技術(shù)編號：6965083
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及太陽電池制造領(lǐng)域，尤其涉及一種用在PECVD工序和絲網(wǎng)印刷工 序之間，方便從石墨舟中取出硅片并直接插入絲網(wǎng)印刷工序用的夾具(Casset)中的裝卸 片運載車。背景技術(shù)太陽電池制造過程中，很多工序中都會涉及到裝卸硅片，即將硅片裝入專門夾具 中或者從專門夾具中取出。裝卸片過程中很可能會出現(xiàn)硅片碎片產(chǎn)生損失，因此降低碎片 率是太陽電池制造過程中需要重點考慮的，常常采取的措施是減少工序過渡，減少人工參弓寸寸。PECVD工序(等離子體增強型化學氣象沉積...
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