專(zhuān)利名稱(chēng)：太陽(yáng)能薄膜電池劃線機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)能薄膜電池等較大面板的定位加工領(lǐng)域，尤其涉及一種太陽(yáng) 能薄膜電池劃線機(jī)。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，中國(guó)太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)得到了迅猛發(fā)展。太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)現(xiàn)在已躍居世界 第三位，僅次于日本和德國(guó)。由于很好地利用了國(guó)際資本，繼尚德電力于2005年在紐約證 券上市后，相繼有常州天合、蘇州CSI、港蘇林洋、南京中電、河北昌澳、保定英利等10家企 業(yè)在美國(guó)紐約證券和納斯達(dá)克資本市場(chǎng)上市，企業(yè)生產(chǎn)規(guī)模不斷擴(kuò)大，技術(shù)水平不斷提高， 企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力不斷增強(qiáng)。而且，浙港、保定、四川等地的公司已經(jīng)開(kāi)始多晶硅太陽(yáng)電池的生產(chǎn)， 市場(chǎng)上形成了單晶硅和多晶硅兩種主要電池產(chǎn)品的局面。然而，太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)的部分關(guān)鍵設(shè)備仍然無(wú)法國(guó)產(chǎn)化，完全依賴進(jìn)口，已經(jīng)成為 制約光伏發(fā)電成本降低的重要因素執(zhí)意。多晶硅澆鑄爐、線切割機(jī)、PECVD等設(shè)備幾乎完全 依賴進(jìn)口 ；設(shè)備與工藝研究脫節(jié)；產(chǎn)品自動(dòng)化程度不高，不重視各個(gè)設(shè)備之間的銜接，國(guó)內(nèi) 設(shè)備基本上是手動(dòng)或半自動(dòng)，設(shè)備之間的銜接依靠人工來(lái)完成。成本和產(chǎn)能是目前限制太陽(yáng)能光伏發(fā)電普及的重大壁壘?，F(xiàn)有的太陽(yáng)能薄膜電池劃線機(jī)主要是通過(guò)傳送輪傳送太陽(yáng)能薄膜電池，而在傳送 的過(guò)程中會(huì)存在刮傷太陽(yáng)能薄膜電池的問(wèn)題，導(dǎo)致不良頻率較高。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型第一目的在于提供一種太陽(yáng)能薄膜電池劃線機(jī)，其能夠防止刮傷太 陽(yáng)能薄膜電池的問(wèn)題。本實(shí)用新型提供的一種一種太陽(yáng)能薄膜電池劃線機(jī)，其特征是，包括機(jī)臺(tái)，在所述機(jī)臺(tái)上設(shè)置有χ-y機(jī)臺(tái)機(jī)構(gòu)、外光路系統(tǒng)、氣浮承載機(jī)構(gòu)、定位機(jī)構(gòu)；其中，χ-y機(jī)臺(tái)機(jī)構(gòu)包括χ方向直線電機(jī)基板、Y方向直線電機(jī)基板，所述外光路系 統(tǒng)設(shè)置在所述χ-y機(jī)臺(tái)機(jī)構(gòu)的χ方向直線電機(jī)基板上，用于提供高峰值功率聚焦激光，所述 氣浮承載機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述χ-y機(jī)臺(tái)機(jī)構(gòu)的Y方向直線電機(jī)基板上，所述定位機(jī)構(gòu)設(shè)置在氣 浮承載機(jī)構(gòu)的兩側(cè)，定位機(jī)構(gòu)用于裝夾定位太陽(yáng)能薄膜電池；所述氣浮承載機(jī)構(gòu)包括傳送輪系統(tǒng)、氣浮板、氣浮板架，承載太陽(yáng)能薄膜電池并實(shí) 現(xiàn)工件的傳送和接駁，所述傳送輪系統(tǒng)設(shè)置在所述氣浮板的兩外側(cè)，位于氣浮板設(shè)在所述 氣浮板架的上方，所述氣浮板架設(shè)置在所述x-y機(jī)臺(tái)機(jī)構(gòu)的X方向直線電機(jī)基板上?？