專利名稱：半導體裝置測試系統(tǒng)的制作方法
技術領域：
本實用新型有關于 一 種測試系統(tǒng)，特別關于 一 種半導體裝 置測試系統(tǒng)。
背景技術：
于現今半導體技術， 一般半導體晶圓上的晶粒，在運送至 客戶或安裝在各種產品中之前，需要進行測試程序。在普遍后 端制程中，在晶粒仍為晶圓形式時，單一化晶粒，并將上述晶粒封裝、燒入(burn in)且進一步測試。另一種半導體制程，則 是自晶圓上切割晶粒后，并不封裝晶粒，而是進一步測試且進 行燒入程序以獲得"已知4交佳晶粒(known good die)"。在更先 進的半導體制程，亦有晶圓級(waferlevel)的測試程序，此即為 晶粒在為晶圓形式時進行燒入且完全測試的程序。在上述半導體后端制程，有更先進且效率更高的半導體裝 置測試系統(tǒng)的需求。實用新型內容本實用新型的目的在于提供上述的半導體裝置測試系統(tǒng)。 本實用新型揭露一種半導體裝置測試系統(tǒng)，包括 一測試 機，控制半導體裝置測試系統(tǒng)的操作； 一測試臺，通過一傳輸 路徑，接收測試機所傳送的測試信息，且根據測試信息，對待 測的 一 半導體裝置執(zhí)行 一 測試程序，并將須'J試結果傳送至測試 機； 一第一控制器，電性連接測試臺，以接收測試信息； 一或 多個第二控制器，電性連接測試臺，以控制測試臺的測試程序， 每一個第二控制器對應一個或多個待測的半導體裝置；以及其中第 一 控制器以紅外線的方式廣播測試信息至 一 個或多個第二 控制器，且以紅外線的方式接收自第二控制器所傳送的測試結 果。本實用新型所述的半導體裝置測試系統(tǒng)，該測試機為可攜式裝置；該半導體裝置包括半導體晶圓上的未切割的晶粒；該 測試臺包括一探針卡，用以測試該半導體裝置；該傳輸路徑包 括紅外線傳輸路徑。本實用新型所述的半導體裝置測試系統(tǒng)，該第 一 控制器包 括 一第一控制單元，用以控制該第一控制器的操作； 一第一 紅外線傳輸單元，耦合至該第一控制單元，用以無線地傳送該 測試信息至 一 個或多個該第二控制器，或無線地接收自 一 個或 多個該第二控制器所傳送的該測試結果； 一第一存儲器單元， 耦合至該第一控制單元，以儲存該第一控制單元用以執(zhí)行的數 據或軟件； 一第一輸入/輸出單元，耦合至該第一控制單元，提 供該第 一控制器與該測試臺之間的實體輸入/輸出接口 。本實用新型所述的半導體裝置測試系統(tǒng)，該第二控制器包 括 一第二控制單元，用以控制該第二控制器的操作； 一第二 紅外線傳輸單元，耦合至該第二控制單元，用以無線地傳送該 測試結果至該第一控制器，或無線地接收自該第一控制器所傳 送的該測試信息； 一第二存儲器單元，耦合至該第二控制單元， 以儲存該第二控制單元用以執(zhí)行的數據或軟件； 一第二輸入/ 輸出單元，耦合至該第二控制單元，提供該第二控制器與該半 導體裝置之間的實體輸入/輸出接口 。本實用新型所述的半導體裝置測試系統(tǒng)，該測試機包括 一第三控制單元，用以控制該測試機的操作； 一第三紅外線傳 輸單元，耦合至該第三控制單元，用以無線地傳送該測試信息 至該測試臺，或無線地接收自該測試臺所傳送的該測試結果；一無線傳輸單元，耦合至該第三控制單元，用以提供該測試機與外部基地臺之間的傳輸接口 ； 一第三存儲器單元，耦合至該 第三控制單元，以儲存該第三控制單元用以執(zhí)行的數據或軟件； 一輸入單元，耦合至該第三控制單元，提供該測試機一輸入接 口； 一警示單元，耦合至該第三控制單元，于一預設狀態(tài)時， 發(fā)出一通知信息；以及一顯示單元，耦合至該第三控制單元， 以提供該測試機的顯示功能。本實用新型所述的半導體裝置測試系統(tǒng)，該輸入單元包括 鍵盤、觸碰屏幕或聲控裝置；該警示單元包括喇叭、蜂鳴器或 微型馬達。