專利名稱:熱泵發(fā)電系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及利用太陽熱以及太陽光的熱泵發(fā)電系統(tǒng)。
背景技術(shù):
作為與復(fù)合利用太陽熱和太陽光的系統(tǒng)有關(guān)的現(xiàn)有技術(shù),例如具有在專利文獻(xiàn)1 中記載的技術(shù)。在該技術(shù)文獻(xiàn)1中記載了一種系統(tǒng),其具有進(jìn)行太陽光發(fā)電和太陽熱聚熱的混合式太陽聚熱器、高溫蓄熱槽以及低溫蓄熱槽、將低溫蓄熱槽作為低溫側(cè)熱源使高溫蓄熱槽內(nèi)升溫的熱泵,該系統(tǒng)將該熱泵用作熱源來供給熱水?,F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1 日本特開平7-234020號公報
發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的課題但是,在現(xiàn)有的太陽光發(fā)電系統(tǒng)中,利用波長區(qū)域為可見光區(qū)域的太陽能來產(chǎn)生電,而沒有利用波長區(qū)域為紅外區(qū)域的太陽能。此外,在現(xiàn)有的太陽熱發(fā)電系統(tǒng)中,利用波長區(qū)域為紅外區(qū)域的太陽能來產(chǎn)生電,而沒有利用波長區(qū)域為可見光區(qū)域的太陽能。本發(fā)明的目的在于提供一種熱泵發(fā)電系統(tǒng),其能夠有效地將包含可見光區(qū)域和紅外區(qū)域的大范圍的波長區(qū)域的太陽能用于發(fā)電。用于解決課題的手段為了達(dá)成上述目的,本發(fā)明提供一種利用太陽光以及太陽熱的熱泵發(fā)電系統(tǒng),其特征在于,具備聚光器,其對太陽光以及太陽熱進(jìn)行聚光和聚熱;發(fā)電板,其接受通過該聚光器聚光得到的太陽光來進(jìn)行發(fā)電;切換器,其切換通過所述聚光器聚熱得到的熱而生成的熱能或進(jìn)行冷卻而生成的冷能的供給目的地;蓄熱裝置,其蓄積經(jīng)過該切換器后的冷能或熱能;以及熱泵發(fā)電機(jī),其將通過該蓄熱裝置蓄積的冷能或熱能作為熱源來進(jìn)行發(fā)電。發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明,可以提供一種能夠有效地將包含可見光區(qū)域和紅外區(qū)域的大范圍的波長區(qū)域的太陽能用于發(fā)電的熱泵發(fā)電系統(tǒng)。
圖1表示本發(fā)明第一實施例的熱泵發(fā)電系統(tǒng)的概要圖。圖2表示本發(fā)明第二實施例的熱泵發(fā)電系統(tǒng)的概要圖。圖3表示本發(fā)明第三實施例的熱泵發(fā)電系統(tǒng)的概要圖。圖4是一般的太陽熱發(fā)電系統(tǒng)的概要圖。圖5是太陽能強(qiáng)度相對于太陽光波長的分布圖。
具體實施例方式作為利用太陽能的發(fā)電系統(tǒng),例如具有使用太陽能電池,從太陽光的能量直接產(chǎn)生電的太陽光發(fā)電系統(tǒng)、聚集太陽光,通過太陽光的熱使水蒸發(fā),由此使蒸汽葉輪機(jī)旋轉(zhuǎn)來發(fā)電的太陽熱發(fā)電系統(tǒng)。因此,首先,作為與本實施例的比較例,使用圖4說明一般的太陽熱發(fā)電系統(tǒng)。圖4是一般的太陽熱發(fā)電系統(tǒng)的概要圖。