專利名稱：：感光性粘接劑樹脂組合物、粘接膜及光接收裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及感光性粘接劑樹脂組合物、粘接膜及光接收裝置。
背景技術(shù)：
：近年來，尋求一種在半導(dǎo)體晶片等上粘接感光性膜，并通過曝光、顯影而形成圖案后，能與玻璃等透明基板壓合的感光性膜(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。采用這樣的感光性膜時，構(gòu)圖后的感光性膜在半導(dǎo)體晶片與透明基板之間具有隔片的作用。就該隔片用的樹脂組合物而言，除要求能夠采用光刻法進(jìn)行構(gòu)圖外，還要求作為隔片能保持其形狀。另外，如上所述，由于隔片用樹脂組合物需經(jīng)過曝光、顯影的工序，因此，還要求具有優(yōu)良的顯影性。專利文獻(xiàn)1:JP特開2006—323089號公報，權(quán)利要求1權(quán)利要求20本發(fā)明的目的是提供一種，用于制造透明基板與安裝了半導(dǎo)體元件的基板之間的隔片的、顯影性優(yōu)良的感光性粘接劑樹脂組合物，及采用該樹脂組合物的粘接膜。另外，本發(fā)明的目的是提供一種，將透明基板與安裝了半導(dǎo)體元件的基板通過由上述感光性粘接劑樹脂組合物的固化物構(gòu)成的隔片加以接合而成的光接收裝置。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的可通過下述(1)(12)中記載的技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)。(1)一種感光性粘接劑樹脂組合物，其特征在于，該感光性粘接劑樹脂組合物含有具有羥基或羧基和(甲基)丙烯酰基的化合物(A);與上述具有羥基或羧基和(甲基)丙烯?；幕衔?A)進(jìn)行熱固化反應(yīng)的樹脂(B);具有(甲基)丙烯?；?、不具有羥基及羧基的化合物(C);酚醛樹脂或酚類(D);以及感光劑(E)。(2)按照(1)中記載的感光性粘接劑樹脂組合物，其中，上述具有羥基或羧基和(甲基)丙烯?；幕衔?A)為(甲基)丙烯?；男苑尤┣迤嵝头尤渲?。(3)按照(1)中記載的感光性粘接劑樹脂組合物，其中，上述具有羥基或羧基和(甲基)丙烯酰基的化合物(A)為用下述化學(xué)式(1)表示的(甲基)丙烯?；男噪p酚A，或下述通式(2)表示的酚醛清漆型雙酚A樹脂的羥基的一部分被下式(3)表示的基團(tuán)取代的(甲基)丙烯?；男苑尤┣迤嵝碗p酚A樹脂，OCH3IIIO—CH2—CH—CH2—O-C—C=CH2OH或者(1)=CH2式(2)中，n表示215的整數(shù);<formula>formulaseeoriginaldocumentpage6</formula>(4)按照(1)(3)中任意一項(xiàng)記載的感光性粘接劑樹脂組合物，其中，上述感光性粘接劑樹脂組合物中的上述酚醛樹脂或酚類(D)的含量為0.120質(zhì)量％。(5)按照(1)(4)中任意一項(xiàng)記載的感光性粘接劑樹脂組合物，其中，上述酚醛樹脂或酚類(D)為酚醛清漆型酚醛樹脂或苯酚單體。(6)按照(1)(5)中任意一項(xiàng)記載的感光性粘接劑樹脂組合物，其中，還含有填充材料(F)。(7)按照(6)中記載的感光性粘接劑樹脂組合物，其中，上述感光性粘接劑樹脂組合物中的上述填充材料(F)的含量為350質(zhì)量％。(8)按照(6)或(7)中記載的感光性粘接劑樹脂組合物，其中，上述填充材料(F)的平均粒徑為0.030.4(im。(9)按照(6)(8)中任意一項(xiàng)記載的感光性粘接劑樹脂組合物，其中，上述填充材料(F)為二氧化硅填料。(10)按照(1)(9)中任何一項(xiàng)記載的感光性粘接劑樹脂組合物，其中，與上述具有羥基或羧基和(甲基)丙烯?；幕衔?A)進(jìn)行熱固化反應(yīng)的樹脂(B)，是在25"C為固態(tài)的環(huán)氧樹脂與在25"C為液態(tài)的聚硅氧烷改性環(huán)氧樹脂的組合。(11)一種粘接膜，其特征在于，由基材膜與在所述基材膜的表面形成的粘接層構(gòu)成，上述粘接層為(1)(10)中任意一項(xiàng)記載的感光性粘接劑樹脂組合物。(12)—種光接收裝置，其特征在于，具有安裝了半導(dǎo)體元件的基板、與上述安裝了半導(dǎo)體元件的基板相對置的透明基板、及在上述透明基板與上述安裝了半導(dǎo)體元件的基板之間設(shè)置的隔片，上述隔片為(1)(11)中任意一項(xiàng)記載的感光性粘接劑樹脂組合物的固化物。按照本發(fā)明，能夠提供一種用于制造透明基板與安裝了半導(dǎo)體元件的基板之間的隔片的、顯影性優(yōu)良的感光性粘接劑樹脂組合物，采用該樹脂組合物制造的粘接膜及光接收裝置。另外，按照本發(fā)明，能夠提供一種將透明基板與安裝了半導(dǎo)體元件的基板通過由上述感光性粘接劑樹脂組合物的固化物構(gòu)成的隔片加以接合的光接收裝置。圖1為表示本發(fā)明的粘接膜使用方法的一實(shí)施方式的示意剖面圖;圖2為表示光接收裝置的示意剖面圖。附圖標(biāo)記的說明1光接收裝置9半導(dǎo)體元件集合體10支撐體11半導(dǎo)體元件12基底13透明基板14粘接膜15粘接層16基材膜17光接收部18切口具體實(shí)施例方式下面，對本發(fā)明的感光性粘接劑樹脂組合物、粘接膜及光接收裝置的優(yōu)選實(shí)施方式加以詳細(xì)說明。1.感光性粘接劑樹脂組合物本發(fā)明的感光性粘接劑樹脂組合物，其特征在于，含有具有羥基或羧基和(甲基)丙烯?；臉渲?A)(下面也稱作"化合物(A)");與上述具有羥基或羧基和(甲基)丙烯?；幕衔?A)進(jìn)行熱固化反應(yīng)的樹脂(B)(下面也稱作"化合物(B)");具有(甲基)丙烯酰基、不具有羥基或羧基的化合物(c)(下面也稱作"化合物(C)");酚醛樹脂或酚類(D)(下面也稱作"化合物(D)");以及感光劑(E)。特別是，通過含有酚醛樹脂或酚類(D)，在對感光性粘接劑樹脂組合物進(jìn)行曝光后，提高對堿顯影液的溶解性，從而使顯影性良好。在本發(fā)明中，(甲基)丙烯?；庵副；蚣谆；＿@里，丙烯酰基為<formula>formulaseeoriginaldocumentpage9</formula>甲基丙烯?；鶠?lt;formula>formulaseeoriginaldocumentpage9</formula>=CH2另外，在本發(fā)明的感光性粘接劑樹脂組合物中，通過化合物(A)為(甲基)丙烯?；男苑尤┣迤嵝头尤渲?，感光性粘接劑樹脂組合物中的酚性羥基的量增加，由此提高對堿顯影液的溶解性，使顯影性更加良好。本發(fā)明涉及的化合物(A)為具有羥基或羧基，并且具有(甲基)丙烯?；幕衔铩６?，化合物(A)只要是可溶于堿顯影液中，且具有與化合物(B)反應(yīng)的羥基或羧基，并且具有通過光及熱兩者進(jìn)行反應(yīng)的(甲基)丙烯?；幕衔锛纯?，沒有特別限制?；衔?A)的重均分子量為2007000、優(yōu)選為3005000。