專利名稱:用于制造有機光電子結(jié)構(gòu)元件的方法以及有機光電子結(jié)構(gòu)元件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種用于制造有機光電子結(jié)構(gòu)元件的方法,以及一種有機光電子結(jié)構(gòu)元件。
背景技術(shù):
對于有機發(fā)光二極管(OLED)的持久的和可靠的工作而言需要的是,封閉該有機發(fā)光二極管以使其免受氧和濕氣的影響。為此OLED的氧敏和/或濕敏的構(gòu)件能夠設(shè)置在兩個玻璃板之間,所述玻璃板借助于環(huán)繞構(gòu)件的膠粘劑連接,從而形成封裝。在膠粘劑中通常含有為小球或纖維形式的填料,所述填料例如作為間隔保持件(“spacer”)引起在兩個玻璃板之間的限定的間距。因為膠粘劑典型地是不完全氧和水蒸氣密封的,所以這些氣體逐漸地穿過膠粘劑擴散到OLED內(nèi)。
發(fā)明內(nèi)容
至少一個實施形式的目的是,提供一種用于制造有機光電子結(jié)構(gòu)元件的方法。至少另一個實施形式的目的是,提供一種有機光電子結(jié)構(gòu)元件。這些目的通過獨立權(quán)利要求的方法和主題得以實現(xiàn)。該主題和方法的有利的實施形式和改進形式在從屬權(quán)利要求中表明,并且此外可由下面的說明和附圖得知。根據(jù)一個實施形式的用于制造有機光電子結(jié)構(gòu)元件的方法尤其包括步驟A)提供第一襯底,其具有有源區(qū)域和包圍有源區(qū)域的第一連接區(qū)域,其中在有源區(qū)域內(nèi)構(gòu)成有機功能層序列;B)提供第二襯底,其具有覆蓋區(qū)域和包圍覆蓋區(qū)域的第二連接區(qū)域;C)將由第一玻璃焊料組成的第一連接層直接施加在第二襯底上且施加在第二連接區(qū)域內(nèi);D)使第一連接層的第一玻璃焊料?;?;E)將第二連接層施加在玻化的第一連接層或第一襯底的第一連接區(qū)域上;以及F)將第一襯底與第二襯底連接,使得第二連接層將第一連接區(qū)域與第一連接層連接。根據(jù)另一實施形式,有機光電子結(jié)構(gòu)元件尤其包括-第一襯底,其具有有源區(qū)域和包圍有源區(qū)域的第一連接區(qū)域,其中在有源區(qū)域內(nèi)構(gòu)成有機功能層序列;-第二襯底,其具有在有源區(qū)域上方的覆蓋區(qū)域和在第一連接區(qū)域上方的包圍覆蓋區(qū)域的第二連接區(qū)域;-在第一和第二連接區(qū)域之間的第一和第二連接層,其中-第一連接層直接鄰接在第二連接區(qū)域上,并且由第一玻璃焊料組成,并且-第二連接層將第一連接層與第一連接區(qū)域連接。在下述實施形式中,同樣地涉及有機光電子結(jié)構(gòu)元件和用于制造有機光電子結(jié)構(gòu)元件的方法的特征和組合一般不另外詳盡地注明。一層或一個元件設(shè)置或施加在另一層或另一元件“上”或“上方”,在此能夠在這里且在下面意味著,該層或該元件直接地以直接的機械接觸和/或電接觸的方式設(shè)置在另一層或另一元件上。此外,也能夠意味著,該層或該元件間接地設(shè)置在另一層或另一元件上或上方。那么在此,另外的層和/或元件能夠設(shè)置在所述該層和所述另一層之間,或者設(shè)置在所述該元件和所述另一元件之間。一層或一個元件設(shè)置在兩個其它的層或元件“之間”,能夠在這里和在下面意味著,該層或該元件直接地以與所述兩個其它的層或元件中的一個直接的機械接觸和/或電接觸的方式或間接的接觸的方式設(shè)置,并且以與所述兩個其它的層或元件中的另一個直接的機械接觸和/或電接觸的方式或間接的接觸的方式設(shè)置。那么在此,在間接接觸的情況下,另外的層和/或元件能夠設(shè)置在所述該層和所述兩個其它的層中的至少一層之間,或者設(shè)置在該元件和所述兩個其它的元件中至少另一元件之間。如果在方法步驟E中將第二連接層施加在第一連接層上且施加在第一襯底上,那么尤其能夠意味著,將第二連接層的一部分施加在第一連接層上且將第二連接層的另一部分施加在第一襯底上,所述第二連接層隨后在方法步驟F中接合成實際的第二連接層。第二連接層能夠在方法步驟E中尤其是直接地且立即施加在第一連接層上,并且/或者直接地且立即施加在第一襯底上。因此,第二連接層在已制成的有機光電子機構(gòu)元件中能夠直接地鄰接在第一連接層上且直接地鄰接在第一襯底上,并且分別與該第一連接層和該第一襯底具有共同的界面。在這里和在下面,“光電子的”尤其表示如下特性,即電磁輻射或光轉(zhuǎn)換為電壓和 /或電流,并且/或者電壓和/或電流轉(zhuǎn)換為電磁輻射或光。因此,有機光電子結(jié)構(gòu)元件能夠在第一種情況下構(gòu)成為有機的輻射接收或輻射探測結(jié)構(gòu)元件,例如有機光敏二極管或太陽能電池,并且在第二種情況下構(gòu)成為有機的輻射發(fā)射結(jié)構(gòu)元件,例如有機發(fā)光二極管 (OLED)。在這里和在下面,“光”或“電磁輻射”同樣尤其意味著具有至少一個波長或具有從紅外至紫外波長范圍的波長范圍的電磁輻射。在此,光或電磁輻射能夠包括可見的波長范圍,即近紅外至藍色波長范圍,所述波長范圍具有一個或多個在大致350nm和大致IOOOnm 之間的波長。由于在第一襯底和第二襯底之間設(shè)置有由第一玻璃焊料組成的第一連接層,與已知的具有純的粘合劑層的OLED相比,能夠提供針對氧和濕氣以及水蒸氣密封的封裝。第二襯底或第一和第二襯底尤其能夠具有玻璃,例如帶有如硼硅酸鹽或鋁硅酸鹽的硅酸鹽玻璃和/或石英玻璃或其它適用于有機結(jié)構(gòu)元件的玻璃材料。