專利名稱：氫氟酸處理系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種氫氟酸處理系統(tǒng)，尤其涉及一種設(shè)有自動(dòng)清洗裝置的氫氟酸處理系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
目前，在半導(dǎo)體制程行業(yè)中，經(jīng)常會(huì)用到氫氟酸處理系統(tǒng)，常見的氫氟酸處理系統(tǒng)是通過利用氯化鈣與氫氟酸反應(yīng)生成氟化鈣沉淀來去除氟離子，而此過程中會(huì)產(chǎn)生的氟化鈣沉淀會(huì)將氟電極的表面包裹，從而影響到電極的準(zhǔn)確性，進(jìn)而影響加藥系統(tǒng)的運(yùn)行和出水氟離子的控制。為了防止氫氟酸處理系統(tǒng)中的氟電極表面產(chǎn)生結(jié)垢，通常會(huì)在氟電極旁安裝自來水管，由維護(hù)人員定時(shí)手動(dòng)打開自來水管上的手動(dòng)閥門，利用自來水對所述氟電極進(jìn)行沖洗，然而，人為的控制清洗就會(huì)帶來一些不定因素，如無法定時(shí)的清洗、清洗的頻率少等， 這都將影響氟電極表面的清潔度及整個(gè)氫氟酸處理系統(tǒng)的正常運(yùn)作。鑒于上述問題，有必要提供一種氫氟酸處理系統(tǒng)來解決上述問題。

發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明所解決的技術(shù)問題在于提供一種氫氟酸處理系統(tǒng)，其可減少人工操作，固定了對電極的沖洗時(shí)間，延長電極的使用壽命。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案一種氫氟酸處理系統(tǒng)，包括反應(yīng)器、延伸入所述反應(yīng)器內(nèi)的電極、手動(dòng)閥及與所述反應(yīng)器連接并延伸入反應(yīng)器內(nèi)的管道，所述手動(dòng)閥設(shè)于所述管道上用于控制所述管道內(nèi)的流體，所述管道上還設(shè)有一電磁閥及一時(shí)間控制裝置，所述時(shí)間控制裝置與所述電磁閥連接。進(jìn)一步地，所述電極包括一長條形的電極導(dǎo)桿及位于所述電極導(dǎo)桿一端的電極探頭。進(jìn)一步地，所述電極導(dǎo)桿的另一端連接有通電線纜。進(jìn)一步地，所述時(shí)間控制裝置包括相互串聯(lián)在一起的一計(jì)時(shí)器、一繼電器及一開關(guān)。進(jìn)一步地，所述反應(yīng)器呈圓筒形，并設(shè)有一圓形封蓋。進(jìn)一步地，所述管道內(nèi)的流體依次經(jīng)過所述手動(dòng)閥、電磁閥后進(jìn)入所述反應(yīng)器內(nèi)。相較于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明所述的氫氟酸處理系統(tǒng)通過在手動(dòng)閥后面增設(shè)了電磁閥及時(shí)間控制裝置，實(shí)現(xiàn)了對電極的自動(dòng)定時(shí)沖洗，減少了人工操作，也延長電極的使用壽命。

圖1為本發(fā)明所述的氫氟酸處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式請參圖1所示，本發(fā)明提供一種氫氟酸處理系統(tǒng)100，其包括一密封式的筒形反應(yīng)器10、延伸入所述反應(yīng)器10內(nèi)的電極20、電磁閥30、與所述電磁閥30連接的時(shí)間控制裝置 40、手動(dòng)閥50及與所述反應(yīng)器10連接并延伸入反應(yīng)器10內(nèi)的管道60。所述反應(yīng)器10作為盛放液態(tài)氫氟酸的容器，其呈圓筒形并設(shè)有一圓形封蓋11，所述封蓋11對反應(yīng)器10進(jìn)行密封，在圓筒內(nèi)形成一密封的反應(yīng)空間。所述電極20呈長條形，其一端穿過所述圓形封蓋11而進(jìn)入所述反應(yīng)器10內(nèi)，并置于所述反應(yīng)器10內(nèi)的液態(tài)氫氟酸中，所述電極20的另一端凸伸出所述圓形封蓋11而外露于所述反應(yīng)器10的外部，并與一通電線纜70連接，實(shí)現(xiàn)對電極20的通電，促使反應(yīng)器10 內(nèi)反應(yīng)的進(jìn)行。所述電極20包括一長條形的電極導(dǎo)桿21及設(shè)于所述電極導(dǎo)桿21末端的電極探頭22，該電極探頭22置于所述液態(tài)氫氟酸中。電磁閥30設(shè)于所述管道60上并與所述時(shí)間控制裝置40連接，用以實(shí)現(xiàn)對管道60 內(nèi)流體的開閉功能。