圖示的太陽熱發(fā)電系統(tǒng)由以下各部構(gòu)成聚集太陽光的復(fù)合拋物線式聚光器1、使熱介質(zhì)吸收通過復(fù)合拋物線式聚光器1聚熱得到的熱能的聚熱管2、通過與通過復(fù)合拋物線式聚光器1而升溫的熱介質(zhì)的熱交換,產(chǎn)生熱能的熱交換器3、對熱交換器產(chǎn)生的熱能進(jìn)行蓄熱的蓄熱器4、將蓄熱器4的熱能和海水5 的冷能作為熱源來進(jìn)行發(fā)電的郎肯循環(huán)6、切斷從郎肯循環(huán)6向電路系統(tǒng)提供的電的切斷器7 ο在以上那樣構(gòu)成的太陽熱發(fā)電系統(tǒng)中,通過復(fù)合拋物線式聚光器1聚集太陽光, 在聚熱管2中將其作為熱能使熱介質(zhì)進(jìn)行吸收,將該熱介質(zhì)導(dǎo)入到熱交換器3產(chǎn)生熱能,在蓄熱器4中蓄積熱能。將蓄熱器4和海水5作為熱源,通過郎肯循環(huán)6產(chǎn)生電,經(jīng)由切斷器 7向系統(tǒng)供電。圖5是太陽能強(qiáng)度相對于太陽光波長的分布圖。在一般的太陽光發(fā)電系統(tǒng)中,利用區(qū)域A(可見光區(qū)域)的波長區(qū)域的太陽能產(chǎn)生電,而沒有使用區(qū)域B(紅外區(qū)域)的波長區(qū)域的太陽能。此外,在一般的太陽熱發(fā)電系統(tǒng)中,利用區(qū)域B的太陽能進(jìn)行發(fā)電,而不使用區(qū)域A的太陽能。本實施例的熱泵發(fā)電系統(tǒng)提供能夠有效地利用包含可見光區(qū)域和紅外區(qū)域的大范圍的波長區(qū)域的太陽能的熱泵發(fā)電系統(tǒng)。以下使用
本發(fā)明的實施方式。(實施例1)圖1是本發(fā)明的第一實施例的熱泵發(fā)電系統(tǒng)的概要圖。本實施例的熱泵發(fā)電系統(tǒng)具備聚集太陽光的復(fù)合拋物線式聚光器1 ;使用通過復(fù)合拋物線式聚光器1聚集的太陽光進(jìn)行發(fā)電的兩面太陽光發(fā)電板8 ;使熱介質(zhì)吸收通過復(fù)合拋物線式聚光器1聚熱得到的熱能量的聚熱管2 ;通過與通過復(fù)合拋物線式聚光器1而升溫的熱介質(zhì)或通過放射冷卻而冷卻的熱介質(zhì)的熱交換,產(chǎn)生熱能或冷能的熱交換器3 ;切換通過熱交換器3得到的熱能或冷能的供給目的地的切換器9 ;蓄積從熱交換器3經(jīng)由切換器9供給的熱能的蓄熱器4 ;蓄積同樣地經(jīng)由切換器9供給的冷能的蓄冷器10 ;將蓄熱器4中蓄積的熱能作為熱源的熱泵循環(huán)11 ;將作為該熱泵循環(huán)11的輸出的熱作為熱源來產(chǎn)生電的郎肯循環(huán)6。構(gòu)成了如后所述在把蓄熱器4中蓄積的熱能提供給熱泵循環(huán)11后,提供給熱交換器3的系統(tǒng),但是還具備從蓄熱器4直接將蓄積的熱能提供給熱交換器3的系統(tǒng)。同樣地, 具備使蓄冷器10的冷能經(jīng)由郎肯循環(huán)6提供給熱交換器3的系統(tǒng)、和不經(jīng)由郎肯循環(huán)6直接提供給熱交換器3的系統(tǒng)。在本實施例中,具有對兩面太陽光發(fā)電板8產(chǎn)生的電的頻率進(jìn)行調(diào)整的逆變器
12、使通過郎肯循環(huán)6產(chǎn)生的電的頻率與通過該逆變器12調(diào)整了頻率后的電同步的同步器
13、調(diào)整通過同步器13同步后的電的電壓和電流的調(diào)整器14、以及向系統(tǒng)供給從調(diào)整器14 輸出的電或者切斷該供給的切斷器7。