通過使化合物(A)的重均分子量處于上述范圍內(nèi)，化合物(A)對顯影液的溶解性提高，因此顯影性變得良好。還有，本發(fā)明的重均分子量，是采用GPC(凝膠滲透色譜法)測定，以聚苯乙烯換算值來得到。化合物(A)的1分子中的羥基或羧基的數(shù)量，優(yōu)選為125，特別優(yōu)選為220。通過使化合物(A)的1分子中的羥基或羧基數(shù)處于上述范圍內(nèi)，能夠使顯影性變得良好?；衔?A)的重均分子量/化合物(A)的羥基或羧基數(shù)的值，優(yōu)選為2003500、特別優(yōu)選為3002000。通過使化合物(A)的重均分子量/化合物(A)的羥基或羧基數(shù)的值處于上述范圍內(nèi)，提高化合物(A)對顯影液的溶解性，因此能夠使顯影性良好?；衔?A)的1分子中的(甲基)丙烯酰基數(shù)為140、優(yōu)選為230。通過使化合物(A)的1分子中的(甲基)丙烯?；鶖?shù)處于上述范圍內(nèi)，提高固化物的耐熱性。作為化合物(A)，具體的可以舉出，在對環(huán)氧樹脂的兩末端導(dǎo)入(甲基)丙烯?；傻?甲基)丙烯?；男原h(huán)氧樹脂的分子鏈中，通過該(甲基)丙烯?；男原h(huán)氧樹脂的分子鏈中的羥基與二元酸中的一個羧基以酯鍵結(jié)合，來導(dǎo)入該二元酸后形成的化合物(該化合物中的環(huán)氧樹脂的重復(fù)單元為1以上、導(dǎo)入分子鏈中的二元酸的數(shù)為1以上)，該化合物可通過如下方法得到，例如，首先，使將表氯醇與多元醇聚合得到的環(huán)氧樹脂的兩末端的環(huán)氧基與(甲基)丙烯酸反應(yīng)，由此得到在環(huán)氧樹脂的兩末端導(dǎo)入有(甲基)丙烯酰基的(甲基)丙烯?；男原h(huán)氧樹脂，接著，使所得(甲基)丙烯?；男原h(huán)氧樹脂的分子鏈中的羥基與二元酸酐反應(yīng)，由此與該二元酸的一個羧基形成酯鍵來得到該化合物。另外，作為化合物(A)，可以舉出使雙酚類的一個羥基，與具有環(huán)氧基和(甲基)丙烯?；幕衔锏沫h(huán)氧基反應(yīng)而得到的(甲基)丙烯?；男噪p酚類。另外，作為化合物(A)，可以舉出具有羧基及(甲基)丙烯酰基的(甲基)丙烯酸聚合物((甲基)丙烯酸的重復(fù)單元為2以上)。其中，從感光性粘接劑樹脂組合物的顯影性及固化后的耐熱性達(dá)到優(yōu)良平衡這點(diǎn)考慮，優(yōu)選(甲基)丙烯酰基改性雙酚類、(甲基)丙烯酰基改性酚醛清漆型酚醛樹脂、具有羧基及(甲基)丙烯酰基的(甲基)丙烯酸聚合物，特別優(yōu)選(甲基)丙烯酰基改性雙酚類、(甲基)丙烯酰基改性酚醛清漆型酚醛樹脂。另外，在本發(fā)明中，具有羧基及(甲基)丙烯酰基的丙烯酸共聚物，是指下式(4)表示的(甲基)丙烯酸聚合物中的酸基(一C0OH)的一部分，被下式(5)表示的基團(tuán)取代的化合物，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage10</formula>式(4)中，R:為氫原子或甲基，n為210的整數(shù);式(5)中，R3為苯環(huán)或環(huán)己烷環(huán)，m為l或2，n為02。還有，該具有羧基及(甲基)丙烯?；?甲基)丙烯酸聚合物的酸基的一部分也可變換成垸基酯或氫化垸基酯。上述具有羧基及(甲基)丙烯?；?甲基)丙烯酸聚合物為一例示，而未作特別限定。還有，本發(fā)明涉及的(甲基)丙烯?；男苑尤┣迤嵝头尤渲庵阜尤┣迤嵝头尤渲牧u基的一部分，被下式(3)表示的基團(tuán)取代的酚醛清漆型酚醛樹脂。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage11</formula>另外，在本發(fā)明中，對兩個以上的苯酚化合物通過亞甲基進(jìn)行結(jié)合而聚合的物質(zhì)，如酚醛清漆型酚醛樹脂，使用"樹脂"這個詞，而對未聚合的單體，則使用"酚類"這個詞。另外，在本發(fā)明中，酚醛清漆型酚醛樹脂是包含如下任意情況的總稱，即，構(gòu)成分子鏈的酚為像苯酚、甲酚等具有一個酚性羥基的酚類的情況；構(gòu)成分子鏈的酚為像雙酚A、雙酚F、兒茶酚、間苯二酚等具有兩個酚性羥基的酚類的情況；構(gòu)成分子鏈的酚為像鄰苯三酚等具有三個以上酚性羥基的酚類的情況；或者，為這些酚并用的酚類的情況。還有，在酚醛清漆型酚醛樹脂中，當(dāng)僅指苯酚(C6H5OH)的聚合物時，稱作酚醛清漆型酚醛樹脂(苯酚聚合物)。作為形成化合物(A)涉及的(甲基)丙烯酰基改性酚醛清漆型酚醛樹脂分子鏈的酚類，可舉出苯酚、甲酚、萘酚、對苯二酚、雙酚A、雙酚F、雙酚E、雙酚Z、雙酚AF、雙酚S、四甲基雙酚F、四甲基雙酚A、雙酚、二烯丙基雙酚A、芴酮雙酚、鄰苯三酚，其中，優(yōu)選苯酚、甲酚、雙酚F、雙酚A，從固化后的感光性粘接劑樹脂組合物的耐熱性及半導(dǎo)體裝置的可靠性達(dá)到優(yōu)良平衡這點(diǎn)考慮，優(yōu)選苯酚及雙酚A。對化合物(A)涉及的(甲基)丙烯?；男苑尤┣迤嵝头尤渲醋魈貏e限定，可以舉出通過使苯酚化合物與甲醛反應(yīng)得到的酚醛清漆型酚醛樹脂的羥基，與具有環(huán)氧基的(甲基)丙烯酸酯的環(huán)氧基進(jìn)行加成反應(yīng)而得到的樹脂。作為化合物(A)，從顯影性和對熱及對光具有高反應(yīng)性的平衡優(yōu)良這點(diǎn)考慮，特別優(yōu)選為下述化學(xué)式(1)表示的(甲基)丙烯?；男噪p酚A，或下述通式(2)表示的酚醛清漆型雙酚A樹脂的羥基的一部分被下式(3)表示的基團(tuán)取代的(甲基)丙烯?；男苑尤┣迤嵝碗p酚A樹脂，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage12</formula>式(2)中，n表示215的整數(shù)；<formula>formulaseeoriginaldocumentpage13</formula>化合物(A)既可單獨(dú)使用l種，也可2種以上組合使用。當(dāng)化合物(A)為(甲基)丙烯?；男苑尤┣迤嵝头尤渲瑫r，構(gòu)成樹脂骨架的酚類數(shù)為215、優(yōu)選為312，通過使構(gòu)成樹脂骨架的酚類數(shù)處于上述范圍內(nèi)，能夠提高顯影性。優(yōu)選化合物(A)的含量為上述感光性粘接劑樹脂組合物總量的1060質(zhì)量％，特別優(yōu)選為2050質(zhì)量％。通過使化合物(A)的含量處于上述范圍內(nèi)，能夠同時得到高顯影性和固化后感光性粘接劑樹脂組合物的耐熱性。還有，當(dāng)本發(fā)明的感光性粘接劑樹脂組合物為使構(gòu)成成分溶解或分散在溶劑中的清漆狀時，化合物(A)的含量是指相對于除了溶劑的部分的百分率，即，相對于化合物(A)(E)、根據(jù)需要添加的填充材料(F)及其他添加劑的合計總量的百分率。