光電子結(jié)構(gòu)元件尤其優(yōu)選能夠構(gòu)成為有機發(fā)光二極管(OLED)。OLED例如能夠在有源區(qū)域內(nèi)具有在第一襯底上的第一電極。通過第一電極能夠施加具有一個或多個由有機材料組成的功能層的有源層。在此,功能層例如能夠構(gòu)成為電子移動層、空穴阻隔層、電致發(fā)光層、電子阻隔層和/或空穴移動層。通過功能層能夠施加第二電極。在功能層內(nèi)通過電子和空穴注入以及電子和空穴重組產(chǎn)生具有各個波長或波長范圍的電磁輻射。在此,能夠?qū)τ^察者引起單色的、多色的和/或混合色的發(fā)光印象。第一電極和/或第二電極尤其能夠特別優(yōu)選平面地,或者可替代地在第一或第二電極部分區(qū)域內(nèi)結(jié)構(gòu)化地構(gòu)成。第一電極例如能夠構(gòu)成為平行地并排設(shè)置的第一電極條的形式,并且第二電極構(gòu)成為垂直于第一電極條延伸的且平行地并排設(shè)置的第二電極條。因此,第一和第二電極條的重疊部能夠構(gòu)成為可單獨控制的發(fā)光區(qū)域。此外,也能夠僅第一或第二電極是結(jié)構(gòu)化的。特別優(yōu)選的是,第一和/或第二電極或者電極部分區(qū)域與第一帶狀導線導電地連接。在此,電極或電極部分區(qū)域例如能夠過渡為第一帶狀導線,或者與第一帶狀導線分開地構(gòu)成并與該第一帶狀導線導電地連接。帶狀導線能夠在第一襯底和第二連接層之間從有源區(qū)域和第一連接區(qū)域中引出,使得能夠在第一連接區(qū)域外電接觸有機功能層序列。如果有機光電子結(jié)構(gòu)元件構(gòu)成為0LED,并且在此尤其是構(gòu)成為所謂的“底部發(fā)射器”,也就是說,在有機功能層序列內(nèi)產(chǎn)生的輻射穿過第一襯底放射,那么第一襯底能夠以有利的方式具有用于至少一部分在有源層內(nèi)產(chǎn)生的電磁輻射的穿透性。在底部發(fā)射器結(jié)構(gòu)中,第一電極也能夠具有用于至少一部分在有源層內(nèi)產(chǎn)生的電磁輻射的透明性。能夠構(gòu)成為陽極且因此用作空穴注入材料的透明的第一電極例如能夠具有透明的導電的氧化物或由透明導電氧化物組成。透明導電氧化物(transparent conductive oxides,簡稱“T0C”)是透明的導電材料,通常為金屬氧化物,例如氧化鋅、氧化錫、氧化鎘、氧化鈦、氧化銦或特別優(yōu)選為氧化銦錫(ITO)。除了例如&10、31102或化203的二元金屬氧化物外,例如 Zn2Sn04、CdSn03、aiSn03、MgIn204、GaIn03、ai2In205 或 In4Sn3O12 的三元金屬氧化物或者不同的透明的導電的氧化物也屬于TCO群。此外,TCO不必相當于化學計量組分,并且也能夠是P摻雜或η摻雜的。功能層能夠具有有機聚合物、有機低聚物、有機單體、有機未聚合小分子(“small molecules")或它們的組合。用于功能層的適合的材料以及材料的構(gòu)造和構(gòu)成對于本領(lǐng)域技術(shù)人員是已知的,并且因此在這里不進一步闡釋。第二電極能夠構(gòu)成為陰極,并且因此用作電子注入材料。作為陰極材料,此外尤其是鋁、鋇、銦、銀、金、鎂、鈣、鋰以及它們的化合物、組合物和合金證明是有利的。附加的或可替代的是,第二電極也能夠構(gòu)成為透明的,并且/或者第一電極構(gòu)成為陰極且第二電極構(gòu)成為陽極。這尤其意味著,OLED也能夠構(gòu)成為“頂部發(fā)射器”。有機光電子結(jié)構(gòu)元件尤其能夠同時構(gòu)成為底部發(fā)射器和頂部發(fā)射器,并且因此構(gòu)成為透明的。此外,有源區(qū)域能夠具有用于例如薄膜晶體管(TFT)的有源或無源顯示器或照明設(shè)備的特征和部件。第一玻璃焊料能夠優(yōu)選為似玻璃的,即無定形的,或晶體的可熔的且可硬化的材料,或者為具有多個材料的合成物,所述第一玻璃焊料此外也能夠具有例如用于與溫度膨脹系數(shù)相匹配的適合的填料。也能夠稱為玻璃粉(“glass frits")的第一玻璃焊料具有適用于玻化的材料以及填料,并且例如包括由氧化物組成的混合物,所述氧化物可從如下氧化物種選擇氧化釩、氧化磷、氧化鈦、氧化鐵,例如三價鐵氧化物(Fe2O3)、氧化錫、氧化硼、氧化鉛、氧化鋁、堿土金屬氧化物、氧化硅、氧化鋅、氧化鉍、氧化鉿、氧化鋯和堿金屬氧化物。第一玻璃焊料尤其也能夠是無鉛化合物的,即當其出于環(huán)境技術(shù)和受環(huán)境條約約束的觀點是必需的時。第一玻璃焊料尤其能夠作為在溶劑粘結(jié)劑混合劑中的可塑的玻璃焊料在方法步驟C中施加。例如由乙酸戊酯和硝化纖維組成的混合物適合作為溶劑粘結(jié)劑混合劑。在文獻US 6,936,963B2和US 6,998,776B2中說明了用于玻璃焊料、填料和它們的混合物的另外的示例和實施形式,所述文獻的公開內(nèi)容通過參引并入本文。第一玻璃焊料在方法步驟C中的在第二襯底的第二連接區(qū)域上的施加例如能夠作為糊劑通過篩網(wǎng)壓印、刮板壓印或分散來實現(xiàn),使得具有第一玻璃焊料的所謂的玻璃焊縫包圍覆蓋區(qū)域,并且直接地,即立即以直接的機械接觸的方式施加。緊接著,仍可塑的第一玻璃焊料能夠在爐中通過供熱而干燥、脫離、燒結(jié)和玻化。因此能夠在方法步驟E之前就在第二襯底上形成持久的且不透氧和濕氣的第一連接層,所述第一連接層的與第二襯底的界面同樣是不透氧和濕氣的。通過第一連接層在爐中的?;?,并且如在已知的OLED中不借助于激光,實現(xiàn)了較低成本的且較經(jīng)濟的制造過程。