專利名稱：粘合薄膜位置檢測器以及粘合薄膜粘貼裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及作為半導(dǎo)體基板、液晶顯示裝置用的玻璃基板 等各種基板的表面處理的一個工序、將形狀對應(yīng)于基板形狀的 粘合薄膜粘貼在基板表面上時所用的粘合薄膜位置檢觀'J器以及 粘合薄膜粘貼裝置。
背景技術(shù)：
以往，公開有用于將形狀對應(yīng)于基板形狀的粘合薄膜粘貼 在各種基板表面上的各種薄膜粘貼裝置。例如，在日本國特開
平7-195527號公報上公開了下述內(nèi)容借助薄膜輸送部件輸送 粘貼于透明基帶上的有色的粘合薄膜，在達(dá)到一定位置時利用 薄膜檢測機(jī)構(gòu)進(jìn)行檢測。該薄膜檢測機(jī)構(gòu)根據(jù)其檢測結(jié)果停止 輸送基帶，或在該停止位置檢測粘合薄膜與基板的相對位置以 及相對角度的偏差。之后，補(bǔ)正該位置偏差，對基板和基帶進(jìn) 行同步輸送，從而將在帶折返端自基帶不斷地剝離下的粘合薄 膜粘貼在基板表面上。
在上述公報所述的粘合薄膜粘貼裝置的薄膜檢測機(jī)構(gòu)中， 在輸送薄膜供給帶的期間、利用反射型光傳感器來檢測粘合薄 膜的存在。并且，根據(jù)粘合薄膜的尺寸利用另一個反射型光傳 感器、在檢測出粘合薄膜的后端緣的時刻停止輸送薄膜供給帶， 將該停止位置視為規(guī)定的粘貼位置。
另外，采用CCD照相機(jī)作為用于檢測粘合薄膜的位置偏差 的檢測部件。在停止了薄膜供給帶之后，利用CCD照相機(jī)拍攝 有色的粘合薄膜，領(lǐng)'J量從預(yù)先設(shè)定的基準(zhǔn)線^ ij粘合薄膜的端面 的距離，檢測位置偏差。但是，在專利文獻(xiàn)l所公開的技術(shù)中，仍然存在下述無法 解決的問題點。在上述文獻(xiàn)所公開的粘合薄膜粘貼裝置中，在粘合薄膜由 透明、半透明的薄膜構(gòu)成并具有透光性的情況下，難以利用反 射型光傳感器等光學(xué)傳感器穩(wěn)定地檢測粘合薄膜。即、由于基 帶是透明的，因此若粘貼在該基帶上的粘合薄膜也是透明或半 透明的話，則無法利用光傳感器識別來自基帶的光的反射量與 來自粘合薄膜的光的反射量的差異。因而，存在無法將粘合薄 膜穩(wěn)定地配置在粘貼位置上的問題。另外，在上述文獻(xiàn)中，是利用CCD照相機(jī)來檢測位置偏差 的，但在粘合薄膜是透明或淺色的情況下，也難以利用該檢測 方法檢測粘合薄膜的端面。由于不能清楚地識別透明基帶與透 明或淺色的粘合薄膜之間的深淺差異，因此無法檢測粘合薄膜 的端面。從而不能測量自基準(zhǔn)線到粘合薄膜的端面的距離，無 法檢測粘合薄膜的準(zhǔn)確位置。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于，提供無論粘合薄膜以及基膜有無顏 色、或無論所帶顏色的種類、深淺乃至透明度如何、均可以高 精度地將粘合薄膜粘貼在基板上的粘合薄膜位置檢測器以及粘 合薄膜粘貼裝置。本發(fā)明為了實現(xiàn)上述目的，采用下述構(gòu)成。 一種粘合薄膜位置檢測器，其中， 上述粘合薄膜位置檢測器包括下述構(gòu)成部件 照明部件，其自斜向?qū)ρ鼗ど系拈L度方向以規(guī)定間隔粘 貼在上述基膜上的規(guī)定形狀的粘合薄膜的端部照射光；板，其為黑色，設(shè)在被上述照明部件照射光的上述基膜的下表面上；調(diào)光部件，其用于調(diào)節(jié)上述照明部件的光的強(qiáng)度； 照明角度調(diào)節(jié)部件，其用于調(diào)節(jié)上迷照明部件的光的照射 角度；拍攝部件，其相對于上述粘合薄膜設(shè)在垂直上方；自上述照明部件射出的光在上述粘合薄膜的端部發(fā)生漫反射，利用上述拍攝部件接收被漫反射了的光，從而檢測粘合薄膜的位置。