專利名稱：單腔雙線式真空裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
單腔雙線式真空裝置絲領(lǐng)域本實(shí)用新型涉及一種真空裝置，特別是涉及一種具有兩條并排的加工通道的單 腔雙線式真空裝置。背景駄在半導(dǎo)體、電機(jī)電子與光電產(chǎn)業(yè)中，許多制程都需要經(jīng)過多道鍍膜步驟來形成 多種不同材質(zhì)的願(yuàn)。為了使加工能夠一貫化作業(yè)，申請人曾申請如圖1所示的折 合式真空^gl，該真空，l包括 一個(gè)第一基座ll、 一個(gè)和第一基座ll平行間隔的第二基座12、兩條用來平移輸送加工物件的輸送機(jī)構(gòu)13、 一個(gè)耙材單元14，以 及一，接第一基座11及第:i^座12的連接機(jī)構(gòu)15。其中，一基座11具有一個(gè) 界定出一長條形通道111的腔壁112，該腔壁112具有一個(gè)內(nèi)壁部113、 一個(gè)外壁部 114，以及數(shù)個(gè)設(shè)在內(nèi)壁部113財(cái)卜壁部114間并受控制可打開或關(guān)閉的閥門115， 而該逝直111具有一個(gè)^ffii接機(jī)構(gòu)15的出口端116，以及一個(gè)和出口端116間隔 的入口端117。織二基座12的構(gòu)造和第一基座11相同，因此也具有一1 1121， 該通道121則是具有一個(gè)S3ffii接機(jī)構(gòu)15的入口端122，以及一個(gè)和入口端122間 隔的出口端123。又戶誠輸送機(jī)構(gòu)13分別安裝在第一基座11及第1座12的fflit 111、 121內(nèi)， 并且將加工物件由入口端117、 122往出口端116、 123移送。該革巴材單元14是具有 數(shù)個(gè)等距離地安裝在第一基座11及第Z^座12上的耙材141。而該連接機(jī)構(gòu)15包 括一個(gè)靠近第一基座11的出口端116的第一回轉(zhuǎn)件151、 一個(gè)靠近第^^座12的入 口端122的第二回轉(zhuǎn){牛152、一，接第一回轉(zhuǎn)件151及第二回轉(zhuǎn)件152的連接腔體 153、 一個(gè)設(shè)在該連接腔體153內(nèi)部的i^接輸送《牛154，以及一個(gè)設(shè)在ii接腔體153 上的耙材155。^^時(shí)例如 等等的加工物件是由第一基座11的入口端ii7aAil道m(xù)內(nèi)， 并逐^iMilM耙材141進(jìn)行各項(xiàng)加工。當(dāng)加工物件通過第一回轉(zhuǎn)件151時(shí)將旋 轉(zhuǎn)90度，然后借由連接輸送件154的傳送移到第二回轉(zhuǎn)件152，最后再旋轉(zhuǎn)90度后 送入第^S座12的通道121。相同道理，借由安驗(yàn)第:r^座12內(nèi)的輸送機(jī)構(gòu)13的傳送，加工物^^M漸地由第:iS座12的入口端122往出口端123移送，并完成 連續(xù)加工的作業(yè)。以往折合式真空裝置1雖然可以利用連接機(jī)構(gòu)15 ，接平行間隔的第一基座11 及第二基座12，但是該項(xiàng)設(shè)計(jì)必需禾鵬兩個(gè)分開的腔體來各別界定出兩條間隔的通 道111、 121，故雖來說不但體積龐大，也需要占據(jù)較大的擺放空間，在設(shè)計(jì)上不 太理想。實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是在提供一種可以縮小^f只及擺放空間的單腔雙線式真空裝置。本實(shí)用新型的單腔，式真空裝置是用來移送一個(gè)加工物件，并且包括 一個(gè) 基座、兩個(gè)傳送機(jī)構(gòu)，以及一個(gè)和基座并靠連接的連接機(jī)構(gòu)，該基座包括一個(gè)界定出一腔室的腔壁，i^腔壁具有一第一壁部及一第二壁部。