專利名稱：基板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種針對(duì)OLED(Organic Light Emitting Diode有機(jī)發(fā)光二極體 面板)的蒸鍍工序中使用的基板。
背景技術(shù)：
目前在針對(duì)OLED的蒸鍍工序中，在基板的對(duì)角線上有2個(gè)對(duì)位碼，在掩模板的相 應(yīng)位置也有對(duì)位碼，蒸鍍機(jī)中使用的對(duì)位方式是用兩個(gè)CCD攝像頭測(cè)對(duì)位的方式，將基板 的對(duì)位碼和掩模板的對(duì)位碼進(jìn)行對(duì)位。但這種方式需要反復(fù)取出掩模板和基板，將掩模板 遮住基板需要覆蓋的區(qū)域，再放到裝載腔室中蒸鍍，該方法費(fèi)時(shí)費(fèi)力，并且遮蓋時(shí)也很容易 發(fā)生對(duì)位不準(zhǔn)確的問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種蒸鍍時(shí)不需要卸載掩模板的基板。本實(shí)用新型解決技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是基板，在所述基板的四個(gè)角上都 設(shè)置有對(duì)位碼。本實(shí)用新型的有益效果是由于在基板的四個(gè)角上都設(shè)置有對(duì)位碼，在旋轉(zhuǎn)基板 后進(jìn)行蒸鍍，不會(huì)產(chǎn)生對(duì)位問(wèn)題，因此就不用取出掩模板再去進(jìn)行材料測(cè)試。

圖1是本實(shí)用新型的掩模板和基板的示意圖。(圖Ia是掩模板，圖Ib是基板)圖2是本實(shí)用新型基板的旋轉(zhuǎn)示意圖。(圖加是基板的原始狀態(tài)示意圖，圖2b是 旋轉(zhuǎn)90°后基板的狀態(tài)示意圖。)圖3是基板完成蒸鍍后的形態(tài)示意圖。(圖3a是基板完成第一次蒸鍍后的形態(tài)示 意圖，圖北是基板完成第二次蒸鍍后的形態(tài)示意圖。)
具體實(shí)施方式
如圖1所示，本實(shí)用新型在基板的四個(gè)角設(shè)置有對(duì)位碼1，其中圖1 a是掩模板，圖 Ib是基板，將基板裝載到裝載腔中，掩模板也在要做材料測(cè)試的腔體上裝載，之后的蒸鍍方 法與目前的方式一樣，不做測(cè)試的有機(jī)材料層與以往一樣進(jìn)行蒸鍍，要做測(cè)試的層也與以 往的方法一樣進(jìn)行蒸鍍，完成蒸鍍后將基板放到緩沖腔中，緩沖腔中的基臺(tái)具備旋轉(zhuǎn)90° 的功能，這樣裝載到緩沖腔的基板也會(huì)跟著基臺(tái)一起旋轉(zhuǎn)90°，如圖2所示，其中圖加是基 板的原始狀態(tài)，圖2b是旋轉(zhuǎn)90°后的基板的狀態(tài)，將旋轉(zhuǎn)后的基板再傳送到要做測(cè)試的腔 體里，進(jìn)行第二次蒸鍍，這樣就可以在一張基板上進(jìn)行兩種條件測(cè)試，由于本實(shí)用新型基板 的四個(gè)角都設(shè)置對(duì)位碼1，因此基板在旋轉(zhuǎn)90°后其對(duì)位碼1也不會(huì)有變化，所以旋轉(zhuǎn)后再 蒸鍍也不會(huì)產(chǎn)生對(duì)位問(wèn)題，用這樣的方法進(jìn)行蒸鍍測(cè)試時(shí)，不用卸載掩模板也可以進(jìn)行測(cè) 試，從而提高了作業(yè)效率。[0010] 圖3是基板完成蒸鍍后的形態(tài)示意圖，其中圖3a是基板完成第一次蒸鍍后的形態(tài) 示意圖，圖北是基板完成第二次蒸鍍后的形態(tài)示意圖，也就基板在旋轉(zhuǎn)90°后蒸鍍的形態(tài) 示意圖。
權(quán)利要求1.基板，其特征在于在所述基板的四個(gè)角上都設(shè)置有對(duì)位碼(1)。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種蒸鍍時(shí)不需要卸載掩模板的基板?；澹谒龌宓乃膫€(gè)角上都設(shè)置有對(duì)位碼。本實(shí)用新型由于在基板的四個(gè)角上都設(shè)置有對(duì)位碼，在旋轉(zhuǎn)基板后進(jìn)行蒸鍍，不會(huì)產(chǎn)生對(duì)位問(wèn)題，因此就不用取出掩模板再去進(jìn)行材料測(cè)試。
文檔編號(hào)H01L51/56GK201845781SQ20102060415
公開(kāi)日2011年5月25日 申請(qǐng)日期2010年11月12日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月12日
發(fā)明者崔成晉, 車(chē)炯坤, 郭鐘云 申請(qǐng)人:四川虹視顯示技術(shù)有限公司