本實用新型所述的半導體裝置測試系統(tǒng)，該測試機預先設 定測試排程或讀取該第三存儲器單元所儲存的觀試朝M呈信息， 或通過該無線傳輸單元自外部資源下載測試排程信息；根據該 第三存儲器單元內的測試排程信息，該警示單元發(fā)出該通知信 息，以進行該測試程序；根據該第三存儲器單元內的測試排程 信息以及使用者操作權限，該觀'J試機通過該第三紅外線傳輸單 元識別欲進行測試的該測試臺。本實用新型亦揭露一種半導體裝置測試系統(tǒng)，包括 一測 試機，控制半導體裝置測試系統(tǒng)的操作； 一測試臺，無線地接 收測試機所傳送的測試信息，且根據測試信息，對待測的一半 導體裝置執(zhí)行一測試程序，并將測試結果無線地傳送至測試機。 其中上述測試機包括 一第三控制單元，用以控制測試機的操 作； 一第三紅外線傳輸單元，耦合至第三控制單元，用以無線 地傳送測試信息至測試臺，或無線地*接收自測試臺所傳送的測 試結果； 一無線傳輸單元，耦合至第三控制單元，以提供測試 機與外部基地臺之間的傳輸接口 ； 一第三存儲器單元，耦合至第三控制單元，以儲存第三控制單元用以執(zhí)行的數據或軟件；一輸入單元，耦合至第三控制單元，^是供測試機一輸入接口 ； 一警示單元，耦合至第三控制單元，于一預設狀態(tài)時，發(fā)出一 通知信息；以及一顯示單元，耦合至第三控制單元，以提供測 試機的顯示功能。本實用新型所述的半導體裝置測試系統(tǒng)，還包括 一 第 一 控 制器，電性連接該測試臺，以接收該測試信息；以及一或多個 第二控制器，電性連接該測試臺，以控制該測試臺的測試程序， 每一個該第二控制器對應一個或多個待測的該半導體裝置；其 中該第 一 控制器以紅外線方式廣播該測試信息至 一 個或多個該 第二控制器，且以紅外線方式接收自該第二控制器所傳送的該 測試結果。本實用新型所述的半導體裝置測試系統(tǒng)，該測試機預先設 定測試排程或讀取該第三存儲器單元所儲存的測試排程信息， 或通過該無線傳輸單元自外部資源下載測試排程信息；根據該 第三存儲器單元內的測試排程信息，該警示單元發(fā)出該通知信 息，以進行該測試程序；根據該第三存儲器單元內的測試排程 信息以及使用者操作權限，該測試機通過該第三紅外線傳輸單 元識別欲進行測試的該測試臺。本實用新型所述的半導體裝置測試系統(tǒng)，該測試機為可攜 式裝置；該半導體裝置包括半導體晶圓上的未切割的晶粒；該 測試臺包括一探針卡，用以測試該半導體裝置。本實用新型所述的半導體裝置測試系統(tǒng)，該第 一 控制器包 括 一第一控制單元，用以控制該第一控制器的操作； 一第一 紅外線傳輸單元，耦合至該第一控制單元，用以無線地傳送該 測試信息至一個或多個該第二控制器，或無線地接收自 一個或 多個該第二控制器所傳送的該測試結果； 一第一存儲器單元， 耦合至該第一控制單元，以儲存該第一控制單元用以執(zhí)行的數據或軟件； 一第一輸入/輸出單元，耦合至該第一控制單元，提 供該第 一控制器與該測試臺之間的實體輸入/輸出接口 。本實用新型所述的半導體裝置測試系統(tǒng)，該第二控制器包括 一第二控制單元，用以控制該第二控制器的操作； 一第二 紅外線傳輸單元，耦合至該第二控制單元，用以無線地傳送該 測試結果至該第一控制器，或無線地接收自該第一控制器所傳 送的該測試信息； 一第二存儲器單元，耦合至該第二控制單元， 以儲存該第二控制單元用以執(zhí)行的數據或軟件； 一第二輸入/ 輸出單元，耦合至該第二控制單元，提供該第二控制器與該半 導體裝置之間的實體輸入/輸出接口 。本實用新型可有效提高測試品質，提升測試效率。


圖l根據本實用新型較佳實施例，為本實用新型的半導體裝 置測試系統(tǒng)的示意圖。圖2根據本實用新型的較佳實施例，為測試臺的方塊圖。 圖3根據本實用新型的較佳實施例，為第 一控制器的方塊圖。圖4根據本實用新型的較佳實施例，為第二控制器的方塊圖。圖5根據本實用新型的較佳實施例，為測試機的方塊圖。