然后,說明構(gòu)成熱泵發(fā)電機(jī)的熱泵11的詳細(xì)結(jié)構(gòu)。熱泵11由以下構(gòu)成被供給作為其工作介質(zhì)的熱源而在蓄熱器4中蓄積的熱能的蒸發(fā)器101 ;對通過蒸發(fā)器101進(jìn)行蒸發(fā)而成為氣相狀態(tài)的工作介質(zhì)進(jìn)行壓縮的壓縮機(jī)102 ;使通過壓縮機(jī)102成為高溫高壓的工作介質(zhì)凝結(jié)的冷凝器104 ;以及使通過冷凝器104成為液相狀態(tài)的高溫高壓的工作介質(zhì)膨脹的膨脹閥105。向蒸發(fā)器101供給通過膨脹閥105以低溫低壓成為液相狀態(tài)的工作介質(zhì)。在冷凝器104中,與從后述的郎肯循環(huán)6供給的低溫的介質(zhì)進(jìn)行熱交換,把在冷凝器 104中通過與郎肯循環(huán)的工作介質(zhì)的熱交換而成為高溫的介質(zhì)作為郎肯循環(huán)6的熱源,再次提供給郎肯循環(huán)6。此外,構(gòu)成熱泵發(fā)電機(jī)的郎肯循環(huán)6的詳細(xì)結(jié)構(gòu)如下。郎肯循環(huán)6由以下構(gòu)成使郎肯循環(huán)的液相狀態(tài)的工作介質(zhì)與從熱泵11供給的具有的高溫的熱的介質(zhì)進(jìn)行熱交換的蒸發(fā)器106、使在蒸發(fā)器106中成為高溫高壓的氣相狀態(tài)的工作介質(zhì)進(jìn)行絕熱膨脹的葉輪機(jī)107、通過葉輪機(jī)107驅(qū)動來產(chǎn)生電的發(fā)電機(jī)108、通過從蓄冷器10供給的冷能使通過葉輪機(jī)107膨脹后的氣相狀態(tài)的工作介質(zhì)凝結(jié)的冷凝器109、以及對在冷凝器109中成為液相狀態(tài)的工作介質(zhì)進(jìn)行升壓的泵110。說明如上那樣構(gòu)成的熱泵發(fā)電系統(tǒng)的動作。通過復(fù)合拋物線式聚光器1聚集太陽光,在聚熱管2中作為熱能使熱介質(zhì)吸收,并且在兩面太陽光發(fā)電板8中產(chǎn)生電。聚熱管2 內(nèi)部的熱介質(zhì)在太陽光照射的白天吸收熱能成為高溫狀態(tài),在沒有太陽光照射的夜間通過放射冷卻而釋放熱能成為低溫狀態(tài)。將該熱介質(zhì)導(dǎo)入熱交換器3,白天產(chǎn)生熱能,夜間產(chǎn)生冷能。對于來自熱交換器3的熱,通過根據(jù)熱能生成時(白天)和冷能生成時(夜間)進(jìn)行切換的晝夜切換器9,把熱能蓄積在蓄熱器4中,把冷能蓄積在蓄冷器10中。在熱泵11中,把在蓄熱器4中蓄積的熱能作為熱源來產(chǎn)生熱。更具體地說,在蒸發(fā)器101中,在液相狀態(tài)下流入的熱泵11的工作介質(zhì),通過從蓄熱器4供給的熱能被加熱而蒸發(fā),成為低溫低壓的氣相狀態(tài)。在壓縮機(jī)102中,工作介質(zhì)被絕熱壓縮,成為高溫高壓的氣相狀態(tài)。在冷凝器104中,工作介質(zhì)被冷卻而凝結(jié),成為高壓的液相狀態(tài),并且向外部產(chǎn)生熱。在膨脹閥105中,工作介質(zhì)進(jìn)行節(jié)流膨脹,成為低溫低壓的液相狀態(tài)。在郎肯循環(huán)6中,把在熱泵11中產(chǎn)生的熱和在蓄冷器10中蓄積的冷能作為熱源而產(chǎn)生電。更具體地說,在蒸發(fā)器106中,在液相狀態(tài)下流入的郎肯循環(huán)6的工作介質(zhì)通過在熱泵11中產(chǎn)生的熱被加熱而蒸發(fā),成為高溫高壓的氣相狀態(tài)。在葉輪機(jī)107中,工作介質(zhì)絕熱膨脹而成為低溫低壓的氣相狀態(tài),并且驅(qū)動發(fā)電機(jī)108產(chǎn)生電。在冷凝器109中,工作介質(zhì)通過從蓄冷器10供給的冷能被冷卻而凝結(jié),成為液相狀態(tài)。在泵110中,工作介質(zhì)被絕熱壓縮,成為高壓的液相狀態(tài)。在逆變器12中,調(diào)整在兩面太陽光發(fā)電板8中產(chǎn)生的電的頻率。