改變時(shí)，第一靜電荷消除單元33a的清潔操作和第二靜電荷消除單元33b的清潔操作之間的間隔可以是恒定或可變的。或者，可以采用以下的構(gòu)成方式。如圖17中所示，作為靜電荷消除單元4 至43d的多個(gè)從單元45連接到主單元44，主單元44具有位于同一外殼內(nèi)的控制單元41和靜電荷消除單元43a，使得系統(tǒng)可以得以構(gòu)成。在這種情況下，不必提供將處于同一外殼(主單元44)中的控制單元41 連接到靜電荷消除單元43a的通信部分。控制單元41和靜電荷消除單元43a可以通過電源線彼此進(jìn)行通信?；蛘?，控制單元41和靜電荷消除單元43a可以通過以不同于電源線的方式布置的通信線彼此進(jìn)行通信。在本說明書中，以上說明了離子發(fā)生器和靜電荷消除系統(tǒng)。然而，應(yīng)該注意，本發(fā)明不受以上公開的實(shí)施例限制，并且可以對(duì)本發(fā)明進(jìn)行變形和改進(jìn)。在本說明書中，對(duì)離子發(fā)生器3a至3d以及23a至23d進(jìn)行說明，這些離子發(fā)生器具有用于清潔放電電極的清潔部分。然而，作為清潔部分的替代，改變風(fēng)向的風(fēng)向改變功能可以是功能部分，也就是說，應(yīng)該注意，功能部分的形式不受具體實(shí)施例限制。另外，離子發(fā)生器可以設(shè)置有整流器或變壓器，并且可以轉(zhuǎn)換并消耗從電源2所發(fā)送的電功率。
權(quán)利要求
1.一種離子發(fā)生器，其用于當(dāng)空氣離子被鼓吹到帶靜電荷的物體，并且當(dāng)所述靜電荷將從所述物體被消除時(shí)，通過中和所述靜電荷來消除所述物體中的所述靜電荷，所述離子發(fā)生器包括控制部分；功能部分，當(dāng)從所述控制部分向所述功能部分發(fā)送指令時(shí)，所述功能部分進(jìn)行操作； 第一計(jì)時(shí)器，所述第一計(jì)時(shí)器用于測(cè)量從電源導(dǎo)通的時(shí)刻到所述功能部分在第一次執(zhí)行操作的時(shí)刻的等待時(shí)間；以及第二計(jì)時(shí)器，所述第二計(jì)時(shí)器用于測(cè)量循環(huán)時(shí)間，使得所述功能部分可在第二次或隨后將所述操作重復(fù)執(zhí)行預(yù)定的循環(huán)時(shí)間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離子發(fā)生器，其中所述功能部分是清潔部分，用于清潔與對(duì)向電極一起產(chǎn)生電暈放電的放電電極。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的離子發(fā)生器，其中所述第一計(jì)時(shí)器包括用于設(shè)置所述第一計(jì)時(shí)器中的所述等待時(shí)間的隨機(jī)電路。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的一項(xiàng)所述的離子發(fā)生器，所述離子發(fā)生器進(jìn)一步包括 控制單元，所述控制單元具有所述控制部分、所述第一計(jì)時(shí)器和所述第二計(jì)時(shí)器；以及多個(gè)靜電荷消除單元，所述多個(gè)靜電荷消除單元分別具有所述功能部分，其中所述控制部分使所述第一計(jì)時(shí)器測(cè)量所述等待時(shí)間并且還使所述第二計(jì)時(shí)器測(cè)量所述循環(huán)時(shí)間，并且控制所述多個(gè)靜電荷消除單元，使得所述靜電荷消除單元的所述功能部分可以依次進(jìn)行操作。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的一項(xiàng)所述的離子發(fā)生器，所述離子發(fā)生器進(jìn)一步包括信號(hào)檢測(cè)部分，所述信號(hào)檢測(cè)部分用于檢測(cè)與多個(gè)離子發(fā)生器電連接的公共操作信號(hào)線的電壓電平；以及信號(hào)輸出部分，所述信號(hào)輸出部分用于向所述公共操作信號(hào)線輸出操作信號(hào)，以便當(dāng)所述功能部分進(jìn)行操作時(shí)將所述公共操作信號(hào)線的電壓電平降低至低于預(yù)定電壓電平的值，其中所述控制部分根據(jù)所述信號(hào)檢測(cè)部分檢測(cè)到的所述電壓電平來判斷操作所述功能部分的時(shí)序。
6.一種具有多個(gè)離子發(fā)生器的靜電荷消除系統(tǒng)，所述多個(gè)離子發(fā)生器用于當(dāng)空氣離子被鼓吹到帶靜電荷的物體，并且當(dāng)所述靜電荷將從所述物體被消除時(shí)，通過中和所述靜電荷來消除所述物體中的靜電荷，其中從公共電源向所述多個(gè)離子發(fā)生器提供電功率，各離子發(fā)生器包括控制部分；功能部分，當(dāng)從所述控制部分向所述功能部分發(fā)送指令時(shí)，所述功能部分進(jìn)行操作； 第一計(jì)時(shí)器，所述第一計(jì)時(shí)器用于測(cè)量從電源導(dǎo)通的時(shí)刻到所述功能部分第一次執(zhí)行操作的時(shí)刻的等待時(shí)間；以及第二計(jì)時(shí)器，所述第二計(jì)時(shí)器用于測(cè)量循環(huán)時(shí)間，使得所述功能部分可在第二次或隨后將所述操作重復(fù)執(zhí)行預(yù)定的循環(huán)時(shí)間，其中，在所述功能部分的操作時(shí)序移位的同時(shí)，各離子發(fā)生器操作所述功能部分。
全文摘要
在本發(fā)明的實(shí)施例中，提供了離子發(fā)生器和靜電荷消除系統(tǒng)，其中在同時(shí)使用具有諸如清潔功能之類的可選功能的多個(gè)離子發(fā)生器或者使用具有多個(gè)可選功能的離子發(fā)生器的情況下，當(dāng)操作可選功能部分的時(shí)序移位時(shí)，功能部分可以在不增加電流消耗的情況下進(jìn)行操作。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，離子發(fā)生器包括控制部分7；清潔部分10，當(dāng)從所述控制部分7向清潔部分發(fā)送指令時(shí)，所述清潔部分進(jìn)行操作；第一計(jì)時(shí)器5，第一計(jì)時(shí)器5用于測(cè)量從電源導(dǎo)通的時(shí)刻到清潔部分10第一次執(zhí)行操作的時(shí)刻的等待時(shí)間；以及第二計(jì)時(shí)器6，第二計(jì)時(shí)器6用于測(cè)量循環(huán)時(shí)間，使得清潔部分10可在第二次或隨后將所述操作重復(fù)執(zhí)行預(yù)定的循環(huán)時(shí)間。
文檔編號(hào)H01T23/00GK102460869SQ201080032697
公開日2012年5月16日 申請(qǐng)日期2010年5月26日 優(yōu)先權(quán)日2009年5月29日
發(fā)明者伊東正彥, 佐藤義明 申請(qǐng)人:3M創(chuàng)新有限公司