專利名稱：晶舟的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種晶舟。
背景技術(shù)：
晶舟(wafer cassette)是典型的用來儲存、運(yùn)送以及加工晶片的裝置。通常，晶 舟被設(shè)計成至少可以承裝一片晶片的結(jié)構(gòu)，更明確地說，晶舟主要含有多個晶片放置槽，而 每一個晶片放置槽可供放置一片晶片。 參考附圖l所示，為晶舟的俯視圖，從圖中可以看出，每個晶舟上等距的排列著若 干個晶片放置槽，每個晶片放置槽的兩端都設(shè)置不同的序號或者標(biāo)記，這些序號或者標(biāo)記 應(yīng)該與晶片上的序號和標(biāo)記對應(yīng)，如附圖1所示的晶舟兩端采用序號標(biāo)記不同的晶片放置 槽。晶舟內(nèi)放入晶片時，晶片應(yīng)該按照各自的序號或者標(biāo)記放置到對應(yīng)的晶片放置槽內(nèi)，既 可以保證晶片之間有一定的間隔，規(guī)則而又安全的放置在一起，又使晶片的管理和測試更 加方便。 由于每個晶舟需要放置多片晶片，所以每個晶片放置槽之間的間距較小，例如，附 圖1所示的晶舟可以放置25片晶片，隨著晶片尺寸越來越大，晶舟的長度較大，這就使得晶 片由于看錯而放入錯誤的位置，而且，晶片放置槽兩端的序號或者標(biāo)記通常與晶舟的材質(zhì) 和顏色相同，使得操作人員不易辨認(rèn)，加大了出錯的機(jī)率。 參考附圖1所示，晶片1應(yīng)該放置在序號為5的晶片放置槽，結(jié)果放入了錯誤的序 號為6的晶片放置槽，晶片2應(yīng)該放置在序號為20的晶片放置槽，結(jié)果被斜放在序號為20 和序號為21的晶片放置槽上，這樣，不僅會由于摩擦，對晶片造成損害，在測試過程中，還 會使晶片測試出現(xiàn)錯誤。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型解決的問題是晶舟的晶片放置槽之間間距小，晶片放置槽兩端的標(biāo)記 或者序號不易辨認(rèn)，導(dǎo)致晶片會被放入錯誤的晶片放置槽，或者放在兩個晶片放置槽之間 的缺陷。 本實(shí)用新型提供了一種晶舟，包括多個均勻排列的晶片放置槽，所述的晶片放置
槽根據(jù)所在位置的不同，被劃分為不同的區(qū)域，不同區(qū)域的晶片放置槽上設(shè)置不同的標(biāo)記。 可選的，所述的區(qū)域為3 6個。 可選的，所述的標(biāo)記為顏色和序號的結(jié)合。 可選的，所述的區(qū)域為5個，相鄰區(qū)域的顏色不同。 可選的，相同區(qū)域的晶片放置槽上，序號的顏色與晶圓放置槽的顏色相同。
由于采用了上述技術(shù)方案，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn) 采用本實(shí)施例所述的晶舟，晶片放置槽上的序號突出醒目，晶片放置槽區(qū)域分
明，大大降低了錯誤發(fā)生的機(jī)率，并且方便我們在測試試驗的過程中觀察晶片的裝載 (Loading)，保證特定的晶片被正確的裝載到實(shí)驗儀器中去，提高了測試的準(zhǔn)確性和效率；同時，還可以借助深、淺色帶分界處的平行分割線，判斷晶片的放置是否水平，避免出現(xiàn)斜 放晶片的情況。

圖1為現(xiàn)有晶舟的俯視圖； 圖2為本實(shí)用新型所述的晶舟的俯視圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
做詳細(xì)的說明。 參考附圖2所示，本實(shí)施例提供一種晶舟，所述晶舟包括多個均勻排列的晶片放 置槽，所述的晶片放置槽根據(jù)所在位置的不同，被劃分為不同的區(qū)域，不同區(qū)域的晶片放置 槽上設(shè)置不同的標(biāo)記。 所述的晶舟還具有設(shè)置在晶舟的外側(cè)壁的兩個手柄，用于取，拿，移動所述晶舟的 方便，還具有設(shè)置在晶舟底部的底座，在晶舟放置在底面時，保持平衡。 所述的晶片放置槽根據(jù)所在位置的不同，可以被分為3 6個不同的區(qū)域，所述不 同區(qū)域設(shè)置不同類型的標(biāo)記，在本發(fā)明的一個實(shí)施例中，所述的不同標(biāo)記例如是顏色和序 號的結(jié)合，按照順序?qū)γ總€晶片放置槽進(jìn)行編號，并將不同區(qū)域的晶片放置槽設(shè)為不同的 顏色。