專利名稱：推拉舟承重槳三維狀態(tài)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于一種機(jī)械三維狀態(tài)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，具體是用于晶片加工擴(kuò)散爐送料推
拉舟承重槳的水平、高低三維狀態(tài)進(jìn)行調(diào)整的機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
用于晶片加工的擴(kuò)散爐在運(yùn)行過程中，配套使用的推拉舟通過承重槳將晶片送入 擴(kuò)散爐，經(jīng)過工藝過程后將晶片再從擴(kuò)散爐中取出。推拉舟的放置晶片的承重槳的前后、左 右水平角度、左右的水平位置和整體的高度即三維狀態(tài)需要進(jìn)行調(diào)整?，F(xiàn)用的調(diào)節(jié)部件在 水平調(diào)節(jié)時(shí)無軸承，在負(fù)載狀態(tài)下幾乎無法調(diào)節(jié)；后端的防側(cè)翻限位僅靠?jī)蓚€(gè)螺釘，力度和 精度都遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠；高度調(diào)節(jié)各螺桿相對(duì)于晶片生產(chǎn)工藝所需的大承重、長(zhǎng)力臂都顯得單??； 調(diào)節(jié)后無鎖緊，推拉舟進(jìn)出料時(shí)會(huì)因震動(dòng)等外力作用造成位移，給SiC承重槳、石英反應(yīng)管 以及晶片造成危險(xiǎn)，存在一定的安全隱患。因此，需要對(duì)其進(jìn)行改進(jìn)。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是為了解決上述技術(shù)問題，提出一種推拉舟承重槳三維狀態(tài)調(diào) 節(jié)機(jī)構(gòu)。該機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)完善，調(diào)節(jié)靈活，較好地解決了上述問題。 本實(shí)用新型的目的是通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的推拉舟承重槳三維狀態(tài)調(diào)節(jié)機(jī) 構(gòu)，其特征在于設(shè)有高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和水平調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)由固定底板、高度可調(diào) 的前夾持件和后夾持件構(gòu)成，前夾持件設(shè)有兩個(gè)前支柱和一個(gè)前橫桿；后夾持件設(shè)有兩個(gè) 后支柱和一個(gè)后橫桿；該前、后夾持件的每根支柱的高度均可調(diào)，垂直固定在固定底板； 水平調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)設(shè)有大底板、調(diào)節(jié)塊、限位側(cè)塊、限位軸承和螺釘；大底板固為推拉 舟的移動(dòng)塊，其上面設(shè)有嵌入式滾珠軸承，該軸承與高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的固定底板底面設(shè)置的 導(dǎo)軌槽相對(duì)應(yīng)，該軸承和導(dǎo)軌槽構(gòu)成水平調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)橫向調(diào)節(jié)的方向定位和降低摩擦部件； 調(diào)節(jié)塊由調(diào)節(jié)基板、螺紋調(diào)節(jié)塊、主調(diào)節(jié)螺釘、輔助定位螺釘及相應(yīng)的固定螺釘組成，調(diào)節(jié) 基板固定于大底板側(cè)面，螺紋調(diào)節(jié)塊用固定螺釘鉸接于高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的固定底板上，主調(diào) 節(jié)螺釘安裝于調(diào)節(jié)基板中部，前端與螺紋調(diào)節(jié)塊連接；輔助調(diào)節(jié)螺釘安裝于主調(diào)節(jié)螺釘兩 側(cè)調(diào)節(jié)基板上，前端與固定底板側(cè)面接觸；這樣同時(shí)將主調(diào)節(jié)螺釘與輔助調(diào)節(jié)螺釘向一個(gè) 方向等量調(diào)節(jié)就可以使高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)在大底板水平面上左右移動(dòng)，而隨意調(diào)節(jié)主調(diào)節(jié)螺釘 與輔助調(diào)節(jié)螺釘可獲得高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)與大底板水平面的包括相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)的不同相對(duì)位置； 限位側(cè)塊呈L型，豎直面固定于大底板后部，安裝孔呈現(xiàn)豎直長(zhǎng)圓，可調(diào)節(jié)限位塊 的高低；水起限位作用的平面上，嵌入安裝有四個(gè)滾珠軸承，與大底板上的滾珠軸承一起， 保證了水平調(diào)節(jié)輕松省力并且使固定底板只能沿水平方向移動(dòng)而不至于側(cè)翻；軸承外側(cè)各 有一個(gè)定位鎖緊螺釘，用來調(diào)節(jié)軸承對(duì)固定底板的壓緊力并進(jìn)行定位； 大底板中部相對(duì)于調(diào)節(jié)塊的另一側(cè)有定位螺紋孔，固定底板的相應(yīng)位置設(shè)有長(zhǎng)圓 孔，在該定位螺紋孔和長(zhǎng)圓孔中設(shè)有定位螺釘。水平調(diào)節(jié)結(jié)束后，定位螺釘穿過固定底板的 長(zhǎng)圓孔，將高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)與大底板的水平相對(duì)位置鎖死。