采用本發(fā)明的粘合薄膜位置檢測器，將光斜向照射在粘合 薄膜的端部上，從而拍攝自粘合薄膜的端部發(fā)生了漫反射的光。 結(jié)果能夠高精度地檢測粘合薄膜的端部的位置。另外，在上述檢測器中，作為拍攝部件的一個優(yōu)選例，可 以舉出CCD照相機(jī)。通過利用CCD照相機(jī)進(jìn)行拍攝，能夠以畫 面的點單位測量來自粘合薄膜的端部的反射光。即、能夠準(zhǔn)確 地測量粘合薄膜的端面的位置。另外，作為照明部件的一個優(yōu)選例，可以舉出由中心頻率 不同的紅色、藍(lán)色、以及綠色的光構(gòu)成的照明部件。作為其具 體例，可以舉出3波長熒光燈或集合紅色、藍(lán)色和綠色的單波 長LED的光而成的部件。使照明部件具有紅色、藍(lán)色和綠色各 光的波長的峰值，從而無論粘合薄膜或基膜有無顏色、都能夠 檢測粘合薄膜的端部的位置。另外，粘合薄膜和基膜均可以是透明的。另外，粘合薄膜 和基膜均可以是無色的。這樣，即使在粘合薄膜和基膜是透明 或無色的那樣的、以往難以檢測的結(jié)構(gòu)中，利用本發(fā)明的檢測 器也能夠準(zhǔn)確地檢測粘合薄膜的端部的位置。作為板的一個優(yōu)選例，可以舉出無光澤的板。由于設(shè)在基 膜下表面上的黑色的板是沒有光澤的，因此能夠進(jìn) 一 步減小來自板的反射光所產(chǎn)生的影響。因而，能夠更明確地檢測粘合薄 膜的端部。另外，本發(fā)明為了實現(xiàn)上述目的，還采用下迷構(gòu)成。 一種粘合薄膜粘貼裝置，其中，上述粘合薄膜粘貼裝置包括下述構(gòu)成部件技術(shù)方案1所述的粘合薄膜位置檢測器；帶輸送部件，其用于輸送薄膜供給帶，該薄膜供給帶是將 上述粘合薄膜沿上述基膜的長度方向以規(guī)定間隔粘貼在上述基 膜上而得到的；薄膜剝離部件，其折返引導(dǎo)上述薄膜供給帶，并由其折返端將上述粘合薄膜自上述基膜剝離；粘貼輥，其能上下移動地配置在上述折返端的近旁位置上； 粘貼臺，其用于載置粘貼有上述粘合薄膜的基板； 控制部件，其根據(jù)自上述粘合薄膜位置檢測器輸出的粘合薄膜的位置信號停止輸送薄膜供給帶，且由該停止位置測量粘合薄膜的位置偏移，修正上述粘貼臺的位置。采用該結(jié)構(gòu)，根據(jù)利用粘合薄膜位置檢測器檢測出的粘合薄膜的位置信號停止輸送薄膜供給帶，并且測量粘合薄膜的位置偏差，從而修正粘貼臺的位置。因而，能夠準(zhǔn)確地將粘合薄膜粘貼在半導(dǎo)體基板上。另外，上述結(jié)構(gòu)也可以進(jìn)一步如下所述地構(gòu)成。例如，上述粘合薄膜檢領(lǐng)'J器檢領(lǐng)'J粘合薄膜輸送方向的前后端部中的至少后端部；上述控制部件根據(jù)預(yù)先設(shè)定的基準(zhǔn)位置信息與上述后端部的實測結(jié)果之間的偏差進(jìn)行位置的修正。另外，基板是半導(dǎo)體基板，其具有用于檢測該半導(dǎo)體基板的定位平面或凹口的^f立置的^r測部件；上述控制部件根據(jù)上述檢測部件的檢測結(jié)果修正半導(dǎo)體基 板的繞中'"、軸線的位置偏差。


圖示的是用于說明本發(fā)明而舉出的現(xiàn)階段較佳的若干實 施方式，但本發(fā)明并不限定于所圖示的那樣的結(jié)構(gòu)以及方法。 圖l是實施例的粘合薄膜位置檢測器的概略縱剖側(cè)視圖。圖2A 2B是拍攝在粘合薄膜的端部發(fā)生了漫反射的光的 說明圖。圖3A~ 3C是表示利用粘合薄膜位置檢測器而獲得的圖像 的圖。圖4是粘合薄膜粘貼裝置的概略主視圖。 圖5是粘合薄膜粘貼單元的概略主視圖。 圖6是表示粘合薄膜的折返部的概略立體圖。 圖7是表示粘合薄膜粘貼裝置的驅(qū)動系統(tǒng)的框圖。 圖8是表示實施例的粘合薄膜粘貼裝置的動作的流程圖。 圖9A 9E是通過拍攝來自薄膜供給帶的反射光而獲得的 圖像的說明圖。