通過第一連接層在爐中的玻化,第一玻璃焊料具有與第二襯底相匹配的溫度膨脹系數(shù)的第一玻璃焊料能夠無應力地與第二襯底熔合,而在第一連接層和/或第二襯底內(nèi)不會出現(xiàn)由于例如借助于激光作用的已知的局部熔合過程而導致的張緊。此外,同樣能夠省去第二襯底的高成本的且耗費的加工。第一連接層能夠構(gòu)成為具有第一厚度,而第二連接層緊接著隨后構(gòu)成具有第二厚度。第二厚度能夠小于或等于第一厚度。因此,與具有連續(xù)的粘合劑層的傳統(tǒng)的OLED相比,能夠達到在密封段,即與已知的純粘合劑層相比連同第一和第二連接層一起,具有相同的寬度和高度的情況下氧和/或水蒸氣透過的體積比例的減少。與第一厚度相比,第二厚度構(gòu)成得越小,氧和/或濕氣能夠擴散進入具有有機光電子層序列的有緣區(qū)域的可能性越小。特別優(yōu)選的是,通過第一連接層決定性地確定第一和第二襯底之間的距離,這意味著, 第二厚度小于或等于第一厚度的五分之一,并且優(yōu)選小于或等于第一厚度的十分之一。根據(jù)有機光電子層序列并且需要時也根據(jù)進一步在下面說明的吸氣劑層,第一厚度優(yōu)選大于或等于5微米,特別優(yōu)選大于或等于10微米,并且小于或等于20微米。因此,在第一和第二襯底之間的10微米或更大的距離尤其是可能的,這尤其例如在大面積的有機光電子接元件中是有利的,因為因此能夠補償由于在具有層序列的結(jié)構(gòu)元件的內(nèi)體積和環(huán)境之間的壓差而造成的第一和/或第二襯底的可能的變形。相反,第二連接層能夠具有在連接和附著特性方面優(yōu)化的第二厚度。在此,第二連接層的第二厚度大于或等于第二連接層的材料的一個或多個原子層,并且小于或等于幾微米,優(yōu)選小于或等于5微米,尤其是小于或等于2微米,并且特別優(yōu)選小于或等于1微米。在此特別優(yōu)選的是,第二連接層能夠不具有限定間距的填料(“間隔件”)材料。第二連接層能夠具有有機的可硬化的粘合劑,所述粘合劑能夠在第一襯底與第二襯底在方法步驟F中接合后硬化。在此,“硬化”在這里和在下面表明粘合劑本身的和在粘合劑與第一連接層和第一襯底的相應的界面上的適合的反應和機理,通過所述反應和機理實現(xiàn)第一襯底與第二襯底的持久的連接。這能夠包括如交聯(lián)反應或溶劑的蒸發(fā)和/或氣化的過程。硬化能夠通過自激發(fā)的反應或也能夠通過從外界的能量供給而引起,在第二種情況下,尤其是通過熱量的供給或者電磁輻射的供給,尤其是具有紫外光或紅外光的形式電磁輻射的供給。粘合劑尤其能夠具有一種有機的可交聯(lián)的材料或多種這樣的材料,例如硅氧烷、環(huán)氧化物、丙烯酸酯、甲基丙烯酸甲酯、聚氨脂或它們的具有單體、低聚物或聚合物形式的衍生物,或者此外也可為它們的混合物、共聚物或化合物。特別優(yōu)選的是,基底材料能夠包括環(huán)氧樹脂,并且/或者可借助于UV光硬化。此外,第二連接層包括第二玻璃焊料,或者由一種這樣的玻璃焊料組成。第二玻璃焊料能夠具有如有關(guān)第一玻璃焊料所述的特征、特性和它們的組合。第二連接層尤其能夠具有能吸收電磁輻射的材料,所述材料從稀土 -過渡金屬的金屬族中的一個或多個金屬中選擇,并且尤其是從金屬鐵、銅、釩和釹中選擇。通過將一個或多個這種吸收材料摻雜給第二連接層,能夠提高用于電磁輻射的吸收能力,并且因此加速第二連接層的硬化。此外,第一連接層能夠不具有吸收材料,或者能夠具有這些吸收材料的至少一個較低的濃度,使得能夠達到對輻射入第二連接層內(nèi)的電磁輻射的有針對性的吸收。吸收材料適合于與由第二玻璃焊料組成的第二連接層組合,因為通過吸收特性能夠達到第二連接層的,即第二玻璃焊料的有針對性的局部加熱,并且因此能夠達到該第二玻璃焊料的改善的?;T诜椒ú襟EF后,第二連接層的第二玻璃焊料能夠?;?。這尤其能夠通過第二玻璃焊料的借助于用紫外光或紅外光的照射的熔化來實現(xiàn)。這例如能夠借助于激光器或另一個適合的輻射源輻射到第二連接層上。由于相比于第一連接層的第一厚度,第二連接層具有先前所述的較小的第二厚度,所以能夠?qū)崿F(xiàn),第二波璃焊料的?;粚е麓圃斓挠袡C光電子結(jié)構(gòu)元件的其它構(gòu)件的大的溫度提高。因此,能夠在低溫下進行有機光電子層序列的封裝,并且不損壞層序列。在此,第二連接層越薄,該連接層的熔化和玻化越容易,并且能夠越容易地形成第二連接層與第一連接層和第一襯底的持久的連接。第一連接層的已經(jīng)?;牡谝徊AШ噶显诘诙AШ噶显谕獠咳刍筒;瘯r能夠高粘性地且特別優(yōu)選固定地保持在與第二玻璃焊料的界面的區(qū)域內(nèi),使得第一襯底與第二襯底的間距基本上能夠通過第一連接層的第一厚度來限定。特別優(yōu)選的是,第一玻璃焊料為此能夠具有比第二玻璃焊料高的熔點。因此,第一和第二玻璃焊料在它們的組分方面且此外尤其是在它們的熔點方面能夠是不同的。此外,第一連接層能夠在方法步驟D期間或之后在背離第二襯底的表面上平坦化。這例如能夠通過蝕刻和/或優(yōu)選通過研磨已經(jīng)玻化的第一玻璃焊料來實現(xiàn),或者可替代或可附加地也能夠通過在方法步驟D的?;^程中在爐內(nèi)的相應的成型過程來實現(xiàn)。通過平坦化例如可能的是,達到第一連接層和第二連接層的相互附著,以及在制成的結(jié)構(gòu)元件中的第一和第二襯底的相互的間距的優(yōu)化。此外,在方法步驟A中,第一襯底能夠在第一連接區(qū)域內(nèi)提供有凹部。凹部尤其能夠構(gòu)成為,使得其包圍有源區(qū)域。凹部為此能夠設(shè)計成,使得在方法步驟F之后,第二連接層至少部分地設(shè)置在凹部內(nèi)。這能夠意味著,第二連接層在方法步驟E中至少部分地施加在凹部內(nèi)??