專利名稱：一種長壽命半導體激光器微通道熱沉的制作方法
技術(shù)領域：
本實用新型涉及一種長壽命半導體激光器微通道熱沉的結(jié)構(gòu)，屬于半導 體光電子技術(shù)及其應用領域。
背景技術(shù)：
半導體激光器微通道熱沉散熱技術(shù)是大功率半導體激光器疊陣封裝最為 先進的技術(shù)之一。當前所采用的微通道熱沉在半導體激光器工作時，由于絕 緣層上下正負電極的存在，使微通道熱沉進出水通道口電場密度最高，當去 離子水流動時優(yōu)先在此處發(fā)生電化學腐蝕，微通道熱沉進出水通道口受到腐 蝕損壞導致漏水，使微通道熱沉的散熱作用失效，大大降低了半導體激光器 的穩(wěn)定性，可靠性以及使用壽命。
實用新型內(nèi)容
為了解決背景技術(shù)中半導體激光器微通道熱沉中電化學腐蝕集中發(fā)生在 進出水通道口，導致微通道熱沉漏水進而壽命降低的問題，為此，本實用新 型提供一種長壽命微通道熱沉結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)能夠減少微通道工作時進出水通 道口的電化學腐蝕，提高微通道熱沉壽命，進而提高半導體激光器長期工作 的穩(wěn)定性。
為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采取了如下技術(shù)方案。該微通道熱沉包 括微通道熱沉熱交換部分、設置在微通道熱沉熱交換部分上表面的第一進水 口和第一出水口、以及設置在微通道熱沉熱交換部分下表面的第二進水口和 第二出水口，第一進水口與第二進水口相連通，第一出水口和第二出水口相 連通。在第一進水口、第一出水口與微通道熱沉熱交換部分相接觸的部分、 在第二進水口 、第二出水口與微通道熱沉熱交換部分相接觸的部分均設置有 導電耐腐蝕層。
在第一進水口與第二進水口 、第一出水口和第二出水口的連接通道的內(nèi) 壁上設置有導電耐腐蝕層。
所述的導電耐腐蝕層覆蓋微通道熱沉熱交換部分的整個上表面或下表面。
所述的導電耐腐蝕層為由表面金屬化的A1N(氮化鋁)、Be0 (氧化鈹)或 者不銹鋼制成的耐腐蝕層。
本實用新型與傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)相比具有以下優(yōu)點采用導電耐腐蝕層的進出水
口和整個微通道熱沉熱交換部分形成一體化結(jié)構(gòu)，使得在半導體激光器工作 時，進出水口處所產(chǎn)生的電化學腐蝕直接作用在導電耐腐蝕層上。提高了半 導體激光器微通道熱沉的工作壽命，同時也提高了半導體激光器工作的穩(wěn)定 性、可靠性及工作壽命。

圖1本實用新型整體結(jié)構(gòu)示意圖
圖2圖1的俯視圖 圖3圖1的仰視圖 圖4圖1的剖視圖
圖中1、上表面導電耐腐蝕層，2、第一進水口， 3、第一出水口， 4、 微通道熱沉熱交換部分，5、下表面導電耐腐蝕層，6、第二進水口， 7、第二 出水口。
具體實施方式

以下結(jié)合附圖和具體實施例詳細描述本實用新型，但不限于這些實施例 本實施例中的微通道熱沉結(jié)構(gòu)包括微通道熱沉熱交換部分4、設置在微 通道熱沉熱交換部分4上表面的第一進水口 2和第一出水口 3、設置在微通道
熱沉熱交換部分4下表面的第二進水口 6和第二出水口 7。在第一進水口 2和 第一出水口 3的周圍設置有上表面導電耐腐蝕層1，在第二進水口 6和第二出 水口 7的周圍設置有下表面導電耐腐蝕層5。上表面導電耐腐蝕層1與第一進 水口 2和第二出水口 3緊密連接，下表面導電耐腐蝕層5與第二進水口 6和 第二出水口 7緊密連接。
如圖4所示，也可以在上表面導電耐腐蝕層1和下表面導電耐腐蝕層5 之間的進出水通道壁上使用導電耐腐蝕層，圖2、圖3中的上表面導電耐腐蝕 層1和下表面導電耐腐蝕層5的表面形狀可根據(jù)要求改變，也可以覆蓋微通道熱沉熱交換部分4的整個上表面或下表面。
本實施例采用表面金屬化的A1N， Be0或者不銹鋼等作為導電耐腐蝕材料 加在半導體激光器微通道熱沉的第一進水口 2、第一出水口3、第二進水口6 和第二出水口7，形成上表面導電耐腐蝕層1和下表面導電耐腐蝕層5，導電 耐腐蝕層與熱交換部分用焊接等方式緊密連接。
本實施例工作時在第一進水口2、第一出水口3、第二進水口6和第二 出水口7處會產(chǎn)生電場，去離子水流動所產(chǎn)生的電化學腐蝕，直接作用在進 出水口處的上表面導電耐腐蝕層1和下表面導電耐腐蝕層5上，半導體激光 器微通道熱沉的第一進水口 2、第一出水口3、第二進水口 6和第二出水口 7 受到上表面導電耐腐蝕層1和下表面導電耐腐蝕層5的保護。這樣就提高了 半導體激光器微通道熱沉的工作壽命。
權(quán)利要求1、一種長壽命半導體激光器微通道熱沉，包括微通道熱沉熱交換部分(4)、設置在微通道熱沉熱交換部分(4)上表面的第一進水口(2)和第一出水口(3)、以及設置在微通道熱沉熱交換部分(4)下表面的第二進水口(6)和第二出水口(7)，第一進水口(2)與第二進水口(6)相連通，第一出水口(3)和第二出水口(7)相連通；其特征在于在第一進水口(2)、第一出水口(3)與微通道熱沉熱交換部分(4)相接觸的部分、以及第二進水口(6)、第二出水口(7)與微通道熱沉熱交換部分(4)相接觸的部分均設置有導電耐腐蝕層。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種長壽命半導體激光器微通道熱沉，其特征在于: 在第一進水口 (1)與第二進水口 (6)、第一出水口 (3)和第二出水口 (7) 的連接通道的內(nèi)壁上設置有導電耐腐蝕層。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種長壽命半導體激光器微通道熱沉，其特征在于: 所述的導電耐腐蝕層覆蓋微通道熱沉熱交換部分(4)的整個上表面或下表面。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的一種長壽命半導體激光器微通道熱沉， 其特征在于所述的導電耐腐蝕層為由表面金屬化的氮化鋁、氧化鈹或者不 銹鋼制成的耐腐蝕層。
專利摘要本實用新型涉及一種長壽命半導體激光器微通道熱沉，屬于半導體光電子技術(shù)及其應用領域。為了改善現(xiàn)有的高功率半導體激光微通道熱沉進出水處電化學腐蝕集中，造成的熱沉壽命縮短、可靠性降低的現(xiàn)狀，本實用新型采用的技術(shù)方案是在微通道熱沉進出水口采用導電耐腐蝕材料，降低電化學腐蝕速度，提高微通道熱沉壽命。這種長壽命微通道熱沉結(jié)構(gòu)實用于當前任何半導體激光列陣和疊陣的制備。
文檔編號H01S5/024GK201374498SQ200920105129
公開日2009年12月30日 申請日期2009年1月16日 優(yōu)先權(quán)日2009年1月16日
發(fā)明者舜 堯, 王智勇, 曲 陳 申請人:北京工業(yè)大學