具體實施方式
下面，參照

本發(fā)明的實施例。 另外，在本實施例中，以粘貼與半導(dǎo)體基板大致相同形狀 的粘合薄膜的情況為例進(jìn)行說明。 粘合薄膜位置檢測器如圖l所示，粘合薄膜位置檢測器l包括照明器7，其用 于向粘合薄膜5的后端部照射光，該粘合薄膜5粘貼在向圖l的 左方輸送的基膜3上；調(diào)光器9，其用于調(diào)整照明器7的光的色度以及照度；照明角度調(diào)整機(jī)構(gòu)8 (參照圖7),其用于調(diào)整自 照明器7照射的光的照射角度；CCD照相機(jī)ll,自照明器7射出 的光在粘合薄膜5的后端部發(fā)生漫反射，CCD照相機(jī)11用于拍 攝射向粘合薄膜5的垂直上方的反射光。另外，在基膜3的下表 面上設(shè)有黑色且沒有光澤的板13。 CCD照相機(jī)11相當(dāng)于本發(fā)明 中的拍攝部件。另外，薄膜供給帶6在基膜3上以規(guī)定的間隔呈單片式地粘 貼有粘合薄膜5，該粘合薄膜5預(yù)先形成為例如被粘附體的形狀 等恒定形狀。以預(yù)先設(shè)定的速度送出薄膜供給帶6，在利用位 置檢測器1檢測出被粘貼在基膜3上的粘合薄膜5時，停止輸送 薄膜供給帶6。參照圖2對利用了在粘合薄膜的端部發(fā)生的漫反射的粘合 薄膜的位置檢測的方法進(jìn)行詳細(xì)說明。如圖2A所示，自照明器7射出的光在基膜3、粘合薄膜5的 所有表面上發(fā)生正反射或漫反射。因此在本實施例中，將CCD 照相機(jī)11配置在粘合薄膜5的垂直上方，以使在粘合薄膜5的端 面發(fā)生了漫反射的光中的向粘合薄膜5的上部垂直方向反射的 光的部分射向CCD照相機(jī)ll。另外，向粘合薄膜的下部垂直方 向漫反射的光的部分、和在基膜3的表面上發(fā)生了反射的光也 射向CCD照相機(jī)ll。這樣，在粘合薄膜5的端面的各點上發(fā)生 了漫反射的光的部分中、只有沿著粘合薄膜的端面反射的部分 形成為在粘合薄膜5的端面的各點上發(fā)生了反射的光的集合， 從而射向CCD照相機(jī)ll。在此，在粘合薄膜5的端面之外的面上發(fā)生了正反射的光、 以與光的入射角度相同的角度反射，因此正反射光不會射入到 配置于粘合薄膜5的垂直上方的CCD照相機(jī)11中。同樣，在基 膜3的表面上正反射了的光也不會射入CCD照相機(jī)11中。根據(jù)上述理由，CCD照相機(jī)11所拍攝的光線是自粘合薄膜5的端面 垂直入射的光線，因此準(zhǔn)確地拍攝粘合薄膜5的端面的位置。另外，在粘合薄膜5以及基膜3的表面上的各點處進(jìn)行漫反 射的反射光大致均勻地分布在各薄膜的表面上，因此射入CCD 照相機(jī)11的所有像素中的是平均光量的光。根據(jù)上述來自基膜 3的光量、與在粘合薄膜5的端面漫反射而射入到C C D照相機(jī)11 中的光量的對比度、來明確地檢測出粘合薄膜5的端面。為了明確該對比度，在基膜3的下部設(shè)置黑色的板13。從 而，透過了基膜3的下表面的光被黑色的板13吸收，因此能夠 抑制來自板表面的反射光所產(chǎn)生的影響。此時，在黑色的板13 的表面沒有光澤的情況下，能夠進(jìn)一步減少光的反射。上述那樣獲得的圖像如圖3A所示。即、在黑色的圖像中以 白線明確地表示粘合薄膜5的端部。即、采用上述方法，能夠 只將粘合薄膜的端部以白色清楚地檢測出。為了獲得上述圖像， 將CCD照相機(jī)11的視場角為5mm 10mm。另夕卜，CCD照相機(jī) 11的分辨率為10jum 20pm。并且，CCD照相機(jī)11與粘合薄膜 5的距離設(shè)為30mm 50mm的范圍內(nèi)。