專利名稱：用于pecvd工序與絲網(wǎng)印刷工序間的裝卸片運(yùn)載車的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及太陽電池制造領(lǐng)域，尤其涉及一種用在PECVD工序和絲網(wǎng)印刷工 序之間，方便從石墨舟中取出硅片并直接插入絲網(wǎng)印刷工序用的夾具(Casset)中的裝卸 片運(yùn)載車。
背景技術(shù)：
太陽電池制造過程中，很多工序中都會涉及到裝卸硅片，即將硅片裝入專門夾具 中或者從專門夾具中取出。裝卸片過程中很可能會出現(xiàn)硅片碎片產(chǎn)生損失，因此降低碎片 率是太陽電池制造過程中需要重點(diǎn)考慮的，常常采取的措施是減少工序過渡，減少人工參
弓寸寸。PECVD工序(等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣象沉積工序)完成后需要從石墨舟中取出硅 片，然后裝載到絲網(wǎng)印刷承載盒(Casset)中進(jìn)行絲網(wǎng)印刷。現(xiàn)有技術(shù)中操作人員先將硅片 從石墨舟中取出放到承片盒中(PECVD卸片工序)，然后再從承片盒中取出插入到Casset中 (絲網(wǎng)印刷插片工序)。這種方式人工進(jìn)行了兩次取片放片動(dòng)作，增加了碎片的可能性。為了將PECVD卸片工序和絲網(wǎng)印刷插片工序整合成一道工序，考慮將硅片從石墨 舟中取出后直接插入到Casset中。由于Casset較大且較重，操作人員無法實(shí)現(xiàn)一只手拿 著Casset，另一只手從石墨舟中取片的工作，因此需要給Casset找到支撐點(diǎn)，需要在現(xiàn)有 設(shè)備的基礎(chǔ)上進(jìn)行改進(jìn)。如圖1所示的現(xiàn)有技術(shù)中的用于PECVD工序與絲網(wǎng)印刷工序間的裝卸片運(yùn)載車的 結(jié)構(gòu)示意圖，包括框架11和橫桿12，框架11上設(shè)有石墨舟承載平臺10，使用時(shí)將石墨舟放 到石墨舟承載平臺10上，操作人員將Casset的底部靠在橫桿12上，一只手扶著Casset，另 一只手拿著吸筆從石墨舟中取出硅片插入到Casset中。這種方式雖然將PECVD卸片工序 和絲網(wǎng)印刷插片工序整合成一道工序，但是由于Casset沒有穩(wěn)定的支撐點(diǎn)，靠在橫桿12上 時(shí)在垂直方向上是不固定的，僅僅靠手扶著Casset不僅操作難度大而且相當(dāng)危險(xiǎn)，稍有不 慎可能發(fā)生Casset跌落而造成硅片碎片的生產(chǎn)事故。

實(shí)用新型內(nèi)容為了解決現(xiàn)有技術(shù)中的上述問題，本實(shí)用新型的目的是提供一種可以穩(wěn)定固定絲 網(wǎng)印刷承載盒(Casset)，操作方便的用于PECVD工序與絲網(wǎng)印刷工序間的裝卸片運(yùn)載車， 操作人員可將經(jīng)過PECVD工序的石墨舟中的硅片取出并直接插入到絲網(wǎng)印刷承載盒中。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了一種用于PECVD工序與絲網(wǎng)印刷工序間的 裝卸片運(yùn)載車，包括框架，所述框架上設(shè)有石墨舟承載平臺，所述框架的頂部上設(shè)有托盤固 定架，所述托盤固定架上設(shè)有與絲網(wǎng)印刷承載盒的底部相匹配用于固定所述絲網(wǎng)印刷承載 盒的托盤。作為優(yōu)選，所述托盤固定架為沿所述石墨舟承載平臺長度方向設(shè)置的至少兩根橫 桿。[0009]作為優(yōu)選，所述橫桿為兩根且相互平行。作為優(yōu)選，所述托盤所在平面與所述石墨舟承載平臺傾斜工作狀態(tài)時(shí)所在平面相 平行。作為優(yōu)選，所述托盤沿著所述橫桿長度方向可滑動(dòng)地設(shè)置在橫桿上。作為優(yōu)選，所述托盤中間設(shè)有海綿墊。作為優(yōu)選，所述托盤的最高點(diǎn)比所述石墨舟承載平臺低。作為優(yōu)選，所述石墨舟承載平臺能在水平方向上180度旋轉(zhuǎn)。與現(xiàn)有技術(shù)中相比，本實(shí)用新型的用于PECVD工序與絲網(wǎng)印刷工序間的裝卸片運(yùn) 載車有益效果是可以穩(wěn)定固定絲網(wǎng)印刷承載盒，操作人員可以很方便地將經(jīng)過PECVD工 序的石墨舟中的硅片取出并直接插入到絲網(wǎng)印刷承載盒中，無需采用承片盒進(jìn)行過渡，將 PECVD卸片工序和絲網(wǎng)印刷插片工序整合成一道工序，減少了一道取片插片工序從而減少 了人工參與，降低了硅片碎片風(fēng)險(xiǎn)。