由于不同區(qū)域的顏色不同，再結(jié)合晶片放置槽的序號，就不太容易發(fā)生放置錯誤的缺 陷。 可選的，也可以使相鄰區(qū)域的晶片放置槽的顏色不同，即可實(shí)現(xiàn)區(qū)分不同區(qū)域晶 片放置槽的目的。 在本實(shí)用新型的一個更細(xì)化的實(shí)施例中，將晶舟上的25個晶片放置槽，等分為A、 B、C、D、E5個區(qū)，A區(qū)包括1 5， B區(qū)包括6 10， C區(qū)包括11 15， D區(qū)包括16 20， E 區(qū)包括21 25，其中，A區(qū)、C區(qū)、E區(qū)為淺色帶，B區(qū)、D區(qū)為深色帶，也就是說，淺色帶和深 色帶間隔分布，以更容易突出不同的晶片放置槽。所述的淺色帶的顏色例如是晶片放置槽 的原色(淡乳白)，深色帶的顏色例如是黑色，灰色等。 進(jìn)一步，所述的不同區(qū)域的晶片放置槽，也可以根據(jù)工藝的方便或者使用者的愛 好，被處理成其它各種顏色，例如粉色，綠色，深藍(lán)等等顏色。 進(jìn)一步，晶片放置槽上的序號也被設(shè)置成多種不同的顏色，其與晶圓放置槽的顏 色可以相同，也可以不相同，實(shí)施中，為了設(shè)置的方便，可選為與所在區(qū)域的晶片放置槽的 顏色相同。 采用本實(shí)施例所述的晶舟，晶片放置槽上的序號突出醒目，晶片放置槽區(qū)域分
明，大大降低了錯誤發(fā)生的機(jī)率，并且方便我們在測試試驗的過程中觀察晶片的裝載 (Loading)，保證特定的晶片被正確的裝載到實(shí)驗儀器中去，提高了測試的準(zhǔn)確性和效率； 同時，還可以借助深、淺色帶分界處的平行分割線，判斷晶片的放置是否水平，避免出現(xiàn)斜 放晶片的情況。 雖然本實(shí)用新型已以較佳實(shí)施例披露如上，但本實(shí)用新型并非限定于此。任何本 領(lǐng)域技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍內(nèi)，均可作各種更動與修改，因此本實(shí)用 新型的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以權(quán)利要求所限定的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求一種晶舟，包括一種包括多個均勻排列的晶片放置槽，其特征在于，所述的晶片放置槽根據(jù)所在位置的不同，被劃分為不同的區(qū)域，不同區(qū)域的晶片放置槽上設(shè)置不同的標(biāo)記。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶舟，其特征在于，所述的區(qū)域為3 6個。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶舟，其特征在于，所述的標(biāo)記為顏色和序號的結(jié)合。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶舟，其特征在于，所述的區(qū)域為5個，相鄰區(qū)域的顏色不同。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4述的晶舟，其特征在于，相同區(qū)域的晶片放置槽上，序號的顏色與晶 圓放置槽的顏色相同。
專利摘要一種晶舟，包括多個均勻排列的晶片放置槽，所述的晶片放置槽根據(jù)所在位置的不同，被劃分為不同的區(qū)域，不同區(qū)域的晶片放置槽上設(shè)置不同的標(biāo)記。采用本實(shí)施例所述的晶舟，晶片放置槽上的序號突出醒目，晶片放置槽區(qū)域分明，大大降低了錯誤發(fā)生的幾率，并且方便我們在測試試驗的過程中觀察晶片的裝載，保證特定的晶片被正確的裝載到實(shí)驗儀器中去，提高了測試的準(zhǔn)確性和效率；同時，還可以借助深、淺色帶分界處的平行分割線，判斷晶片的放置是否水平，避免出現(xiàn)斜放晶片的情況。
文檔編號H01L21/677GK201478282SQ20092020827
公開日2010年5月19日 申請日期2009年8月21日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月21日
發(fā)明者胡軼強(qiáng), 蘇捷峰 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司