專利名稱：基板搬運(yùn)裝置和電纜配線構(gòu)造的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及配置將電力和信號(hào)等供給如搭載有用于搬運(yùn)半導(dǎo)體晶片或FPD (Flat Panel Display (平板顯示器))基板等的搬運(yùn)臂的旋轉(zhuǎn) 臺(tái)那樣帶有旋轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)的配有多條電纜的電纜配線構(gòu)造和基板搬運(yùn)裝置。io 背景技術(shù)例如在半導(dǎo)體制造過(guò)程中對(duì)半導(dǎo)體晶片或FPD基板等的基板施加 蝕刻和成膜等的預(yù)定處理的半導(dǎo)體制造裝置中，為將基板運(yùn)送到裝置 內(nèi)的各個(gè)地方，而設(shè)置了具有搬運(yùn)臂的基板搬運(yùn)裝置。搬運(yùn)臂以能夠 改變臂的伸縮方向的方式安裝在例如旋轉(zhuǎn)臺(tái)上。在這種基板搬運(yùn)裝置 15 中，因?yàn)閷徇\(yùn)臂的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)搭載在旋轉(zhuǎn)臺(tái)上，所以要求將用于將電 力和信號(hào)供給該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的多條線體例如電線和電纜等配置在旋轉(zhuǎn)臺(tái) 上。當(dāng)將例如多條電纜配置在這種旋轉(zhuǎn)臺(tái)等的旋轉(zhuǎn)部件上時(shí)， 一直以 來(lái)，將多條電纜直接分散地配置在這種旋轉(zhuǎn)部件與殼體內(nèi)的底部之間，20 以不使這些電纜相互摩擦的程度，增大電纜的配線空間?？墒牵陙?lái)，伴隨著半導(dǎo)體制造裝置的多功能化，即便對(duì)于這 種基板搬運(yùn)裝置也要求單元小型化，用于電纜配線的空間也要求盡可 能節(jié)省空間化。另一方面，伴隨著設(shè)置在旋轉(zhuǎn)臺(tái)上的搬運(yùn)臂等的多功 能化，存在著必須配置的電纜數(shù)也增加，進(jìn)一步地供給的電力也增加25 電纜的直徑也增大的傾向。對(duì)于將這種電纜放入到比以前狹小的空間中，如果與現(xiàn)有技術(shù)同 樣直接分散配置電纜，則電纜的配線空間越狹小，當(dāng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)旋轉(zhuǎn)，電 纜運(yùn)動(dòng)時(shí)，電纜之間越容易相互摩擦或相互纏繞，因此可能會(huì)在電纜 自身上加上負(fù)荷，導(dǎo)致電纜損傷、斷線等。另外，當(dāng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)旋轉(zhuǎn)，電30纜運(yùn)動(dòng)時(shí)，因?yàn)樵S多電纜分散地相互纏繞運(yùn)動(dòng)，所以要預(yù)測(cè)整體形態(tài)和運(yùn)動(dòng)的軌跡是非常困難的。在這種情況下，也考慮用電纜導(dǎo)管和電纜支架(《'7: bear)等將這許多電纜匯集成1條，但是當(dāng)用這種電纜導(dǎo)管和電纜支架匯集時(shí)， 因?yàn)殡娎|數(shù)越多，并且單體電纜的直徑越粗，電纜導(dǎo)管和電纜支架也5越粗，所以不能夠?qū)㈦娎|導(dǎo)管和電纜支架自身放入到狹小的空間中。即便暫時(shí)能夠放入，當(dāng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)旋轉(zhuǎn)時(shí)，也可能會(huì)在電纜導(dǎo)管和電纜支 架內(nèi)許多電纜相互摩擦或在電纜上加上負(fù)荷。此外，在專利文獻(xiàn)1中，記載有如下的電纜裝置，即，順次地沿 直徑方向排列設(shè)置有形成為環(huán)狀的多條單體電纜，使它們相互接合而10形成為扁平形環(huán)狀形式的集成電纜，并以在俯視圖中沿上下方向曲折的形式將這種集成電纜彎曲成大致u字狀。在該電纜裝置中，當(dāng)旋轉(zhuǎn)彎曲部時(shí)，彎曲部沿上下方向脹開(kāi)，由此，吸收彎曲部的相對(duì)旋轉(zhuǎn)，防止電纜纏繞。在這種裝置中，因?yàn)閷澢空鄢蓇字狀，所以對(duì)單體電纜的直徑比較小容易彎曲的情形是有效的。但是，如所述那樣單15體電纜的直徑越大，不僅要彎曲成U字狀本身變得越加困難，而且即便能夠彎曲成u字狀，因?yàn)榧釉诟鲉误w電纜的彎曲部分上的負(fù)荷變得極大，所以形成這種形態(tài)也是不適當(dāng)?shù)?。[專利文獻(xiàn)1]日本特開(kāi)2000-69655號(hào)專利公報(bào) 20 發(fā)明內(nèi)容因此，本發(fā)明就是鑒于這種問(wèn)題提出的，其目的在于，提供一種 電纜的配線構(gòu)造和基板搬運(yùn)裝置，當(dāng)將電纜配置在旋轉(zhuǎn)部件上時(shí)，能 夠抑制加在構(gòu)成電纜的各線體上的負(fù)荷，并且防止當(dāng)電纜伴隨旋轉(zhuǎn)部 件的旋轉(zhuǎn)而運(yùn)動(dòng)時(shí)發(fā)生相互摩擦或相互纏繞，更加節(jié)省電纜的配線空25 間。為了解決所述課題，根據(jù)本發(fā)明的觀點(diǎn)，提供一種配線結(jié)構(gòu)，其 特征在于，包括具有電纜配線空間的殼體；以俯瞰該電纜配線空間 的方式，能夠相對(duì)旋轉(zhuǎn)地配設(shè)在所述殼體中的旋轉(zhuǎn)部件、和使排列成 帶狀的多條線體相互接合形成一體化的，將所述各線體以沿鉛直方向 30 排列的方式配置在所述旋轉(zhuǎn)部件上，并收容在所述電纜配線空間中的 扁平狀的電纜，將所述扁平狀電纜的一端安裝在從所述旋轉(zhuǎn)部件的旋轉(zhuǎn)中心錯(cuò)開(kāi)的位置上，以從該處向所述電纜配線空間漸漸增大巻繞直 徑的螺旋狀的方式，將電纜的另一端安裝在所述殼體上。