本發(fā)明涉及的化合物(B)，是與化合物(A)進(jìn)行熱固化反應(yīng)的樹脂，作為化合物(B)未作特別限定，可以舉出雙酚A環(huán)氧樹脂、雙酚F環(huán)氧樹脂等雙酚型環(huán)氧樹脂；酚醛清漆環(huán)氧樹脂、甲酚酚醛清漆環(huán)氧樹脂等酚醛清漆型環(huán)氧樹脂；聯(lián)苯型環(huán)氧樹脂、芪型環(huán)氧樹脂、三苯酚甲烷型環(huán)氧樹脂、烷基改性三苯酚甲垸型環(huán)氧樹脂、含三嗪核環(huán)氧樹脂、二環(huán)戊二烯改性苯酚型環(huán)氧樹脂等的環(huán)氧樹脂；脲(尿素)樹脂、三聚氰胺樹脂等具有三嗪環(huán)的樹脂；不飽和聚酯樹脂、雙馬來酰亞胺樹脂、聚氨酯樹脂、二烯丙基丁酸酯樹脂、硅樹脂、具有苯并噁嗪環(huán)的樹脂、氰酸酯樹脂等，這些既可單獨(dú)使用，也可混合使用。其中，從感光性粘接劑樹脂組合物的耐熱性及對被粘構(gòu)件的密合性達(dá)到優(yōu)良平衡這點(diǎn)考慮，優(yōu)選環(huán)氧樹脂?；衔?B)的重均分子量，優(yōu)選為20010000、特別優(yōu)選為3005000。通過使化合物(B)的重均分子量處于上述范圍內(nèi)，能夠同時得到熱固化時的高反應(yīng)性和對被粘接構(gòu)件的高粘接性。優(yōu)選化合物(B)的含量為上述感光性粘接劑樹脂組合物總量的1040質(zhì)量％，特別優(yōu)選為1535質(zhì)量％。通過使化合物(B)的含量處于上述范圍內(nèi)，可使固化后的感光性粘接劑樹脂組合物兼具耐熱性及韌性。還有，當(dāng)本發(fā)明的感光性粘接劑樹脂組合物為使構(gòu)成成分溶解或分散在溶劑中的清漆狀時，化合物(B)的含量是指相對于除了溶劑的部分的百分率，g卩，相對于化合物(A)(E)、根據(jù)需要添加的填充材料(F)及其他添加劑的合計總量的百分率?；衔?B)涉及的環(huán)氧樹脂中，從感光性粘接劑樹脂組合物的粘性等操作性及固化后的韌性優(yōu)良這點(diǎn)考慮，優(yōu)選在25"C為固態(tài)的雙酚型環(huán)氧樹脂與在25t:為液態(tài)的聚硅氧垸改性環(huán)氧樹脂的組合。還有，在本發(fā)明中，所謂在25'C為固態(tài)，意指軟化點(diǎn)在25。C以上，所謂在25。C為液態(tài)，意指軟化點(diǎn)小于25°C。另外，作為化合物(B)的全部或一部分，當(dāng)使用在25。C為液態(tài)的化合物(B)時，優(yōu)選在25'C為液態(tài)的化合物(B)的含量為上述感光性粘接劑樹脂組合物總量的20質(zhì)量％以下，特別優(yōu)選為15質(zhì)量％以下。通過使25"C為液態(tài)的化合物(B)的含量處于上述范圍內(nèi)，可以得到感光性粘接劑樹脂組合物的粘性等操作性、固化后的韌性、顯影時的分辨率、對被粘構(gòu)件的粘接性達(dá)到優(yōu)良平衡的感光性粘接劑樹脂組合物。另外，作為化合物(B)的全部或一部分，使用在25'C為液態(tài)的化合物(B)、且作為化合物(C)的全部或一部分，使用在25。C為液態(tài)的化合物(C)時，在25'C為液態(tài)的化合物(B)及在25。C為液態(tài)的化合物(C)的合計含量，優(yōu)選為上述感光性粘接劑樹脂組合物總量的20質(zhì)量％以下，特別優(yōu)選為15質(zhì)量％以下。通過使在25'C為液態(tài)的化合物(B)及在25。C為液態(tài)的化合物(C)的合計含量處于上述范圍內(nèi)，可以得到感光性粘接劑樹脂組合物的粘性等操作性、固化后的韌性、顯影時的分辨率、對被粘構(gòu)件的粘接性達(dá)到優(yōu)良平衡的感光性粘接劑樹脂組合物。本發(fā)明涉及的化合物(C)，為具有(甲基)丙烯?；也痪哂辛u基及羧基的化合物。作為本發(fā)明涉及的化合物(C)，只要是具有(甲基)丙烯酰基的化合物即可，未作特別限定，例如，可以舉出具有一個(甲基)丙烯酰基的一官能(甲基)丙烯酸酯；具有兩個(甲基)丙烯酰基的二官能(甲基)丙烯酸酯；具有三個以上(甲基)丙烯?；亩喙倌?甲基)丙烯酸酯等(甲基)丙烯酸酯，更具體地說，可以舉出乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,6—己二醇二(甲基)丙烯酸酯、丙三醇二(甲基)丙烯酸酯、1,10—癸二醇二(甲基)丙烯酸酯等二官能(甲基)丙烯酸酯；三羥甲基丙垸三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯等多官能(甲基)丙烯酸酯。另外，在化合物(C)涉及的化合物中還可以含有聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯等聚亞烷基二醇二(甲基)丙烯酸酯。另夕卜，作為化合物(C)，還可以舉出尿垸(甲基)丙烯酸酯、環(huán)氧(甲基)丙烯酸酯等。還有，所謂尿垸(甲基)丙烯酸酯是通過如下制法得到的化合物，首先，使多元醇的羥基與具有兩個以上異氰酸酯基的化合物中的一個異氰酸酯基反應(yīng)，形成尿垸鍵，從而得到尿烷化合物，接著，使所得到的尿垸化合物中的、未在與多元醇的反應(yīng)中使用的異氰酸酯基與具有羥基及(甲基)丙烯?；幕衔镏械牧u基反應(yīng)，形成尿烷鍵，由此得到尿烷(甲基)丙烯酸酯。另外，所謂環(huán)氧丙烯酸酯，意指使環(huán)氧樹脂中的環(huán)氧基與具有羧基和(甲基)丙烯?；幕衔镏械聂然磻?yīng)，從而形成酯鍵所得到的化合物。作為尿烷(甲基)丙烯酸酯，可以舉出對通過聚亞烷基二醇與二異氰酸酯反應(yīng)所得到的尿垸化合物加成2—羥乙基(甲基)丙烯酸酯而成的化合物。另外，作為環(huán)氧(甲基)丙烯酸酯，可以舉出使雙酚A型環(huán)氧樹脂、雙酚F型環(huán)氧樹脂等環(huán)氧樹脂的兩末端的環(huán)氧基與(甲基)丙烯酸的羧基反應(yīng)，從而形成酯鍵而得到的化合物。化合物(C)中，從光固化反應(yīng)性與感光性粘接劑樹脂組合物的韌性達(dá)到優(yōu)良平衡這點(diǎn)考慮，優(yōu)選三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，6—己二醇二(甲基)丙烯酸酯、丙三醇二(甲基)丙烯酸酯、1,10—癸二醇二(甲基)丙烯酸酯等二官能(甲基)丙烯酸酯類，其中，特別優(yōu)選三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯。化合物(C)的重均分子量為3000以下、優(yōu)選為1002500、特別優(yōu)選為2002000。通過使化合物(C)的重均分子量處于上述范圍內(nèi)，能夠使顯影性良好。另外，對化合物(C)未作特別限定，但優(yōu)選在25'C為液態(tài)的化合物。由此，可以提高光固化反應(yīng)性。進(jìn)而，能夠使與化合物(B)的混合操作容易。優(yōu)選化合物(C)的含量為上述感光性粘接劑樹脂組合物總量的330質(zhì)量％，特別優(yōu)選為520質(zhì)量％。通過使化合物(C)的含量處于上述范圍，可使光固化反應(yīng)性、感光性粘接劑樹脂組合物的耐熱性及韌性全都得以提高。