蛇x地，所述外光路系統(tǒng)包括激光器、擴(kuò)束鏡、45°全反鏡、聚焦鏡座、聚焦鏡； 其中，所述激光器固定在機(jī)臺(tái)上，所述擴(kuò)束鏡設(shè)置在所述激光器的前端，所述45°全反 鏡設(shè)置在所述擴(kuò)束鏡的前方，所述聚焦鏡座設(shè)置在所述χ-y機(jī)臺(tái)機(jī)構(gòu)上中的χ方向直線電 機(jī)基板上，在所述聚焦鏡座上設(shè)置有可變光欄調(diào)整通光孔徑、聚焦鏡，所述聚焦鏡的光軸與所述45°全反鏡的反射光路重合?？蛇x地，所述x-y機(jī)臺(tái)機(jī)構(gòu)包括兩y方向直線電機(jī)、兩y方向直線電機(jī)基板、兩y 方向直線電機(jī)光柵尺及其讀取頭、X方向直線電機(jī)、X方向直線電機(jī)基板及光柵尺讀取頭； 其中，兩y方向直線電機(jī)基板分別設(shè)置在所述兩y方向直線電機(jī)上，所述兩y方向直線 電機(jī)光柵尺及其讀取頭分別設(shè)置在y方向直線電機(jī)基板上，用于探測(cè)y方向運(yùn)動(dòng)距離，所述 χ方向直線電機(jī)設(shè)置在所述兩y方向直線電機(jī)基板之間的下方，所述χ方向直線電機(jī)基板設(shè) 置在所述χ方向直線電機(jī)基板上，所述χ方向直線電機(jī)光柵尺及其讀取頭分別設(shè)置在χ方 向直線電機(jī)基板上?？蛇x地，所述定位機(jī)構(gòu)包括左側(cè)裝夾組件、以及與左側(cè)裝夾組件相對(duì)的右側(cè)裝夾 組件，在所述左側(cè)裝夾組件、或者右側(cè)裝夾組件的前、后端部分別設(shè)置有一成像裝置，其中，所述兩成像裝置分別用于獲取所述側(cè)裝夾組件、右側(cè)裝夾組件之間裝夾的 被調(diào)面板上的兩線的成像，并將成像傳遞至控制系統(tǒng)，以便由控制系統(tǒng)根據(jù)所述成像調(diào)整 所述左側(cè)裝夾組件、右側(cè)裝夾組件，而調(diào)整所述被調(diào)面板的角度?？蛇x地，在所述氣浮板的上方還設(shè)置有除塵系統(tǒng)，所述除塵系統(tǒng)包括集塵器、抽 塵嘴、離子風(fēng)泵、無(wú)桿電動(dòng)缸，其中，離子風(fēng)泵位于所述氣浮板的上方，用于將設(shè)備產(chǎn)生的灰塵吹入在所述抽塵嘴內(nèi)， 所述抽塵嘴與所述集塵器連通，所述無(wú)桿電動(dòng)缸與所述抽塵嘴、離子風(fēng)泵連接，用于控制所 述抽塵嘴、離子風(fēng)泵的移動(dòng)。由上可見(jiàn)，應(yīng)用本劃線機(jī)在對(duì)太陽(yáng)能薄膜電池進(jìn)行激光劃線的過(guò)程中，太陽(yáng)能薄 膜電池在氣浮板上運(yùn)動(dòng)，其相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)的全程傳動(dòng)輪傳動(dòng)方式，應(yīng)用本劃線機(jī)能夠有 效地保障太陽(yáng)能薄膜電池能夠不被劃傷受損，能夠大大提高太陽(yáng)能薄膜電池的質(zhì)量。

此處所說(shuō)明的附圖用來(lái)提供對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分， 并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的不當(dāng)限定，在附圖中圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例1提供的一種太陽(yáng)能薄膜電池劃線機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例1提供的一種太陽(yáng)能薄膜電池劃線機(jī)中外光路系統(tǒng)101 結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例1提供的一種太陽(yáng)能薄膜電池劃線機(jī)中x-y機(jī)臺(tái)機(jī)構(gòu) 