此外，對(duì)于 所述旋轉(zhuǎn)部件，不僅包括例如如旋轉(zhuǎn)臺(tái)那樣作為單體旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)部件 主體，也包括安裝在旋轉(zhuǎn)部件主體上并與旋轉(zhuǎn)部件主體一起旋轉(zhuǎn)的旋 5轉(zhuǎn)體、旋轉(zhuǎn)板等。為了解決所述課題，根據(jù)本發(fā)明的另一觀點(diǎn)，提供一種電纜配線 構(gòu)造，將電纜配置在能夠相對(duì)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)部件上，其特征在于，所述 電纜是使排列成帶狀的多條線體相互接合形成一體化的扁平狀電纜， 將所述扁平狀電纜的一端安裝在從所述旋轉(zhuǎn)部件的鉛直的旋轉(zhuǎn)中心錯(cuò) 10 開(kāi)的位置上，從該處向鉛直方向漸漸增大巻繞直徑的螺旋狀地進(jìn)行配 線。如果根據(jù)這樣的本發(fā)明，則扁平狀電纜描繪與旋轉(zhuǎn)部件的旋轉(zhuǎn)相 應(yīng)地螺旋狀的巻繞直徑變化的軌跡(例如扭轉(zhuǎn)振子運(yùn)動(dòng))。由此，容易 預(yù)測(cè)與旋轉(zhuǎn)部件的旋轉(zhuǎn)相應(yīng)地變化的扁平狀電纜的形態(tài)和軌跡，能夠15 防止伴隨著旋轉(zhuǎn)部件的旋轉(zhuǎn)扁平狀電纜運(yùn)動(dòng)時(shí)的相互摩擦或相互纏 繞。并且，因?yàn)椴捎檬苟鄺l線體相互接合形成一體化的扁平狀電纜， 所以能夠防止各線體的相互摩檫或相互纏繞。另外，通過(guò)使扁平狀電 纜的形態(tài)成為從旋轉(zhuǎn)部件向電纜配線空間漸漸增大巻繞直徑的螺旋 狀，即便構(gòu)成扁平狀電纜的線體的直徑大，也能夠減少加在各線體上20 的負(fù)荷。并且，因?yàn)橐匝劂U直方向形成螺旋狀的方式進(jìn)行配線，所以 能夠更加節(jié)省水平方向的電纜配線空間。進(jìn)一步，通過(guò)將扁平狀電纜 的一端安裝在從旋轉(zhuǎn)部件的旋轉(zhuǎn)中心錯(cuò)開(kāi)的位置上，能夠高效率地使 用水平方向的電纜配線空間。另外，優(yōu)選所述旋轉(zhuǎn)部件從它的始點(diǎn)角度到終點(diǎn)角度沿正反方向25 旋轉(zhuǎn)，所述扁平狀電纜的長(zhǎng)度至少是從所述旋轉(zhuǎn)部件的始點(diǎn)角度到終 點(diǎn)角度與它的旋轉(zhuǎn)角度相應(yīng)地使所述扁平狀電纜的巻繞直徑變化的長(zhǎng) 度。由此，因?yàn)榕c由旋轉(zhuǎn)部件使用的旋轉(zhuǎn)角度的范圍相應(yīng)地限定扁平 狀電纜的形態(tài)和軌跡，所以與其配合能夠?qū)⒈馄綘铍娎|的長(zhǎng)度調(diào)整到 必要的最小限。30 另外，優(yōu)選在所述扁平狀電纜的巻繞直徑成為最小時(shí)的所述旋轉(zhuǎn)部件的旋轉(zhuǎn)角度，所述扁平狀電纜的一端與所述扁平狀電纜的另 一端沿水平方向錯(cuò)開(kāi)。由此，能夠使扁平狀電纜的巻繞直徑持有某種程度 的擴(kuò)展。由此，能夠更加減低扁平狀電纜的高度方向。另外，優(yōu)選在扁平狀電纜的巻繞直徑成為最小時(shí)的所述旋轉(zhuǎn)部件 的旋轉(zhuǎn)角度，從所述旋轉(zhuǎn)部件的中心觀察所述扁平狀電纜的一端與所 5 述扁平狀電纜的另一端在相同的一側(cè)錯(cuò)開(kāi)。由此，因?yàn)楫?dāng)旋轉(zhuǎn)部件旋 轉(zhuǎn)扁平狀電纜解開(kāi)時(shí)，能夠不向水平方向的相反側(cè)擴(kuò)展較大，所以即 便關(guān)于電纜配線空間的水平方向也能夠使其更加狹窄。另外，優(yōu)選構(gòu)成所述扁平狀電纜的多條線體全部具有同樣的彎曲 率。由此，當(dāng)以扁平狀電纜的巻繞直徑變化的方式運(yùn)動(dòng)時(shí)，能夠不在 10各線體上加上負(fù)荷。并且，優(yōu)選構(gòu)成所述扁平狀電纜的多條線體全部 具有相同的直徑。由此，當(dāng)扁平狀電纜運(yùn)動(dòng)時(shí)，能夠防止只在特定的 線體(例如小直徑電纜)上加上負(fù)荷。另外，優(yōu)選構(gòu)成所述扁平狀電纜的多條線體中，包含集束有多條 單體電纜的多芯電纜。由此，能夠減少構(gòu)成扁平狀電纜的線體的總數(shù)。 15 為了解決所述課題，根據(jù)本發(fā)明的其它觀點(diǎn)，能夠提供一種即板搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括能夠相對(duì)旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在殼體上面的旋 轉(zhuǎn)臺(tái)；用于搬運(yùn)搭載在所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)上的基板的搬運(yùn)臂；配設(shè)在所述殼 體內(nèi)上方，能夠與所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)一起圍繞鉛直軸旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)板；和使排列成帶狀的多條線體相互接合形成一體化的，將所述各線體以沿鉛直20方向排列的方式配置在所述旋轉(zhuǎn)板和所述殼體底面之間的空間中的扁平狀電纜，將所述扁平狀電纜的一端安裝在從所述旋轉(zhuǎn)板的旋轉(zhuǎn)中心 錯(cuò)開(kāi)的位置上，以從該處向下漸漸增大巻繞直徑的螺旋狀的方式，將 電纜的另一端安裝在所述殼體上。如果根據(jù)這樣的本發(fā)明，則當(dāng)將電纜配置在與旋轉(zhuǎn)臺(tái)一起旋轉(zhuǎn)的25 旋轉(zhuǎn)板上時(shí)，能夠抑制加在構(gòu)成電纜的各線體上的負(fù)荷，并且防止當(dāng) 電纜伴隨旋轉(zhuǎn)臺(tái)(旋轉(zhuǎn)板)的旋轉(zhuǎn)而運(yùn)動(dòng)時(shí)發(fā)生相互摩擦或相互纏繞 地，更加節(jié)省電纜的配線空間。由此，能夠使整個(gè)基板搬運(yùn)裝置更加 小型化。30 發(fā)明的效果如果根據(jù)本發(fā)明，則當(dāng)將電纜配置在旋轉(zhuǎn)部件上時(shí)，能夠抑制加在構(gòu)成電纜的各線體上的負(fù)荷，并且通過(guò)以容易預(yù)測(cè)其形態(tài)和軌跡的 方式進(jìn)行配線，能夠防止當(dāng)電纜伴隨旋轉(zhuǎn)部件的旋轉(zhuǎn)而運(yùn)動(dòng)時(shí)的相互 摩擦或相互纏繞，更加節(jié)省電纜的配線空間。5


圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施方式的基板搬運(yùn)裝置的剖面圖。 圖2是圖1所示的電纜的P-P'的剖面圖。圖3是表示當(dāng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)在始點(diǎn)角度時(shí)的電纜形式的外觀的圖。圖4是表示當(dāng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)在終點(diǎn)角度時(shí)的電纜形式的外觀的圖。 io 圖5A是從上方觀察當(dāng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)(旋轉(zhuǎn)板)在作為始點(diǎn)角度的0度時(shí)的電纜的巻繞狀態(tài)的圖。圖5B是從上方觀察當(dāng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)(旋轉(zhuǎn)板)在從始點(diǎn)角度旋轉(zhuǎn)90度 時(shí)的電纜的巻繞狀態(tài)的圖。圖5C是從上方觀察當(dāng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)(旋轉(zhuǎn)板)在從始點(diǎn)角度旋轉(zhuǎn)180度 15 時(shí)的電纜的巻繞狀態(tài)的圖。圖5D是從上方觀察當(dāng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)(旋轉(zhuǎn)板)在從始點(diǎn)角度旋轉(zhuǎn)270度 時(shí)的電纜的巻繞狀態(tài)的圖。符號(hào)說(shuō)明100基板搬運(yùn)裝置20110殼體112電纜驅(qū)動(dòng)用電動(dòng)機(jī)113想114旋轉(zhuǎn)軸(驅(qū)動(dòng)軸)115法蘭部25116空間(配線空間)118孔120旋轉(zhuǎn)臺(tái)122配管124貫穿孔30126旋轉(zhuǎn)板130搬運(yùn)臂132，134 聯(lián)桿136末端執(zhí)行器142旋轉(zhuǎn)軸(肩部軸)144旋轉(zhuǎn)軸(肘角軸)146旋轉(zhuǎn)軸(肘節(jié)軸)150上部連接器152L字部件160下部連接器162L字部件200電纜210、220、 230、 240、 250線體212、222、 232、 242、 252單體電纜214、224、 234、 244、 254外皮226、246 編織線15 G 基板 具體實(shí)施方式
下面，參照附圖，對(duì)本發(fā)明的最佳實(shí)施方式詳細(xì)進(jìn)行說(shuō)明。此外， 在本說(shuō)明書(shū)和附圖中，通過(guò)對(duì)于實(shí)質(zhì)上具有相同的功能構(gòu)成的構(gòu)成要20素，賦予相同的標(biāo)號(hào)，而省略對(duì)它們的重復(fù)說(shuō)明。 (基板搬運(yùn)裝置)首先，參照附圖對(duì)將本發(fā)明應(yīng)用于搬運(yùn)基板的基板搬運(yùn)裝置時(shí)的 實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。圖1是表示基板搬運(yùn)裝置的構(gòu)成的剖面圖?；灏徇\(yùn)裝置100具有箱狀的殼體110、能夠自由旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在該殼體110 25 上面的圓板狀的旋轉(zhuǎn)臺(tái)120、和設(shè)置在旋轉(zhuǎn)臺(tái)120上的能夠沿水平方向 自由伸縮的搬運(yùn)臂130。在本實(shí)施方式中，將在殼體110內(nèi)的狹窄空間 中配置用于向該旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)供給電力和信號(hào)等的電纜200的電纜配線構(gòu) 造作為示例。殼體110做成上面開(kāi)口的箱體狀，在殼體110內(nèi)的上部安裝著用 30 于使旋轉(zhuǎn)臺(tái)120圍繞中心軸(垂直軸)轉(zhuǎn)動(dòng)或旋轉(zhuǎn)的臺(tái)驅(qū)動(dòng)用電動(dòng)機(jī) 112。例如在臺(tái)驅(qū)動(dòng)用電動(dòng)機(jī)112上設(shè)置有法蘭部113，用螺栓等締結(jié)部件將該法蘭部113安裝在殼體110的上部?jī)?nèi)表面上。臺(tái)驅(qū)動(dòng)用電動(dòng)機(jī)112的旋轉(zhuǎn)軸(驅(qū)動(dòng)軸)114，從殼體110上面的開(kāi)口部突出，借助 法蘭部115安裝在旋轉(zhuǎn)臺(tái)120的下表面上。搬運(yùn)臂130構(gòu)成為由例如如圖1所示的3軸水平多關(guān)節(jié)機(jī)器人(斯 5 卡拉機(jī)器人)構(gòu)成的臂(機(jī)械手)。具體地說(shuō)，搬運(yùn)臂130通過(guò)將在水 平面內(nèi)能夠旋轉(zhuǎn)的2個(gè)聯(lián)桿(第1聯(lián)桿132，第2聯(lián)桿134)和末端執(zhí) 行器136串聯(lián)連接而成。更詳細(xì)而言，配置在最下方的第1聯(lián)桿132 的基端部借助旋轉(zhuǎn)軸(肩部軸)142在水平面內(nèi)可旋轉(zhuǎn)地安裝在旋轉(zhuǎn)臺(tái) 120上。io 配置于第1聯(lián)桿132上方的第2聯(lián)桿134的基端部借助旋轉(zhuǎn)軸(肘角軸)144在水平面內(nèi)可旋轉(zhuǎn)地安裝在第1聯(lián)桿132的前端部上。