專利名稱：硅片自轉(zhuǎn)系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型屬于一種機(jī)械驅(qū)動轉(zhuǎn)動裝置，具體是用于硅片在加工藝過程，如清洗、
腐蝕工藝中，驅(qū)動放置在標(biāo)準(zhǔn)片籃里的硅片自行轉(zhuǎn)動的裝置。
背景技術(shù)：
目前，在硅片加工的清洗、腐蝕等工藝過程中，硅片均為靜態(tài)地進(jìn)行。這種操作方 法具有一些不足工藝過程中對硅片的加工作用不均勻，質(zhì)量和效率不夠理想；特別是還 需要配套使用的夾具，對硅片進(jìn)行反復(fù)地取放，很容易損傷硅片。因此，需要對現(xiàn)有工藝和 設(shè)備進(jìn)行改進(jìn)。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是為了解決上述技術(shù)問題，提出一種硅片自轉(zhuǎn)系統(tǒng)，該系統(tǒng)較 好地解決了上述問題。 本實用新型的目的是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的硅片自轉(zhuǎn)系統(tǒng)，設(shè)有箱體、電 機(jī)，其特征在于電機(jī)的轉(zhuǎn)動軸與主動輪和從動輪傳動連接，從動輪通過傳動齒輪組與兩個 水平設(shè)置的從動軸傳動連接。
所述電機(jī)設(shè)有電機(jī)罩，傳動齒輪組設(shè)置在齒輪箱內(nèi)，從動軸設(shè)置在底板上。 本實用新型的硅片自轉(zhuǎn)系統(tǒng)，使硅片的清洗、腐蝕等工藝過程中由靜態(tài)變?yōu)閯討B(tài)，
工藝作用全方位均勻進(jìn)行，質(zhì)量是效率大提高。特別是可以使用標(biāo)準(zhǔn)片籃，減少倒片工作量
和碎片率，電機(jī)速度可調(diào)，同機(jī)臂聯(lián)動，可實現(xiàn)拋動與自轉(zhuǎn)同時進(jìn)行。具有結(jié)構(gòu)簡單實用，質(zhì)
量好，效率高，不損硅片的優(yōu)點。

圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2是圖1的A-A剖視圖； 圖3是圖2的B-B剖視圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型作進(jìn)一步的說明實施例參見附圖，硅片 自轉(zhuǎn)系統(tǒng)，設(shè)有箱體5、電機(jī)2，電機(jī)的轉(zhuǎn)動軸4與主動輪6和從動輪8傳動連接，從動輪通 過傳動齒輪組9與兩個水平設(shè)置的從動軸12傳動連接。所述電機(jī)設(shè)有電機(jī)罩l，傳動齒輪 組設(shè)置在齒輪箱10內(nèi)，從動軸設(shè)置在底板11上。 本實施例經(jīng)試用效果非常好。
權(quán)利要求一種硅片自轉(zhuǎn)系統(tǒng)，設(shè)有箱體(5)、電機(jī)(2)，其特征在于電機(jī)的轉(zhuǎn)動軸(4)與主動輪(6)和從動輪(8)傳動連接，從動輪通過傳動齒輪組(9)與兩個水平設(shè)置的從動軸(12)傳動連接。
2. 根所權(quán)利要求1所述的硅片自轉(zhuǎn)系統(tǒng)，其特征在于所述電機(jī)設(shè)有電機(jī)罩(1)，傳動 齒輪組設(shè)置在齒輪箱(10)內(nèi)，從動軸設(shè)置在底板(11)上。
專利摘要本實用新型公開了一種硅片自轉(zhuǎn)系統(tǒng)，設(shè)有箱體(5)、電機(jī)(2)，其特征在于電機(jī)的轉(zhuǎn)動軸(4)與主動輪(6)和從動輪(8)傳動連接，從動輪通過傳動齒輪組(9)與兩個水平設(shè)置的從動軸(12)傳動連接。所述電機(jī)設(shè)有電機(jī)罩(1)，傳動齒輪組設(shè)置在齒輪箱(10)內(nèi)，從動軸設(shè)置在底板(11)上。本實用新型適用于硅片整籃動態(tài)進(jìn)行清洗、腐蝕等工藝，結(jié)構(gòu)簡單，操作簡便，質(zhì)量好，效率高，不損傷硅片。
文檔編號H01L21/67GK201523002SQ20092010966
公開日2010年7月7日 申請日期2009年6月30日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月30日
發(fā)明者杜飛龍, 武建強(qiáng) 申請人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司