專利名稱：光學(xué)檢測(cè)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及機(jī)械技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于半導(dǎo)體芯片制造業(yè)的光學(xué)檢測(cè)
直O(jiān)
背景技術(shù)：
隨著半導(dǎo)體芯片技術(shù)的高速發(fā)展以及市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)的逐漸加劇，芯片產(chǎn)品的質(zhì)量穩(wěn)定 性及生產(chǎn)效率對(duì)制造商來(lái)說(shuō)顯得尤為重要。以往，對(duì)芯片產(chǎn)品的質(zhì)量檢測(cè)主要采用人工方式。人工檢測(cè)的缺點(diǎn)很明顯檢測(cè)效 率低，檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性差，人員的成本高以及長(zhǎng)時(shí)間的檢測(cè)對(duì)員工的視力還有一定傷害。后期，也有一些半自動(dòng)化的檢測(cè)設(shè)備，但檢測(cè)項(xiàng)目少，檢測(cè)手段單一，檢測(cè)效率低； 并且為未設(shè)置故障報(bào)警環(huán)節(jié)，在實(shí)際使用中，遇到彈夾變形、產(chǎn)品變形等特殊情況會(huì)對(duì)產(chǎn)品 構(gòu)成破壞。因此，本領(lǐng)域的技術(shù)人員一直致力于開(kāi)發(fā)一種自動(dòng)化程度高、檢測(cè)手段多的芯片 類產(chǎn)品的檢測(cè)裝置。

實(shí)用新型內(nèi)容有鑒于現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種自動(dòng)化 程度高、檢測(cè)手段多的光學(xué)檢測(cè)裝置。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了一種光學(xué)檢測(cè)裝置，設(shè)置在床體上一軌道的 一端，與設(shè)置在所述軌道另一端的容置待檢產(chǎn)品的彈夾相對(duì)設(shè)置；所述檢測(cè)裝置至少包括 一與所述軌道相向設(shè)置的視覺(jué)機(jī)構(gòu)；一用于抓夾所述待檢產(chǎn)品的產(chǎn)品夾持機(jī)構(gòu)，可移動(dòng)地 設(shè)置在所述軌道上；一第一傳感器，設(shè)置在所述彈夾末端相對(duì)位置；一第二傳感器，設(shè)置在 所述軌道的相對(duì)位置；還包括一控制機(jī)構(gòu)。較佳地，所述產(chǎn)品夾持機(jī)構(gòu)包括可開(kāi)合的夾爪結(jié)構(gòu)及與所述軌道滑移配合的夾持 支架。較佳地，還包括一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，與所述產(chǎn)品夾持機(jī)構(gòu)連接。以驅(qū)使所述產(chǎn)品夾持機(jī)構(gòu) 位移。所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)為絲杠螺母機(jī)構(gòu)。所述絲杠螺母機(jī)構(gòu)的絲杠與電機(jī)動(dòng)力連接，所述絲 杠螺母機(jī)構(gòu)的螺母與所述產(chǎn)品夾持機(jī)構(gòu)可拆卸固定連接。較佳地，所述控制機(jī)構(gòu)具有輸入工作模式的控制面板。較佳地，所述控制機(jī)構(gòu)還包括報(bào)警裝置。所述控制機(jī)構(gòu)接受到所述第一傳感器和 /或所述第二傳感器的報(bào)警信號(hào)后觸發(fā)所述報(bào)警裝置工作。較佳地，所述控制機(jī)構(gòu)還包括一搖柄控制按鈕機(jī)構(gòu)。較佳地，所述視覺(jué)機(jī)構(gòu)為顯微鏡機(jī)構(gòu)。本實(shí)用新型主要應(yīng)用于半導(dǎo)體的芯片制造行業(yè)，用于完成半導(dǎo)體封裝生產(chǎn)中的一 道工序——第三光學(xué)檢測(cè)(3rd Optical Inspection)工序，該道工序是在焊線后(Wire Bond)進(jìn)行。在半導(dǎo)體行業(yè)的芯片產(chǎn)品的檢測(cè)過(guò)程中，產(chǎn)品會(huì)不時(shí)發(fā)生脫軌而損壞，也隨之報(bào)廢的情況。本實(shí)用新型通過(guò)對(duì)在軌卡料狀況的檢測(cè)可以有效防止檢測(cè)產(chǎn)品在檢測(cè)過(guò)程中 被毀壞，進(jìn)而提高了設(shè)備在運(yùn)行過(guò)程中的穩(wěn)定性。