還有，當(dāng)本發(fā)明的感光性粘接劑樹脂組合物為使構(gòu)成成分溶解或分散在溶劑中的清漆狀時，化合物(C)的含量意指相對于除了溶劑的部分的百分率，即，是指相對于化合物(A)(E)、根據(jù)需要添加的填充材料(F)及其他添加劑的合計總量的百分率。另外，當(dāng)作為化合物(C)的全部或一部分使用在25'C為液態(tài)的化合物(C)時，優(yōu)選在25'C為液態(tài)的化合物(C)的含量為上述感光性粘接劑樹脂組合物總量的20質(zhì)量％以下，特別優(yōu)選為15質(zhì)量％以下。通過使化合物(C)的含量處于上述范圍內(nèi)，可以得到感光性粘接劑樹脂組合物的粘性等操作性、光固化反應(yīng)性、顯影時的分辨率、對被粘構(gòu)件的粘接性達(dá)到優(yōu)良平衡的感光性粘接劑樹脂組合物。本發(fā)明涉及的化合物(D)為酚醛樹脂或酚類、不具有(甲基)丙烯?；幕衔?，當(dāng)對感光性粘接劑樹脂組合物進(jìn)行堿顯影時，其具有作為顯影性提高劑的功能。感光性粘接劑樹脂組合物中含有的化合物(A)也溶解于堿顯影液中，但通過添加化合物(D)，感光性粘接劑樹脂組合物中的酚性羥基的濃度上升，提高對堿顯影液的溶解性。另外，化合物(D)在堿顯影時作為顯影性提高劑起作用后，在熱固化時，具有與化合物(B)進(jìn)行反應(yīng)的功能。因此，由于在固化后進(jìn)入固化物基體中，故能夠抑制對作為被粘接構(gòu)件的透明基板和安裝了半導(dǎo)體元件的基板等的污染，同時，也能夠抑制耐熱性、耐濕性的降低。作為本發(fā)明涉及的化合物(D)的酚醛樹脂，是分子鏈中具有酚性羥基的樹脂。化合物(D)涉及的酚醛樹脂中也包括酚醛清漆型酚醛樹脂。作為化合物(D)未作特別限定，可以舉出酚醛清漆型酚醛樹脂(苯酚的聚合物)、酚醛清漆型鄰甲酚樹脂、酚醛清漆型雙酚A樹脂等的酚醛清漆型酚醛樹脂；下述化學(xué)式(6)表示的二環(huán)戊二烯與酚類結(jié)合的二環(huán)戊二烯酚醛樹脂；下述化學(xué)式(7)表示的芳烷基與酚類結(jié)合的二環(huán)戊二烯酚醛樹脂，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage17</formula>OH式(6)中，n為010的整數(shù)，R4為氫原子或甲基；OHOHOH(7)式(7)中，n為010的整數(shù)，Rs為選自由苯、萘、聯(lián)苯組成的組中的基團(tuán)，Rs既可以相同也可以相異，R6為氫原子或甲基。其中，從能夠使顯影性及感光性粘接劑樹脂組合物的熱固化后的耐熱性、韌性均提高的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選酚醛清漆型酚醛樹脂。另外，作為構(gòu)成化合物(D)涉及的酚醛清漆型酚醛樹脂分子鏈的酚類，可以舉出在構(gòu)成化合物(A)涉及的(甲基)丙烯?；男苑尤┣迤嵝头尤渲肿渔湹姆宇惖恼f明中列舉的酚類。作為本發(fā)明涉及的化合物(D)的酚類未作特別限定，可以舉出雙酚A、雙酚F、雙酚AD、聯(lián)苯酚、四甲基聯(lián)苯酚、雙(4一羥基苯基)甲烷、雙(4—羥基苯基)丙烷、砲烯二酚、氫醌、甲基氫醌、二丁基氫醌、間苯二酚、甲基間苯二酚、雙酚S、硫代二酚、二羥基二苯醚、二羥基萘等酚類。其中，從顯影性、感光性粘接劑樹脂組合物的熱固化后的耐熱性、韌性達(dá)到優(yōu)良平衡這點(diǎn)考慮，優(yōu)選雙酚A、雙酚F、聯(lián)苯酚、雙酚S，特別優(yōu)選雙酚A及雙酚F。優(yōu)選本發(fā)明涉及的化合物(D)的含量為上述感光性粘接劑樹脂組合物總量的0.120質(zhì)量％，特別優(yōu)選為215質(zhì)量％。通過使化合物(D)的含量處于上述范圍內(nèi)，可使顯影性、固化后的感光性粘接劑樹脂組合物的耐熱性及韌性全都得以提高。還有，當(dāng)本發(fā)明的感光性粘接劑樹脂組合物為使構(gòu)成成分溶解或分散在溶劑中的清漆狀時，化合物(D)的含量意指相對于除了溶劑的部分的百分率，即，是指相對于化合物(A)(E)、根據(jù)需要添加的填充材料(F)及其他添加劑的合計量的百分率?；衔?D)的重均分子量為1005000、優(yōu)選為2003000。通過使化合物(D)的重均分子量處于上述范圍內(nèi)，能夠提高化合物(D)對顯影液的溶解性，由此使顯影性變得良好。對本發(fā)明涉及的感光劑(E)未作特別限定，可以舉出二苯甲酮、苯乙酮、苯偶姻、苯偶姻異丁醚、苯偶姻安息香酸甲酯、苯偶姻安息香酸、苯偶姻甲醚、芐基苯基硫醚、苯偶酰、二苯偶酰、雙乙酰等。優(yōu)選上述感光劑(E)的含量為上述感光性粘接劑樹脂組合物總量的0.55質(zhì)量％，特別優(yōu)選為0.82.5質(zhì)量％。通過使感光劑(E)的含量處于上述范圍內(nèi)，可以保持光固化性、保存性、分辨率的平衡。還有，當(dāng)本發(fā)明的感光性粘接劑樹脂組合物為使構(gòu)成成分溶解或分散在溶劑中的清漆狀時，化合物(E)的含量意指相對于除了溶劑的部分的百分率，即，是指相對于化合物(A)(E)、根據(jù)需要添加的填充材料(F)及其他添加劑的合計量的百分率。為了提高耐熱性、耐濕性、固化后的機(jī)械強(qiáng)度，本發(fā)明的感光性粘接劑樹脂組合物也可含填充材料(F)。對本發(fā)明的感光性粘接劑樹脂組合物涉及的填充材料(F)未作特別限定，例如，可以舉出氧化鋁纖維、玻璃纖維等纖維狀填充材料，鈦酸鉀、硅灰石、硼酸鋁、針狀氫氧化鎂、晶須等針狀填充材料，滑石、云母、絹云母、玻璃片、鱗片狀石墨、板狀碳酸鈣等板狀填充材料，碳酸鈣、二氧化硅、熔融二氧化硅、燒成粘土、未燒成粘土等球狀(粒狀)填充材料等。其中，從顯影性及熱壓合時的流動性達(dá)到優(yōu)良平衡這點(diǎn)考慮，優(yōu)選球狀(粒狀)填充材料，進(jìn)而，從對被粘接構(gòu)件的污染量少與固化后的感光性粘接劑樹脂組合物的機(jī)械強(qiáng)度高的平衡優(yōu)良這點(diǎn)考慮，特別優(yōu)選二氧化硅。優(yōu)選上述填充材料(F)的含量為上述感光性粘接劑樹脂組合物總量的350質(zhì)量％，特別優(yōu)選為1040質(zhì)量％。通過使填充材料(F)的含量處于上述范圍內(nèi)，可以得到固化后的感光性粘接劑樹脂組合物的耐熱性、耐濕性及將感光性粘接劑樹脂組合物配置在透明基板和安裝了半導(dǎo)體裝置的基板之間時的強(qiáng)度、曝光時的光透過性達(dá)到優(yōu)良平衡的感光性粘接劑樹脂組合物。上述填充材料(F)的平均粒徑優(yōu)選為0.030.40pm，特別優(yōu)選為0.100.30pm。通過使填充材料(F)的平均粒徑處于上述范圍內(nèi)，可以得到固化說明書第15/27頁后的感光性粘接劑樹脂組合物的機(jī)械特性及曝光時的光透過性達(dá)到優(yōu)良平衡的感光性粘接劑樹脂組合物。填充材料(F)的平均粒徑測定方法如下所述。采用激光衍射式粒度分布測定裝置SALD—7000，通過1分鐘超聲波處理使填充材料分散在水中，進(jìn)行測定。