另外，CCD照相機(jī)的倍 率設(shè)為IOO倍左右，以使來自粘合薄膜5的端部的漫反射光的白 線的寬度細(xì)到100pm以下。圖3B所示的圖像是在板13上利用了白色的板時獲得的圖 像。由于來自粘合薄膜5、基膜3以及板13的所有表面的反射光 射入CCD照相機(jī)11中，因此所獲得的圖像整體也較白。另外， 由于粘合薄膜5的端部的顏色深淺不明顯，因此無法;險測出粘 合薄膜5的端部的位置。根據(jù)該結(jié)果也可得知，板13最好為黑 色。另外，如圖2B所示，在粘合薄膜5的端面形成為斜面的情 況下、在粘合薄膜5的厚度較厚的情況下等獲得如圖3 C所示的圖像。在該情況下，由于粘合薄膜5的端部的深淺也不明顯，因此無法檢測出粘合薄膜5的端部的位置。
因此，調(diào)整用于調(diào)節(jié)照明器7的光強(qiáng)度的調(diào)光器9以及用于調(diào)整照明器7的光的照射角度的照明角度調(diào)整機(jī)構(gòu)8,可以獲得圖3 A所示的圖像。最好照明角度調(diào)整機(jī)構(gòu)8將照明器7相對于板13的角度調(diào)整為10°~ 45。。從而，能夠根據(jù)粘合薄膜5的厚度、粘合薄膜的端部的形狀來調(diào)節(jié)自照明器7照射的光的角度，從而能夠顯示最佳圖像，進(jìn)而檢測粘合薄膜5的位置。
在此，來自粘合薄膜5的端部的反射光的白色的亮度設(shè)為50cd(坎) 100cd(坎)。另外，圖像的黑色與白色的對比度設(shè)在1比100以上。調(diào)整光量以及調(diào)整光的入射角度，以能夠獲得上述圖像。
另外，照明器7在紅色、綠色、藍(lán)色3色上具有光的峰值波長。作為該種照明器，例如有集合紅色、綠色、藍(lán)色的單波長LED的光而成的照明器、3波長熒光燈等。另外，調(diào)光器9能夠調(diào)節(jié)照明器7的各色的光強(qiáng)度，因此能夠調(diào)節(jié)射向粘合薄膜5的光的強(qiáng)度。并且，能夠調(diào)整RGB的每個波長的光強(qiáng)度。從而，在粘合薄膜5以及基膜3是有色的情況下，也能夠利用調(diào)光器9調(diào)節(jié)自照明器7照射的光的各色的強(qiáng)度，從而能夠調(diào)節(jié)CCD照相機(jī)ll所拍攝的圖像的對比度。
即、通過強(qiáng)烈照射色度與粘合薄膜5以及基膜3所具有的顏色不同的光，從而能夠防止光被各薄膜吸收，對比度下降。
粘合薄膜粘貼裝置
接下來，參照圖4以及圖5詳細(xì)說明具有上述粘合薄膜位置檢測器1的粘合薄膜粘貼裝置21 。
在粘合薄膜粘貼裝置21中配置有粘貼單元23。該粘貼單元23垂直設(shè)在導(dǎo)軌25上，該導(dǎo)軌25架設(shè)在粘合薄膜粘貼裝置21的內(nèi)部，該粘貼單元2 3借助未圖示的驅(qū)動裝置可以沿圖4中箭頭A的方向進(jìn)行往返移動。在粘貼單元23中，以沿逆時針方向旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)配置有上述粘合薄膜位置檢測器l。另外，在粘貼單元23的下側(cè)i殳有驅(qū)動機(jī)構(gòu)(省略圖示)，該驅(qū)動機(jī)構(gòu)用于進(jìn)行載置有半導(dǎo)體基板27 (參照圖6)的粘貼臺29的升降以及對位、和其它設(shè)在粘合薄膜粘貼裝置21中的各種工件的移動等。另外，由于驅(qū)動才幾構(gòu)的結(jié)構(gòu)是公知的，因此在此省略其詳細(xì)i兌明。