102的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例1提供的一種太陽(yáng)能薄膜電池劃線機(jī)中定位機(jī)構(gòu)104的 結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例1圖4所示的定位機(jī)構(gòu)104的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；圖6為本實(shí)用新型實(shí)施例1提供的一種太陽(yáng)能薄膜電池劃線機(jī)中氣浮承載機(jī)構(gòu) 103結(jié)構(gòu)示意圖；圖7為本實(shí)用新型實(shí)施例1提供的一種太陽(yáng)能薄膜電池劃線機(jī)中除塵系統(tǒng)的結(jié)構(gòu) 示意圖。
具體實(shí)施方式
下面將結(jié)合附圖以及具體實(shí)施例來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)用新型，在此本實(shí)用新型的示意 性實(shí)施例以及說(shuō)明用來(lái)解釋本實(shí)用新型，但并不作為對(duì)本實(shí)用新型的限定。實(shí)施例1 參見(jiàn)圖1所示，本實(shí)施例的一種太陽(yáng)能薄膜電池104劃線機(jī)主要包括機(jī)臺(tái)100、 以及設(shè)置在機(jī)臺(tái)100上的外光路系統(tǒng)101、X-y機(jī)臺(tái)機(jī)構(gòu)102、氣浮承載機(jī)構(gòu)103、定位機(jī)構(gòu) 104。其中，所述x-y機(jī)臺(tái)機(jī)構(gòu)102包括χ方向直線電機(jī)基板1021、Y方向直線電機(jī)基板 1022，外光路系統(tǒng)101設(shè)置在x-y機(jī)臺(tái)機(jī)構(gòu)102的χ方向直線電機(jī)基板1021上，可以隨χ 方向直線電機(jī)基板1021在X軸運(yùn)動(dòng)。氣浮承載機(jī)構(gòu)103設(shè)置在x-y機(jī)臺(tái)機(jī)構(gòu)102的Y方向直線電機(jī)基板1022上，定位 機(jī)構(gòu)104設(shè)置在氣浮承載機(jī)構(gòu)103的兩側(cè)，定位機(jī)構(gòu)104用于裝夾定位該太陽(yáng)能薄膜電池 104，以使得氣定位符合劃線的要求。氣浮承載機(jī)構(gòu)103包括傳送輪系統(tǒng)1031、氣浮板1032、氣浮板調(diào)節(jié)架1033，氣浮承 載機(jī)構(gòu)103用于承載太陽(yáng)能薄膜電池104并實(shí)現(xiàn)工件的傳送和接駁。其中，傳送輪系統(tǒng)1031設(shè)置在氣浮板1032的兩外側(cè)，位于氣浮板1032設(shè)在氣浮 板調(diào)節(jié)架1033的上方，氣浮板調(diào)節(jié)架1033設(shè)置在x-y機(jī)臺(tái)機(jī)構(gòu)102的Y方向直線電機(jī)基 板1022上。傳送輪系統(tǒng)1031中的傳動(dòng)輪接駁上一級(jí)傳過(guò)來(lái)的太陽(yáng)能薄膜電池104，并將其 傳送至氣浮板調(diào)節(jié)架1033上的氣浮板1032，該氣浮板1032接駁傳動(dòng)輪傳過(guò)來(lái)的太陽(yáng)能薄 膜電池104，并氣浮帶動(dòng)該太陽(yáng)能薄膜電池104運(yùn)動(dòng)。本實(shí)施例的劃線機(jī)工作原理是，x-y機(jī)臺(tái)機(jī)構(gòu)102啟動(dòng)，聚焦鏡206組在X軸作橫 向運(yùn)動(dòng)，太陽(yáng)能薄膜電池104在氣浮板1032的上方隨氣浮板1032在Y軸作縱向運(yùn)動(dòng)，通過(guò) X、Y運(yùn)動(dòng)的目的而達(dá)到激光劃線目的。由上可見(jiàn)，應(yīng)用本劃線機(jī)在對(duì)太陽(yáng)能薄膜電池104進(jìn)行激光劃線的過(guò)程中，太陽(yáng) 能薄膜電池104在氣浮板1032上運(yùn)動(dòng)，其相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)的全程傳動(dòng)輪傳動(dòng)方式，應(yīng)用本 劃線機(jī)能夠有效地保障太陽(yáng)能薄膜電池104能夠不被劃傷受損，能夠大大提高太陽(yáng)能薄膜 電池104的質(zhì)量。