本實(shí)用新型是一款自動(dòng)化程度高、檢測(cè)手段多的芯片類產(chǎn)品的檢測(cè)裝置。該檢測(cè) 裝置針對(duì)體積小、功能多的高集成度芯片，在極大規(guī)模集成電路生產(chǎn)中對(duì)提高生產(chǎn)效率和 產(chǎn)品良品率作用突出。本實(shí)用新型由于采用上述結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可以設(shè)置多種檢測(cè)手段，改善了檢測(cè)裝置的 自動(dòng)化程度，提高了檢測(cè)精度；還設(shè)置了報(bào)警機(jī)構(gòu)，有效防止了檢測(cè)操作對(duì)產(chǎn)品的破壞；還 具有裝置尺寸小巧，結(jié)構(gòu)緊湊，大大縮小了設(shè)備的占地空間。以下將結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的構(gòu)思、具體結(jié)構(gòu)及產(chǎn)生的技術(shù)效果作進(jìn)一步說(shuō) 明，以充分地了解本實(shí)用新型的目的、特征和效果。

圖1是本實(shí)用新型一具體實(shí)施例的立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是圖1所示實(shí)施例的主視結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是圖1中A部局部放大圖；圖4是圖1所示實(shí)施例的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。附圖標(biāo)號(hào)產(chǎn)品B，床體1，軌道2，彈夾3，顯微鏡機(jī)構(gòu)4，顯微鏡安裝支架41，產(chǎn)品夾持機(jī)構(gòu)5， 第一傳感器6，第二傳感器7，控制機(jī)構(gòu)8，控制面板81，報(bào)警裝置82，搖柄控制按鈕機(jī)構(gòu)83， 一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)9。
具體實(shí)施方式
如圖1至圖4所示為本實(shí)用新型一具體實(shí)施例，該光學(xué)檢測(cè)裝置設(shè)置在床體1上 一軌道2的一端，與設(shè)置在軌道2另一端的、用于容置產(chǎn)品B的彈夾3相對(duì)設(shè)置。彈夾3放 置在Z向舉升機(jī)構(gòu)31的平臺(tái)上。該檢測(cè)裝置包括一用作視覺(jué)機(jī)構(gòu)的顯微鏡機(jī)構(gòu)4通過(guò)顯微鏡安裝支架41固定在床體1上，其視線 落在軌道2上可覆蓋產(chǎn)品B。一用于抓夾產(chǎn)品B的產(chǎn)品夾持機(jī)構(gòu)5，可移動(dòng)地設(shè)置在軌道2上。產(chǎn)品夾持機(jī)構(gòu)5 包括可開(kāi)合的夾爪結(jié)構(gòu)及與軌道2滑移配合的夾持支架(未做圖示)。可開(kāi)合的夾爪結(jié)構(gòu) 實(shí)現(xiàn)對(duì)產(chǎn)品B的抓夾作業(yè)。一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)9，與產(chǎn)品夾持機(jī)構(gòu)5連接，以驅(qū)使產(chǎn)品夾持機(jī)構(gòu)5位移。本實(shí)施例中， 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)9為一 XY向移動(dòng)平臺(tái)，具體為絲杠螺母機(jī)構(gòu)，絲杠螺母機(jī)構(gòu)的絲杠與設(shè)置在床體 1內(nèi)的電機(jī)動(dòng)力連接，絲杠螺母機(jī)構(gòu)的螺母與產(chǎn)品夾持機(jī)構(gòu)5的夾持支架可拆卸固定連接。一第一傳感器6，設(shè)置在彈夾3末端相對(duì)位置。該“相對(duì)位置”的含義是，本領(lǐng)域普 通技術(shù)人員可以采用現(xiàn)有的技術(shù)手段，通過(guò)位置調(diào)整使第一傳感器6可以檢測(cè)到在彈夾3 的出口處被卡住的產(chǎn)品B。一第二傳感器7，設(shè)置在軌道2的相對(duì)位置。該“相對(duì)位置”的含義是，本領(lǐng)域普通 技術(shù)人員可以采用現(xiàn)有的技術(shù)手段，通過(guò)位置調(diào)整使第二傳感器7可檢測(cè)到因各種意外原 因滯留在軌道2上的產(chǎn)品B。[0030]該檢測(cè)裝置還包括一控制機(jī)構(gòu)8?？刂茩C(jī)構(gòu)8具有輸入多種工作模式的控制面板 81，通過(guò)機(jī)臺(tái)上的控制面板81，點(diǎn)選檢測(cè)裝置的檢查模式?？