具體實施方式
本實用新型將配合其較佳實施例與附圖詳述于下。應可理 解，本實用新型中的較佳實施例僅用以說明，而非用以限定本 實用新型。此外，除文中的較佳實施例外，本實用新型亦可廣 泛應用于其他實施例，而應以本實用新型的權利要求書所界定的范圍為準。根據較佳實施例，圖1為本實用新型的半導體裝置測試系統(tǒng)IOO的示意圖。半導體裝置測試系統(tǒng)100包括測試機10與測試臺 20。測試機10可用于測試任何合適的半導體裝置，例如，未切 割的半導體晶圓的半導體晶?；蛞逊指罹Я?已封裝或未封 裝)，亦可將分割晶粒組裝成為模塊，接受測試。于較佳實施例， 測試機10為 一可攜式裝置，通過傳輸^各徑12與測試臺20通訊， 以傳遞信息。上述傳輸路徑12包括紅外線傳輸路徑，亦可為其 他實體或無線傳輸方式。上述信息一般包括數據信號、地址信 號、控制信號、狀態(tài)信號、通過測試機10而產生的測試信號以 及待測晶粒所產生的回應信號。其中測試程序可包括電氣特性 測試或晶圓測試(wafer probe)。下面敘述測試系統(tǒng)100的操作。測試機10產生測試信息，將 測試信息通過傳輸路徑12傳送至測試臺2 0,以執(zhí)行測試程序。 探針卡22的探針24接觸至置于平臺26的晶圓28。平臺26可支撐 及移動晶圓28。晶圓28具有多個待測的晶粒30。測試臺20通過 探針卡22的探針24將測試信息提供至晶圓28的晶粒30,并接收 晶粒3 0所反應的信號。上述晶粒3 0可為任何類型的集成電路芯 片，包括但不限于存儲器芯片、微處理器或微控制器、信號處 理器、模擬芯片、專用集成電路(ASIC)、數字邏輯電路等。第一控制器32,具有紅外線傳輸模塊，通過連接器14、傳 輸路徑12,耦合至測試機IO。測試才幾10所提供的用以測試晶圓 28的晶粒30的測試信息，通過傳輸路徑12提供至第 一控制器32; 而多個晶粒30經測試后，產生的回應數據，亦通過第一控制器 32傳送至測試機10。探針卡22包括多個第二控制器34,亦具有紅外線通訊模塊， 因此，第一控制器32能將自測試機10所接收的測試信息，利用紅外線方式傳播至多個第二控制器3 4,上述測試信息再經由多 個第二控制器34，通過探針卡22內的導電線路(未顯示)電性傳 送至晶粒30。而晶粒30產生的回應數據同樣經由第二控制器34、 第 一 控制器3 2以及傳輸路徑12至測試機10 。多個第二控制器3 4分別控制晶粒3 0的測試程序，每 一 個第 二控制器34可對應一個或多個晶粒30。第一控制器32通過多個 第二控制器34，于第一控制器32與測試機10之間，建立一個具 有彈性的擴充傳輸接口。試舉例說明之，測試機10與測試臺20 之間的傳輸通道為一固定數目，因此測試機10僅能同時測試一 固定數目的晶粒。通過變更第一控制器32與第二控制器34之間 的傳輸接口，以及第二控制器34的數目，毋需改變連接至測試 機10的傳輸通道數目的情況下可增加晶粒3 0單位時間的測試數 量。圖2根據本實用新型的較佳實施例，為測試臺2 0的方塊圖。 測試臺20包括第一控制器32、多個第二控制器34、測試單元36 以及輸入/輸出單元38。第一控制器32控制測試臺20的操作。第 一控制器32通過紅外線傳輸，傳送信息至第二控制器34,以控 制多個第二控制器34的操作。第二控制器34可對應一個或多個 待測晶粒，將所接收的測試指令或信息傳送至測試單元3 6以進 行測試程序。測試單元36接收上述測試指令，將對待測物執(zhí)行 測試程序，并將產生的測試結果傳送至第二控制器34。多個第 二控制器3 4將接收的測試結果以紅外線方式傳送至第 一 控制器 32。