技術(shù)編號：7191240
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型屬于一種機(jī)械三維狀態(tài)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，具體是用于晶片加工擴(kuò)散爐送料推拉舟承重槳的水平、高低三維狀態(tài)進(jìn)行調(diào)整的機(jī)構(gòu)。 背景技術(shù)用于晶片加工的擴(kuò)散爐在運(yùn)行過程中，配套使用的推拉舟通過承重槳將晶片送入 擴(kuò)散爐，經(jīng)過工藝過程后將晶片再從擴(kuò)散爐中取出。推拉舟的放置晶片的承重槳的前后、左 右水平角度、左右的水平位置和整體的高度即三維狀態(tài)需要進(jìn)行調(diào)整?，F(xiàn)用的調(diào)節(jié)部件在 水平調(diào)節(jié)時無軸承，在負(fù)載狀態(tài)下幾乎無法調(diào)節(jié)；后端的防側(cè)翻限位僅靠兩個螺釘，力度和 精度都遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠；高...
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