本實(shí)用新型的特征在于該真空裝置還包括一個(gè)安裝在該基座的腔室內(nèi)并且將 該腔室分隔成一個(gè)靠近第一壁部的第一通道，以及一個(gè),第二壁部的第二通道的 冷卻區(qū)隔單元，戰(zhàn)第一通道及第二通道都各別具有一個(gè)入口端及一個(gè)出口端，而 所述輸送機(jī)構(gòu)是分別安裝在第一通道及第二通道內(nèi)，并且將加工物件由入口端往出 口端移送，該連接機(jī)構(gòu)是將由第一通道的出口端送出的加工物件移送到第二通道的 入口端。本實(shí)用新型的有益功效在于借在該基座的腔室內(nèi)部架設(shè)具有區(qū)隔及冷卻功能的冷卻區(qū)隔單元，除了可以在腔室內(nèi)區(qū)隔出第一通皿第:^i道，以縮小裝置的體積及擺放空間外，該冷卻區(qū)隔單元的設(shè)計(jì)，還可以降低加工時(shí)的制程高溫，使真空 裝置的各項(xiàng)加工順申縱行。


圖1是中國臺(tái)灣專利號數(shù)第M341704號實(shí)用新型的一個(gè)加工設(shè)備示意圖； 圖2是本實(shí)用新型真空裝置的第一較佳實(shí)施例的俯視示意圖； 圖3是該第一較佳實(shí)施例的一個(gè)局部咅艦圖，i^蟲顯示該真空體的一個(gè)冷卻 隔座；及圖4是一類似圖2的俯視示意圖，顯示本實(shí)用新型真空裝置的第二較佳實(shí)施例。
以下結(jié)合附圖及實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說明在本實(shí)用新型被詳細(xì)描述之前，要注意的是，在以下的說明內(nèi)容中，類似的元 件是以相同的編號來表示。參閱圖2、 3，本實(shí)用新型單腔雙線式真空裝置的第一較佳實(shí)施例是用來移送一 個(gè)加工物件，以便在該加工物件上進(jìn)行各種的加工。上述真空體并包括 一條 矩形的基座2、 一個(gè)安裝在該基座2內(nèi)部的冷卻區(qū)隔單元3、 一個(gè)安裝在該基座2上 的耙材單元4、 一個(gè)第一輸送機(jī)構(gòu)5、 一個(gè)第二輸送機(jī)構(gòu)5'，以及一個(gè)和基座2并靠 連接的連接機(jī)構(gòu)6。本實(shí)施例的基座2實(shí)際上是由數(shù)個(gè)左右并靠的箱體20靠接而成，并靠后該基座 2包括一個(gè)界定出一^:方形的腔室21的腔壁22，該腔壁22具有一個(gè)沿著長度方 向延伸的第一壁部221，以及一個(gè)和第一壁部221平行間隔的第二壁部222，該基座 2還包括數(shù)片間隔并垂直連接在第一壁部221及第二壁部222間的區(qū)隔壁23，針 區(qū)隔壁23都具有一個(gè)靠近第一壁部221的第一閥門231，以及一個(gè)^a第二壁部222 的第二閥門232，前述第一閥門231及第二閥門232并受到自動(dòng)控制可以打開或者關(guān) 閉。本實(shí)施例的冷卻區(qū)隔單元3包括數(shù)個(gè)分別架設(shè)在基座2上相對應(yīng)的區(qū)隔壁23間 的糊隔座30，借由前述冷卻隔座30的區(qū)隔，可以^^座2的腔室21區(qū)隔成一條 ,第一壁部221的第一通道211，以及一條W3fi第二壁部222的第:iffl道212。該 第一Mit211具有一個(gè)^ffii接機(jī)構(gòu)6的出口端213，以及一個(gè)和出口端213間隔的 入口端214，而該第二通道212也是具有一個(gè)出口端215及一個(gè)入口端216，但第二 通道212的入口端216是,該連接機(jī)構(gòu)6。本實(shí)施例的每個(gè)冷卻隔座30都具有兩片彼此平行并垂直于區(qū)隔壁23的側(cè)板31 、 一，接^E^M側(cè)板31間并和側(cè)板31共同界定出一個(gè)冷卻室32的連接圍板33。