作為本實(shí)施例的一種詳細(xì)實(shí)施方式示意，參見(jiàn)圖2所示，外光路系統(tǒng)101包括激 光器201、擴(kuò)束鏡202、45°全反鏡203、聚焦鏡座205、聚焦鏡206。其中，各部件固定在χ方向直線電機(jī)基板1021上，擴(kuò)束鏡202設(shè)置在激光器201 的前端，45°全反鏡203設(shè)置在擴(kuò)束鏡202的前方，在聚焦鏡座205上設(shè)置有可變光欄調(diào)整 通光孔徑2訴訟04、聚焦鏡206，聚焦鏡206的光軸與45°全反鏡203的反射光路重合。激光器201提供高峰值功率激光，擴(kuò)束鏡202對(duì)光斑進(jìn)行放大，三維擴(kuò)束鏡202調(diào) 整架可以實(shí)現(xiàn)擴(kuò)束鏡202與激光光路的耦合；45°全反鏡203將激光完全反射到聚焦鏡座 205內(nèi)；可變光欄調(diào)整通光孔徑204 ；聚焦鏡206將激光聚焦到太陽(yáng)能薄膜電池104上，使表 面氣化產(chǎn)生盲孔；聚焦鏡座205固定在χ方向直線電機(jī)基板1021上，通過(guò)控制電機(jī)控制劃 線的間距。參見(jiàn)圖3所示，x-y機(jī)臺(tái)機(jī)構(gòu)102包括兩y方向直線電機(jī)301、兩Y方向直線電機(jī)基板1022、兩y方向直線電機(jī)301光柵尺及其讀取頭、χ方向直線電機(jī)、χ方向直線電機(jī) 基板1021及光柵尺讀取頭；其中，兩Y方向直線電機(jī)基板1022分別設(shè)置在兩y方向直線電 機(jī)301上，兩y方向直線電機(jī)301光柵尺及其讀取頭分別設(shè)置在Y方向直線電機(jī)基板1022 上，用于探測(cè)y方向運(yùn)動(dòng)距離，提供χ方向動(dòng)力及閉環(huán)控制。χ方向直線電機(jī)設(shè)置在兩Y方 向直線電機(jī)基板1022之間的下方，χ方向直線電機(jī)基板1021設(shè)置在χ方向直線電機(jī)基板 1021上，χ方向直線電機(jī)光柵尺及其讀取頭分別設(shè)置在χ方向直線電機(jī)基板1021上，提供 χ方向動(dòng)力及閉環(huán)控制。參見(jiàn)圖4所示，定位機(jī)構(gòu)104，自動(dòng)定位調(diào)整機(jī)構(gòu)主要實(shí)現(xiàn)太陽(yáng)能薄膜電池104的 X、Y、Z方位的定位并可以通過(guò)軟件的輔助實(shí)現(xiàn)自動(dòng)調(diào)整太陽(yáng)能薄膜電池104與X方向的垂 直度，保證加工質(zhì)量。定位機(jī)構(gòu)104包括左側(cè)裝夾組件401、以及與左側(cè)裝夾組件401相對(duì)的右側(cè)裝夾 組件402。在左側(cè)裝夾組件401、或者右側(cè)裝夾組件402的前、后端部分別設(shè)置有一成像裝 置403，其中，成像裝置403用于獲取左側(cè)裝夾組件401、右側(cè)裝夾組件402之間被調(diào)太陽(yáng)能 薄膜電池上的兩線的成像，并將成像傳遞至控制系統(tǒng)，以便由控制系統(tǒng)根據(jù)所述成像調(diào)整 所述左側(cè)裝夾組件401、右側(cè)裝夾組件402，而調(diào)整所述被調(diào)太陽(yáng)能薄膜電池104與X方向 的垂直度，保證加工質(zhì)量。參見(jiàn)圖5所示，左側(cè)裝夾組件401、右側(cè)裝夾組件402，共同組成定位機(jī)構(gòu)104。其 中x_y方向與前定義相同，ζ方向?yàn)樨Q直方向。步進(jìn)電機(jī)501，提供χ方向上動(dòng)力；y方向輔 助夾及傳感器502、510，輔助及確定太陽(yáng)能薄膜電池104y方向定位；動(dòng)力副505，推動(dòng)太陽(yáng) 能薄膜電池104在χ方向上運(yùn)動(dòng)；定位CXD 504、508，測(cè)試及反饋太陽(yáng)能薄膜電池104定位 情況；以汽缸為動(dòng)力的ζ方向定位夾505、512 ；傳感器506，反饋ζ方向太陽(yáng)能薄膜電池104 定位情況；輔助輪507、511、513，輔助χ方向太陽(yáng)能薄膜電池104定位；以汽缸為動(dòng)力的y 方向定位夾509、514。