將D50值(數(shù)值積分)作為平均粒徑。另外，上述填充材料(F)的最大粒徑優(yōu)選為0.101.0pm，特別優(yōu)選為0.150.卯pm。通過使填充材料(F)的最大粒徑處于上述范圍內(nèi)，可以得到固化后的感光性粘接劑樹脂組合物的機(jī)械特性及曝光時的光透過性達(dá)到優(yōu)良平衡的感光性粘接劑樹脂組合物。填充材料的最大粒徑，可按下述方法測定。采用激光衍射式粒度分布測定裝置SALD—700，通過1分鐘超音波處理使填充材料(F)分散在水中，進(jìn)行測定。將D100值(數(shù)值積分)作為最大粒徑。另外，也可以預(yù)先對上述填充材料(F)進(jìn)行偶聯(lián)處理。通過使用這種填充材料，可得到樹脂成分與填充材料界面的密合力增大、感光性粘接劑樹脂組合物的強(qiáng)度升高的效果。在不損傷本發(fā)明目的的范圍內(nèi)，本發(fā)明的感光性粘接劑樹脂組合物可以含有熱塑性樹脂、流平劑、消泡劑、偶聯(lián)劑、有機(jī)過氧化物等添加劑。本發(fā)明的感光性粘接劑樹脂組合物可以是清漆狀，另外，也可成型為膜狀?？赏ㄟ^將化合物(A)、化合物(B)、化合物(C)、化合物(D)及感光劑(E)等構(gòu)成感光性粘接劑樹脂組合物的化合物等，溶解或分散于有機(jī)溶劑，例如，N—甲基一2—吡咯烷酮、茴香醚、甲基乙基酮、甲苯、乙酸乙酯等中來制成清漆狀。通過將該清漆狀的感光性粘接劑樹脂組合物成型為層狀，并除去溶劑、進(jìn)行干燥，能夠使感光性粘接劑樹脂組合物成型為膜狀。本發(fā)明的粘接膜由基材膜與在該基材膜的表面形成的粘接層構(gòu)成，該粘接層為成型為膜狀的本發(fā)明的感光性粘接劑樹脂組合物。上述基材膜是可保持粘接層的膜狀態(tài)的膜特性優(yōu)良的支撐基材，所述膜特性例如是斷裂強(qiáng)度、撓性等，當(dāng)在基材膜上設(shè)置掩模圖案后加以曝光而進(jìn)行構(gòu)圖時，優(yōu)選該基材膜具有光透過性。作為這樣的基材膜，例如，可以舉出聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚丙烯(PP)、聚乙烯(PE)等，但從光透過性與斷裂強(qiáng)度達(dá)到優(yōu)良平衡這點(diǎn)考慮，優(yōu)選聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)。另外，本發(fā)明的粘接膜，也可在其表面上設(shè)置用于保護(hù)粘接層的保護(hù)膜。作為該保護(hù)膜，只要是可保持粘接層的膜狀態(tài)的如斷裂強(qiáng)度、撓性等膜特性優(yōu)良，特別是與粘接層的剝離性良好的材質(zhì)即可，例如，可以舉出聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚丙烯(PP)、聚乙烯(PE)。還有，保護(hù)膜也可由不透明的材質(zhì)形成。接下來，參照圖1及圖2對本發(fā)明的粘接膜的使用方法及光接收裝置的一實(shí)施方式加以說明。圖1為表示本發(fā)明粘接膜的使用方法的一實(shí)施方式的示意剖面圖，圖2為光接收裝置的示意剖面圖。如圖1(A)、(B)所示，通過用支撐體10連接半導(dǎo)體元件11，使多個半導(dǎo)體元件11在平面方向被整齊地保持而形成的半導(dǎo)體元件集合體9安裝在基底12上，然后，在安裝了半導(dǎo)體元件集合體9的基底12上，以覆蓋上述基底12的形式，粘貼粘接膜14。在這里，粘接膜14的粘接層15的厚度為5100拜。其次，剝離基材膜16，將粘貼了粘接層15的基底12與未圖示的曝光裝置進(jìn)行位置對準(zhǔn)。此時，在基底12的粘貼了粘接層15的面上，形成有未圖示的位置對準(zhǔn)標(biāo)記。以該位置對準(zhǔn)的標(biāo)記作為基準(zhǔn)，進(jìn)行曝光裝置的掩模與基底12的位置對準(zhǔn)。在可見光區(qū)域(波長400750nm)進(jìn)行位置對準(zhǔn)。基底12與曝光裝置的位置對準(zhǔn)完成后，由曝光裝置對粘接層15選擇性地照射光(紫外線)。由此，粘接層15中被光照射的部分發(fā)生光固化。當(dāng)對曝光后的粘接層15用顯影液(例如，堿水溶液、有機(jī)溶劑等)進(jìn)行顯影時，被光照射過的部分不溶解于顯影液而殘留。在基底12上的各光接收部17以外的區(qū)域，以包圍光接收部17的方式殘留粘接層15(參照圖l(C))。然后，在粘接層15上放置透明基板13，通過粘接層15，粘接基底12與透明基板13(參照圖1(D))。例如，通過對基底12與透明基板13進(jìn)行熱壓，使粘接層15的熱固化成分發(fā)生固化，從而經(jīng)由粘接層15進(jìn)行粘接。熱壓合時的溫度為80°C180°C。此時，以基底12上形成的位置對準(zhǔn)標(biāo)記作為基準(zhǔn)而設(shè)置透明基板13。然后，根據(jù)光接收部單元，對所粘接的基底12及透明基板13進(jìn)行分割(參照圖1(E))。具體的是，用切割鋸，從基底12側(cè)切出切口18，根據(jù)光接收部單元對基底12及透明基板13進(jìn)行分割。通過這樣的工序，可以得到圖2所示的光接收裝置1。如上所述，本發(fā)明的感光性粘接劑樹脂組合物，是在安裝了半導(dǎo)體元件的基板和與該安裝了半導(dǎo)體元件的基板相對置的透明基板之間的隔片用感光性粘接劑樹脂組合物。接下來，對本發(fā)明的感光性粘接劑樹脂組合物的作用效果加以說明。本發(fā)明的感光性粘接劑樹脂組合物含有化合物(D)。通過使本發(fā)明的感光性粘接劑樹脂組合物中含有化合物(D)，可以提高感光性粘接劑樹脂組合物曝光后對堿顯影液的溶解性，使顯影性良好。另外，本發(fā)明的感光性粘接劑樹脂組合物，通過作為化合物(A)使用(甲基)丙烯酰基改性酚醛清漆型酚醛樹脂，能夠提高感光性粘接劑樹脂組合物中的酚性羥基的量，因此，能夠進(jìn)一步提高對堿顯影液的溶解性，更加提高使顯影性良好的效果。另外，本發(fā)明的感光性粘接劑樹脂組合物，通過進(jìn)一步含有350質(zhì)量%的填充材料，可形成使感光性粘接劑樹脂組合物的耐熱性、耐濕性提高的，并且光透過性良好、定位性優(yōu)良的感光性粘接劑樹脂組合物。另外，本發(fā)明的感光性粘接劑樹脂組合物，通過含有平均粒徑為0.030.4pm的填充材料，可以實(shí)現(xiàn)感光性粘接劑組合物的高透光性與顯影時的殘渣減少。由此，可容易地進(jìn)行基底12與曝光裝置的掩模的位置對準(zhǔn)，并且，也可容易地進(jìn)行感光性粘接劑樹脂組合物固化后的基底12與透明基板13的位置對準(zhǔn)。而且，由于透明基板和半導(dǎo)體元件中不存在殘渣，故圖像識別性良好。還有，本發(fā)明不限于上述實(shí)施方式，在能夠?qū)崿F(xiàn)本發(fā)明目的的范圍內(nèi)的變形、改進(jìn)等，也包含在本發(fā)明內(nèi)。