該 連接圍板33具有一個(gè)上壁部331、 一^h和上壁部331上下平行間隔的下壁部332， 以及兩個(gè)和戶誠上壁部331及下壁部332連接并且和區(qū)隔壁23貼靠的側(cè)壁部333、 334。又該7賴卩隔座30還具有數(shù)片由上壁部331往下延伸的第一隔板34、數(shù)片位在 兩兩第一隔板34間并由下壁部332往上突出的第二隔板35、 一*接該上壁部331 及下壁部332的支撐板36、 一支安驗(yàn)上壁部331及下壁部332間并且誕側(cè)壁部 333的入水管37，以及一支架設(shè)在該上壁部331及下壁部332間并且靠近側(cè)壁部334的出水管38。旨第一隔板34到下壁部331間都具有一個(gè)第~31口341，而戶;M第 二隔板35和上壁部332間各別具有一個(gè)第，口 351 ，該支撐阪36具有數(shù)個(gè)^il 方的貫孔361，借此可將冷卻室32分割成一條迂回的7jC道，該7jC道的起始端是靠近 該入水管37，而水道的終止端是靠近該出水管38，前^A水管37及出水管38上各 別設(shè)有數(shù)個(gè)通向7jC道的孑L洞，不再以圖例說明。
當(dāng)冷卻液由入水管37通入時(shí)，冷卻液將由入水管37流入冷卻室32，并且逐漸 地受到第一隔板34麟二隔板35的區(qū)隔，再以迂回的方式逐^fi也往圖3的右側(cè)流 動(dòng)。當(dāng)7夠液流到設(shè)置出水管38的終止端時(shí)，就會(huì)由出水管38流出，借雌至蜊 用冷卻液的循環(huán)來冷卻第一通道211及第二通道212的制程皿的目的。
本 例的耙材單元4是包括數(shù)個(gè)安M基座2上的耙材41 ，上述耙材41分別 對應(yīng)基座2的第一通道211及第二通道212，并且介于兩片區(qū)隔壁23間。
本實(shí)施例的第一輸送機(jī)構(gòu)5 ，二輸送機(jī)構(gòu)5'是各別安M基座2的第一通道 211、第:ijlit212內(nèi)，^^第一輸送機(jī)構(gòu)5及第二輸送機(jī)構(gòu)5'都包括數(shù)個(gè)位在相靠 近的區(qū)隔壁23間的輸送單元51 ，以及數(shù)個(gè)用來驅(qū)動(dòng)，輸送單元51作用并帶動(dòng)加 工物件前進(jìn)的動(dòng)力單元52，由于前述第一輸送機(jī)構(gòu)5麟二輸送機(jī)構(gòu)5'是以往的技 術(shù)，不再說明。
本實(shí)施例的連接機(jī)構(gòu)6是一種平移的設(shè)計(jì)，其是架設(shè)在基座2的Hi，并用來 連接該基座2的第一通道211及第^1道212，所，接機(jī)構(gòu)6并包括一個(gè)中空的連 接腔體61、 一個(gè)架設(shè)在該連接腔體61內(nèi)的平移單元62，以及一個(gè)架設(shè)在平移單元 62上的連接承座63，該連接腔體61具有兩片分別和第一壁部221及第二壁部222 接續(xù)的連接主壁611，以及兩條垂直連接戶;f^^接主壁611的輔助滑軌612，而該平 移單元62具有一支可轉(zhuǎn)動(dòng)地架設(shè)在連接主壁611間的螺桿621，以及一個(gè)驅(qū)動(dòng)該螺 桿621旋轉(zhuǎn)的馬達(dá)622，而該連接承座63是架設(shè)在螺桿621及輔助滑軌612上，并 可因馬達(dá)622的正轉(zhuǎn)及反轉(zhuǎn)，而沿著一平移方向64往復(fù)移動(dòng)。
具體來說，本實(shí)施例的真空體在4頓時(shí)，例如基板等等的加工物件是借由第 一輸送機(jī)構(gòu)5;lA第一aii211，并逐ffJ:也往出口端213移送，當(dāng)加工物件由第H1 道211的出口端213移出時(shí)，就^iSA^接機(jī)構(gòu)6的連接腔體61內(nèi)，并移送到該連 接機(jī)構(gòu)6的連接承座63上，此時(shí)，馬達(dá)622就會(huì)帶動(dòng)螺桿621旋轉(zhuǎn)，并且將連接承 座63往第^1道212的方向移送，然后再由入口端216iiSAi織^l道212，借由 第二輸送機(jī)構(gòu)5，的移送，可讓加工物件^WM主出口端215移送，最后移出該第二通道212。