所述電磁閥30是用來控制所述管道60內(nèi)流體的自動(dòng)化基礎(chǔ)元件，可控制管道60內(nèi)液態(tài)的流動(dòng)方向，當(dāng)所述電磁閥30在通電時(shí)，其內(nèi)部的電磁線圈(未圖示) 將產(chǎn)生磁力把電磁閥30的閘件(未圖示)從閥座上提起，致使電磁閥30打開；而斷電時(shí)， 電磁力消失，所述閘件(未圖示)回歸至閥座上，致使電磁閥30關(guān)閉。所述時(shí)間控制裝置40包括一計(jì)時(shí)器41、一繼電器42及一開關(guān)43。所述電磁閥30 與所述計(jì)時(shí)器41、繼電器42及開關(guān)43串聯(lián)連接，所述時(shí)間控制裝置40可設(shè)置兩個(gè)參數(shù) 電磁閥30開啟間隔時(shí)長和電磁閥30開啟的時(shí)長，用于對電磁閥30進(jìn)行開閉的控制，以有效控制液態(tài)流經(jīng)電磁閥30的時(shí)間間隔和時(shí)長。所述手動(dòng)閥50安裝于所述管道60上，且比所述電磁閥30更遠(yuǎn)離所述反應(yīng)器10 設(shè)置，其供由運(yùn)行工作人員手動(dòng)進(jìn)行定時(shí)開始及關(guān)閉。所述管道60用于傳輸自來水，并將自來水傳送至所述反應(yīng)器10的內(nèi)部對所述電極20進(jìn)行清洗。所述管道60內(nèi)的自來水在流向所述反應(yīng)器10內(nèi)時(shí)，將先經(jīng)過所述手動(dòng)閥50，然后再經(jīng)過所述電磁閥，最后流入至所述反應(yīng)器10內(nèi)部。本發(fā)明所述的氫氟酸處理系統(tǒng)100在手動(dòng)閥50后面加裝一電磁閥30和一與電磁閥30連接的時(shí)間控制裝置40，使得對電極20的清洗時(shí)間及清洗頻率變得固定并可自動(dòng)實(shí)現(xiàn)，不但減少了人工的操作，還使得電極20能被清洗的更加干凈，延長了其使用壽命，減少了運(yùn)行維護(hù)的費(fèi)用。以上所述，僅是本發(fā)明的最佳實(shí)施例而已，并非對本發(fā)明作任何形式上的限制。任何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍情況下，利用上述揭示的方法內(nèi)容對本發(fā)明技術(shù)方案做出許多可能的變動(dòng)和修飾，均屬于權(quán)利要求書保護(hù)的范圍。
權(quán)利要求
1.一種氫氟酸處理系統(tǒng)，包括反應(yīng)器、延伸入所述反應(yīng)器內(nèi)的電極、手動(dòng)閥及與所述反應(yīng)器連接并延伸入反應(yīng)器內(nèi)的管道，所述手動(dòng)閥設(shè)于所述管道上用于控制所述管道內(nèi)的流體，其特征在于所述管道上還設(shè)有一電磁閥及一時(shí)間控制裝置，所述時(shí)間控制裝置與所述電磁閥連接。
2.如權(quán)利要求1所述的氫氟酸處理系統(tǒng)，其特征在于所述電極包括一長條形的電極導(dǎo)桿及位于所述電極導(dǎo)桿一端的電極探頭。
3.如權(quán)利要求2所述的氫氟酸處理系統(tǒng)，其特征在于所述電極導(dǎo)桿的另一端連接有通電線纜。
4.如權(quán)利要求1至3中任意一項(xiàng)所述的氫氟酸處理系統(tǒng)，其特征在于所述時(shí)間控制裝置包括相互串聯(lián)在一起的一計(jì)時(shí)器、一繼電器及一開關(guān)。
5.如權(quán)利要求4所述的氫氟酸處理系統(tǒng)，其特征在于所述反應(yīng)器呈圓筒形，并設(shè)有一圓形封蓋。
6.如權(quán)利要求5所述的氫氟酸處理系統(tǒng)，其特征在于所述管道內(nèi)的流體依次經(jīng)過所述手動(dòng)閥、電磁閥后進(jìn)入所述反應(yīng)器內(nèi)。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種氫氟酸處理系統(tǒng)，包括反應(yīng)器、延伸入所述反應(yīng)器內(nèi)的電極、手動(dòng)閥及與所述反應(yīng)器連接并延伸入反應(yīng)器內(nèi)的管道，所述手動(dòng)閥設(shè)于所述管道上用于控制所述管道內(nèi)的流體，所述管道上還設(shè)有一電磁閥及一時(shí)間控制裝置，所述時(shí)間控制裝置與所述電磁閥連接。相較于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明所述的氫氟酸處理系統(tǒng)通過在手動(dòng)閥后面增設(shè)了電磁閥及時(shí)間控制裝置，實(shí)現(xiàn)了對電極的自動(dòng)定時(shí)沖洗，減少了人工操作，也延長電極的使用壽命。
文檔編號H01L21/00GK102569008SQ20101057813
公開日2012年7月11日 申請日期2010年12月8日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月8日
發(fā)明者楊龍, 殷建偉 申請人:無錫華潤上華科技有限公司