第一控制器32將測試結果通過輸入/輸出單元38，傳送至外 部的測試才幾。于4交佳實施例，上述測試單元36包括探針卡。圖3根據本實用新型的較佳實施例，為第 一控制器32的方塊 圖。其第一控制器32可將其控制器內的多個功能整合成一個集 成電路或由多個集成電路實現。第一控制器32包括紅外線傳輸單元322、控制單元324、存儲器單元326以及輸入/輸出單元328。 紅外線傳輸單元322可無線地傳送紅外線的測試信號至多個第 二控制器34;以及無線地接收由多個第二控制器34所傳送的測 試結果?？刂茊卧?24控制第一控制器32的操作?？刂茊卧?24 可包括在軟件控制下運作的微處理器，亦可包括固定線路的邏 輯電路，或上述兩者的組合。存儲器單元326為儲存控制單元324 用以執(zhí)行的數據及/或軟件的存儲器。輸入/輸出單元328用以提 供第 一 控制器3 2與測試臺2 0間的實體線路輸入或輸出接口 。圖4根據本實用新型的較佳實施例，為第二控制器34的方塊 圖。于較佳實施例，第二控制器34可為一紅外線傳輸的控制模 塊，其可將其控制器內的多個功能整合成一個集成電路或由多 個集成電路實現。第二控制器34包括紅外線傳輸單元342、控制 單元344、存儲器單元346以及探針輸入/輸出單元348。紅外線 傳輸單元342可將測試結果通過紅外線無線地傳送至第一控制 器32;以及無線地接收由第一控制器32所傳送的測試信號?？?制單元344控制第二控制器34的操作?？刂茊卧?44可包括在軟 件控制下運作的微處理器，亦可包括固定線路的邏輯電路，或 上述兩者的組合。存儲器單元346為儲存控制單元344用以執(zhí)行 的數據及/或軟件的存儲器。探針輸入/輸出單元3 4 8為探針2 4與 第二控制器3 4之間的信號輸入或輸出接口 。圖5根據本實用新型的較佳實施例，為測試機10的方塊圖。 測試機10包括無線傳輸單元102、紅外線傳輸單元103、控制單 元104、存儲器單元106、輸入單元108、警示單元IIO、顯示單 元112。無線傳輸單元102用于傳送與接收測試機10與外部基地 臺(base station)(未顯示)之間的無線信號。紅外線傳輸單元103 用于傳送與接收測試機10與測試臺20間的紅外線信號?？刂茊?元104控制測試機10的操作。控制單元104可包括在軟件控制下運作的4效處理器，亦可包括固定線路的邏輯電路，或上述兩者的組合。存儲器單元106為儲存控制單元104用以執(zhí)行的數據及/ 或軟件的存儲器。輸入單元108是測試機10的輸入接口 。于較佳 實施例，輸入單元108包括鍵盤、觸碰屏幕或聲控裝置，等多種 輸入方式以輸入指令。警示單元110用以在一預設的狀態(tài)時，發(fā) 出通知信息，提醒測試機10的使用者。于較佳實施例，該警示 單元110包括喇叭、蜂鳴器或微型馬達，發(fā)出文字、音頻或振動 信號，通知使用者。顯示單元112用于提供顯示功能，于較佳實 施例，測試機10可利用圖形使用者界面(Graphical User Interface, GUI)，將使用者圖形方式顯示的操作界面顯示于顯 示單元112上，以提供人性化的操作方式。于較佳實施例，測試 機10包括一可攜式裝置，例如，移動終端。以下將描述本實用新型的半導體裝置測試系統(tǒng)IOO的操作。 使用者可預先設定測試排程或讀取測試機10內的存儲器單元 10 6所儲存的測試排程信息，或通過無線傳輸單元10 2下載測試 排程信息。另外，該測試機還可以預先設定測試排程。當到達 預定的排程日期及時間，警示單元110將發(fā)出通知信息至使用 者。隨后，根據上述測試排程信息，測試機10通過紅外線傳輸 單元103識別名炎進行測試的測試臺20 。每一 個測試臺20具有識別 碼，測試機10將識別符合測試排程的測試臺20,并建立傳輸接 口，以4更進行測試程序。