進(jìn)一步說明的是，本實(shí)施例的真空裝置在設(shè)計(jì)上，除了禾U用7賴口隔座30將腔室 21分割麟一通道211及第二鵬212外，由于一般耙材41碰行鰣加工時(shí)會(huì)產(chǎn) 生制程高溫，而本實(shí)施例借由循環(huán)于針^4P隔座30的)tiP液，可以降低所述第一 通道211及第二通道212內(nèi)的制程驗(yàn)，以避免基座2內(nèi)的第一鵬211及第二通 道212同時(shí)進(jìn)行加工產(chǎn)生過高的制徵鵬，影響至咖工的順利進(jìn)行。
參閱圖4，本實(shí)用新型第二較佳實(shí)施例的真空裝置的構(gòu)造大致和第一實(shí)施例相 同，不同的只有連接機(jī)構(gòu)6，也就是說，第一較佳實(shí)施例的連接機(jī)構(gòu)6是一種可將力口 工物件以平移方式移送的設(shè)計(jì)，這種設(shè)計(jì)適合在加工物件的兩個(gè)側(cè)面上分別加工， 因?yàn)榘也?1都位在遠(yuǎn)離冷卻區(qū)隔單元3的夕卜側(cè)。而本實(shí)用新型第二實(shí)施例的連接機(jī) 構(gòu)6是一種回轉(zhuǎn)的設(shè)計(jì)，也就是利用該回轉(zhuǎn)式的連接機(jī)構(gòu)6，可以在加工物件的同一 ，価進(jìn)行多道的加工。
為了達(dá)至似上目的，本實(shí)施例的連接機(jī)構(gòu)6包括一個(gè)中空的連接腔體61、 一個(gè) 可360度回轉(zhuǎn)地架設(shè)在該連接腔體61內(nèi)部的回轉(zhuǎn)座65，以及兩^M戶皿回轉(zhuǎn)座 65上的連接承座63，當(dāng)所，接承座63的其中之一平行于第一輸送機(jī)構(gòu)5的輸送 單元51時(shí)，架設(shè)在織送單元51上的加工物件就可以傳送并架設(shè)在該連接承座63 上，然后該回轉(zhuǎn)座65將轉(zhuǎn)動(dòng)180度，以便讓架設(shè)加工物件的連接承座63回轉(zhuǎn)后對 應(yīng)第二輸送機(jī)構(gòu)5'，以此類推，當(dāng)承載有加工物件的連接承座63平行對應(yīng)第二輸送 機(jī)構(gòu)5'時(shí)，戶脫連接承座63就可以將承載的加工物件送往第二輸送機(jī)構(gòu)5'。也就是 說，本實(shí)施例借由改變該連接機(jī)構(gòu)6的構(gòu)造，可以讓加工tK糊轉(zhuǎn)180度。但在設(shè) 計(jì)上，本實(shí)施例的連接承座63的M只要1個(gè)就可以，也就是說，該連接承座63 的數(shù)量不以實(shí)施例揭露的為限。
由以上說明可知，本實(shí)用新型在一個(gè)腔室21內(nèi)禾lj用7佛隔座30區(qū)隔成兩， 行的第一通道211及第:dl道212，并且利用一個(gè)連接機(jī)構(gòu)6的銜接，將由第一ilil
211送出的加工物件借由轉(zhuǎn)銜專送到第』道212的設(shè)計(jì)不ia^見于以往的真空裝
置，前述設(shè)計(jì)還具有節(jié)省體積及擺設(shè)空間的功效。