在同步器13中, 使來自逆變器12的電的頻率與來自郎肯循環(huán)6的電的頻率同步,在調(diào)整期14中調(diào)整電壓 /電流,在切斷器7中向系統(tǒng)供給產(chǎn)生的電。在本實施例中,在聚熱管2中吸收紅外區(qū)域的波長區(qū)域的太陽能,在郎肯循環(huán)6中產(chǎn)生電,并且在兩面太陽光發(fā)電板8中吸收可見光區(qū)域的太陽能,產(chǎn)生電。由此,可以有效地利用包含可見光區(qū)域和紅外區(qū)域的大范圍的波長區(qū)域的太陽能來產(chǎn)生電。此外,通過太陽熱發(fā)電和太陽光發(fā)電的合并,與現(xiàn)有的利用太陽能的發(fā)電系統(tǒng)相比,能夠提高輸出。在郎肯循環(huán)6中,高溫?zé)嵩吹臏囟仍礁摺⒌蜏責(zé)嵩吹臏囟仍降?,則發(fā)電效率越高。
6在本實施例中,在郎肯循環(huán)6中,把在熱泵11中產(chǎn)生的熱用作高溫?zé)嵩?,把在蓄冷?0中蓄積的冷能用作低溫?zé)嵩磥懋a(chǎn)生電。即,在調(diào)查郎肯循環(huán)6的高溫?zé)嵩磿r,在圖4的例子中在蓄熱器4中蓄積的熱能成為熱源,但是在本實施例中,將作為熱泵11的輸出的高溫介質(zhì)作為熱源。因為在該熱泵11中產(chǎn)生的熱的溫度高于蓄熱器4的熱能,所以在郎肯循環(huán)6中在發(fā)電效率方面有利。此外,在調(diào)查郎肯循環(huán)6的低溫?zé)嵩磿r,在圖4的例子中將海水5作為熱源,但是在本實施例中蓄冷器10的冷能由于夜間的放射冷卻而被冷卻,因此能夠成為更低的溫度。因此,根據(jù)本實施例,與現(xiàn)有的發(fā)電系統(tǒng)相比,能夠提高發(fā)電效率。此外,在使用了郎肯循環(huán)6的現(xiàn)有的太陽熱發(fā)電系統(tǒng)中,在啟動設(shè)備時,工作介質(zhì)開始蒸發(fā),直到驅(qū)動發(fā)電機(jī)來產(chǎn)生電為止需要花費時間,因此存在設(shè)備的啟動時間長的問題。但是,在本實施例中,在設(shè)備啟動的同時能夠在兩面太陽光發(fā)電板8中產(chǎn)生電,所以能夠縮短設(shè)備的啟動時間。根據(jù)以上說明的本實施例,可以提供能夠有效地將包含可見光區(qū)域和紅外區(qū)域的大范圍的波長區(qū)域的太陽能用于發(fā)電的熱泵發(fā)電系統(tǒng)。(實施例2)然后,使用圖2說明本發(fā)明的第二實施例。在圖1的實施例中,在蓄熱器4中蓄積來自晝夜切換器9的熱能,把蓄積的熱能作為熱源來在熱泵11中產(chǎn)生熱,將產(chǎn)生的熱作為高溫?zé)嵩丛诶煽涎h(huán)6中產(chǎn)生電。與此相對, 在本實施例中,把來自晝夜切換器9的熱能作為熱源在熱泵21中產(chǎn)生熱,把產(chǎn)生的熱蓄積在蓄熱器22中,將蓄積的熱作為高溫?zé)嵩丛诶煽涎h(huán)6中產(chǎn)生電。在本實施例中,把為使郎肯循環(huán)6運轉(zhuǎn)所需要的熱能蓄積在蓄熱器22中。在使郎肯循環(huán)6連續(xù)運轉(zhuǎn)的情況下,在蓄熱器22中蓄積有熱能的期間,即使不使熱泵21運轉(zhuǎn),也能夠從蓄熱器22向郎肯循環(huán)6提供熱能,所以可以減少熱泵21的運行時間。由此,能夠降低為了通過電動機(jī)202驅(qū)動壓縮機(jī)201所需要的動力。(實施例3)然后,使用圖3說明本發(fā)明的第三實施例。本實施例的特征為,通過分支31使來自晝夜切換器9的熱能分支為兩路,將分支后的一方的熱能作為高溫?zé)嵩矗诶煽涎h(huán)6中產(chǎn)生電,將分支后的另一方熱能作為熱源, 在熱泵32中產(chǎn)生熱,將產(chǎn)生的熱蓄積在蓄熱器33中。