另外，如圖5所示，在粘貼單元23中設(shè)有一對垂直設(shè)在導(dǎo)軌25上的主框31 (在圖5中，省略/人正面5見察時的多艮前側(cè)的主框31,只表示紙內(nèi)側(cè)的主框31)。另外，在各主框31的內(nèi)側(cè)均設(shè)有一對側(cè)框33 (在圖5中只表示紙內(nèi)側(cè)的側(cè)框33)。在各主框31之間可旋轉(zhuǎn)地支承有巻軸35。在該巻軸35上呈巻狀地巻繞有薄膜供給帶6。另外，在各主框31之間支承有巻軸39，該巻軸39如后述，用于巻繞自薄膜供給帶6剝離粘合薄膜5后的基膜3。
然后，在各側(cè)框33之間自薄膜供給帶6的上游側(cè)沿其輸送方向可以旋轉(zhuǎn)地配置有一對輸送輥45、導(dǎo)向輥47、導(dǎo)向輥49、一對牽引輥51和3個導(dǎo)向輥53、 55、 57。在此，輸送輥45的一個可以借助未圖示的電動才幾進(jìn)行驅(qū)動而^走轉(zhuǎn)。乂人而可以自巻軸35陸續(xù)放出薄膜供給帶6。輸送輥45相當(dāng)于本發(fā)明中的帶輸送部件。
在此，根據(jù)圖6說明薄膜供給帶6的結(jié)構(gòu)。圖6是將薄膜供給帶6放大后得到的示意圖。
在連續(xù)帶狀的由無色透明薄膜構(gòu)成的基膜3上沿其長度方向以規(guī)定間隔粘貼無色透明的粘合薄膜5，從而構(gòu)成薄膜供給帶6。
利用輸送輥45的旋轉(zhuǎn)自巻軸35陸續(xù)放出薄膜供給帶6。在利用配置在導(dǎo)向輥4 7的上部的粘合薄膜位置檢測器1來檢測薄 膜供給帶6上的粘合薄膜5的后端部時，停止輸送輥45的電動機(jī) 的旋轉(zhuǎn)，停止輸送薄膜供給帶6。在此，為了檢測粘合薄膜5的 后端部，以自薄膜供給帶6的上游側(cè)照射光的方式配置有照明 器7。為了拍攝自照明器7射出的光在粘合薄膜5的后端發(fā)生反 射而成的散射光，相對于粘合薄膜5垂直地配置CCD照相機(jī)11。 另外，在基膜3的背面與CCD照相機(jī)ll相對地配置有黑色且無 光澤的板13。
并且，在本實施例中，為了進(jìn)行粘貼在基膜3上的粘合薄 膜5在長度方向上的對位，也以檢測長度方向的位置偏差為目 的。
即、利用粘合薄膜位置檢測器1停止輸送薄膜供給帶6，并 且也檢測粘合薄膜5的基膜長度方向(Y方向)的位置偏差ZY。 然后，通過修正粘貼臺29的位置來對該位置偏差進(jìn)行位置補(bǔ) 正。另外，在將粘合薄膜5粘貼在基膜3上時，進(jìn)行基膜3和粘 合薄膜5的X方向的對位。因而，由于采用其它對位方法相對于 半導(dǎo)體基板沿X方向定位基膜3，因此不存在寬度方向(X方向) 上的位置偏差A(yù)X。
此外，薄膜供給帶6在形成為刀口狀的導(dǎo)向構(gòu)件43的前端 折返之后，被輸送向巻軸39。在此，通過使薄膜供給帶6在導(dǎo) 向構(gòu)件43的前端折返，能夠?qū)⒄澈媳∧?自基膜3剝離。導(dǎo)向構(gòu) 件43相當(dāng)于本發(fā)明中的薄膜剝離部件。
另外，如圖7所示，在導(dǎo)向構(gòu)件43的前端的近旁位置上可 上下移動地配置有粘貼輥59。在粘合薄膜5進(jìn)行粘貼動作時， 粘貼單元2 3沿導(dǎo)軌5向粘貼臺2 9側(cè)移動，從而如上所述將自基 膜3剝離了的粘合薄膜5配置在粘貼臺29上的半導(dǎo)體基板27的 粘貼開始位置上。然后，利用氣缸61使粘貼輥59向下方移動而按壓粘合薄膜5已剝離的前端部，從而隨著粘貼單元23的移動
將粘合薄膜5粘貼在半導(dǎo)體基板27的表面上。
另外，借助導(dǎo)向構(gòu)件4 3被剝掉粘合薄膜5后的基膜3借助一
對牽引輥51 (可以旋轉(zhuǎn)驅(qū)動下側(cè)的牽引輥51)而被牽引，由各
導(dǎo)向輥53、 55、 57引導(dǎo)而不斷地巻繞在巻軸39上。另外，與上
述輸送輥45、牽引輥51同步地旋轉(zhuǎn)驅(qū)動巻軸39。粘合薄膜的檢測方法
接下來，參照圖7、圖8、圖9A 圖9E說明上述那樣構(gòu)成的薄膜粘貼裝置21的驅(qū)動系統(tǒng)以及粘合薄膜的檢測方法。步驟S1