商娲蚩筛郊拥氖牵诙B接層在所述方法步驟中也能夠施加在第一連接層上,并且然后在方法步驟F中在第一襯底與第二襯底連接的情況下至少部分地設(shè)置在凹部內(nèi)。第二連接層至少部分地設(shè)置在凹部內(nèi)能夠意味著,凹部具有例如小于第二連接層的第二厚度的深度。在該情況下,第二連接層仍能夠從凹部中凸出。那么,凹部能夠具有寬度, 所述寬度能夠與第一連接層的寬度無關(guān)地選擇。對此替代的是,凹部的深度能夠大于或等于第二連接層的第二厚度,使得第二連接層在方法步驟F后能夠完全地設(shè)置在凹部內(nèi),并且因此能夠完全地由第一襯底和第一連接層包圍。在該情況下,凹部尤其能夠具有大于或等于第一連接層的寬度的寬度。在此,在方法步驟F后,第一連接層也能夠伸入到凹部內(nèi), 并且因此部分地設(shè)置在凹部內(nèi)。通過第二連接層至少部分地設(shè)置在凹部內(nèi)能夠達到,第二連接層能夠至少部分地由包圍的氣氛屏蔽。此外,在第二襯底的覆蓋區(qū)域內(nèi)能夠設(shè)置有粘合劑和/或吸氣材料。最好能夠使用可氧化的和/或可吸濕的材料作為吸氣材料,所述可氧化的和/或可吸濕的材料與氧和濕氣反應,并且能夠在此結(jié)合對于有機功能層序列而言有害的物質(zhì),所述物質(zhì)例如仍能夠以最小量擴散通過由粘合劑組成的第二連接層。能夠使用尤其是堿金屬和堿土金屬族中的金屬作為可氧化的材料,并且因此能夠使用例如氧化鈣和/或氧化鋇的氧化物作為化學吸附材料。此外,其它材料,例如鈦或可氧化的非金屬材料,也是適合的。此外,急速干燥的沸石也適合作為物理吸附材料。吸氣材料能夠直接施加在第二襯底的覆蓋區(qū)域上,或者在由吸氣材料和粘合劑組成的混合物中,其中吸氣材料在此例如能夠以顆粒形式在粘合劑中分散。粘合劑能夠具有與第二連接層連接的上述粘合劑中的一種。尤其是在下述情況下,即粘合劑設(shè)置成不與有機功能層序列隔開,該粘合劑能夠具有環(huán)氧化物,或者由環(huán)氧樹脂組成,環(huán)氧化物例如不損壞與有機功能層序列的實施形式有關(guān)的所述陰極材料。對于吸氣劑粘合劑混合物而言,有利的是,吸氣材料的顆粒被磨細,使得顆粒既不會導致例如陰極的有機功能層序列的機械損壞,也不會影響在第一連接層和第一襯底之間的第二連接層。尤其能夠在方法步驟F之前和第一玻璃焊料在方法步驟D中?;笫┘游鼩獠牧虾?或粘合劑。這能夠意味著,吸氣材料和/或粘合劑設(shè)置在第二襯底的一側(cè)上,在所述側(cè)上也設(shè)置有第一連接層,使得在第一和第二襯底在方法步驟F中連接后,吸氣材料和/或粘合劑能夠設(shè)置在通過第一和第二襯底以及第一和第二連接層包圍的連同有機層序列的空腔內(nèi)。吸氣材料和/或粘合劑能夠在方法步驟F之后設(shè)置成與有機功能層序列隔開,使得余下的空腔仍位于第一和第二襯底之間,所述空腔例如能夠用氣體填充。在此,間距能夠主要通過吸氣材料的厚度和第一連接層的第一厚度調(diào)節(jié)。第二襯底能夠附加地在覆蓋區(qū)域內(nèi)具有腔,即凹部,其中至少部分地設(shè)置有吸氣材料和/或粘合劑,并且因此例如適合于與有機功能層序列隔開。對此替代的是,吸氣材料和/或粘合劑能夠填充在有機功能層序列周圍被全部包圍的空腔。由于吸氣材料和/或粘合劑設(shè)置成與有機功能層序列隔開,擴散到在空腔內(nèi)氧和 /或濕氣能夠平面地由吸氣材料吸收,從而能夠獲得較高的所謂的抽氣容量,直至在有機功能層序列中出現(xiàn)缺陷。相反,如果粘合劑例如設(shè)置在全部的空腔內(nèi),那么該粘合劑能夠同時形成第二連接層。如果使用單分散性的納米粒作為吸氣材料,那么第二連接層能夠甚至通過吸氣材料粘合劑混合物形成。那么在此,在粘合劑中的吸氣材料濃度必須低到使得吸氣材料微粒不接觸并且不形成擴散通道。尤其是結(jié)合由第二玻璃焊料組成的第二連接層,但是也由粘合劑組成的合適的厚度的第二連接層中,也可能的是,相比于已知的OLED必須在第二襯底的覆蓋區(qū)域內(nèi)少量地設(shè)置或完全不設(shè)置吸氣材料。在該情況下,可形成在第一和第二襯底之間的持久密封的連接,使得能夠?qū)崿F(xiàn)有機光電子結(jié)構(gòu)元件的長的使用壽命,而無需吸氣材料。此外,在方法步驟中,能夠構(gòu)成具有至少一個勢壘層的有機功能層序列,所述勢壘層覆蓋有機功能層序列。因此,有機功能層序列能夠借助由以等離子體增強化學氣相淀積 ^ ( "plasma-enhanced chemical vapor deposition", PECVD^) ^fflilSM^iRWfl 化物層、氮化物層和/或氧氮化物層,例如氮化硅(SiNx)層和/或氧化硅(SiO2)層組成的堆疊進行封裝。SiNx(N)和SiO2(O)的層組合能夠簡單地重復,使得封閉各個擴散通道,在所述擴散通道中,每個單個的擴散通道能夠?qū)е略谟袡C功能層序列的有源面內(nèi)的可見的缺陷。但是即便在Ν0Ν0Ν0Ν的堆疊中仍具有各個不密封的點缺陷。如果現(xiàn)在以上述方法借助于第二襯底以及第一和第二連接層附加地用勢壘層封裝這種有機功能層序列,那么能夠延長水和氧的擴散路線,使得延緩有機光電子結(jié)構(gòu)元件的由于水作用而導致的老化,以至于結(jié)構(gòu)元件能夠經(jīng)受住在60°C的溫度和90%的相對濕度的情況下504小時的典型的濕度試驗,而不產(chǎn)生水導致的例如大于400 μ m的缺陷。有機光電子結(jié)構(gòu)元件尤其也能夠具有吸氣材料和勢壘層的組合。