另外，在上述實(shí)施方式中，將使感光性粘接劑樹脂組合物成型為膜狀而成的粘接膜14粘貼在基底12上后，對基底12與透明基板13進(jìn)行粘接，但不限于此，也可在透明基板上粘貼粘接膜。此時，是對透明基板上形成的位置對準(zhǔn)標(biāo)記與掩模進(jìn)行位置對準(zhǔn)。另外，在上述實(shí)施方式中，是在基底12上粘貼粘接膜14后，通過粘接層15貼合透明基板13，然后進(jìn)行切割，但不限于此，也可以在將粘接膜14粘貼于基底12后，將基底12切割為半導(dǎo)體元件單元，然后，粘貼透明基板13。另外，在上述實(shí)施方式中，將在基材膜上形成感光性粘接劑樹脂組合物而得到的粘接膜粘貼于基底12上，但不限于此，也可將感光性粘接劑樹脂組合物制成清漆狀，涂布于基底12上。實(shí)施例下面，基于實(shí)施例及比較例詳細(xì)地說明本發(fā)明，但本發(fā)明并不限于此。<實(shí)施例1〉1.化合物A甲基丙烯?；男苑尤┣迤嵝碗p酚A樹脂MPN001的合成將酚醛清漆型雙酚A樹脂(7工乂，一卜LF—4871、大日本油墨化學(xué)(株)制造)的固體成分60%的MEK(甲基乙基酮)溶液500g，放入2L燒瓶中，往其中添加作為催化劑的三丁胺1.5g、及作為阻聚劑的氫醌0.15g，加熱至10(TC?；?0分鐘往其中滴加甲基丙烯酸縮水甘油酯180.9g，通過在10(TC攪拌反應(yīng)5小時，得到固體成分74%的甲基丙烯酰基改性酚醛清漆型雙酚A樹脂MPN001(甲基丙烯?；男月?0%)。2.感光性粘接劑樹脂組合物清漆的制造將44.5質(zhì)量％的作為化合物(A)的甲基丙烯?；男苑尤┣迤嵝碗p酚A樹脂MPN001、30.0質(zhì)量％的作為化合物(B)的雙酚A酚醛清漆型環(huán)氧樹脂(商品名N865，大日本油墨化學(xué)工業(yè)(株)制造)、5.3質(zhì)量％的聚硅氧烷改性環(huán)氧樹脂(商品名BY16—115，東麗道康寧有機(jī)硅(株)制造)、14.7質(zhì)量％的作為化合物(C)的三乙二醇二甲基丙烯酸酯(商品名NK工7亍》3G，新中村化學(xué)工業(yè)(株)制造)、3.5質(zhì)量％的作為化合物(D)的苯酚酚醛清漆樹脂(商品名PR53647，住友電木(株)制造)、以及2.0質(zhì)量的作為感光劑(E)的2,2—二甲氧基_1,2_二苯基乙烷_1一酮(商品名一/P力、年二7651，CibaSpecialtyChemicalsInc.制造)溶解于MEK(甲基乙基酮，大伸化學(xué)(株)制造)，得到固體成分濃度71%的感光性粘接劑樹脂組合物清漆。還有，上述感光性粘接劑樹脂組合物清漆中的甲基丙烯酰基改性酚醛清漆型雙酚A樹脂MPN001的含量，是換算成固體成分的值。3.粘接膜的制造然后，將感光性粘接劑樹脂組合物清漆涂布于透明PET(膜厚25pm)上，于80。C干燥15分鐘，從而形成50)im厚的粘接層，得到粘接膜。4.光接收裝置的制造將上述粘接膜于半導(dǎo)體晶片上進(jìn)行層壓，并曝光、顯影，形成樹脂隔片(空隙部)，于12(TC下在樹脂隔片的上端部熱壓合玻璃基板。然后，降半導(dǎo)體晶片切割(單片化)，得到光接收裝置。<實(shí)施例2>除了使用3.5質(zhì)量％的作為化合物(D)的雙酚A(商品名BPA，本州化學(xué)(株)制造)來代替3.5質(zhì)量。X的作為化合物(D)的苯酚酚醛清漆樹脂(商品名PR53647，住友電木(株)制造)以外，與實(shí)施例1同樣地制得粘接膜、光接收裝置。<實(shí)施例3>除了使用44.5質(zhì)量％的作為化合物(A)的具有羧基和(甲基)丙烯酰基的丙烯酸聚合物(商品名廿,夕口7—PACA200M，DAICELCHEMICALINDUSTRIES,LTD.制造)來代替44.5質(zhì)量％的作為化合物(A)的甲基丙烯?；男苑尤┣迤嵝碗p酚A樹脂MPNOOl以外，與實(shí)施例1同樣地制得粘接膜、光接收裝置。還有，上述感光性粘接劑樹脂組合物清漆中的具有羧基和(甲基)丙烯?；谋┧峋酆衔?商品名廿^f夕口7—PACA200M，DAICELCHEMICALINDUSTRIES,LTD.制造)的含量為換算成固體成分的值。<實(shí)施例4〉將作為化合物(A)的甲基丙烯?；男苑尤┣迤嵝碗p酚A樹脂MPN001從44.5質(zhì)量％變更為40.5質(zhì)量％，再將作為化合物(D)的苯酚酚醛清漆樹脂(商品名PR53647，住友電木(株)制造)從3.5質(zhì)量％變更為7.5質(zhì)量%，除此以外，與實(shí)施例1同樣地制得粘接膜、光接收裝置。<實(shí)施例5>將作為化合物(A)的甲基丙烯?；男苑尤┣迤嵝碗p酚A樹脂MPN001從44.5質(zhì)量％變更為33.0質(zhì)量％，再將作為化合物(D)的苯酚酚醛清漆樹脂(商品名PR53647，住友電木(株)制造)從3.5質(zhì)量％變更為15.0質(zhì)量％，除此以外，與實(shí)施例1同樣地制得粘接膜、光接收裝置。<實(shí)施例6>除了使感光性粘接劑樹脂組合物清漆的配合按下述進(jìn)行以外，與實(shí)施例1同樣地制得粘接膜、光接收裝置。將29.5質(zhì)量％的作為化合物(A)的甲基丙烯酰基改性酚醛清漆型雙酚A樹脂MPNOOl、19.9質(zhì)量％的作為化合物(B)的雙酚A酚醛清漆型環(huán)氧樹脂(商品名N865，大日本油墨化學(xué)工業(yè)(株)制造)、3.6質(zhì)量％的聚硅氧烷改性環(huán)氧樹脂(商品名BY16—115，東麗道康寧有機(jī)硅(株)制造)、9.8質(zhì)量％的作為化合物(C)的三乙二醇二甲基丙烯酸酯(商品名NK工7于小3G，新中村化學(xué)工業(yè)(株)制造)、以及2.3質(zhì)量％的作為化合物(D)的苯酚酚醛清漆樹脂(商品名PR53647，住友電木(株)制造)溶解于MEK(甲基乙基酮，大伸化學(xué)(株)制造)中，制得固體成分濃度71%的感光性粘接劑樹脂組合物清漆。然后，用珠磨機(jī)(珠直徑400pm、處理速度6g/s、5次通過)，使33.7質(zhì)量％的作為填充材料(F)的二氧化硅(SO—E2，平均粒徑0.5pm，最大粒徑2.0fim，AdmatechsCo.,Ltd.制造)加以分散。然后，再添加1.2質(zhì)量％的作為感光劑(E)的2,2—二甲氧基一1,2—二苯基乙烷一1—酮(商品名^f/P力、年工7651，CibaSpecialtyChemicalsInc.制造)，用攪拌葉片(450rpm)攪拌1小時，由此得到感光性粘接劑樹脂組合物清漆。<實(shí)施例7〉除了使感光性粘接劑樹脂組合物清漆的配合按下述操作以外，與實(shí)施例1同樣地制得粘接膜、光接收裝置。將29.5質(zhì)量％的作為化合物(A)的甲基丙烯?；男苑尤┣迤嵝碗p酚A樹脂MPN001、19.9質(zhì)量％的作為化合物(B)的雙酚A酚醛清漆型環(huán)氧樹脂(商品名N865，大日本油墨化學(xué)工業(yè)(株)制造)、3.6質(zhì)量％的聚硅氧烷改性環(huán)氧樹脂(商品名BY16—115，東麗道康寧有機(jī)硅(株)制造)、9.8質(zhì)量％的作為化合物(C)的三乙二醇二甲基丙烯酸酯(商品名NK工7亍》3G，新中村化學(xué)工業(yè)(株)制造)、以及2.3質(zhì)量％的作為化合物(D)的苯酚酚醛清漆樹脂(商品名PR53647，住友電木(株)制造)溶解于MEK(甲基乙基酮，大伸化學(xué)(株)制造)中，制得固體成分濃度71%的感光性粘接劑樹脂組合物清漆。