測試才幾10辨識可4喿作的測試臺20,若 使用者符合操作權限及測試排程所載的信息，測試機10才能識 別，并操控符合測試排程的測試臺20。當測試機10識別符合的測試臺20,則先初始化測試臺20的 狀態(tài)，使測試臺20內的第一控制器32與多個第二控制器34狀態(tài) 一致，并建立傳輸協(xié)定，例如，分頻多工或分時多工方式，以設定第一控制器32與第二控制器34的傳輸?？芍付ㄒ粋€或多個 第二控制器34以對應第一控制器32。若測試臺20存在多個第一 控制器32,則每一個第 一個控制器32可在不同頻率或時間上指 派對應的第二控制器3 4傳輸。測試臺20設定后，測試機10傳送測試信息或指令，通過傳 輸路徑12至測試臺20進行測試程序。第 一控制器32接收測試信 息或指令后，將測試信息或指令廣播至對應的多個第二控制器 34。收到測試信息的第二控制器34通過探針卡22的探針24將測 試信息傳送至待測晶粒30，進行測試程序。經測試的晶粒3 0對上述測試行為產生回應的溯'j試結果，并 通過探針24、探針卡22的導電路徑(未顯示)，將上述測試結果 傳送至對應的第二控制器3 4 。接收晶粒3 0所回應的測試結果的 第二控制器3 4將該測試結果以紅外線方式傳送至第 一 控制器 32。通過傳輸路徑12,接收該測試結果的第一控制器32將該測 試結果傳送至測試機IO，并將其顯示于測試機10的顯示單元112 上。本實用新型的測試系統(tǒng)利用無線傳輸方式測試半導體裝 置，可增加原本測試臺本身資源所限制的測試數目。通過變更 第一控制器與第二控制器之間的傳輸接口 ，以及第二控制器的 數目，毋需改變連接至測試機的傳輸通道數目的情況下可增加 半導體裝置單位時間的觀'J試數量。若測試臺的輸出/輸入接口僅 具有12個傳輸通道(6個輸入通道與6個輸出通道)，因此，測試 機每次僅能測試6個半導體裝置。通過變更輸入通道與輸出通道 的比例，即可增加測試機每單位時間的測試數目。將輸入通道 變更為l個，如此，其余l(xiāng)l個傳輸通道可作為輸出通道之用。第 一控制器接收此輸入通道所傳送的測試信息，并將其以紅外線 方式廣播至多個第二控制器，以進行測試程序。多個第二控制器將測試結果傳送第一控制器，自多個第二控制器所接收的測 試結果可經由其余l(xiāng)l個輸出通道傳輸至測試機，因此，增加了 測試機單位時間的測試數目。再者，本實用新型利用紅外線傳輸方式傳輸測試信息，利 用光線傳輸測試信息，在高頻并無調變傳輸信號，將減少一般無線傳輸時所導致的射頻干擾或天線效應(antenna effect),有效 提高測試品質。特別對于容易產生射頻干擾的待測產品，例如， 射頻(RF)芯片，將助于改善測試品質。另外，本實用新型的測試^/L,結合一^L測試才幾與移動終端， 較一般測試機方便使用，使用者可隨身攜帶，以增加使用者的 機動性。且可利于與其他測試人員隨時通訊，并利用移動終端 傳輸測試信息，便利產線測試人員間的溝通。以上所述僅為本實用新型較佳實施例，然其并非用以限定 本實用新型的范圍，任何熟悉本項技術的人員，在不脫離本實 用新型的精神和范圍內，可在此基礎上做進一步的改進和變化， 因此本實用新型的保護范圍當以本申請的權利要求書所界定的范圍為準。附圖中符號的簡單說明如下:10測試機12傳輸路徑14連接器20測試臺22探針卡24探針26.平臺28:晶圓30: 晶粒32:第一控制器34:第二控制器36:測試單元38:輸入/輸出單元100:測i式系統(tǒng)102:無線傳輸單元103:紅外線傳輸單元104:控制單元106:存儲器單元108:輸入單元110:警示單元112:顯示單元322:紅外線傳輸單元324:控制單元326:存儲器單元328:輸入/輸出單元342:紅外線傳輸單元344:控制單元346:存儲器單元348:寺笨針輸入/輸出單元。