根據(jù)用于制造有機光電子結(jié)構(gòu)元件的另一實施形式,方法包括步驟A)提供第一襯底,其具有有源區(qū)域和包圍有源區(qū)域的第一連接區(qū)域;B)提供第二襯底,其具有覆蓋區(qū)域和包圍覆蓋區(qū)域的第二連接區(qū)域;C)將由第一玻璃焊料組成的第一連接層直接施加在第一襯底上且施加在第一連接區(qū)域內(nèi);D)使在第一襯底上的第一連接層的第一玻璃焊料?;籇’ )在第一襯底的有源區(qū)域內(nèi)構(gòu)成有機功能層序列;E)將第二連接層施加在玻化的第一連接層或第二襯底的第二連接區(qū)域上;以及F)將第一襯底與第二襯底連接,使得第二連接層將第二連接區(qū)域與第一連接層連接。因此與上述方法相比,第一連接層也能夠在第一襯底上構(gòu)成并且?;?。由于有機功能層序列在第一連接層?;蟛旁诜椒ú襟ED’中施加在第一襯底上,因此能夠避免有機功能層序列由于方法步驟D導致的損壞。在此,可如此制造的有機光電子結(jié)構(gòu)元件能夠具有下面的特征-第一襯底,其具有有源區(qū)域和包圍有源區(qū)域的第一連接區(qū)域,其中在有源區(qū)域內(nèi)構(gòu)成有機功能層序列(3);-第二襯底,其具有在有源區(qū)域上方的覆蓋區(qū)域和在第一連接區(qū)域上方的包圍覆蓋區(qū)域的第二連接區(qū)域;以及-在第一和第二連接區(qū)域之間的第一和第二連接層,其中-第一連接層直接鄰接在第二連接區(qū)域上,并且由第一玻璃焊料組成;并且-第二連接層將第一連接層與第一連接區(qū)域連接。與再上面所述的有機光電子結(jié)構(gòu)元件相比,這種有機光電子結(jié)構(gòu)元件在第一和第二連接層相對于有機功能層序列的空間構(gòu)造方面具有相反的結(jié)構(gòu)。所述方法和因此可制造的結(jié)構(gòu)元件能夠具有先前所述的特征、特性、實施形式和它們的組合的一個或多個。在這里所述的方法中能夠制造具有先前所述的特性和特征的有機光電子結(jié)構(gòu)元件,所述結(jié)構(gòu)元件具有密封段,即在第一和第二襯底之間且在第一和第二連接區(qū)域內(nèi)具有第一和第二連接層,所述密封段具有第一和第二連接層的可變的且可自由選擇的比例。第一連接層的寬度和第一厚度和第二連接層的寬度和第二厚度能夠分別地且也能夠以相應的比例按照材料耗費優(yōu)化和密封性優(yōu)化相互自由地選擇。與第一連接層的第一厚度相比, 第二連接層的第二厚度能夠減少到如用于第一和第二襯底之間的密封的連接所需的厚度。 第二連接層越薄,氧和/或濕氣滲入有機光電子結(jié)構(gòu)元件的危險越低,并且因此結(jié)構(gòu)元件可達到的使用壽命能夠越高。
本發(fā)明的另外的優(yōu)點和有利的實施形式可從下面結(jié)合附圖IA至6所說明的實施形式中獲得。附圖示出圖IA至IH示出用于制造根據(jù)一個實施例的有機光電子結(jié)構(gòu)元件的方法的示意圖,并且圖2至6示出根據(jù)其它實施例的有機光電子結(jié)構(gòu)元件的示意圖。
具體實施例方式在實施例和附圖中,相同的或相同作用的組成部分能夠分別配有相同的附圖標記。所示元件和它們彼此間的尺寸比例原則上不視為是按比例的,相反,為了可更好地示出和/或更好地理解,能夠以過厚或過大的尺寸示出各個元件,例如層、構(gòu)件、結(jié)構(gòu)元件和區(qū)域。在圖IA至IH中示出用于制造根據(jù)一個實施例的有機光電子結(jié)構(gòu)元件100的方法。在此,在根據(jù)圖IA的第一方法步驟中提供第一襯底1,其具有有源區(qū)域12和包圍該有源區(qū)域12的第一連接區(qū)域11。在所示實施例中,襯底1由玻璃組成。在有源區(qū)域2中構(gòu)成有機功能層序列3,所述有機功能層序列在所示實施例中構(gòu)成為有機發(fā)光二極管(OLED)。該有機發(fā)光二極管在襯底1上包括第一電極31,在所述第一電極上施加有包圍有源的有機層30的多個有機功能層。在有源的有機層30上施加第二電極32。第一電極31和第二電極32構(gòu)成為陽極或陰極,所述陽極和陰極適合將空穴和電子注入有源層30內(nèi)。有源層30具有至少一個電致發(fā)光層,所述電致發(fā)光層適合在工作時通過注入的電子和空穴的重組放射電磁輻射。有源層30附加地能夠具有另外的有機功能層,例如至少一個空穴移動層和/或電子移動層,并且/或者具有在常規(guī)部分中所述的特征中的另一些。 此外,有機功能層序列3也能夠構(gòu)成為多層0LED,所述OLED具有多個上下重疊設(shè)置電致發(fā)光層和分別設(shè)置在它們之間的另外的有機功能層。如在常規(guī)部分中所述的一樣,有源層30 的功能層能夠具有為聚合物形式的有機材料或者有機小分子。在所示實施例中,如在常規(guī)部分中所述的一樣,第一和第二電極31、32分別構(gòu)成為透明的并且例如具有TCO和/或金屬。因此,可通過下面說明的方法制造的有機光電子結(jié)構(gòu)元件100構(gòu)成為底部和頂部反射器,使得在工作時在有源層30內(nèi)產(chǎn)生的電磁輻射能夠穿過第一襯底1和在下面說明的第二襯底2放射,并且有機光電子結(jié)構(gòu)元件100能夠構(gòu)成為透明的、兩側(cè)發(fā)射的0LED??商娲蚩筛郊拥氖牵袡C功能層3也能夠構(gòu)成為輻射探測層序列,例如有機光敏二極管或太陽能電池,并且/或者具有另外的有機電子構(gòu)件,例如薄膜晶體管。在根據(jù)圖IB的第二方法步驟B中提供由玻璃組成的第二襯底2,其具有覆蓋區(qū)域22和包圍該覆蓋區(qū)域的第二連接區(qū)域21。在根據(jù)圖IC的另一個方法步驟C中,在第二連接區(qū)域21上施加有具有第一玻璃焊料的第一連接層4,其中如在常規(guī)部分中所述的一樣, 第一玻璃焊料優(yōu)選是無鉛的,并且具有材料和組分。