然后，用珠磨機(jī)(珠直徑400pm、處理速度6g/s、5次通過)，使33.7質(zhì)量％的作為填充材料(F)的二氧化硅(商品名KE—P30，平均粒徑0.28pm，最大粒徑0.9pm，日本觸媒(株)制造)加以分散。然后，再添加1.2質(zhì)量％的作為感光劑(E)的2，2—二甲氧基一1,2—二苯基乙烷一1一酮(商品名Y/P力、年工7651，CibaSpecialtyChemicalsInc.制造)，用攪拌葉片(450rpm)攪拌1小時，由此得到感光性粘接劑樹脂組合物清漆。<實(shí)施例8〉除了用33.7質(zhì)量％的作為填充材料(F)的二氧化硅(商品名NSS—3N、平均粒徑(U25拜、最大粒徑0.35nm、TokuyamaCorporation.制造)來代替33.7質(zhì)量％的作為填充材料(F)的二氧化硅(SO—E2、平均粒徑0.5jim、最大粒徑2.0[im、AdmatechsCo.,Ltd.制造)以外，與實(shí)施例6同樣地制得粘接膜、光接收裝置。<實(shí)施例9〉除了用33.7質(zhì)量％的作為填充材料(F)的二氧化硅(商品名SFP—20M、平均粒徑0.33pm、最大粒徑0.8nm、DENKACo.,Ltd制造)來代替33.7質(zhì)量％的作為填充材料(F)的二氧化硅(SO—E2、平均粒徑0.5pm、最大粒徑2.0pm、AdmatechsCo.，Ltd.制造)以外，與實(shí)施例6同樣地制得粘接膜、光接收裝置。<實(shí)施例10>除了用33.7質(zhì)量％的作為填充材料(F)的二氧化硅(商品名KE—S30、平均粒徑0.24pm、最大粒徑0.9pm、日本觸媒(株)制造)來代替33.7質(zhì)量％的作為填充材料(F)的二氧化硅(SO—E2、平均粒徑0.5|am、最大粒徑:2.0pm、AdmatechsCo.，Ltd.制造)以外，與實(shí)施例6同樣地制得粘接膜、光接收裝置。<實(shí)施例11〉除了使感光性粘接劑樹脂組合物清漆的配合按下述操作以外，與實(shí)施例6同樣地制得粘接膜、光接收裝置。將42.0質(zhì)量％的作為化合物(A)的甲基丙烯酰基改性酚醛清漆型雙酚A樹脂MPNOOl、28.5質(zhì)量％的作為化合物(B)的雙酚A酚醛清漆型環(huán)氧樹脂(商品名N865，大日本油墨化學(xué)工業(yè)(株)制造)、5.1質(zhì)量％的聚硅氧烷改性環(huán)氧樹脂(商品名BY16—115，東麗道康寧有機(jī)硅(株)制造)、13.9質(zhì)量％的作為化合物(C)的三乙二醇二甲基丙烯酸酯(商品名NK工7亍A3G，新中村化學(xué)工業(yè)(株)制造)、以及3.3質(zhì)量％的作為化合物(D)的苯酚酚醛清漆樹脂(商品名PR53647，住友電木(株)制造)溶解于MEK(甲基乙基酮，大伸化學(xué)(株)制造)中，制得固體成分濃度達(dá)到71%的感光性粘接劑樹脂組合物清漆。然后，用珠磨機(jī)(珠直徑400um、處理速度6g/s、5次通過)，使5.0質(zhì)量％的作為填充材料(F)的二氧化硅(SO—E2、平均粒徑0.5pm、最大粒徑2.0jim、AdmatechsCo.，Ltd.制造)加以分散。然后，再添加2.2質(zhì)量％的作為感光劑(E)的2,2—二甲氧基一1，2—二苯基乙烷一1—酮(商品名:一々力'年二7651，CibaSpecialtyChemicalsInc.制造)，用攪拌葉片(450rpm)攪拌1小時，由此得到感光性粘接劑樹脂組合物清漆。<實(shí)施例12〉除了使感光性粘接劑樹脂組合物清漆的配合按下述操作以外，與實(shí)施例6同樣地制得粘接膜、光接收裝置。將35.0質(zhì)量％的作為化合物(A)的甲基丙烯?；男苑尤┣迤嵝碗p酚A樹脂MPN001、24.3質(zhì)量％的作為化合物(B)的雙酚A酚醛清漆型環(huán)氧樹脂(商品名N865，大日本油墨化學(xué)工業(yè)(株)制造)、4.3質(zhì)量％的聚硅氧垸改性環(huán)氧樹脂(商品名BY16—115，東麗道康寧有機(jī)硅(株)制造)、11.8質(zhì)量％的作為化合物(C)的三乙二醇二甲基丙烯酸酯(商品名NK工7亍》3G，新中村化學(xué)工業(yè)(株)制造)、以及2.8質(zhì)量％的作為化合物(D)的苯酚酚醛清漆樹脂(商品名PR53647，住友電木(株)制造)溶解于MEK(甲基乙基酮，大伸化學(xué)(株)制造)中，制得固體成分濃度達(dá)到71%的感光性粘接劑樹脂組合物清漆。然后，用珠磨機(jī)(珠直徑400pm、處理速度6g/s、5次通過)，使20.0質(zhì)量％的作為填充材料(F)的二氧化硅(SO—E2、平均粒徑0.5pm、最大粒徑2.0pm、AdmatechsCo.，Ltd.制造)加以分散。然后，再添加1.8質(zhì)量％的作為感光劑(E)的2,2—二甲氧基一1,2—二苯基乙烷一1—酮(商品名一/k力、年工了651，CibaSpecialtyChemicalsInc.制造)，用攪拌葉片(450rpm)攪拌1小時，由此得到感光性粘接劑樹脂組合物清漆。<比較例1>除了使感光性粘接劑樹脂組合物清漆的配合按下述操作以外，與實(shí)施例1同樣地制得粘接膜、光接收裝置。將46.5質(zhì)量％的作為化合物(A)的甲基丙烯酰基改性酚醛清漆型雙酚A樹脂MPNOOl、31.0質(zhì)量％的作為化合物(B)的雙酚A酚醛清漆型環(huán)氧樹脂(商品名N865，大日本油墨化學(xué)工業(yè)(株)制造)、5.3質(zhì)量％的聚硅氧垸改性環(huán)氧樹脂(商品名BY16—115，東麗道康寧有機(jī)硅(株)制造)、14.8質(zhì)量％的作為化合物(C)的三乙二醇二甲基丙烯酸酯(商品名NK工7亍》3G，新中村化學(xué)工業(yè)(株)制造)、以及2.4質(zhì)量％的作為感光劑(E)的2,2—二甲氧基一l,2—二苯基乙烷一1—酮(商品名一/P力、年二7651，CibaSpecialtyChemicalsInc.制造)溶解于MEK(甲基乙基酮、大伸化學(xué)(株)制造)，得到固體成分濃度達(dá)到71%的感光性粘接劑樹脂組合物。對各實(shí)施例及比較例中得到的粘接膜進(jìn)行下列評價。將評價項(xiàng)目與內(nèi)容一并示出。得到的結(jié)果示于表l。1.顯影性在半導(dǎo)體晶片上層壓粘接膜(溫度60°C、速度0.3m/分鐘)，采用圖案掩模進(jìn)行曝光(曝光量700mJ/cm2)，以使樹脂隔片以格狀殘留，用3XTMAH進(jìn)行顯影(顯影液壓力0.2MPa、顯影時間150秒鐘)。用電子顯微鏡觀察所得到的格子圖案部分(X5000倍)，評價有無殘渣。各符號的意義如下所述。完全無殘渣，實(shí)用上完全無問題。〇有若干殘渣，但實(shí)用上無問題。