然后,為了使經(jīng)由切斷器7向系統(tǒng)供給的電量恒定,把在蓄熱器33中蓄積的熱能提供給郎肯循環(huán)6,調(diào)整在郎肯循環(huán)6中產(chǎn)生的電量。在向郎肯循環(huán)6供給熱能時,為了使冷凝器301和蓄熱器33之間的閉合流路(圖3 中的粗線)中的流體流量成為恒定,從閥34供給流體。在現(xiàn)有的太陽光發(fā)電系統(tǒng)或太陽熱發(fā)電系統(tǒng)中,由于太陽光的照射量變動,因此, 難以恒定地保持向系統(tǒng)供給的電量。與此相對,在本實施例中,通過把蓄熱器33中蓄積的熱能適當(dāng)?shù)靥峁┙o郎肯循環(huán)6,可以調(diào)整在郎肯循環(huán)6中產(chǎn)生的電量,因此能夠恒定地保持向系統(tǒng)供給的電量。產(chǎn)業(yè)上的可利用性可以用于利用太陽光和太陽熱進(jìn)行發(fā)電的熱泵發(fā)電系統(tǒng)。符號說明1復(fù)合拋物線式聚光器
2聚熱管3熱交換器4、22、33 蓄熱器5 海水6郎肯循環(huán)7切斷器8兩面太陽光發(fā)電板9晝夜切換器10蓄冷器11、21、32 熱泵12逆變器13同步器14調(diào)整器31 分支34 閥101、106 蒸發(fā)器102、201 壓縮機(jī)103、202 電動機(jī)104、109、301 冷凝器IO5膨脹閥107葉輪機(jī)108發(fā)電機(jī)110 泵
權(quán)利要求
1.一種利用太陽光以及太陽熱的熱泵發(fā)電系統(tǒng),其特征在于,具備 聚光器,其對太陽光以及太陽熱進(jìn)行聚光和聚熱;發(fā)電板,其接受通過該聚光器聚光得到的太陽光來進(jìn)行發(fā)電;切換器,其切換通過所述聚光器聚熱得到的熱而生成的熱能或進(jìn)行冷卻而生成的冷能的供給目的地;蓄熱裝置,其蓄積經(jīng)過該切換器后的冷能或熱能;以及熱泵發(fā)電機(jī),其將通過該蓄熱裝置蓄積的冷能或熱能作為熱源來進(jìn)行發(fā)電。
2.一種利用太陽光以及太陽熱的熱泵發(fā)電系統(tǒng),其特征在于,具備 聚光器,其對太陽光以及太陽熱進(jìn)行聚光和聚熱;發(fā)電板,其利用通過該聚光器聚光得到的波長區(qū)域為可見光區(qū)域的太陽能來進(jìn)行發(fā)電;切換器,其切換使用通過所述聚光器聚熱得到的波長區(qū)域為紅外區(qū)域的太陽能所生成的熱能或冷能的供給目的地;蓄熱裝置,其蓄積經(jīng)過該切換器后的冷能或熱能;以及熱泵發(fā)電機(jī),其將通過該蓄熱裝置蓄積的冷能或熱能作為熱源來進(jìn)行發(fā)電。
3.一種利用太陽光以及太陽熱的熱泵發(fā)電系統(tǒng),其特征在于,具備 聚光器,其對太陽光進(jìn)行聚光;發(fā)電板,其接受通過該聚光器聚光得到的太陽光來進(jìn)行發(fā)電; 集熱管,其通過用所述聚光器聚光得到的太陽光被加熱; 熱交換器,其與該集熱管連接;切換器,其切換通過該熱交換器回收的冷能和熱能的供給目的地; 蓄冷器,其蓄積所述冷能; 蓄熱裝置,其蓄積所述熱能;熱泵發(fā)電機(jī),其將所述蓄冷器的冷能以及所述蓄熱器的熱能作為熱源來進(jìn)行發(fā)電;逆變器,其調(diào)整所述發(fā)電板發(fā)出的電的頻率;同步器,其使該逆變器以及所述熱泵發(fā)電機(jī)發(fā)出的電的頻率同步;調(diào)整器,其調(diào)整通過該同步器同步后的電的電壓、電流;以及切斷器,其切斷經(jīng)過該調(diào)整器后的電對于系統(tǒng)的供給。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱泵發(fā)電系統(tǒng),其特征在于, 所述蓄熱裝置由蓄積熱能的蓄熱器和蓄積冷能的蓄冷器構(gòu)成。