在此,第一玻璃焊料以所謂的玻璃焊縫或糊劑的形式在可塑的狀態(tài)下例如通過分散、篩網(wǎng)壓印或刮板壓印施加。第一連接層4沿著第二連接區(qū)域21包圍覆蓋層22,所述連接層能夠具有為了施加而添加的溶劑和沒有硬化的粘結(jié)劑。在根據(jù)圖ID的另一個方法步驟D中,第一連接層4?;@通過箭頭91表示。為此,第一連接層4連同第二襯底2在爐中通過供熱而干燥、脫離、燒結(jié)和?;T诖?,第一連接層4在第二連接區(qū)域21內(nèi)與第二襯底2連接,其中第一玻璃焊料通過適合的添加劑能夠具有適配于第二襯底2的溫度膨脹系數(shù)。因此,第二襯底2與第一連接層4的無應力的熔合是可能的。在此,第一連接層4的厚度和寬度是可變地選擇的,并且在第一連接層4施加時就可毫不耗費地調(diào)節(jié)第二襯底2的玻璃加工。因為有機功能層序列3與第一玻璃焊料的玻化過程無關(guān),所以第一連接層4的?;?1能夠在最佳的條件下進行??商娲鼗虺嗽谶@里所述的爐過程,第一連接層也能夠借助于用在紫外至紅外波長范圍內(nèi)的光照射的方式玻化,其中在該情況下,玻化91也能夠在對于第一連接層4在第二襯底2上的密封的緊密連接而言最佳的條件下進行,而不必顧及有機功能層序列3。為了改善下面所述的第二連接層5的附著和/或使其厚度最小化,第一連接層4 能夠在?;?1后在背離第二襯底2的表面上平坦化。這例如能夠通過研磨來實現(xiàn)。對此替代地能夠在爐過程中的玻化91期間或之前就進行平坦化成型。在根據(jù)圖IE的另一個方法步驟E中,在第一連接層4的背離第二襯底2且環(huán)繞覆蓋區(qū)域12的表面上施加第二連接層5。在此,第二連接層5具有最好是無填料的有機的可硬化的粘合劑,尤其是環(huán)氧樹脂。在第一連接層4具有根據(jù)第一和第二襯底1和2的在制成的有機光電子結(jié)構(gòu)元件100中的希望的間距選擇的第一厚度期間,能夠施加具有第二厚度的第二連接層5,所述第二厚度明顯小于第一厚度。第二厚度尤其小于或等于第一厚度的五分之一,并且特別優(yōu)選小于或等于第一厚度的十分之一。有利的是,第二連接層5的第二厚度能夠減少到使得在第一和第二襯底1、2之間的密封的連接剛好仍是可能的。為此,第二連接層5能夠具有直至幾微米的原子層厚度。在此,具有有機的可硬化的粘合劑的第二連接層5越薄,穿過第二連接層5的粘合劑的濕氣和氧的擴散率越低,并且如此制成的有機光電子結(jié)構(gòu)元件100的使用壽命能夠越高??商娲鼗虺藢⒌诙B接層5施加在?;牡谝贿B接層4上外,也能夠在方法步驟E中將第二連接層5施加在第一襯底1的第一連接區(qū)域11上,如在圖IF中所示。在根據(jù)圖IG的另一個方法步驟F中,第二襯底2設(shè)置在第一襯底1的上方,并且借助于第一和第二連接層4、5與該第一襯底連接。為此,覆蓋區(qū)域22和有源區(qū)域12以及第一和第二連接區(qū)域11、21分別上下重疊地設(shè)置,使得第二連接層5將第一連接層4與第一襯底1的第一連接區(qū)域11連接。在此如圖IG所示,第一和第二連接層4、5的寬度能夠是至少幾乎相等的。對此替代的是,第二連接層5例如也能夠在接合后具有大于第一連接層的寬度的寬度,并且例如形成包圍第一和第二連接層4、5之間的界面的邊緣。通過根據(jù)圖IH的用于制造有機光電子結(jié)構(gòu)元件100的另一個方法步驟,第二連接層5硬化。如在圖IH中通過箭頭92表示,這能夠通過在第二連接層5內(nèi)的有機的可硬化的粘合劑的熱誘導或輻射誘導交聯(lián)來實現(xiàn)。對此替代的是,粘合劑也能夠以化學引發(fā)的方式交聯(lián)且硬化,例如根據(jù)多成分粘合劑的原理。在第二連接層5硬化92時在有機功能層序列3上的能量引入和熱量輸入由于第二連接層5的薄的第二厚度足夠地少,以便不損壞該
第二連接層。替代具有有機的可硬化的粘合劑的第二連接層5,在方法步驟E中作為第二連接層5,也能夠在第二連接層4上和/或第一襯底1的第一連接區(qū)域11上施加第二玻璃焊料。 在此,先前所述的優(yōu)點也適用于替代粘合劑的第二玻璃焊料的使用。在方法步驟F后,尤其能夠例如借助于聚焦的激光束將第二連接層5的第二玻璃焊料有針對性地熔化和玻化,其中在第一襯底1、有機功能層序列3和第一連接層4上的相應的熱量輸入能夠保持較低。特別優(yōu)選的是,第二玻璃焊料在溫度低于第一玻璃焊料的情況下軟化。如在有機的可硬化的粘合劑作為第二連接層5的情況下,第二玻璃焊料的情況下,第二連接層5的小的第二厚度也是有利的,因為第二連接層越薄,其越容易熔化和?;T诖烁鶕?jù)要求,第二連接層5的第二厚度由幾個原子層達到直至幾微米。為了改善具有第二玻璃焊料的第二連接層5的有針對性的熔化和?;?,第二連接層5還能夠附加地具有能夠吸收電磁輻射的材料,而第一連接層4不具有這種材料。吸收材料優(yōu)選具有金屬或金屬化合物,最好是金屬氧化物。在此,尤其能夠為稀土金屬或過度金屬,例如釩、鐵、銅、鉻和/或釹,或者它們的氧化物。如在圖IH中所示,通過在這里說明的方法能夠制造有機光電子結(jié)構(gòu)元件100,在所述結(jié)構(gòu)元件中,與第一和第二連接層4、5的總厚度相比,第二連接層5的第二厚度明顯減少,并且在第一和第二襯底1、2之間的連接主要通過由第一玻璃焊料組成的不透氧和濕氣的第一連接層4構(gòu)成。替代先前所述的方法,第一連接層4也能夠施加在第一襯底的第一連接區(qū)域11內(nèi)并且緊接著?;?。為了不由于第一連接層4?;鴵p壞有機功能層序列3,在?;蟛攀┘釉撚袡C國內(nèi)層序列。