圖1是現(xiàn)有技術(shù)的用于PECVD工序與絲網(wǎng)印刷工序間的裝卸片運(yùn)載車的結(jié)構(gòu)示意 圖；圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例的用于PECVD工序與絲網(wǎng)印刷工序間的裝卸片運(yùn)載車的 結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖詳細(xì)說明本實(shí)用新型的實(shí)施例。需要說明的是附圖僅僅是裝卸片運(yùn) 載車的結(jié)構(gòu)示意圖，實(shí)際應(yīng)用中可以略有不同。如圖2所示的本實(shí)施的用于PECVD工序與絲網(wǎng)印刷工序間的裝卸片運(yùn)載車的結(jié)構(gòu) 示意圖，其包括框架21，框架21上設(shè)有石墨舟承載平臺20，框架21的頂部沿石墨舟承載平臺20 長度上設(shè)有托盤固定架，本實(shí)施例中托盤固定架為相互平行的兩根橫桿22，兩根橫桿22上 設(shè)有尺寸與絲網(wǎng)印刷承載盒(Casset)的底部相匹配用于固定所述絲網(wǎng)印刷承載盒的托盤 23。當(dāng)然，兩根以上的橫桿22也是可以的，只要能使得托盤23在垂直方向上不發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng)即可。其中，托盤23的最高點(diǎn)比石墨舟承載平臺20低，石墨舟承載平臺20能在水平方 向上180度旋轉(zhuǎn)。目前使用的石墨舟大多是雙面插片的，現(xiàn)有技術(shù)中取完其中一面的硅片 后，往往需要將石墨舟從石墨舟承載平臺20上取下，旋轉(zhuǎn)180度后再放回石墨舟承載平臺， 再取另一面的硅片，這種方式增加了操作難度，還存在硅片碎片的危險(xiǎn)。托盤23的最高點(diǎn) 比石墨舟承載平臺20低，則可以將石墨舟承載平臺20旋轉(zhuǎn)180度而達(dá)到旋轉(zhuǎn)石墨舟的目 的，不需要取下石墨舟，操作更加方便。石墨舟通常具有至少兩個(gè)工作狀態(tài)，即豎直工作狀態(tài)和傾斜工作狀態(tài)。為了便于 操作人員取放硅片，取放歸片時(shí)石墨舟處于傾斜工作狀態(tài)，且兩根橫桿22形成的平面與石 墨舟承載平臺20所在平面相平行，托盤23以可沿著兩根橫桿22滑動(dòng)的方式設(shè)在兩根橫桿 22上，即兩根橫桿22相當(dāng)于托盤23的滑軌。這樣一來，石墨舟放到石墨舟承載平臺20上，絲網(wǎng)印刷承載盒放到托盤23中時(shí)，石墨舟與絲網(wǎng)印刷承載盒也一致傾斜，操作人員在取放 硅片時(shí)可以平行移動(dòng)硅片，不用調(diào)整角度就可以將硅片從石墨舟中取出并插入到絲網(wǎng)印刷 承載盒中。而且通過滑動(dòng)托盤23，可以使得操作人員從石墨舟中取片并插入到絲網(wǎng)印刷承 載盒中的距離始終保持最短，即取石墨舟中左側(cè)的硅片時(shí)，將托盤23滑到左側(cè)；取石墨舟 中右側(cè)的硅片時(shí)，將托盤23滑到右側(cè)。大大降低了操作難度，提高了生產(chǎn)效率。托盤23中間還可以設(shè)置海綿墊24，以減少將硅片插入絲網(wǎng)印刷承載盒時(shí)硅片受 到的沖擊，降低碎片風(fēng)險(xiǎn)。下面詳細(xì)介紹使用本實(shí)施的用于PECVD工序與絲網(wǎng)印刷工序間的裝卸片運(yùn)載車 的操作過程將經(jīng)過PECVD工序裝滿硅片的石墨舟放到石墨舟承載平臺20上并進(jìn)行固定，將絲 網(wǎng)印刷承載盒放到托盤23中固定。操作人員用吸筆從石墨舟中取出硅片插入到絲網(wǎng)印刷承載盒中，其間根據(jù)硅片的 位置不同滑動(dòng)托盤23，使得從石墨舟中取片并插入到絲網(wǎng)印刷承載盒中的距離始終保持最短。取完石墨舟其中一面的硅片后，取下絲網(wǎng)印刷承載盒，將石墨舟承載平臺20旋轉(zhuǎn) 180度，將絲網(wǎng)印刷承載盒放回到托盤23中，取石墨舟另一面的硅片，完成PECVD卸片工序 和絲網(wǎng)印刷插片工序。