權利要求1.一種半導體裝置測試系統(tǒng)，其特征在于，包括一測試機，控制該半導體裝置測試系統(tǒng)的操作；一測試臺，通過一傳輸路徑，接收該測試機所傳送的測試信息，且根據該測試信息，對待測的一半導體裝置執(zhí)行一測試程序，并將測試結果傳送至該測試機；一第一控制器，電性連接該測試臺，以接收該測試信息；一或多個第二控制器，電性連接該測試臺，以控制該測試臺的測試程序，每一個該第二控制器對應一個或多個待測的該半導體裝置；以及其中該第一控制器以紅外線方式廣播該測試信息至一個或多個該第二控制器，且以紅外線方式接收自該第二控制器所傳送的該測試結果。
2. 根據權利要求l所述的半導體裝置測試系統(tǒng)，其特征在 于，該測試機為可攜式裝置；該半導體裝置包括半導體晶圓上 的未切割的晶粒；該測試臺包括一探針卡，用以測試該半導體 裝置；該傳輸路徑包括紅外線傳輸路徑。
3. 根據權利要求l所述的半導體裝置測試系統(tǒng)，其特征在 于，該第一控制器包括一第一控制單元，用以控制該第一控制器的操作；一第一紅外線傳輸單元，耦合至該第一控制單元，用以無 線地傳送該測試信息至一個或多個該第二控制器，或無線地接 收自 一個或多個該第二控制器所傳送的該測試結果；一第一存儲器單元，耦合至該第一控制單元，以儲存該第 一控制單元用以執(zhí)行的數據或軟件；一第一輸入/輸出單元，耦合至該第一控制單元，提供該第 一控制器與該測試臺之間的實體輸入/輸出接口 。
4. 根據權利要求l所述的半導體裝置測試系統(tǒng)，其特征在于，該第二控制器包括一第二控制單元，用以控制該第二控制器的操作；一第二紅外線傳輸單元，耦合至該第二控制單元，用以無 線地傳送該測試結果至該第一控制器，或無線地接收自該第一 控制器所傳送的該測試信息；一第二存儲器單元，耦合至該第二控制單元，以儲存該第 二控制單元用以執(zhí)行的數據或軟件；一第二輸入/輸出單元，耦合至該第二控制單元，提供該第二控制器與該半導體裝置之間的實體輸入/輸出接口 。
5. 根據權利要求l所述的半導體裝置測試系統(tǒng)，其特征在 于，該測試才凡包4舌一第三控制單元，用以控制該測試機的操作；一第三紅外線傳輸單元，耦合至該第三控制單元，用以無 線地傳送該測試信息至該測試臺，或無線地接收自該測試臺所 傳送的該測試結果；一無線傳輸單元，耦合至該第三控制單元，用以提供該測 試才幾與外部基地臺之間的傳輸沖妻口 ；一第三存儲器單元，耦合至該第三控制單元，以儲存該第 三控制單元用以執(zhí)行的數據或軟件；一輸入單元，耦合至該第三控制單元，提供該測試機一輸 入接口 ；一警示單元，耦合至該第三控制單元，于一預設狀態(tài)時， 發(fā)出一通知信息；以及一顯示單元，耦合至該第三控制單元，以提供該測試機的 顯示功能。
6. 根據權利要求5所述的半導體裝置測試系統(tǒng)，其特征在 于，該輸入單元包括鍵盤、觸碰屏幕或聲控裝置；該警示單元包括喇叭、蜂鳴器或微型馬達。
7. 根據權利要求5所述的半導體裝置測試系統(tǒng)，其特征在 于，該測試機預先設定測試排程或讀取該第三存儲器單元所儲 存的測試排程信息，或通過該無線傳輸單元自外部資源下載測試排程信息；根據該第三存儲器單元內的測試排程信息，該警 示單元發(fā)出該通知信息，以進行該測試程序；才艮據該第三存儲 器單元內的測試排程信息以及使用者操作權限，該測試機通過 該第三紅外線傳輸單元識別欲進行觀"試的該測試臺。