那么與先前所述的方法相比,所述方法尤其具有下面的步驟A)提供第一襯底1,其具有有源區(qū)域12和包圍有源區(qū)域12的第一連接區(qū)域11 ;B)提供第二襯底2,其具有覆蓋區(qū)域22和包圍覆蓋區(qū)域22的第二連接區(qū)域21 ;C)將由第一玻璃焊料組成的第一連接層4直接施加在第一襯底1上且施加在第一連接區(qū)域內(nèi)11 ;D)使在第一襯底1上的第一連接層4的第一玻璃焊料玻化;D’ )在第一襯底1的有源區(qū)域12內(nèi)構(gòu)成有機功能層序列3 ;E)將第二連接層5施加在?;牡谝贿B接層4或第二襯底2的第二連接區(qū)域21 上;以及F)將第一襯底1與第二襯底2連接,使得第二連接層5將第二連接區(qū)域21與第一連接層4連接。在下面的實施例中示出根據(jù)前述實施例的有機光電子結(jié)構(gòu)元件100的改型。因此,下面的說明在此主要局限于相應的區(qū)別的說明。為說明的元件和特征如在前述實施例和/或在常規(guī)部分中所述的一樣構(gòu)成。在圖2和3中示出有機光電子結(jié)構(gòu)元件200和300,在所述結(jié)構(gòu)元件中,第一襯底 1在第一連接區(qū)域11內(nèi)具有包圍有源區(qū)域12的凹部10。根據(jù)在圖2中的實施例,凹部10在此具有小于第二連接層5的第二厚度的深度。通過凹部10可能的是,由于氧和濕氣的較長的滲透路徑進一步提高了第一襯底1和第二連接層5之間的界面的密封性,其中能夠與第一連接層的寬度無關(guān)地選擇凹部的寬度。此外能夠減少第二連接層5的直接鄰接包圍有機光電子結(jié)構(gòu)元件200的氣氛的部分。根據(jù)圖3的實施例,凹部具有大于第二連接層5的第二厚度的深度。因此,第一連接層4也伸入凹部10,從而第二連接層5除了在凹部10的邊緣區(qū)域內(nèi)的縫隙外,還由襯底 1和第一連接層4包圍。因此能夠達到穿過第二連接層5并且穿過第二連接層5和襯底1 之間的以及第二連接層5和第一連接層4之間的界面的氧和濕氣的擴散率的進一步降低, 尤其是當該第二連接層具有粘合劑時。圖4至6的實施例示出有機光電子結(jié)構(gòu)元件400、500和600,其具有用于提高結(jié)構(gòu)元件的使用壽命的另外的附加的措施,所述措施能夠有利地借助由第一和第二連接層4、 5的在這里所述的組合使用。在根據(jù)圖400的實施例中提供具有勢壘層33的有機功能層序列3。勢壘層33具有以PECVD方法淀積的氧化硅和氮化硅層組成的堆疊。SiNx(N)和SiO2(O)的層組合可重復多次,優(yōu)選重復至少兩次,使得封閉各個擴散通道,在所述擴散通道中,每個單個的擴散通道能夠?qū)е略谟袡C功能層序列3的有源面內(nèi)的可見的缺陷。借助于勢壘層33的封裝和借助于第一和第二連接層4、5以及第二襯底2的封裝的組合,有機光電子結(jié)構(gòu)元件400能夠經(jīng)受住在60°C的溫度和90%的相對濕度的情況下504小時的典型的濕度試驗,而不產(chǎn)生水或氧導致的例如在長度尺寸方面大于400 μ m的缺陷。根據(jù)在圖5中的實施例的有機光電子結(jié)構(gòu)元件500在第二襯底2的覆蓋區(qū)域22 內(nèi)具有腔,即凹部,其中至少部分地設(shè)置有吸氣材料6。如在常規(guī)部分中所述,吸氣材料6具有結(jié)合氧和濕氣的材料,優(yōu)選BaO和/或CaO。替代所述實施例,吸氣材料6也能夠不設(shè)置在覆蓋區(qū)域22的腔20內(nèi)。但是有利的是,通過腔20能夠達到有機光電子結(jié)構(gòu)元件500的外部結(jié)構(gòu)高度的降低。這同樣也適用于前述實施例,使得前述有機光電子結(jié)構(gòu)元件100、200、300、400也能夠具有在第二襯底2 的腔20。在根據(jù)圖6的實施例中,有機光電子結(jié)構(gòu)元件600在通過第一和第二襯底1、2以及第一和第二連接層4、5形成的且包圍有機功能層序列3的整個空腔內(nèi)具有由吸氣材料6 和粘合劑7組成的混合物。在此,優(yōu)選為環(huán)氧樹脂的粘合劑7能夠同時形成連接層5。吸氣材料6以自由磨碎的顆粒的形式,尤其優(yōu)選以單分散性的納米粒形式,在粘合劑7中分散。所示實施例的特征也能夠是可組合的,以便達到有機光電子結(jié)構(gòu)元件的使用壽命的進一步提高。本發(fā)明不由于借助于實施例的說明而局限于該實施例。相反,本發(fā)明包括每個新的特征的以及特征的每個組合,這尤其是包含在專利權(quán)利要求中的特征的每個組合,即使該特征或該組合本身沒有明確地在專利權(quán)利要求或?qū)嵤├薪o出。
權(quán)利要求
1.一種用于制造有機光電子結(jié)構(gòu)元件的方法,包括步驟A)提供第一襯底(1),其具有有源區(qū)域(1 和包圍所述有源區(qū)域(1 的第一連接區(qū)域(11),其中在所述有源區(qū)域(12)內(nèi)構(gòu)成有機功能層序列(3);B)提供第二襯底O),其具有覆蓋區(qū)域0 和包圍所述覆蓋區(qū)域0 的第二連接區(qū)域⑵);C)將由第一玻璃焊料組成的第一連接層(4)直接施加在所述第二襯底( 上且施加在所述第二連接區(qū)域內(nèi);D)使所述第一連接層(4)的所述第一玻璃焊料?;?91);E)將第二連接層( 施加在所述玻化的第一連接層(4)或所述第一襯底(1)的所述第一連接區(qū)域(11)上;以及F)將所述第一襯底(1)與所述第二襯底( 連接,使得所述第二連接層( 將所述第一連接區(qū)域(11)與所述第一連接層(4)連接。
2.如權(quán)利要求1所述的方法,其中-在所述方法步驟C和D中,所述第一連接層(4)構(gòu)成為具有第一厚度;并且-在所述方法步驟F后,所述第二連接層( 具有第二厚度,所述第二厚度小于或等于所述第一厚度的五分之一。