如圖7所示，在自操作面板63發(fā)出了粘貼開始的指示時，粘貼開始的信號被發(fā)送給主CPU65。然后，自主CPU65向電動機(jī)驅(qū)動器67發(fā)送動作信號。電動機(jī)驅(qū)動器67進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動使輸送輥45旋轉(zhuǎn)，從而輸送薄膜供給帶6。然后，粘貼在基膜3上的粘合薄膜5被輸送向?qū)驑?gòu)件43。此時，利用CCD照相機(jī)11拍攝的圖像經(jīng)過主CPU65被顯示在監(jiān)視器69上。來自粘合薄膜5的前端部的散射光的反射光的光量小于來自后端部的散射光，因此不能滿足預(yù)先設(shè)定的亮度、對比度的條件。即、照射在前端部上的光在粘合薄膜5的表面發(fā)生正反射，并且該光的一部分通過粘合薄膜5而減弱。因而，前端部的反射光的光量小于后端部上的反射光，因此利用主CPU65的運算處理無法檢測。在輸送該薄膜供給帶6時，顯示在監(jiān)視器69上的圖像如圖9A所示，畫面整體為黑色。在此，圖9A 圖9E的各圖像是顯示在監(jiān)視器69上的圖像，點劃線的線表示粘合薄膜5的基準(zhǔn)線71,雙點劃線表示電動機(jī)驅(qū)動器停止線7 3 。
在向?qū)驑?gòu)件47輸送薄膜供給帶6、將粘合薄膜5的后端部輸送到CCD照相機(jī)11的視場內(nèi)時，如圖9B所示，在監(jiān)視器69上顯現(xiàn)來自粘合薄膜5的后端部的反射光線75。歩驟S2
然后，如圖9C所示，主CPU65檢測出反射光線75已經(jīng)在電動機(jī)驅(qū)動器停止線73上通過。然后，自主CPU65向電動機(jī)驅(qū)動器6 7發(fā)送輸送輥4 5用的電動機(jī)驅(qū)動停止的信號。
歩驟S3
電動機(jī)驅(qū)動器67的電動機(jī)停止，從而輸送輥45停止。與此同步，牽引輥51和巻軸39停止，因此停止薄膜供給帶6的輸送。自CPU65發(fā)送電動機(jī)驅(qū)動停止的信號開始直到薄膜供給帶6停止，該薄膜供給帶6被一定程度地輸送。此時，預(yù)先設(shè)定電動機(jī)驅(qū)動器停止線7 3 ，以使來自停止了的粘合薄膜5的后端部的反射光射在基準(zhǔn)線71上。然后，如圖9D所示，在監(jiān)視器69上顯示在基準(zhǔn)線71上有來自粘合薄膜5的后端部的反射光線75。
此時，粘合薄膜5的后端部位于C C D照相機(jī)11進(jìn)行拍攝的視場內(nèi)的位置上，粘合薄膜5的前端部自基膜剝離，如圖6所示，自導(dǎo)向構(gòu)件43只露出規(guī)定長度。
歩驟S4
在薄膜供給帶6停止后，如圖9E所示，在監(jiān)視器69上顯示基準(zhǔn)線71與來自粘合薄膜5的后端部的反射光線75未重合、而是存在偏差的情況下，主CPU65通過計算監(jiān)視器69的點數(shù)而計算兩線的偏差」Y，從而計算位置偏差」Y。
歩驟S' 1
隨著上述薄膜供給帶6的輸送，半導(dǎo)體基板27自盒臺(省略圖示)被取出，供給在對準(zhǔn)器(aligner)(省略圖示)上。在對準(zhǔn)器上，進(jìn)行被搬入的半導(dǎo)體基板27的中心對位。
歩驟S' 2
完成對位的半導(dǎo)體基板27被載置在粘貼臺29上。歩驟S' 3
主CPU65根據(jù)粘合薄膜5的Y方向的偏差量z1Y的數(shù)據(jù)向 粘貼臺2 9發(fā)送位置修正信號，沿Y方向修正粘貼臺2 9的位置。 歩驟S5
粘貼單元23沿導(dǎo)軌5向粘貼臺29側(cè)移動，將自基膜3剝離下 的粘合薄膜5配置在粘貼臺2 9上的半導(dǎo)體基板2 7的粘貼開始位 置上。