8. —種半導體裝置測試系統(tǒng)，其特征在于，包括 一測試機，控制該半導體裝置測試系統(tǒng)的操作； 一測試臺，無線地-接收該測試^^所傳送的測試信息，且才艮據該測試信息，對待測的一半導體裝置執(zhí)行一測試程序，并將 測試結果無線地傳送至該測試才幾；以及 其中該測試才幾包括一第三控制單元，用以控制該測試機的操作；一第三紅外線傳輸單元，耦合至該第三控制單元，用 以無線地傳送該測試信息至該測試臺，或無線地接收自該測試 臺所傳送的該測試結果；一無線傳輸單元，耦合至該第三控制單元，以提供該 測試機與外部基地臺之間的傳輸接口 ；一第三存儲器單元，耦合至該第三控制單元，以儲存 該第三控制單元用以執(zhí)行的數據或軟件；一輸入單元，耦合至該第三控制單元，提供該測試機 一輸入接口 ；一警示單元，耦合至該第三控制單元，于一預設狀態(tài) 時，發(fā)出一通知4言息；以及一顯示單元，耦合至該第三控制單元，以提供該測試機的顯示功能。
9. 根據權利要求8所述的半導體裝置測試系統(tǒng)，其特征在 于，還包括一第一控制器，電性連接該測試臺，以接收該測試 信息；以及一或多個第二控制器，電性連接該測試臺，以控制 該測試臺的測試程序，每一個該第二控制器對應一個或多個待 測的該半導體裝置；其中該第 一控制器以紅外線方式廣播該測 試信息至一個或多個該第二控制器，且以紅外線方式接收自該 第二控制器所傳送的該測試結果。
10. 根據權利要求8所述的半導體裝置測試系統(tǒng)，其特征在 于，該測試機預先設定測試排程或讀取該第三存儲器單元所儲 存的測試排程信息，或通過該無線傳輸單元自外部資源下載測 試排程信息；根據該第三存儲器單元內的測試排程信息，該警 示單元發(fā)出該通知信息，以進行該測試程序；根據該第三存儲 器單元內的測試排程信息以及使用者操作權限，該測試機通過 該第三紅外線傳輸單元識別欲進行測試的該測試臺。
11. 根據權利要求8所述的半導體裝置測試系統(tǒng)，其特征在 于，該測試機為可攜式裝置；該半導體裝置包括半導體晶圓上 的未切割的晶粒；該測試臺包括一探針卡，用以測試該半導體 裝置。
12. 根據權利要求9所述的半導體裝置測試系統(tǒng)，其特征在 于，該第一控制器包括一第一控制單元，用以控制該第一控制器的操作； 一第一紅外線傳輸單元，耦合至該第一控制單元，用以無 線地傳送該測試信息至一個或多個該第二控制器，或無線地接 收自 一個或多個該第二控制器所傳送的該測試結果；一第一存儲器單元，耦合至該第一控制單元，以儲存該第 一控制單元用以執(zhí)行的數據或軟件；一第一輸入/輸出單元，耦合至該第一控制單元，提供該第 一控制器與該測試臺之間的實體輸入/輸出接口 。
13.根據權利要求9所述的半導體裝置測試系統(tǒng)，其特征在 于，該第二控制器包括一第二控制單元，用以控制該第二控制器的操作；一第二紅外線傳輸單元，耦合至該第二控制單元，用以無 線地傳送該測試結果至該第一控制器，或無線地接收自該第一 控制器所傳送的該測試信息；一第二存儲器單元，耦合至該第二控制單元，以儲存該第 二控制單元用以執(zhí)行的數據或軟件；一第二輸入/輸出單元，耦合至該第二控制單元，提供該第 二控制器與該半導體裝置之間的實體輸入/輸出接口 。
專利摘要本實用新型揭露一種半導體裝置測試系統(tǒng)，包括測試機、測試臺，以及多個控制器，以控制測試程序的操作。其中，測試機控制半導體裝置測試系統(tǒng)的操作；測試臺通過一傳輸路徑，接收該測試機所傳送的測試信息，且根據該測試信息對待測的一半導體裝置執(zhí)行一測試程序，并將測試結果傳送至該測試機；一第一控制器，電性連接該測試臺，以接收該測試信息；一或多個第二控制器，電性連接該測試臺，以控制該測試臺的測試程序，每一個該第二控制器對應一個或多個待測的該半導體裝置。上述控制器之間的傳輸利用紅外線傳輸方式。本實用新型可有效提高測試品質，提升測試效率。
文檔編號H01L21/66GK201368906SQ20092000665
公開日2009年12月23日 申請日期2009年3月20日 優(yōu)先權日2009年3月20日
發(fā)明者洪贊富 申請人:普誠科技股份有限公司