χ方向步進(jìn)電機(jī)501提供動(dòng)力，帶動(dòng)動(dòng)力副503推動(dòng)太陽(yáng)能薄膜電池104，在輔助 輪507、508、513輔助下，對(duì)太陽(yáng)能薄膜電池104作用，由定位CXD 504、508檢測(cè)太陽(yáng)能薄膜 電池104是否到達(dá)指定位置。若達(dá)到則保持狀態(tài)；若未達(dá)到則調(diào)整501動(dòng)力，使太陽(yáng)能薄膜 電池104達(dá)到指定位置。y方向y方向定位夾509、514共同作用推動(dòng)太陽(yáng)能薄膜電池104，由y方向輔助 夾及傳感器502、510檢測(cè)太陽(yáng)能薄膜電池104是否到達(dá)指定位置。若達(dá)到則保持狀態(tài)；若 未達(dá)到則調(diào)整汽缸動(dòng)力，使太陽(yáng)能薄膜電池104達(dá)到指定位置。ζ方向:(如圖4)汽缸601、603、606、608分別帶動(dòng)收緊夾602、604、605、607運(yùn)動(dòng)，
以調(diào)整ζ方向太陽(yáng)能薄膜電池。由傳感器506檢測(cè)壓力情況判斷是到達(dá)指定位置。若達(dá)到 則保持狀態(tài)；若未達(dá)到則調(diào)整汽缸動(dòng)力，使太陽(yáng)能薄膜電池104達(dá)到指定位置。玻璃自動(dòng)定位調(diào)整機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)邏輯如下材料輸入后，X方向動(dòng)力副推動(dòng)玻璃直到其達(dá)到指定的位置；y方向汽缸推動(dòng)玻璃 直到其達(dá)到指定的位置；待X方向、Y方向就位后，Z方向壓緊夾推動(dòng)玻璃直到壓緊到指定 的位置，然后啟動(dòng)X-Y機(jī)臺(tái)機(jī)構(gòu)102、外光路系統(tǒng)101，實(shí)現(xiàn)激光劃線。氣浮承載機(jī)構(gòu)103本機(jī)構(gòu)主要由圖6所示部分組成可調(diào)式氣浮板調(diào)節(jié)架1033，每個(gè)架子有六顆螺絲可調(diào)節(jié)高矮，保證氣浮板1032水平、太陽(yáng)能非晶硅薄膜電池受力均勻；704主動(dòng)傳動(dòng)輪(共4組)，將太陽(yáng)能非晶硅薄膜電池 送到機(jī)器上面來(lái)；703從動(dòng)傳動(dòng)輪(共4組)，輔助將太陽(yáng)能非晶硅薄膜電池送到機(jī)器上面 來(lái)；702氣浮板1032(共8組)，承載太陽(yáng)能非晶硅薄膜電池重量。704,703同時(shí)上升到高于氣浮板1032位置，將材料傳動(dòng)到起始位置；702開(kāi)始噴 氣，托起材料；704、703下降到低于氣浮板1032位置；加工完成后，704、703再次升起，將材 料傳動(dòng)到下一個(gè)加工位置。為了進(jìn)一步提高本劃線機(jī)的劃線質(zhì)量，還可以如圖7所示，在氣浮板1032的上方 設(shè)置除塵系統(tǒng)，除塵系統(tǒng)包括集塵器、抽塵嘴、離子風(fēng)泵、無(wú)桿電動(dòng)缸，其中，離子風(fēng)泵位于 氣浮板1032的上方，用于將設(shè)備產(chǎn)生的灰塵吹入在抽塵嘴內(nèi)，抽塵嘴與集塵器連通，無(wú)桿 電動(dòng)缸與抽塵嘴、離子風(fēng)泵連接，用于控制所述抽塵嘴、離子風(fēng)泵的移動(dòng)。901集塵器，用于 收集設(shè)備產(chǎn)生的灰塵，每加工5000片需更換一次濾芯；902抽塵嘴，吸入設(shè)備產(chǎn)生的灰塵； 904離子風(fēng)泵，將設(shè)備產(chǎn)生的灰塵吹入802中；903無(wú)桿電動(dòng)缸，為902、904提供動(dòng)力。