權(quán)利要求1.一種單腔雙線式真空裝置，用來移送一個(gè)加工物件，并包括一個(gè)基座、兩個(gè)傳送機(jī)構(gòu)，以及一個(gè)和基座并靠連接的連接機(jī)構(gòu)，該基座包括一個(gè)界定出一腔室的腔壁，上述腔壁具有一個(gè)第一壁部及一個(gè)第二壁部；其特征在于該真空裝置還包括一個(gè)安裝在該基座的腔室內(nèi)并且將該腔室分隔成一個(gè)靠近第一壁部的第一通道，以及一個(gè)靠近第二壁部的第二通道的冷卻區(qū)隔單元，上述第一通道及第二通道都各別具有一個(gè)入口端及一個(gè)出口端，而所述輸送機(jī)構(gòu)是分別安裝在第一通道及第二通道內(nèi)，并且將加工物件由入口端往出口端移送，該連接機(jī)構(gòu)是將由第一通道的出口端送出的加工物件移送到第二通道的入口端。
2. 如權(quán)利要求l戶腿的單腔雙線式真空體，其特征在于該基座還包括數(shù)愧接 在第一壁部及第二壁部間的區(qū)隔壁，而該冷卻區(qū)隔單元包括數(shù)個(gè)架設(shè)在相對應(yīng) 的區(qū)隔壁間的冷卻隔座，所述區(qū)隔壁都具有兩個(gè)分別位在冷卻隔座相反側(cè)的閥 門。
3. 如權(quán)利要^2戶;M的單腔雙線式真空裝置，其特征在于上述冷卻隔座都具有兩片分別橫向架設(shè)在基座的區(qū)隔壁間的側(cè)板，以及一個(gè)圍繞并連接側(cè)板同時(shí)和側(cè) 板共同界定出一個(gè)冷卻室的連接圍板，旨冷卻隔座的連接圍板都具有一個(gè)上 壁部，以及一個(gè)下壁部，而臓辨卩隔座還具有數(shù)個(gè)由該上壁部往下延伸的第 一隔板，以及數(shù)個(gè)由下壁部往上延伸的第二隔板，每個(gè)第一隔板到下壁部間都 具有一個(gè)第一通口，而戶，第二隔板到上壁部間都具有一個(gè)第二通口，又前述 第二隔板是分別位在兩兩相鄰的第一隔板間，借此構(gòu)成一條迂回的水道。
4. 如權(quán)利要彩戶;M的單腔雙線式真空裝置，其特征在于該冷卻隔座還具有一個(gè)安裝在上、下壁部間的入水管，以及一支安裝在上、下壁部間并且和入水管間 隔的出水管。
5. 如權(quán)利要求1^4所述的單腔鵬式真空裝置，其特征在于該連接機(jī)構(gòu)是一種 平移的設(shè)計(jì)，并包括一個(gè)和基座,的連接腔體、 一個(gè)架設(shè)在該連接腔體內(nèi)部 的平移單元，以及一個(gè)架設(shè)在該平移單元上并將加工物件往一平移方向移送的 連接承座。
6. 如權(quán)利要求1^4戶;M的單腔雙線式真空裝置，其特征在于:'該連接機(jī)構(gòu)是一種 回轉(zhuǎn)式的設(shè)計(jì)，并包括一個(gè)中空的連接腔體、 一個(gè)可轉(zhuǎn)動(dòng)地架設(shè)在該連接腔體 內(nèi)部的回轉(zhuǎn)座，以及至少一個(gè)安，該回轉(zhuǎn)座上并可將由其中一，送機(jī)構(gòu)送出的加工物件往另一個(gè)輸送機(jī)構(gòu)移送的連接承座c
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種單腔雙線式真空裝置，可傳送一個(gè)加工物件前進(jìn)，并包括一個(gè)具有一腔室的基座、一個(gè)將該基座的腔室區(qū)隔成一第一通道及一第二通道的冷卻區(qū)隔單元、兩個(gè)分別安裝在該腔室的第一及第二通道內(nèi)并且將加工物件由一入口端往一出口端傳送的輸送機(jī)構(gòu)，以及一個(gè)架設(shè)在該基座旁并將加工物件由第一通道移送到第二通道的連接機(jī)構(gòu)。借在腔室內(nèi)架設(shè)具有區(qū)隔及冷卻功能的冷卻區(qū)隔單元，除了可以將腔室區(qū)隔成兩條平行的通道，以縮小裝置的體積及擺放空間外，還可以降低加工時(shí)的制程高溫，使真空裝置的各項(xiàng)加工順暢進(jìn)行。
文檔編號H01L21/00GK201425936SQ20092015615
公開日2010年3月17日 申請日期2009年6月15日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月15日
發(fā)明者鄭博仁, 黃泳釗 申請人:北儒精密股份有限公司