在第 2聯(lián)桿134的前端部上，借助旋轉(zhuǎn)軸(肘節(jié)軸)146在水平面內(nèi)可旋轉(zhuǎn) 地安裝著作為載置并能夠保持基板G的構(gòu)成為鉗狀體的末端執(zhí)行器 136的基端部。15 在第1，第2聯(lián)桿132、 134的內(nèi)部，內(nèi)藏著將安裝在旋轉(zhuǎn)臺(tái)120上的未圖示的臂伸縮驅(qū)動(dòng)用電動(dòng)機(jī)所產(chǎn)生的驅(qū)動(dòng)力傳遞到各聯(lián)桿部或 手臂部的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)(例如皮帶輪、皮帶、減速機(jī)等)。在圖l所示的示 例中，構(gòu)成為，以第1聯(lián)桿132的基端部的旋轉(zhuǎn)軸(肩部軸)142作為 原點(diǎn)，使末端執(zhí)行器136沿其長(zhǎng)度方向直進(jìn)運(yùn)動(dòng)，并且使各聯(lián)桿132、20 1 34和末端執(zhí)行器136連動(dòng)地進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。如果根據(jù)所述搬運(yùn)臂130，則通過(guò)驅(qū)動(dòng)臂伸縮驅(qū)動(dòng)用電動(dòng)機(jī)，使臂 沿水平方向伸縮，能夠進(jìn)行基板G的轉(zhuǎn)移。此外，搬運(yùn)臂130的構(gòu)成 不限于圖1所示的構(gòu)成。例如搬運(yùn)臂130也能夠是具有通過(guò)線性驅(qū)動(dòng) 能夠伸縮的臂的線性滑動(dòng)型的搬運(yùn)臂。25 在這種搬運(yùn)臂130中，因?yàn)榕c旋轉(zhuǎn)臺(tái)120成為一體地旋轉(zhuǎn)，所以能夠使臂沿所需要的方向伸縮。這時(shí)，不使旋轉(zhuǎn)臺(tái)120進(jìn)行1次以上 的旋轉(zhuǎn)，通過(guò)正旋轉(zhuǎn)或逆旋轉(zhuǎn)，而旋轉(zhuǎn)到所要的角度。由此，能夠?qū)?電纜200的長(zhǎng)度抑制到最小限度。在該旋轉(zhuǎn)臺(tái)120的下表面，安裝有用于使配設(shè)在旋轉(zhuǎn)臺(tái)120內(nèi)的30 所述臂伸縮驅(qū)動(dòng)用電動(dòng)機(jī)等的內(nèi)部設(shè)備的配線通過(guò)的配管122。將該配 管122插入到貫穿臺(tái)驅(qū)動(dòng)用電動(dòng)機(jī)112的旋轉(zhuǎn)軸114而形成的貫穿孔124中，配管122的下端從電纜驅(qū)動(dòng)用電動(dòng)機(jī)112的下方伸出延伸到殼 體110內(nèi)地進(jìn)行配置。在配管122的下端安裝有圓板狀的旋轉(zhuǎn)板126。 旋轉(zhuǎn)板126以面向殼體110內(nèi)的配線空間116的方式配置在殼體110 內(nèi)的上方。在旋轉(zhuǎn)板126的下方，例如借助L字部件152安裝有連接配管122內(nèi)的配線的上部連接器150。從而，這些配管122、旋轉(zhuǎn)板126、上部 連接器150與旋轉(zhuǎn)臺(tái)120成為--體地旋轉(zhuǎn)。另一方面，在殼體110內(nèi) 的底面上，例如借助L字部件162安裝有下部連接器160。這些上部連 接器150和下部連接器160構(gòu)成為例如將多個(gè)端子收容在連接器殼體中的多極連接器。上部連接器150使搭載在旋轉(zhuǎn)臺(tái)120上的臂伸縮驅(qū)動(dòng)用電動(dòng)機(jī)等 的內(nèi)部設(shè)備的配線和電纜200相互電連接。下部連接器160使設(shè)置在 殼體110外的電源裝置等的外部設(shè)備的配線和電纜200相互電連接。 此外，內(nèi)部設(shè)備的配線經(jīng)由例如所述配管122與旋轉(zhuǎn)臺(tái)120內(nèi)的內(nèi)部設(shè)備連接，外部設(shè)備的配線從例如設(shè)置在殼體110的底部的孔118伸 出到殼體110的外面與外部設(shè)備連接。上部連接器150和下部連接器160通過(guò)電纜200連接。該電纜200 向所述臂伸縮驅(qū)動(dòng)用電動(dòng)機(jī)供給信號(hào)和電力，在后面說(shuō)明其構(gòu)成的詳 細(xì)情況。此外，在下部連接器160中，安裝著未圖示的配線，該配線從例如殼體110的孔118伸出到外部。而且，這些配線例如與外部的 電源裝置、控制裝置等連接。在這樣構(gòu)成的基板搬運(yùn)裝置100中，必須將電纜200配置在殼體 110內(nèi)的旋轉(zhuǎn)板126下側(cè)的空間116內(nèi)。這種電纜的配線空間要求比現(xiàn) 有技術(shù)更節(jié)省空間，另一方面，伴隨著設(shè)置在旋轉(zhuǎn)臺(tái)上的搬運(yùn)臂等的多功能化必須配置的電纜的數(shù)量增加，并且供給的電力等也增加，電 纜的直徑也增大。另外，因?yàn)檫B接電纜200 —端的上部連接器150圍繞鉛直軸旋轉(zhuǎn)， 并且連接電纜200的另一端的下部連接器160被固定在殼體110上， 所以伴隨上部連接器150的旋轉(zhuǎn)，電纜200自身也運(yùn)動(dòng)，它的形態(tài)發(fā)生變化。從而，預(yù)測(cè)電纜200的軌跡，不管成為什么樣的形態(tài)都必須 以進(jìn)入狹窄空間116內(nèi)的方式配置電纜200。可是，如本實(shí)施方式的基板搬運(yùn)裝置100所使用的電纜200那樣， 因?yàn)閷㈦娏托盘?hào)供給旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)那樣的電纜由電力電纜和信號(hào)電纜等 直徑不同的許多電纜構(gòu)成，所以如果直接分散地配置這些電纜，則當(dāng)上部連接器150旋轉(zhuǎn)電纜運(yùn)動(dòng)時(shí)，電纜之間發(fā)生相互摩擦或相互纏繞。5 因此，可能會(huì)在電纜自身上加上負(fù)荷，導(dǎo)致電纜損傷、斷線等。另外，當(dāng)上部連接器150旋轉(zhuǎn)，電纜運(yùn)動(dòng)時(shí)，因?yàn)樵S多電纜分散地相互纏繞地運(yùn)動(dòng)，所以要預(yù)測(cè)整個(gè)形態(tài)和運(yùn)動(dòng)的軌跡是非常困難的。