歩驟S6
粘貼輥59由汽缸61驅(qū)動而進(jìn)一 步向下方移動乂人而按壓粘 合薄膜5的已剝離下的前端部，并且隨著粘貼單元23的移動， 輸送輥45、牽引輥51和巻軸39進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，從而將粘合薄膜5粘 貼在半導(dǎo)體基板27的表面上。
然后，在將粘合薄膜5粘貼在半導(dǎo)體基板27上時，重新再 開始薄膜供給帶6的輸送(步驟S1)。
采用上述那樣構(gòu)成的粘合薄膜粘貼裝置21，將光斜向照射 在粘合薄膜的端部，利用沿粘合薄膜的垂直方向設(shè)置的CCD照 相機(jī)ll拍攝自粘合薄膜5的端部發(fā)生了漫反射的反射光。由于 在粘合薄膜5的背景中設(shè)有黑色的板13,因此只是粘合薄膜5的 端部被反射光顯示成白色。根據(jù)該端部的線進(jìn)行粘合薄膜5的 定位。由于利用了來自粘合薄膜5的端部的反射光，因此無論 粘合薄膜5以及基膜3是否有色或無論顏色的深淺如何、均能夠 進(jìn)行準(zhǔn)確的定位。
另外，由于粘合薄膜5的位置檢測器1能夠不接觸粘合薄膜 5以及基膜3地檢測出粘合薄膜5的端部，所以不會損壞或污染 粘合薄膜5。因此，能夠在半導(dǎo)體基板27上粘貼干凈的粘合薄 膜5。
另外，由于能夠準(zhǔn)確地檢測粘合薄膜5的端部，因此能夠?qū)⒄澈媳∧?的位置測量誤差控制在500ium以內(nèi)。另外，在上述實施例的粘合薄膜粘貼裝置21中，由于檢測出粘合薄膜5的后端的位置偏差而進(jìn)行了位置補(bǔ)正之后，直接自粘合薄膜5的前端部將粘合薄膜5粘貼在半導(dǎo)體基板27上，因此能夠明顯減小粘貼在半導(dǎo)體基板27上的粘合薄膜5的粘貼誤差。
本發(fā)明并不限定于上述實施例，也可以實施下述變形。
(1) 在上述實施例中，只是檢測出了粘合薄膜5在基膜3長度方向上的位置偏差」Y，但也可以這樣實施本發(fā)明。
例如，配置另一臺粘合薄膜位置檢測器，檢測粘合薄膜5在基膜3寬度方向上的位置偏差」X。
(2) 在上述實施例中，針對利用粘合薄膜位置檢測器l檢測出的粘合薄膜的位置Z1Y、在粘貼臺上進(jìn)行位置補(bǔ)正，但也可以在對準(zhǔn)器上進(jìn)行位置補(bǔ)正。
(3) 在上述實施例中，并未檢測半導(dǎo)體基板的繞中心軸線的偏差，但也可以利用CCD照相機(jī)進(jìn)一步拍攝定位平面或凹口部分從而也檢測粘合薄膜的繞中'。軸線的偏差，在對準(zhǔn)器上進(jìn)行修正。
(4) 在上述實施例中，利用粘合薄膜粘貼裝置21的構(gòu)成零件的配置檢測粘合薄膜5的后端，但只要能夠確保粘合薄膜位置檢測器l的配置空間，也可以檢測粘合薄膜5的前端。
(5 )在上述實施例中，檢測每一張粘合薄膜5的位置偏差，但也可以用主C P U 6 5進(jìn)行控制而只定位第 一 張的粘合薄膜5 ，而對于第二張以后的粘合薄膜5,利用輸送輥4 5僅以粘合薄膜5彼此的間隔量送出薄膜供給帶6。
※本發(fā)明在不脫離其思想或本質(zhì)的情況下可以采用其他具體實施方式
實施，因而作為表示發(fā)明范圍的說明并非僅限于上述說明，而應(yīng)參照所附加的技術(shù)方案。
權(quán)利要求