本實(shí)施例的用于PECVD工序與絲網(wǎng)印刷工序間的裝卸片運(yùn)載車，通過設(shè)置托盤23 可以穩(wěn)定固定絲網(wǎng)印刷承載盒，操作人員可以很方便地將經(jīng)過PECVD工序的石墨舟中的 硅片取出并直接插入到絲網(wǎng)印刷承載盒中，無需采用承片盒進(jìn)行過渡，成功地將PECVD卸 片工序和絲網(wǎng)印刷插片工序整合成一道工序，減少了 一道取片插片工序從而減少了人工參 與，降低了硅片碎片風(fēng)險(xiǎn)。而且，通過旋轉(zhuǎn)石墨舟承載平臺20即可取出石墨舟雙面的硅片， 不再需要重復(fù)地從石墨舟承載平臺20上取放石墨舟。以上實(shí)施例僅為本實(shí)用新型的示例性實(shí)施例，不用于限制本實(shí)用新型，本實(shí)用新 型的保護(hù)范圍由權(quán)利要求書限定。本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在本實(shí)用新型的實(shí)質(zhì)和保護(hù)范圍 內(nèi)，對本實(shí)用新型做出各種修改或等同替換，這種修改或等同替換也應(yīng)視為落在本實(shí)用新 型的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求一種用于PECVD工序與絲網(wǎng)印刷工序間的裝卸片運(yùn)載車，包括框架，所述框架上設(shè)有石墨舟承載平臺，其特征在于，所述框架的頂部上設(shè)有托盤固定架，所述托盤固定架上設(shè)有與絲網(wǎng)印刷承載盒的底部相匹配用于固定所述絲網(wǎng)印刷承載盒的托盤。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于PECVD工序與絲網(wǎng)印刷工序間的裝卸片運(yùn)載車，其特征 在于，所述托盤固定架為沿所述石墨舟承載平臺長度方向設(shè)置的至少兩根橫桿。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于PECVD工序與絲網(wǎng)印刷工序間的裝卸片運(yùn)載車，其特征 在于，所述橫桿為兩根且相互平行。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于PECVD工序與絲網(wǎng)印刷工序間的裝卸片運(yùn)載車，其特征 在于，所述托盤所在平面與所述石墨舟承載平臺傾斜工作狀態(tài)時(shí)所在平面相平行。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于PECVD工序與絲網(wǎng)印刷工序間的裝卸片運(yùn)載車，其特征 在于，所述托盤沿著所述橫桿長度方向可滑動(dòng)地設(shè)置在橫桿上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于PECVD工序與絲網(wǎng)印刷工序間的裝卸片運(yùn)載車，其特征 在于，所述托盤中間設(shè)有海綿墊。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6之一所述的用于PECVD工序與絲網(wǎng)印刷工序間的裝卸片運(yùn)載 車，其特征在于，所述托盤的最高點(diǎn)比所述石墨舟承載平臺低。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于PECVD工序與絲網(wǎng)印刷工序間的裝卸片運(yùn)載車，其特征 在于，所述石墨舟承載平臺能在水平方向上180度旋轉(zhuǎn)。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種用于PECVD工序與絲網(wǎng)印刷工序間的裝卸片運(yùn)載車，包括框架，所述框架上設(shè)有石墨舟承載平臺，所述框架的頂部上設(shè)有托盤固定架，所述托盤固定架上設(shè)有與絲網(wǎng)印刷承載盒的底部相匹配用于固定所述絲網(wǎng)印刷承載盒的托盤。使用本實(shí)用新型的裝卸片運(yùn)載車，可以穩(wěn)定固定絲網(wǎng)印刷承載盒，操作人員可以很方便地將經(jīng)過PECVD工序的石墨舟中的硅片取出并直接插入到絲網(wǎng)印刷承載盒中，將PECVD卸片工序和絲網(wǎng)印刷插片工序整合成一道工序，減少了人工參與，降低了硅片碎片風(fēng)險(xiǎn)。
文檔編號H01L21/677GK201655773SQ20102014910
公開日2010年11月24日 申請日期2010年3月17日 優(yōu)先權(quán)日2010年3月17日
發(fā)明者張光春, 葛劍, 虞曉清, 陶俊 申請人:無錫尚德太陽能電力有限公司