這時(shí)，也考慮用電纜導(dǎo)管和電纜支架等將許多這些電纜匯集成1 條，但是當(dāng)用這種電纜導(dǎo)管和電纜支架匯集時(shí)，電纜數(shù)越多，并且各10電纜的直徑越粗，必須選擇整體上相當(dāng)粗的電纜導(dǎo)管和電纜支架，不能夠?qū)㈦娎|導(dǎo)管和電纜支架自身放入到本實(shí)施方式那樣狹窄的空間116中。即便假定能夠放入，當(dāng)上部連接器150旋轉(zhuǎn)時(shí)，也可能會(huì)在電 纜導(dǎo)管和電纜支架內(nèi)許多電纜相互摩擦或在電纜上加上負(fù)荷。因此，在本實(shí)施方式中，使電纜200采用將排列成帶狀的多條線15 體相互接合形成一體化的扁平狀電纜，并使扁平狀電纜200以向鉛直 方向漸漸增大巻繞直徑的螺旋狀的方式進(jìn)行配線。由此，能夠不使構(gòu) 成電纜200的多條線體之間發(fā)生相互摩擦或相互纏繞，即便構(gòu)成電纜 200的線體的直徑大，也能夠減少加在各線體上的負(fù)荷。而且，因?yàn)橥ㄟ^(guò)上部連接器150與旋轉(zhuǎn)板126 —起正旋轉(zhuǎn)或逆旋20 轉(zhuǎn)，螺旋狀的電纜200的運(yùn)動(dòng)成為只是或巻起或松開(kāi)那樣的巻繞直徑 變化的單調(diào)運(yùn)動(dòng)(例如扭轉(zhuǎn)振子運(yùn)動(dòng)、扭轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng))，所以極容易預(yù)測(cè)整 體的形態(tài)和它的運(yùn)動(dòng)軌跡。因此，因?yàn)槿菀讻Q定電纜200的巻數(shù)、長(zhǎng) 度、兩端部的位置等，以使電纜200不發(fā)生相互摩擦，或不與殼體IIO 的內(nèi)表面接觸，所以能夠高效率地使用狹窄的空間來(lái)進(jìn)行電纜200配25 線。(電纜的構(gòu)成示例和配線) 參照附圖對(duì)這樣的本實(shí)施方式的電纜200的構(gòu)成示例和配線示例 更詳細(xì)地進(jìn)行說(shuō)明。圖2是圖1所示的電纜200的P-P'的剖面圖。首 先，對(duì)電纜的構(gòu)成示例進(jìn)行說(shuō)明。如圖2所示，本實(shí)施方式的電纜200 30 將多條(這里為5條)的線體210 250排列成一列，并將它們接合起 來(lái)形成一體。由此，能夠?qū)㈦娎|200制成扁平形狀。各線體210 250由將電源供給搬運(yùn)臂的各軸的電動(dòng)機(jī)或末端執(zhí)行器等的多條電源電纜(電源線)、和用于在編碼器、傳感器類或各種控 制設(shè)備與控制器之間傳遞控制信號(hào)的多條信號(hào)電纜(信號(hào)線)等構(gòu)成。另外，各線體210 250，不僅是電纜，而且也能夠包含由電線、供給 5 液體或氣體的中空的管子等構(gòu)成的線體。并且，各線體210 250是通過(guò)每1條或每多條地將相同直徑或不 同直徑的多條單體電纜集束在一起構(gòu)成的。當(dāng)具有例如電源電纜那樣 的大直徑的單體電纜和信號(hào)電纜那樣的小直徑的單體電纜時(shí)，通過(guò)將 大直徑的單體電纜每1條作為線體，將多條小直徑的單體電纜集束起 io 來(lái)制成多芯電纜，能夠減少構(gòu)成電纜200的線體的總數(shù)。例如，線體210、230、250分別由1條大直徑的單體電纜212、232、 252構(gòu)成，線體220由將3條小直徑的單體電纜222集束起來(lái)得到的多 芯電纜構(gòu)成，線體240由將2條小直徑的單體電纜242集束起來(lái)得到 的多芯電纜構(gòu)成。15 此外，對(duì)由具有多條信號(hào)電纜的多芯電纜構(gòu)成的線體都進(jìn)行了屏蔽處理。這樣，通過(guò)對(duì)信號(hào)電纜進(jìn)行屏蔽處理，能夠防止從電子設(shè)備 自身產(chǎn)生的噪聲引起的誤動(dòng)作或所產(chǎn)生噪聲的傳遞。并且，當(dāng)不使用 多芯電纜時(shí)，對(duì)各個(gè)信號(hào)電纜需要用屏蔽電纜(未圖示)。作為各個(gè)屏 蔽電纜包括，例如由導(dǎo)體構(gòu)成的芯線、覆蓋芯線周圍的絕緣內(nèi)皮、設(shè)20 置在絕緣內(nèi)皮周圍的編織線、以及設(shè)置在編織線周圍的絕緣外皮。這些線體210 250分別以至少得到相同程度的彎曲率的方式調(diào)整 彎曲強(qiáng)度。彎曲強(qiáng)度的調(diào)整，例如能夠通過(guò)線體210 250的外皮(例 如由絕緣性樹(shù)脂構(gòu)成的絕緣外皮)、214 254的厚度或材質(zhì)進(jìn)行調(diào)整， 或者通過(guò)填充在線體220、 240內(nèi)的間隙中的編織線226、 246或緩沖25 材料進(jìn)行調(diào)整。此外，編織線是將細(xì)線編織成格子狀得到的，但是也 能夠代替編織線將銅箔等用作屏蔽部件。這樣通過(guò)使線體210 250全部具有相同的彎曲率，當(dāng)電纜200的 巻繞直徑變化地運(yùn)動(dòng)時(shí)，能夠在各線體210 250上不加上負(fù)荷。又因 為能夠消除各線體210 250的彎曲強(qiáng)度的偏差，所以能夠使電纜20030 以始終與鉛直方向平行的狀態(tài)中只進(jìn)行巻繞直徑變化那樣的運(yùn)動(dòng)。由 此，因?yàn)殡娎|200不傾斜，所以能夠防止巻繞的電纜200之間發(fā)生接觸。另外，在本實(shí)施方式的電纜200中，不僅調(diào)整各線體210 250的 彎曲率，而且也以使直徑(粗細(xì))達(dá)到相同程度的方式進(jìn)行調(diào)整。關(guān) 于直徑(粗細(xì))的調(diào)整，也與彎曲率的調(diào)整同樣，能夠通過(guò)外皮的厚 5 度或材質(zhì)、充填在各線體的間隙中的細(xì)絲或緩沖材料進(jìn)行調(diào)整。例如 如果將小直徑電纜和大直徑電纜和排列成一列，而將它們接合起來(lái)制 成扁平形狀，則當(dāng)電纜200運(yùn)動(dòng)時(shí)容易將負(fù)荷加在小直徑電纜上。