刂茩C(jī)構(gòu)8還包括報(bào)警裝置82，控制機(jī)構(gòu)8接受到第一傳感6器和/或第二傳感 器7的報(bào)警信號(hào)后觸發(fā)報(bào)警裝置82工作?？刂茩C(jī)構(gòu)8還包括一搖柄控制按鈕機(jī)構(gòu)83。以下說(shuō)明本實(shí)用新型的檢測(cè)模式，本實(shí)用新型的檢測(cè)裝置具有三種檢測(cè)模式1、手動(dòng)抽檢模式操作人員通過(guò)控制面板82輸入所想檢測(cè)的科目，直接按動(dòng)搖柄控制按鈕機(jī)構(gòu)83， 發(fā)出信號(hào)給電機(jī)，控制驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)9中的X向電機(jī)91開(kāi)始動(dòng)作，通過(guò)絲杠帶動(dòng)夾持支架沿X 向移動(dòng)。夾持機(jī)構(gòu)5運(yùn)行至夾持產(chǎn)品B的位置前，夾爪處于開(kāi)合狀態(tài)。當(dāng)?shù)诌_(dá)產(chǎn)品夾持位 置后，夾持機(jī)構(gòu)5的汽缸開(kāi)始工作，夾爪在汽缸的作用下閉合，將產(chǎn)品B夾住后，通過(guò)程序控 制，給X向電機(jī)91 一個(gè)信號(hào)，帶動(dòng)絲杠反向旋轉(zhuǎn)，就可以將產(chǎn)品B從彈夾3中拉至顯微鏡機(jī) 構(gòu)4下進(jìn)行檢測(cè)。2、自動(dòng)抽檢模式操作人員只要直接按動(dòng)搖柄控制按鈕機(jī)構(gòu)83，就可將放在Z向舉升平臺(tái)31上的彈 夾3中的待檢產(chǎn)品B，逐條按照從下至上的順序拉至顯微鏡機(jī)構(gòu)4下進(jìn)行檢測(cè)。3、隨即抽檢模式此模式下，檢測(cè)的產(chǎn)品B隨機(jī)地從彈夾3中被拉至顯微鏡機(jī)構(gòu)4下進(jìn)行檢測(cè)。以下結(jié)合本實(shí)用新型的檢測(cè)裝置的工作原理說(shuō)明本實(shí)用新型的檢測(cè)裝置的操作 方法本實(shí)用新型的檢測(cè)裝置對(duì)產(chǎn)品在軌卡料檢測(cè)的原理是通過(guò)兩傳感器檢測(cè)橫向與 縱向兩方向卡料，產(chǎn)品在軌橫向輸送產(chǎn)品時(shí)，當(dāng)產(chǎn)品、彈夾變形等原因造成卡料現(xiàn)象，系統(tǒng) 能通過(guò)傳感器即時(shí)偵測(cè)到卡料信號(hào)，并停機(jī)報(bào)警處理，待操作人員清理完料后即可恢復(fù)正 常工作。當(dāng)氣夾將產(chǎn)品送入彈夾后退時(shí)，產(chǎn)品變形造成將產(chǎn)品帶出彈夾，當(dāng)升降機(jī)往下運(yùn)行 時(shí)會(huì)將產(chǎn)品折壞，這時(shí)可通過(guò)另一傳感器檢測(cè)軌道中是否有產(chǎn)品后再方可進(jìn)行升降動(dòng)作， 當(dāng)有產(chǎn)品在軌時(shí)系統(tǒng)報(bào)警并停機(jī)處理。具體地，正常作業(yè)時(shí)，操作人員按動(dòng)搖柄控制按鈕機(jī)構(gòu)83上的開(kāi)關(guān)按鈕，產(chǎn)品B的 夾持機(jī)構(gòu)5將把產(chǎn)品B從彈夾3中拉出，沿著軌道2至顯微鏡機(jī)構(gòu)4下做檢測(cè)。當(dāng)產(chǎn)品B被檢測(cè)完畢后，被送回彈夾3的過(guò)程中，產(chǎn)品B沒(méi)有被完全推出軌道2時(shí)， 判斷軌道2中有無(wú)產(chǎn)品B的第二傳感器7開(kāi)始工作，提醒操作人員產(chǎn)品B未完全脫離軌道2， 需手動(dòng)將產(chǎn)品B移出軌道2。此狀態(tài)時(shí)，Z向舉升機(jī)構(gòu)31將停止上下運(yùn)動(dòng)。只有將產(chǎn)品B完 全清除出軌道2后，Z向舉升機(jī)構(gòu)31才開(kāi)始再次正常運(yùn)行，避免了毀壞產(chǎn)品B的現(xiàn)象發(fā)生。當(dāng)產(chǎn)品B被檢測(cè)完畢后，順利通過(guò)軌道2被送回彈夾3的過(guò)程中，因彈夾3變形等 原因造成產(chǎn)品B沒(méi)有被送進(jìn)彈夾3時(shí)，用作卡料報(bào)警的第一傳感器6開(kāi)始工作，產(chǎn)品夾持機(jī) 構(gòu)5停止運(yùn)行，機(jī)臺(tái)上的報(bào)警裝置82提示操作人員出錯(cuò)，避免毀壞檢測(cè)的產(chǎn)品B。綜上所述，本說(shuō)明書(shū)中所述的只是本實(shí)用新型的幾種較佳具體實(shí)施例，以上實(shí)施 例僅用以說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方案而非限制。