本實(shí)施例的劃線機(jī)的原理如下首先傳動(dòng)輪上升，通過(guò)摩擦力作用帶動(dòng)太陽(yáng)能薄膜電池104進(jìn)入劃線機(jī)，直到其 到達(dá)指定位置時(shí)，氣浮板1032吹氣，傳動(dòng)輪下降，氣浮板1032接駁傳送過(guò)來(lái)的太陽(yáng)能薄膜 電池104板，傳動(dòng)輪下降，太陽(yáng)能薄膜電池104承載在氣浮板1032上，激光器201啟動(dòng)，通 過(guò)定位機(jī)構(gòu)104調(diào)整太陽(yáng)能薄膜電池104與X軸的夾角，直到其到達(dá)指定位置；然后將聚焦 鏡206組移動(dòng)到第N縱線位置，太陽(yáng)能薄膜電池104完全移動(dòng)到另一塊氣浮架上，完成縱線 劃線；然后將太陽(yáng)能薄膜電池104移動(dòng)到第N橫線位置，聚焦鏡座206完全穿越太陽(yáng)能薄膜 電池104，完成橫線任務(wù)，帶縱線、橫線完成后，定位機(jī)構(gòu)104與聚焦鏡206組移動(dòng)到起始位 置，傳動(dòng)輪上升，將太陽(yáng)能薄膜電池104移動(dòng)到下料處，傳動(dòng)輪下降，太陽(yáng)能薄膜電池104下 料。以上對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的技術(shù)方案進(jìn)行了詳細(xì)介紹，本文中應(yīng)用了具體 個(gè)例對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例的原理以及實(shí)施方式進(jìn)行了闡述，以上實(shí)施例的說(shuō)明只適用于幫 助理解本實(shí)用新型實(shí)施例的原理；同時(shí)，對(duì)于本領(lǐng)域的一般技術(shù)人員，依據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施 例，在具體實(shí)施方式
以及應(yīng)用范圍上均會(huì)有改變之處，綜上所述，本說(shuō)明書(shū)內(nèi)容不應(yīng)理解 為對(duì)本實(shí)用新型的限制。
權(quán)利要求一種太陽(yáng)能薄膜電池劃線機(jī)，其特征是，包括機(jī)臺(tái)，在所述機(jī)臺(tái)上設(shè)置有x y機(jī)臺(tái)機(jī)構(gòu)、外光路系統(tǒng)、氣浮承載機(jī)構(gòu)、定位機(jī)構(gòu)；其中，x y機(jī)臺(tái)機(jī)構(gòu)包括x方向直線電機(jī)基板、Y方向直線電機(jī)基板，所述外光路系統(tǒng)設(shè)置在所述x y機(jī)臺(tái)機(jī)構(gòu)的x方向直線電機(jī)基板上，用于提供高峰值功率聚焦激光，所述氣浮承載機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述x y機(jī)臺(tái)機(jī)構(gòu)的Y方向直線電機(jī)基板上，所述定位機(jī)構(gòu)設(shè)置在氣浮承載機(jī)構(gòu)的兩側(cè)，定位機(jī)構(gòu)用于裝夾定位太陽(yáng)能薄膜電池；所述氣浮承載機(jī)構(gòu)包括傳送輪系統(tǒng)、氣浮板、氣浮板架，承載太陽(yáng)能薄膜電池并實(shí)現(xiàn)工件的傳送和接駁，所述傳送輪系統(tǒng)設(shè)置在所述氣浮板的兩外側(cè)，位于氣浮板設(shè)在所述氣浮板架的上方，所述氣浮板架設(shè)置在所述x y機(jī)臺(tái)機(jī)構(gòu)的x方向直線電機(jī)基板上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)能薄膜電池劃線機(jī)，其特征是，所述外光路系統(tǒng)包括激光器、擴(kuò)束鏡、45°全反鏡、聚焦鏡座、聚焦鏡；其中， 所述激光器固定在機(jī)臺(tái)上，所述擴(kuò)束鏡設(shè)置在所述激光器的前端，所述45°全反鏡設(shè) 置在所述擴(kuò)束鏡的前方，所述聚焦鏡座設(shè)置在所述x-y機(jī)臺(tái)機(jī)構(gòu)上中的χ方向直線電機(jī)基 板上，在所述聚焦鏡座上設(shè)置有可變光欄調(diào)整通光孔徑、聚焦鏡，所述聚焦鏡的光軸與所述 45°全反鏡的反射光路重合。