從 而，通過(guò)如本實(shí)施方式的電纜200那樣，使各線體210 250全部具有 相同的直徑，而能夠防止在電纜200運(yùn)動(dòng)時(shí)將負(fù)荷只加在特定的線體io (例如小直徑電纜)上。下面，對(duì)電纜200的配線示例進(jìn)行說(shuō)明。這里，以使旋轉(zhuǎn)臺(tái)120 從始點(diǎn)角度(這里為0度(degree))到終點(diǎn)角度(這里為270度(degree)) 通過(guò)正旋轉(zhuǎn)和逆旋轉(zhuǎn)，能夠旋轉(zhuǎn)到所需要的角度的方式進(jìn)行控制。這 時(shí)的電纜200的長(zhǎng)度優(yōu)選至少為從旋轉(zhuǎn)臺(tái)120的始點(diǎn)角度到終點(diǎn)角度15 與其旋轉(zhuǎn)角度相對(duì)應(yīng)地使電纜200的巻繞直徑變化的長(zhǎng)度。由此，因 為與由旋轉(zhuǎn)臺(tái)120使用的旋轉(zhuǎn)角度的范圍相應(yīng)地限定電纜200的形態(tài) 和軌跡，所以與其相配合能夠?qū)㈦娎|200的長(zhǎng)度調(diào)整到必要的最小限下面，參照?qǐng)D3 圖5對(duì)這種情況下最佳的電纜200的配線示例進(jìn) 20 行說(shuō)明。圖3是表示當(dāng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)120在始點(diǎn)角度時(shí)的電纜200的形態(tài)外 觀的圖，圖4是表示當(dāng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)120在終點(diǎn)角度時(shí)的電纜200的形態(tài)外 觀的圖。在本實(shí)施方式中，以從圖3所示的旋轉(zhuǎn)臺(tái)120在始點(diǎn)角度時(shí)的電 纜200的狀態(tài)到圖4所示的旋轉(zhuǎn)臺(tái)120在終點(diǎn)角度時(shí)的電纜200的狀 25 態(tài)的電纜200的運(yùn)動(dòng)(軌跡)進(jìn)入空間116內(nèi)的方式進(jìn)行配線。具體 地說(shuō)，如圖3所示，沿鉛直方向只離開(kāi)高度Hab地并且沿水平方向只 離開(kāi)距離dab地配置有與電纜200的一端連接的上部連接器150和與 電纜200的另一端連接的下部連接器160。由此，能夠?qū)㈦娎|200配置 成從它的內(nèi)徑側(cè)的一端到外徑側(cè)的另一端沿高度方向的螺旋狀。這時(shí)， 30 電纜200使各線條體210 250上下平行地巻繞。這里，圖5A 5D表示在殼體110的空間116內(nèi)，如所述那樣當(dāng)配置電纜200時(shí)的電纜200的運(yùn)動(dòng)(軌跡)。圖5A 5D是表示從始點(diǎn)角 度到終點(diǎn)角度的電纜200的運(yùn)動(dòng)的圖，分別是從上方觀察電纜200的 圖。此外，在圖5A 5D中省略了旋轉(zhuǎn)臺(tái)120，但是因?yàn)樾D(zhuǎn)臺(tái)120和 旋轉(zhuǎn)板126 —體地旋轉(zhuǎn)，所以下面將旋轉(zhuǎn)臺(tái)120的角度作為旋轉(zhuǎn)板126 5 的角度進(jìn)行說(shuō)明。另外，在圖5A 5D中，使下部連接器160的位置 (固定)為B，使當(dāng)旋轉(zhuǎn)板126為始點(diǎn)角度時(shí)的上部連接器150的位 置(始點(diǎn))為A。圖5A表示當(dāng)旋轉(zhuǎn)板126在作為始點(diǎn)角度的0度(degree)時(shí)的電 纜200的巻繞狀態(tài)。圖5B表示當(dāng)旋轉(zhuǎn)板126從始點(diǎn)角度向圖中右邊旋 10 轉(zhuǎn)90度(degree)時(shí)的電纜200的巻繞狀態(tài)，圖5C表示當(dāng)旋轉(zhuǎn)板126 從始點(diǎn)角度向圖中右邊旋轉(zhuǎn)180度(degree)時(shí)的電纜200的巻繞狀態(tài)。 圖5D表示當(dāng)旋轉(zhuǎn)板126從始點(diǎn)角度向圖中右邊旋轉(zhuǎn)作為終點(diǎn)角度的 270度(degree)時(shí)的電纜200的巻繞狀態(tài)，如圖5A所示，當(dāng)旋轉(zhuǎn)板126為始點(diǎn)角度時(shí)，電纜200處于最巻起 15 的狀態(tài)，電纜200的巻繞直徑成為最小。隨著旋轉(zhuǎn)板126從該狀態(tài)旋 轉(zhuǎn)到圖5B，圖5C，電纜200松開(kāi)，電纜200的巻繞直徑漸漸增大。而 且，如圖5D所示，當(dāng)旋轉(zhuǎn)板126為終點(diǎn)角度時(shí)，電纜200處于最松開(kāi) 的狀態(tài)，電纜200的巻繞直徑也成為最大。這樣，即便電纜200的巻 繞狀態(tài)是圖5A到5D中的某個(gè)狀態(tài)，也不發(fā)生干涉，能夠收容在空間20116內(nèi)。這樣，在螺旋狀地配置在高度方向和水平方向擴(kuò)展的空間116中 的電纜200上，作為旋轉(zhuǎn)臺(tái)120為始點(diǎn)角度時(shí)的電纜200的一端的上 部連接器150和作為另一端的下部連接器160優(yōu)選沿水平方向錯(cuò)開(kāi)配 置。如圖3所示，在本實(shí)施方式中，上部連接器150和下部連接器160 25 沿水平方向只錯(cuò)開(kāi)DAB地進(jìn)行配置。這樣，通過(guò)使當(dāng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)120為始點(diǎn)角度時(shí)的電纜200的一端和另 一端的水平方向的位置錯(cuò)開(kāi)，能夠使電纜200的巻繞直徑持有某種程 度的擴(kuò)展。由此，能夠使電纜200的配線空間116的高度方向更低。 因?yàn)樵绞抢鐚?dāng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)120為始點(diǎn)角度時(shí)的作為電纜200的一 30 端的上部連接器150的水平方向的位置和作為另一端的下部連接器 160的水平方向的位置配置在旋轉(zhuǎn)臺(tái)120的接近旋轉(zhuǎn)中心的位置上，巻繞直徑越小，所以為了使電纜200不相互干涉，必須增大鉛直方向的 空間。