凡本技術(shù)領(lǐng)域中技術(shù)人員依本實(shí)用新型的 構(gòu)思在現(xiàn)有技術(shù)的基礎(chǔ)上通過(guò)邏輯分析、推理或者有限的實(shí)驗(yàn)可以得到的技術(shù)方案，皆應(yīng) 在本實(shí)用新型的權(quán)利要求保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種光學(xué)檢測(cè)裝置，設(shè)置在床體上一軌道的一端，與設(shè)置在所述軌道另一端的容置 待檢產(chǎn)品的彈夾相對(duì)設(shè)置；其特征在于所述檢測(cè)裝置至少包括一與所述軌道相向設(shè)置 的視覺(jué)機(jī)構(gòu)；一用于抓夾所述待檢產(chǎn)品的產(chǎn)品夾持機(jī)構(gòu)，可移動(dòng)地設(shè)置在所述軌道上；一 第一傳感器，設(shè)置在所述彈夾末端相對(duì)位置；一第二傳感器，設(shè)置在所述軌道的相對(duì)位置； 還包括一控制機(jī)構(gòu)。
2.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)檢測(cè)裝置，其特征在于所述產(chǎn)品夾持機(jī)構(gòu)包括可開(kāi)合的 夾爪結(jié)構(gòu)及與所述軌道滑移配合的夾持支架。
3.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)檢測(cè)裝置，其特征在于還包括一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，與所述產(chǎn)品夾 持機(jī)構(gòu)連接。
4.如權(quán)利要求3所述的光學(xué)檢測(cè)裝置，其特征在于所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)為絲杠螺母機(jī)構(gòu)。
5.如權(quán)利要求4所述的光學(xué)檢測(cè)裝置，其特征在于所述絲杠螺母機(jī)構(gòu)的絲杠與電機(jī) 動(dòng)力連接，所述絲杠螺母機(jī)構(gòu)的螺母與所述產(chǎn)品夾持機(jī)構(gòu)可拆卸固定連接。
6.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)檢測(cè)裝置，其特征在于所述控制機(jī)構(gòu)具有輸入工作模式 的控制面板。
7.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)檢測(cè)裝置，其特征在于所述控制機(jī)構(gòu)還包括報(bào)警裝置。
8.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)檢測(cè)裝置，其特征在于所述控制機(jī)構(gòu)還包括一搖柄控制 按鈕機(jī)構(gòu)。
9.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)檢測(cè)裝置，其特征在于所述視覺(jué)機(jī)構(gòu)為顯微鏡機(jī)構(gòu)。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種光學(xué)檢測(cè)裝置，該檢測(cè)裝置設(shè)置在床體上一軌道的一端，與設(shè)置在軌道另一端的容置待檢產(chǎn)品的彈夾相對(duì)設(shè)置；檢測(cè)裝置至少包括一與軌道相向設(shè)置的視覺(jué)機(jī)構(gòu)；一用于抓夾待檢產(chǎn)品的產(chǎn)品夾持機(jī)構(gòu)，可移動(dòng)地設(shè)置在軌道上；一第一傳感器，設(shè)置在彈夾末端相對(duì)位置；一第二傳感器，設(shè)置在軌道的相對(duì)位置；還包括一控制機(jī)構(gòu)。本實(shí)用新型由于通過(guò)對(duì)在軌卡料狀況的檢測(cè)，可以有效防止檢測(cè)產(chǎn)品在檢測(cè)過(guò)程中被毀壞，進(jìn)而提高設(shè)備在運(yùn)行過(guò)程中的穩(wěn)定性；可以設(shè)置多種檢測(cè)的手段，改善檢測(cè)裝置的自動(dòng)化程度，提高檢測(cè)的精度；同時(shí)裝置尺寸小巧，結(jié)構(gòu)緊湊的特點(diǎn)，大大縮小了設(shè)備的占地空間。
文檔編號(hào)H01L21/66GK201868399SQ20102061470
公開(kāi)日2011年6月15日 申請(qǐng)日期2010年11月19日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月19日
發(fā)明者呂克振, 崔學(xué)峰 申請(qǐng)人:上海微曦自動(dòng)控制技術(shù)有限公司