3.如權(quán)利要求1或2所述的方法,其中-所述第二連接層( 具有有機的可硬化的粘合劑;并且-所述粘合劑在所述方法步驟F后硬化。
4.如權(quán)利要求1或2所述的方法,其中-所述第二連接層( 具有第二玻璃焊料;并且-所述第二玻璃焊料在所述方法步驟F后?;?。
5.如權(quán)利要求3或4所述的方法,其中-所述第二連接層( 具有能吸收電磁輻射的材料;并且-所述第一連接層(4)不具有吸收材料。
6.如前述權(quán)利要求中任一項所述的方法,其中在所述方法步驟D期間或之后,所述第一連接層的背離所述第二襯底O)的表面平坦化。
7.如前述權(quán)利要求中任一項所述的方法,其中-在所述方法步驟A中,所述第一襯底(1)在所述第一連接區(qū)域(11)內(nèi)提供有包圍所述有源區(qū)域(12)的凹部(10);并且-在所述方法步驟F后,所述第二連接層( 至少部分地設(shè)置在所述凹部(10)內(nèi)。
8.如前述權(quán)利要求中任一項所述的方法,其中在所述方法步驟F前,在所述第二襯底 (2)的所述覆蓋區(qū)域0 內(nèi)設(shè)置有粘合劑和/或吸氣材料。
9.如前述權(quán)利要求中任一項所述的方法,其中在所述方法步驟A中,所述有機功能層序列(3)構(gòu)成為具有至少一個覆蓋的勢壘層(33)。
10.一種用于制造有機光電子結(jié)構(gòu)元件的方法,包括步驟A)提供第一襯底(1),其具有有源區(qū)域(1 和包圍所述有源區(qū)域(1 的第一連接區(qū)域(11);B)提供第二襯底O),其具有覆蓋區(qū)域0 和包圍所述覆蓋區(qū)域0 的第二連接區(qū)域⑵);C)將由第一玻璃焊料組成的第一連接層(4)直接施加在所述第一襯底(1)上且施加在所述第一連接區(qū)域(11)內(nèi);D)使在所述第一襯底(1)上的所述第一連接層的所述第一玻璃焊料玻化; D’ )在所述第一襯底(1)的所述有源區(qū)域(12)內(nèi)構(gòu)成有機功能層序列(3);E)將所述第二連接層( 施加在所述?;牡谝贿B接層(4)或所述第二襯底( 的所述第二連接區(qū)域上;以及F)將所述第一襯底(1)與所述第二襯底( 連接,使得所述第二連接層( 將所述第二連接區(qū)域與所述第一連接層(4)連接。
11.一種有機光電子結(jié)構(gòu)元件,包括-第一襯底(1),其具有有源區(qū)域(1 和包圍所述有源區(qū)域(1 的第一連接區(qū)域 (11),其中在所述有源區(qū)域(12)內(nèi)構(gòu)成有機功能層序列(3);-第二襯底O),其具有在所述有源區(qū)域(1 上方的覆蓋區(qū)域0 和在所述第一連接區(qū)域(11)上方的包圍所述覆蓋區(qū)域02)的第二連接區(qū)域;以及-在所述第一和第二連接區(qū)域(11、21)之間的第一和第二連接層0、5), 其中-所述第一連接層(4)直接鄰接在所述第二連接區(qū)域上且由第一玻璃焊料組成;并且-所述第二連接層( 將所述第一連接層(4)與所述第一連接區(qū)域(11)連接。
12.如權(quán)利要求11所述的結(jié)構(gòu)元件,其中 -所述第一連接層(4)具有第一厚度;并且-所述第二連接層( 具有第二厚度,所述第二厚度小于或等于所述第一厚度的五分之一。
13.如權(quán)利要求11或12所述的結(jié)構(gòu)元件,其中所述第二連接層(5)具有有機的可硬化的粘合劑或第二玻璃焊料。
14.如權(quán)利要求11至13中任一項所述的結(jié)構(gòu)元件,其中 -所述第二連接層( 具有能吸收電磁輻射的材料;并且 -所述第一連接層(4)不具有吸收材料。
15.如權(quán)利要求11至14中任一項所述的結(jié)構(gòu)元件,其中-所述第一襯底(1)在所述第一連接區(qū)域(11)內(nèi)具有包圍所述有源區(qū)域(1 的凹部 (10);并且-所述第二連接層( 至少部分地設(shè)置在所述凹部(10)內(nèi)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于制造光電子結(jié)構(gòu)元件的方法,其具有步驟A)提供第一襯底(1),其具有有源區(qū)域(12)和包圍有源區(qū)域(12)的第一連接區(qū)域(11),其中在有源區(qū)域(12)內(nèi)構(gòu)成有機功能層序列(3);B)提供第二襯底(2),其具有覆蓋區(qū)域(22)和包圍覆蓋區(qū)域(22)的第二連接區(qū)域(21);C)將由第一玻璃焊料組成的第一連接層(4)直接施加在第二襯底(2)上且施加在第二連接區(qū)域(21)內(nèi);D)使第一連接層(4)的第一玻璃焊料?;?91);E)將第二連接層(5)施加在玻化的第一連接層(4)或第一襯底(1)的第一連接區(qū)域(11)上;以及F)將第一襯底(1)與第二襯底(2)連接,使得第二連接層(5)將第一連接區(qū)域(11)與第一連接層(4)連接。此外本發(fā)明涉及一種有機光電子結(jié)構(gòu)元件。
文檔編號H01L51/52GK102256909SQ200980151500
公開日2011年11月23日 申請日期2009年12月10日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月18日
發(fā)明者烏爾麗克·比爾, 卡斯藤·霍伊澤爾, 埃瓦爾德·珀斯爾, 安杰拉·埃貝哈特, 弗洛里安·佩什科勒, 約阿基姆·維特-舍恩, 蒂爾曼·施倫克爾, 阿爾弗雷德·蘭格, 馬丁·穆勒, 馬克·菲利彭斯 申請人:歐司朗光電半導體有限公司