專利名稱:一種擴散片pn面判定儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實用新型涉及一種擴散片,特別涉及一種擴散片PN面判定儀。
背景技術(shù):
擴散片是半導體元器件制造過程中產(chǎn)生的半成品。其在生產(chǎn)過程中需要進行PN 面的判定,傳統(tǒng)的檢測方法是將擴散片取出部分,置于混合酸測試溶液中,根據(jù)擴散面PN 面的不同腐蝕速率來判斷PN面,測試具有破壞性。
實用新型內(nèi)容本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種結(jié)構(gòu)簡單測試方便的擴散片PN面判定 儀。為解決上述技術(shù)問題,本實用新型的技術(shù)方案為一種擴散片PN面判定儀,包括 放大器,該放大器具有兩個輸入端和一個輸出端,其創(chuàng)新點在于所述放大器的兩輸入端分 別連接有兩根鋼針,輸出端連接有電流表,在其中一根鋼針的中部綁有電烙鐵。本實用新型的優(yōu)點在于使用時,電烙鐵對于其接觸的鋼針加熱,將一冷鋼針和加 熱的熱鋼針同時抵住擴散片的同一面,利用同一面的鋼針溫差激發(fā)電子流,該電子流經(jīng)放 大器放大后,由電流表讀出,根據(jù)擴散片PN面電子流不同的流向和電流表指針的方向來判 定PN面。結(jié)構(gòu)簡單,判斷快速方便,不具有破壞性。
附圖為本實用新型擴散片PN面判定儀結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
如附圖所示,本實用新型包括放大器1、第一鋼針2、第二鋼針3、電烙鐵4、電流表 5。上述放大器1具有兩個輸入端和一個輸出端,兩根輸入端上分別連接有第一鋼針 2和第二鋼針3,輸出端連接有電流表5。在第一鋼針2的中部綁有電烙鐵4。使用時,將電烙鐵4通電,對第一鋼針2進行加熱,將冷的第二鋼針3和熱的第一 鋼針2同時抵住擴散片的同一面,利用同一面的鋼針溫差激發(fā)電子流,該電子流經(jīng)放大器1 放大后,由電流表5讀出,根據(jù)擴散片PN面電子流不同的流向和電流表指針的方向來判定 PN面,結(jié)構(gòu)簡單,判斷快速方便,不具有破壞性。
權(quán)利要求一種擴散片PN面判定儀,包括放大器,該放大器具有兩個輸入端和一個輸出端,其特征在于所述放大器的兩輸入端分別連接有兩根鋼針,輸出端連接有電流表,在其中一根鋼針的中部綁有電烙鐵。
專利摘要本實用新型涉及一種擴散片PN面判定儀,包括放大器,該放大器具有兩個輸入端和一個輸出端,其創(chuàng)新點在于所述放大器的兩輸入端分別連接有兩根鋼針,輸出端連接有電流表,在其中一根鋼針的中部綁有電烙鐵。使用本實用新型時,電烙鐵對于其接觸的鋼針加熱,將一冷鋼針和加熱的熱鋼針同時抵住擴散片的同一面,利用同一面的鋼針溫差激發(fā)電子流,該電子流經(jīng)放大器放大后,由電流表讀出,根據(jù)擴散片PN面電子流不同的流向和電流表指針的方向來判定PN面。結(jié)構(gòu)簡單,判斷快速方便,不具有破壞性。
文檔編號H01L21/66GK201717247SQ20102017870
公開日2011年1月19日 申請日期2010年5月5日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月5日
發(fā)明者張練佳, 梅余鋒, 賁海蛟, 陳建華, 黃建山 申請人:如皋市易達電子有限責任公司