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱泵發(fā)電系統(tǒng),其特征在于,所述切換器在太陽光照射的時間段切換為聚熱而生成的所述熱能,在太陽光不照射的時間段切換為冷卻而生成的所述冷能。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱泵發(fā)電系統(tǒng),其特征在于,所述熱泵發(fā)電機(jī)由熱泵循環(huán)和郎肯循環(huán)的組合而構(gòu)成,所述熱泵循環(huán)將所述熱能作為熱源,輸出比所述熱能溫度高的熱,所述郎肯循環(huán)將從所述熱泵循環(huán)輸出的熱和所述冷能作為熱源來產(chǎn)生電。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的熱泵發(fā)電系統(tǒng),其特征在于,所述切換器進(jìn)行切換,以便在太陽光照射的時間段將所述熱能作為所述蓄熱器或所述熱泵發(fā)電機(jī)的熱源,直接提供給該熱泵發(fā)電機(jī),在太陽光不照射的時間段將所述冷能提供給蓄冷器。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的熱泵發(fā)電系統(tǒng),其特征在于,組合熱泵循環(huán)和郎肯循環(huán)而構(gòu)成所述熱泵發(fā)電機(jī),所述熱泵循環(huán)將從所述切換器供給的熱能作為熱源來產(chǎn)生熱,然后提供給所述蓄熱器,所述郎肯循環(huán)將所述蓄熱器的熱能和所述蓄冷器的冷能作為熱源來產(chǎn)生電。
9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的熱泵發(fā)電系統(tǒng),其特征在于,組合熱泵循環(huán)和郎肯循環(huán)而構(gòu)成所述熱泵發(fā)電機(jī),所述熱泵循環(huán)將以經(jīng)由所述切換器分支后的一方的熱能作為熱源而產(chǎn)生的熱提供給所述蓄熱器,所述郎肯循環(huán)將所述蓄熱器的熱能或所述分支后的另一方的熱能、以及所述蓄冷器的冷能作為熱源來產(chǎn)生電。
10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的熱泵發(fā)電系統(tǒng),其特征在于,所述蓄熱器將在所述蓄熱器中蓄積的熱能提供給所述郎肯循環(huán),以使通過所述熱泵發(fā)電機(jī)發(fā)出的電恒定。
全文摘要
提供能夠有效地利用包含可見光區(qū)域和紅外區(qū)域的大范圍的波長區(qū)域的太陽能進(jìn)行發(fā)電的熱泵發(fā)電系統(tǒng)。其具備聚光器(1),其對太陽光以及太陽熱進(jìn)行聚光和聚熱;發(fā)電板(8),其接受該聚光器聚光得到的太陽光進(jìn)行發(fā)電;切換器(9),其切換通過所述聚光器聚熱得到的熱而生成的熱能或進(jìn)行冷卻而生成的冷能的供給目的地;蓄熱裝置(4、10),其蓄積經(jīng)過該切換器后的冷能或熱能;以及熱泵發(fā)電機(jī)(11),其將該蓄熱裝置蓄積的冷能或熱能作為熱源進(jìn)行發(fā)電。
文檔編號H01L31/04GK102472526SQ20098016078
公開日2012年5月23日 申請日期2009年11月30日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月24日
發(fā)明者永渕尚之, 矢敷達(dá)朗 申請人:株式會社日立制作所