與此相對(duì)，因?yàn)橥ㄟ^(guò)使上部連接器150的水平方向的位置和作為另一端的下部連接器160的水平方向的位置分開(kāi)，能夠從內(nèi)側(cè)到外側(cè) 5 使巻繞直徑漸漸增大，所以能夠保持電纜200之間不相互干涉的狀態(tài)， 并且使上部連接器150和下部連接器160的高度Hab更低。由此，能 夠達(dá)到節(jié)省配置電纜200的殼體110內(nèi)的空間的目的。并且，如圖3和圖5A示，優(yōu)選將當(dāng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)120為始點(diǎn)角度時(shí)的作 為電纜200的一端的上部連接器150的水平方向的位置，從旋轉(zhuǎn)臺(tái)120 io 的旋轉(zhuǎn)中心錯(cuò)開(kāi)地配置在作為另一端的下部連接器160的配置側(cè)。在 如圖3所示，本實(shí)施方式中，從旋轉(zhuǎn)臺(tái)120的旋轉(zhuǎn)中心只偏離DA地將 上部連接器150配置在與下部連接器160相同一側(cè)。由此，因?yàn)楫?dāng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)120旋轉(zhuǎn)，電纜200松開(kāi)時(shí)，能夠不向水平 方向的相反側(cè)較大地?cái)U(kuò)展，所以即便對(duì)于電纜200的配線空間116的 15 水平方向也能夠使其更狹窄。例如當(dāng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)120為始點(diǎn)角度時(shí)的作為電纜200的一端的上部連 接器150的水平方向的位置越接近中心，當(dāng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)120旋轉(zhuǎn)，電纜200 松開(kāi)時(shí)，因?yàn)殡娎|200越大地?cái)U(kuò)展到與上部連接器150的配設(shè)側(cè)相反 側(cè)的空間(圖3中從旋轉(zhuǎn)臺(tái)120的旋轉(zhuǎn)中心右側(cè)的空間)中，所以反 20 而需要大的水平方向的空間。與此相對(duì)，通過(guò)使當(dāng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)120為始點(diǎn)角度時(shí)的作為電纜200的 一端的上部連接器150的水平方向的位置偏離旋轉(zhuǎn)臺(tái)120的旋轉(zhuǎn)中心 地進(jìn)行配置，能夠抑制較大地?cái)U(kuò)展到它的相反側(cè)的空間，所以也能夠 使水平方向的空間更狹窄。因此，能夠達(dá)到更加節(jié)省配置電纜200的 25 殼體IIO內(nèi)的空間的目的。此外，在圖3中例舉了將作為電纜200的一端的上部連接器150 安裝在旋轉(zhuǎn)板126的底面上的情形的示例，但未必限定于此。例如也 能夠?qū)⑸喜窟B接器150安裝在旋轉(zhuǎn)板126的側(cè)面上。另外，在圖3中 例舉了將作為電纜200的另一端的下部連接器160安裝在殼體110的 30 底面上的情形的示例，但未必限定于此。例如也能夠?qū)⑾虏窟B接器160 安裝在殼體110的側(cè)面上?？墒牵瑑?yōu)選與電纜200的端部的位置、配置電纜200的空間116 的大小相應(yīng)地決定所述電纜200的巻數(shù)和長(zhǎng)度。例如本實(shí)施方式中的 電纜200的巻數(shù)例如為1.5。如果根據(jù)該數(shù)目，則當(dāng)如圖5A所示使電 纜200最巻起的旋轉(zhuǎn)臺(tái)120從始點(diǎn)角度，旋轉(zhuǎn)到如圖5D所示使電纜 5 200最松開(kāi)的終點(diǎn)角度時(shí)，在圖5A 5D的任何狀態(tài)中，都能夠?qū)㈦娎| 200收容在空間116內(nèi)。此外，電纜200的巻數(shù)不限定于所述數(shù)目。另外，在本實(shí)施方式中，我們說(shuō)明了使旋轉(zhuǎn)臺(tái)120的始點(diǎn)角度為0 度(degree),終點(diǎn)角度為270度(degree)的情形，但未必限定于此。 也能夠與旋轉(zhuǎn)臺(tái)120的使用相應(yīng)地，使終點(diǎn)角度為在O度(degree) io 360度(degree)的范圍內(nèi)的任何角度。另外，在本實(shí)施方式中，對(duì)下述情況進(jìn)行了說(shuō)明，即，例如如圖3 所示的電纜200那樣，將扁平狀電纜配置在旋轉(zhuǎn)部件的下方的電纜配 線空間內(nèi)，并將扁平狀電纜的一端安裝在從旋轉(zhuǎn)部件的旋轉(zhuǎn)中心錯(cuò)開(kāi) 的位置上，以從該處向下方的電纜配線空間漸漸增大巻繞直徑的螺旋15 狀的方式，將電纜的另一端安裝在殼體上。但是未必限定于此。雖然 未圖示但是也能夠例如當(dāng)將電纜配線空間設(shè)置在旋轉(zhuǎn)部件的上方，并 將扁平狀電纜配置在該空間內(nèi)時(shí)，將扁平狀電纜的一端安裝在從旋轉(zhuǎn) 部件的旋轉(zhuǎn)中心錯(cuò)開(kāi)的位置上，以從該處向上方的配線空間漸漸增大 巻繞直徑的螺旋狀的方式，將電纜的另一端安裝在殼體上。20 以上，參照附圖對(duì)本發(fā)明的最佳實(shí)施方式進(jìn)行了說(shuō)明，但是本發(fā)明當(dāng)然不限定于有關(guān)的示例。如果是本領(lǐng)域技術(shù)人員，則在權(quán)利要求 書(shū)中記載的范疇內(nèi)，能夠想到各種變更例或修正例是不言而喻的，對(duì) 此也當(dāng)然屬于本發(fā)明的技術(shù)范圍。例如在所述的實(shí)施方式中，對(duì)將本發(fā)明應(yīng)用于基板搬運(yùn)裝置的情25 形進(jìn)行了說(shuō)明，但是未必限定于此，例如也能夠應(yīng)用于將多條電纜配 置在產(chǎn)業(yè)用機(jī)械人的旋轉(zhuǎn)單元和工作機(jī)械中的旋轉(zhuǎn)臺(tái)等的旋轉(zhuǎn)部件上 的情形。工業(yè)上應(yīng)用的可能性30 本發(fā)明能夠應(yīng)用于配置有將電力和信號(hào)等供給伴有旋轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)的多條電纜的電纜配線構(gòu)成和基板搬運(yùn)裝置。