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)能薄膜電池劃線機(jī)，其特征是，所述χ-y機(jī)臺(tái)機(jī)構(gòu)包括兩y方向直線電機(jī)、兩y方向直線電機(jī)基板、兩y方向直線電 機(jī)光柵尺及其讀取頭、χ方向直線電機(jī)、χ方向直線電機(jī)基板及光柵尺讀取頭；其中，兩y方向直線電機(jī)基板分別設(shè)置在所述兩y方向直線電機(jī)上，所述兩y方向直線電機(jī) 光柵尺及其讀取頭分別設(shè)置在y方向直線電機(jī)基板上，用于探測(cè)y方向運(yùn)動(dòng)距離，所述χ方 向直線電機(jī)設(shè)置在所述兩y方向直線電機(jī)基板之間的下方，所述χ方向直線電機(jī)基板設(shè)置 在所述χ方向直線電機(jī)基板上，所述χ方向直線電機(jī)光柵尺及其讀取頭分別設(shè)置在χ方向 直線電機(jī)基板上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)能薄膜電池劃線機(jī)，其特征是，所述定位機(jī)構(gòu)包括左側(cè)裝夾組件、以及與左側(cè)裝夾組件相對(duì)的右側(cè)裝夾組件， 在所述左側(cè)裝夾組件、或者右側(cè)裝夾組件的前、后端部分別設(shè)置有一成像裝置， 其中，所述兩成像裝置分別用于獲取所述側(cè)裝夾組件、右側(cè)裝夾組件之間裝夾的被調(diào) 面板上的兩線的成像，并將成像傳遞至控制系統(tǒng)，以便由控制系統(tǒng)根據(jù)所述成像調(diào)整所述 左側(cè)裝夾組件、右側(cè)裝夾組件，而調(diào)整所述被調(diào)面板的角度。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)能薄膜電池劃線機(jī)，其特征是，在所述氣浮板的上方還設(shè)置有除塵系統(tǒng)，所述除塵系統(tǒng)包括集塵器、抽塵嘴、離子風(fēng) 泵、無(wú)桿電動(dòng)缸，其中，離子風(fēng)泵位于所述氣浮板的上方，用于將設(shè)備產(chǎn)生的灰塵吹入在所述抽塵嘴內(nèi)，所述 抽塵嘴與所述集塵器連通，所述無(wú)桿電動(dòng)缸與所述抽塵嘴、離子風(fēng)泵連接，用于控制所述抽 塵嘴、離子風(fēng)泵的移動(dòng)。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型太陽(yáng)能薄膜電池等較大面板的定位加工領(lǐng)域，公開(kāi)了一種太陽(yáng)能薄膜電池劃線機(jī)。其包括機(jī)臺(tái)，在機(jī)臺(tái)上設(shè)置有x-y機(jī)臺(tái)機(jī)構(gòu)、外光路系統(tǒng)、氣浮承載機(jī)構(gòu)、定位機(jī)構(gòu)；其中，x-y機(jī)臺(tái)機(jī)構(gòu)包括x方向直線電機(jī)基板、Y方向直線電機(jī)基板，外光路系統(tǒng)設(shè)置在x-y機(jī)臺(tái)機(jī)構(gòu)的x方向直線電機(jī)基板上，用于提供高峰值功率聚焦激光，氣浮承載機(jī)構(gòu)設(shè)置在x-y機(jī)臺(tái)機(jī)構(gòu)的Y方向直線電機(jī)基板上，定位機(jī)構(gòu)設(shè)置在氣浮承載機(jī)構(gòu)的兩側(cè)，定位機(jī)構(gòu)用于裝夾定位太陽(yáng)能薄膜電池；氣浮承載機(jī)構(gòu)包括傳送輪系統(tǒng)、氣浮板、氣浮板架，承載太陽(yáng)能薄膜電池并實(shí)現(xiàn)工件的傳送和接駁，傳送輪系統(tǒng)設(shè)置在氣浮板的兩外側(cè)，位于氣浮板設(shè)在氣浮板架的上方，氣浮板架設(shè)置在x-y機(jī)臺(tái)機(jī)構(gòu)的x方向直線電機(jī)基板上。
文檔編號(hào)H01L31/20GK201681959SQ201020026258
公開(kāi)日2010年12月22日 申請(qǐng)日期2010年1月6日 優(yōu)先權(quán)日2010年1月6日
發(fā)明者吳建霖 申請(qǐng)人:吳建霖