3[0008] 本實(shí)用新型進(jìn)一步實(shí)施和完善的補(bǔ)充方案是 所述兩個(gè)前支柱均由調(diào)節(jié)螺桿、螺紋套筒支柱構(gòu)成；前橫桿由穿軸、支塊構(gòu)成；后 兩個(gè)支柱均由調(diào)節(jié)螺桿、滾花調(diào)節(jié)螺母、球面墊片構(gòu)成，后橫桿由擋塊構(gòu)成，四根調(diào)節(jié)螺桿 定位在固定底板上。根據(jù)懸臂受力分析，前端調(diào)節(jié)螺桿主要受壓力，因此設(shè)計(jì)螺桿較粗，通 過穿軸和支塊固定在調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)前部；后端調(diào)節(jié)螺桿較細(xì)，主要承受拉力，通過擋塊、滾花調(diào) 節(jié)螺母、球面墊片固定在調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)后部。每根調(diào)節(jié)螺桿均可單獨(dú)調(diào)節(jié)，使調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)上下移動(dòng) 以得到不同仰角。每根調(diào)節(jié)螺桿上均配有定位鎖緊螺母，在夾持機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)至合適位置后進(jìn) 行鎖緊和定位，避免工藝過程中因震動(dòng)等原因發(fā)生位置偏移。 本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)完善，調(diào)節(jié)靈活精確，運(yùn)行過程中狀態(tài)穩(wěn)定可靠的優(yōu)點(diǎn)。
圖1是本實(shí)用新型的立體結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本適用新型做進(jìn)一步說明實(shí)施例參見附圖，種推拉 舟承重槳三維狀態(tài)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，設(shè)有高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和水平調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)由固定底 板、高度可調(diào)的前夾持件和后夾持件構(gòu)成，前夾持件設(shè)有兩個(gè)前支柱4. 1、4. 4和一個(gè)前橫 桿4. 3 ;后夾持件設(shè)有兩個(gè)后支柱5. 1、5. 4和一個(gè)后橫桿5. 3 ;該前、后夾持件的每根支柱
的高度均可調(diào)，垂直固定在固定底板2上； 水平調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)設(shè)有大底板、調(diào)節(jié)塊、限位側(cè)塊、限位軸承和螺釘；大底板1為推拉
舟的移動(dòng)塊1. O，其上面設(shè)有嵌入式滾珠軸承，該軸承與高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的固定底板2底面設(shè)
置的導(dǎo)軌槽相對(duì)應(yīng)，該軸承和導(dǎo)軌槽構(gòu)成水平調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)橫向調(diào)節(jié)的方向定位和降低摩擦部
件；調(diào)節(jié)塊由調(diào)節(jié)基板、螺紋調(diào)節(jié)塊、主調(diào)節(jié)螺釘、輔助定位螺釘及相應(yīng)的固定螺釘組成，調(diào) 節(jié)基板6固定于大底板側(cè)面，螺紋調(diào)節(jié)塊6. 3用固定螺釘鉸接于高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的固定底板 上，主調(diào)節(jié)螺釘6. 2安裝于調(diào)節(jié)基板中部，前端與螺紋調(diào)節(jié)塊連接；輔助調(diào)節(jié)螺釘6. 1、6. 11 安裝于主調(diào)節(jié)螺釘兩側(cè)調(diào)節(jié)基板上，前端與固定底板側(cè)面接觸；限位側(cè)塊7呈L型，豎直面 固定于大底板后部，安裝孔呈現(xiàn)豎直長(zhǎng)圓，可調(diào)節(jié)限位塊的高低；水平面起限位作用，上面 嵌入安裝有四個(gè)滾珠軸承7. l，軸承外側(cè)各有一個(gè)定位鎖緊螺釘7. 2 ;大底板中部相對(duì)于調(diào) 節(jié)塊的另一側(cè)有定位螺紋孔，固定底板的相應(yīng)位置設(shè)有長(zhǎng)圓孔，在該定位螺紋孔和長(zhǎng)圓孔 中設(shè)有定位螺釘。本實(shí)施例中，所述兩個(gè)前支柱均由調(diào)節(jié)螺桿4. 1、螺紋套筒支柱4. 2構(gòu)成； 前橫桿由穿軸4. 3、支塊4. 31構(gòu)成；后兩個(gè)支柱均由調(diào)節(jié)螺桿5. 1、滾花調(diào)節(jié)螺母5. 2、球面 墊片構(gòu)成，后橫桿由擋塊5. 3構(gòu)成，四根調(diào)節(jié)螺桿定位在固定底板上。 本實(shí)施例經(jīng)試用效果非常好。