1. 一種粘合薄膜位置檢測器，其中，上述粘合薄膜位置檢測器包括下述構(gòu)成部件照明部件，其自斜向?qū)ρ鼗ど系拈L度方向以規(guī)定間隔粘貼在上述基膜上的規(guī)定形狀的粘合薄膜的端部照射光；板，其為黑色，設(shè)在被上述照明部件照射光的上述基膜的下表面上；調(diào)光部件，其用于調(diào)節(jié)上述照明部件的光的強(qiáng)度；照明角度調(diào)節(jié)部件，其用于調(diào)節(jié)上述照明部件的光的照射角度；拍攝部件，其相對于上述粘合薄膜設(shè)在垂直上方；自上述照明部件射出的光在上述粘合薄膜的端部發(fā)生漫反射，利用上述拍攝部件接收被漫反射了的光，從而檢測粘合薄膜的位置。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的粘合薄膜位置檢測器，其中， 上述拍攝部件為CCD照相機(jī)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的粘合薄膜位置檢測器，其中， 上述照明部件由中心頻率不同的紅色、藍(lán)色、以及綠色的光構(gòu)成。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的粘合薄膜位置檢測器，其中， 上述照明部件是3波長熒光燈、或集合紅色、藍(lán)色和綠色的單波長LED光而成。
5. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的粘合薄膜位置檢測器，其中， 上述粘合薄膜和上述基膜是透明的。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的粘合薄膜位置檢測器，其中， 上述粘合薄膜和上述基膜是無色的。
7. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的粘合薄膜位置檢測器，其中， 上述板的表面是沒有光澤的。
8. —種粘合薄膜粘貼裝置，其中， 上述粘合薄膜粘貼裝置包括下述構(gòu)成部件 如權(quán)利要求1所述的粘合薄膜位置檢測器； 帶輸送部件，其用于輸送薄膜供給帶，該薄膜供給帶是將上述粘合薄膜沿上述基膜的長度方向以規(guī)定間隔粘貼在上述基 膜上而得到的；薄膜剝離部件，其折返引導(dǎo)上述薄膜供給帶，并由其折返 端將上述粘合薄膜自上述基膜剝離；粘貼輥，其能上下移動地配置在上述折返端的近旁位置上； 粘貼臺，其用于載置粘貼有上述粘合薄膜的基板；控制部件，其根據(jù)自上述粘合薄膜位置檢測器輸出的粘合 薄膜的位置信號停止輸送薄膜供給帶，且由該停止位置測量粘 合薄膜的位置偏移，修正上述粘貼臺的位置。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的粘合薄膜粘貼裝置，其中， 上述粘合薄膜檢測器檢測粘合薄膜輸送方向的前后端部中的至少后端部；上述控制部件根據(jù)預(yù)先確定的基準(zhǔn)位置信息與上述后端部 的實測結(jié)果之間的偏差進(jìn)行位置修正。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的粘合薄膜粘貼裝置，其中， 上述基板為半導(dǎo)體基板，其具有用于檢測該半導(dǎo)體基板的定位平面或凹口的位置的4全測部件；上述控制部件根據(jù)上述檢測部件的檢測結(jié)果修正半導(dǎo)體基 板的繞中心軸線的位置偏移。
全文摘要
本發(fā)明提供粘合薄膜位置檢測器以及粘合薄膜粘貼裝置。其中，將光斜向照射在粘合薄膜的端部。利用沿粘合薄膜的垂直方向設(shè)置的CCD照相機(jī)拍攝自該端部發(fā)生了漫反射的反射光。在粘合薄膜的背景中配置黑色的板，因此只是粘合薄膜的端部被反射光顯示成白色線狀。根據(jù)該端部的線定位粘合薄膜，由于利用了來自粘合薄膜的端部的反射光，因此無論粘合薄膜以及粘貼有粘合薄膜的基膜是否有色或無論顏色的深淺如何、均能夠進(jìn)行準(zhǔn)確的定位。
文檔編號H01L21/66GK101518949SQ20091011864
公開日2009年9月2日 申請日期2009年2月27日 優(yōu)先權(quán)日2008年2月29日
發(fā)明者山本雅之, 池田諭 申請人:日東電工株式會社