殘渣較多，未達(dá)到實(shí)用水平。X:殘渣很多，未達(dá)到實(shí)用水平。還有，圖案掩模為樹脂寬1.2mm、間隔5mm的格子狀。2.光接收裝置可靠性對各實(shí)施例及比較例中得到的光接收裝置，進(jìn)行ioo個循環(huán)的溫度循環(huán)試驗(yàn)(n=10)，觀察裂紋及剝離狀況，其中，所述溫度循環(huán)試驗(yàn)是對光接收裝置重復(fù)進(jìn)行在一55'C處理1小時、在125。C處理1小時的循環(huán)的溫度循環(huán)試驗(yàn)。各符號的意義如下所述。全部樣品不發(fā)生裂紋及剝離，實(shí)用上完全無問題。〇確認(rèn)在兩個以下的樣品中稍有裂紋及剝離，但實(shí)用上無問題。觀察到三個以上樣品中有裂紋及剝離，未達(dá)到實(shí)用水平。X:觀察到八個以上樣品中有裂紋及剝離，未達(dá)到實(shí)用水平。3.定位性在半導(dǎo)體晶片上層壓粘接膜(溫度60°C、速度0.3m/分鐘)，用曝光機(jī)PLA—600FA《乂>社制造)，評價是否從層壓的樹脂隔片用膜也能夠看出半導(dǎo)體晶片表面的圖案。各種符號的意義如下所述。圖案形狀直到邊界部分仍鮮明可見，實(shí)用上完全無問題。〇雖然可看出圖案形狀，但是多少不能明顯地看出邊界部分，不過實(shí)用上無問題。X:完全看不出圖案，未達(dá)到實(shí)用水平。表l<table>tableseeoriginaldocumentpage29</column></row><table>表1續(xù)<table>tableseeoriginaldocumentpage30</column></row><table><化合物A>(A—1)甲基丙烯?；男苑尤┣迤嵝碗p酚A樹脂MPN001(A—2)具有羧基和甲基丙烯酰基的丙烯酸聚合物(商品名f^夕口7—PACA200M、DAICELCHEMICALINDUSTRIES,LTD.制<化合物B〉(B—l)雙酚A酚醛清漆型環(huán)氧樹脂(商品名N865、大日油墨化學(xué)工業(yè)(株)制(B_2)聚硅氧烷改性環(huán)氧樹脂(商品名BY16—115，東麗道康寧有機(jī)硅(株)制造)<化合物C>(C-l)三乙二醇二甲基丙烯酸酯(商品名NK工7亍少3G，新中村化學(xué)工業(yè)(株)制造)<化合物D>(D—l)苯酚酚醛清漆樹脂(商品名PR53647、住友電木(株)制造)(D—2)雙酚A(商品名BPA、本州化學(xué)(株)制造)<化合物E>(E—1)感光劑(商品名:,少力'年二7651，CibaSpecialtyChemicalsInc.制造)<化合物F>(F—0)二氧化硅(SO—E2、平均粒徑0.5nm、最大粒徑2.0pm、AdmatechsCo.,Ltd.制造)(F—1)二氧化硅(商品名KE_P30、平均粒徑0.28pm、最大粒徑0.9pm、日本觸媒(株)制造)(F—2)二氧化硅(商品名NSS-3N、平均粒徑0.125pm、最大粒徑0.35|am、TokuyamaCorporation.制造)(F—3)二氧化硅(商品名SFP—20M、平均粒徑0.33pm、最大粒徑0.8pm、DENKACo.，Ltd制造)(F—4)二氧化硅(商品名KE—S30、平均粒徑0.24pm、最大粒徑0.9pm、日本觸媒(株)制造)權(quán)利要求1.一種感光性粘接劑樹脂組合物，其特征在于，該感光性粘接劑樹脂組合物含有具有羥基或羧基和(甲基)丙烯酰基的化合物(A)；與所述具有羥基或羧基和(甲基)丙烯?；幕衔?A)進(jìn)行熱固化反應(yīng)的樹脂(B)；具有(甲基)丙烯?；?、不具有羥基和羧基的化合物(C)；酚醛樹脂或酚類(D)；以及感光劑(E)。2.按照權(quán)利要求1所述的感光性粘接劑樹脂組合物，其中，所述具有羥基或羧基和(甲基)丙烯酰基的化合物(A)為(甲基)丙烯?；男苑尤┣迤嵝头尤渲?.按照權(quán)利要求1所述的感光性粘接劑樹脂組合物，其中，所述具有羥基或羧基和(甲基)丙烯?；幕衔?A)為用下述化學(xué)式(1)表示的(甲基)丙烯酰基改性雙酚A、或下述通式(2)表示的酚醛清漆型雙酚A樹脂的羥基的一部分被下式(3)表示的基團(tuán)取代的(甲基)丙烯?；男苑尤┣迤嵝碗p酚A樹脂，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>(3}4.按照權(quán)利要求13中任意一項(xiàng)所述的感光性粘接劑樹脂組合物，其中，所述感光性粘接劑樹脂組合物中的所述酚醛樹脂或酚類(D)的含量為0.120質(zhì)量％。5.按照權(quán)利要求14中任意一項(xiàng)所述的感光性粘接劑樹脂組合物，其中，所述酚醛樹脂或酚類(D)為酚醛清漆型酚醛樹脂或苯酚單體。6.按照權(quán)利要求15中任意一項(xiàng)所述的感光性粘接劑樹脂組合物，其中，還含有填充材料(F)。7.按照權(quán)利要求6所述的感光性粘接劑樹脂組合物，其中，所述感光性粘接劑樹脂組合物中的所述填充材料(F)的含量為350質(zhì)量％。8.按照權(quán)利要求6或7所述的感光性粘接劑樹脂組合物，其中，所述填充材料(F)的平均粒徑為0.030.4(im。9.按照權(quán)利要求68中任意一項(xiàng)所述的感光性粘接劑樹脂組合物，其中，所述填充材料(F)為二氧化硅填料。10.按照權(quán)利要求19中任意一項(xiàng)所述的感光性粘接劑樹脂組合物，其中，與所述具有羥基或羧基和(甲基)丙烯?；幕衔?A)進(jìn)行熱固化反應(yīng)的樹脂(B)，是在25。C為固態(tài)的環(huán)氧樹脂和在25。C為液態(tài)的聚硅氧垸改性環(huán)氧樹脂的組合。11.一種粘接膜，其特征在于，由基材膜與在所述基材膜的表面形成的粘接層構(gòu)成，所述粘接層為權(quán)利要求110中任意一項(xiàng)所述的感光性粘接劑樹脂組合物。12.—種光接收裝置，其特征在于，該光接收裝置具有安裝了半導(dǎo)體元件的基板、與所述安裝了半導(dǎo)體元件的基板相對置的透明基板、以及在所述透明基板與所述安裝了半導(dǎo)體元件的基板之間設(shè)置的隔片，所述隔片為權(quán)利要求111中任意一項(xiàng)所述的感光性粘接劑樹脂組合物的固化物。全文摘要本發(fā)明提供一種感光性粘接劑樹脂組合物，其特征在于，該組合物含有具有羥基或羧基和(甲基)丙烯?；幕衔?A)、與上述具有羥基或羧基和(甲基)丙烯?；幕衔?A)進(jìn)行熱固化反應(yīng)的樹脂(B)、具有(甲基)丙烯?；也痪哂辛u基和羧基的化合物(C)、酚醛樹脂或酚類(D)及感光劑(E)。按照本發(fā)明，能夠提供一種用于制造透明基板與安裝了半導(dǎo)體元件的基板之間的隔片的顯影性優(yōu)良的感光性粘接劑樹脂組合物、采用該樹脂組合物制造的粘接膜及光接收裝置。文檔編號H01L21/027GK101681101SQ20088001674公開日2010年3月24日申請日期2008年5月27日優(yōu)先權(quán)日2007年5月30日發(fā)明者高山梨惠,高橋豊誠申請人:住友電木株式會社