權(quán)利要求一種推拉舟承重槳三維狀態(tài)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于設(shè)有高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和水平調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)由固定底板、高度可調(diào)的前夾持件和后夾持件構(gòu)成，前夾持件設(shè)有兩個(gè)前支柱(4.1、4.4)和一個(gè)前橫桿(4.3)；后夾持件設(shè)有兩個(gè)后支柱(5.1、5.4)和一個(gè)后橫桿(5.3)；該前、后夾持件的每根支柱的高度均可調(diào)，垂直固定在固定底板(2)上；水平調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)設(shè)有大底板、調(diào)節(jié)塊、限位側(cè)塊、限位軸承和螺釘；大底板(1)為推拉舟的移動(dòng)塊，其上面設(shè)有嵌入式滾珠軸承，該軸承與高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的固定底板(2)底面設(shè)置的導(dǎo)軌槽相對(duì)應(yīng)，該軸承和導(dǎo)軌槽構(gòu)成水平調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)橫向調(diào)節(jié)的方向定位和降低摩擦部件；調(diào)節(jié)塊由調(diào)節(jié)基板、螺紋調(diào)節(jié)塊、主調(diào)節(jié)螺釘、輔助定位螺釘及相應(yīng)的固定螺釘組成，調(diào)節(jié)基板(6)固定于大底板側(cè)面，螺紋調(diào)節(jié)塊(6.3)用固定螺釘鉸接于高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的固定底板上，主調(diào)節(jié)螺釘(6.2)安裝于調(diào)節(jié)基板中部，前端與螺紋調(diào)節(jié)塊連接；輔助調(diào)節(jié)螺釘(6.1、6.11)安裝于主調(diào)節(jié)螺釘兩側(cè)調(diào)節(jié)基板上，前端與固定底板側(cè)面接觸；限位側(cè)塊(7)呈L型，豎直面固定于大底板后部，安裝孔呈豎直長(zhǎng)圓，可調(diào)節(jié)限位塊的高低；起限位作用的水平面(1.0)上，嵌入安裝有四個(gè)滾珠軸承(7.1)，軸承外側(cè)各有一個(gè)定位鎖緊螺釘(7.2)；大底板中部相對(duì)于調(diào)節(jié)塊的另一側(cè)有定位螺紋孔，固定底板的相應(yīng)位置設(shè)有長(zhǎng)圓孔，在該定位螺紋孔和長(zhǎng)圓孔中設(shè)有定位螺釘。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于所述兩個(gè)前支柱均由調(diào)節(jié)螺桿 (4. 1)、螺紋套筒支柱(4. 2)構(gòu)成；前橫桿由穿軸(4. 3)、支塊(4. 31)構(gòu)成；后兩個(gè)支柱均由 調(diào)節(jié)螺桿(5. 1)、滾花調(diào)節(jié)螺母(5. 2)、球面墊片構(gòu)成，后橫桿由擋塊(5. 3)構(gòu)成，四根調(diào)節(jié) 螺桿定位在固定底板上。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種推拉舟承重槳三維狀態(tài)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于設(shè)有高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和水平調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)由固定底板、高度可調(diào)的前夾持件和后夾持件，前夾持件設(shè)有兩個(gè)前支柱和一個(gè)前橫桿；后夾持件設(shè)有兩個(gè)后支柱和一個(gè)后橫桿；該前、后夾持件的每根支柱的高度均可調(diào)，垂直固定在固定底板上；水平調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)設(shè)有大底板、調(diào)節(jié)塊、限位側(cè)塊、限位軸承和螺釘；大底板為推拉舟的移動(dòng)塊，其上面設(shè)有嵌入式滾珠軸承；調(diào)節(jié)塊由調(diào)節(jié)基板、螺紋調(diào)節(jié)塊、主調(diào)節(jié)螺釘、輔助定位螺釘及相應(yīng)的固定螺釘組成。本實(shí)用新型適用于晶片加工擴(kuò)散爐送料推拉舟承重槳的三維狀態(tài)的調(diào)整，結(jié)構(gòu)完善，調(diào)節(jié)靈活精確，運(yùn)行過程中狀態(tài)穩(wěn)定可靠。
文檔編號(hào)H01L21/683GK201440409SQ20092010966
公開日2010年4月21日 申請(qǐng)日期2009年6月30日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月30日
發(fā)明者李補(bǔ)忠, 桂曉波, 郝曉明 申請(qǐng)人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司