權(quán)利要求
1.一種電纜配線構(gòu)造，其特征在于包括，具有電纜配線空間的殼體；以俯瞰該電纜配線空間的方式，能夠相對(duì)旋轉(zhuǎn)地配設(shè)在所述殼體中的旋轉(zhuǎn)部件；以及收容在所述電纜配線空間中的扁平狀的電纜，該電纜由排列成帶狀的多條線體相互接合形成為一體，且所述各線體以沿鉛直方向排列的方式配置在所述旋轉(zhuǎn)部件上；所述扁平狀電纜的一端安裝在從所述旋轉(zhuǎn)部件的旋轉(zhuǎn)中心錯(cuò)開(kāi)的位置上，另一端以從該位置朝向所述電纜配線空間漸漸增大卷繞直徑的螺旋狀的方式安裝在所述殼體上。
2. —種電纜配線構(gòu)造，其特征在于所述旋轉(zhuǎn)部件從它的始點(diǎn)角度到終點(diǎn)角度沿正反方向旋轉(zhuǎn)； 所述扁平狀電纜的長(zhǎng)度至少是從所述旋轉(zhuǎn)部件的始點(diǎn)角度到終點(diǎn) 角度與其旋轉(zhuǎn)角度相對(duì)應(yīng)的所述扁平狀電纜的巻繞直徑變化的長(zhǎng)度。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的電纜配線構(gòu)造，其特征在于在所述扁 平狀電纜的巻繞直徑成為最小時(shí)的所述旋轉(zhuǎn)部件的旋轉(zhuǎn)角度，所述扁平狀電纜的一端與所述扁平狀電纜的另一端沿水平方向錯(cuò)開(kāi)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的電纜配線構(gòu)造，其特征在于在所述扁 平狀電纜的巻繞直徑成為最小時(shí)的所述旋轉(zhuǎn)部件的旋轉(zhuǎn)角度，從所述 旋轉(zhuǎn)部件的中心觀察，所述扁平狀電纜的一端與所述扁平狀電纜的另 —端在相同的一側(cè)錯(cuò)開(kāi)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的電纜配線構(gòu)造，其特征在于構(gòu)成所述 扁平狀電纜的多條線體全部具有同樣的彎曲率。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的電纜配線構(gòu)造，其特征在于構(gòu)成所述扁平狀電纜的多條線體全部具有相同的直徑。
7. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的電纜配線構(gòu)造，其特征在于在構(gòu)成所 述扁平狀電纜的多條線體中，包含集束有多條單體電纜的多芯電纜。
8. —種基板搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，其特征在于包括， 能夠相對(duì)旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在殼體上面的旋轉(zhuǎn)臺(tái)； 用于搬運(yùn)搭載在所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)上的基板的搬運(yùn)臂；配設(shè)在所述殼體內(nèi)的上方，能夠與所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)一起圍繞鉛直軸旋 10 轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)板；以及配置在所述旋轉(zhuǎn)板和所述殼體底面之間的空間中的扁平狀電纜， 該電纜由排列成帶狀的多條線體相互接合形成為一體、且所述各線體 沿鉛直方向排列，所述扁平狀電纜的一端安裝在從所述旋轉(zhuǎn)板的旋轉(zhuǎn)中心錯(cuò)開(kāi)的位 置上，該電纜的另一端以從該位置向下漸漸增大巻繞直徑的螺旋狀的 方式安裝在所述殼體上。
9. 一種電纜配線構(gòu)造，用于將電纜配置在能夠相對(duì)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)部 件上，其特征在于 所述電纜是由排列成帶狀的多條線體相互接合形成為一體的扁平 狀的電纜；所述扁平狀的電纜的一端安裝在從所述旋轉(zhuǎn)部件的鉛直的旋轉(zhuǎn)中 心錯(cuò)開(kāi)的位置上，并配置成從該位置向鉛直方向漸漸增大巻繞直徑的 螺旋狀。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種配線構(gòu)造，當(dāng)將電纜配置在旋轉(zhuǎn)部件上時(shí)，能夠抑制加在構(gòu)成電纜的各線體上的負(fù)荷，并且防止當(dāng)電纜伴隨旋轉(zhuǎn)部件的旋轉(zhuǎn)而運(yùn)動(dòng)時(shí)發(fā)生相互摩擦或相互纏繞，更加節(jié)省電纜的配線空間。該配線構(gòu)造包括收容電纜的殼體(110)、能夠圍繞鉛直軸相對(duì)旋轉(zhuǎn)地配設(shè)在殼體內(nèi)上方的旋轉(zhuǎn)板(126)、以及使排列帶狀的多條線體相互接合形成一體化的，將各線體以沿鉛直方向排列的方式配置在旋轉(zhuǎn)板上的扁平狀的電纜(200)，將電纜(200)的一端安裝在從旋轉(zhuǎn)板的旋轉(zhuǎn)中心錯(cuò)開(kāi)的位置上，以從該處向下漸漸增大卷繞直徑的螺旋狀的方式，將電纜(200)的另一端安裝在殼體上。
文檔編號(hào)H01L21/67GK101277006SQ20081008853
公開(kāi)日2008年10月1日 申請(qǐng)日期2008年3月27日 優(yōu)先權(quán)日2007年3月27日
發(fā)明者中山秀樹(shù), 大野仁久, 末木英人 申請(qǐng)人:東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社